KR20070064901A - 오염물질 검출 시스템 및 방법 - Google Patents

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KR20070064901A KR1020050125493A KR20050125493A KR20070064901A KR 20070064901 A KR20070064901 A KR 20070064901A KR 1020050125493 A KR1020050125493 A KR 1020050125493A KR 20050125493 A KR20050125493 A KR 20050125493A KR 20070064901 A KR20070064901 A KR 20070064901A
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임성재
김동연
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안요한
황태진
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장현천
이수웅
김우정
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 소정의 공간 내 잔류하는 오염물질을 검출하는 시스템에 관한 것으로, 본 발명에 따른 오염물질 검출 시스템은 상기 공간 내부에서 에어를 유입하는 적어도 하나의 유입 부재와, 상기 유입 부재로 유입된 상기 에어가 저장되는 버퍼 부재, 그리고 상기 버퍼 부재로부터 에어를 공급받아 에어 내 오염물질을 검출하는 검출 부재들을 포함하되, 각각의 상기 검출 부재가 검출하는 오염물질의 종류는 상이한 것을 특징으로 한다. 여기서, 상기 공간은 반도체 및 평판디스플레이 제조 공정에 사용되는 청정실(clean room)의 내부 공간이고, 상기 유입 부재는 복수개이다. 상술한 구성을 갖는 오염물질 검출 시스템은 그 구성을 단순화시킬 수 있어 시스템 제작의 비용을 줄이고 시스템의 설치 시간을 단축시킬 수 있다.
오염, 오염물질, 파티클, 검출, 검출 시스템, 청정실, 클린룸, 계측장치

Description

오염물질 검출 시스템 및 방법{SYSTEM AND METHOD FOR DETECTING A CONTAMINATION MATERIALS}
도 1은 본 발명에 따른 오염물질 검출 시스템을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 오염물질 검출 방법을 도시한 순서도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 오염물질 검출 시스템
110 : 유입 부재
120 : 통합 부재
130 : 흡입 부재
140 : 버퍼 부재
150 : 검출부
160 : 제어부
170 : 표시부재
본 발명은 소정의 공간 내 잔류하는 오염물질을 검출하는 시스템에 관한 것이다. 특히, 상기 공간은 반도체 및 평판 디스플레이 분야에서 사용되는 청정실일 수 있다.
최근 전기 및 전자산업을 포함한 첨단산업에서 일정한 조건의 고청정 상태가 유지되는 청정실이 제조 공장 내부에 설치된다. 특히, 고집적도를 요구하는 반도체 및 평판 디스플레이 분야의 제조 공정은 대두분 청정실 내에서 이루어진다.
상기 청정실은 내부의 온도, 습도, 풍속 및 차압 등을 포함한 각종 종합적인 내부 대기의 상태가 지속적으로 검사되어야 하며, 이를 위해 청정실 내부에는 온습도를 검사하기 위한 감지 부재, 내부 유체의 유속을 검사하기 위한 감지 부재, 청정실 내부와 외부의 차압을 감지하는 감지 부재, 그리고 청정실 내부의 파티클과 같은 오염물질의 분포 상황을 검출하기 위한 오염물질 검출 시스템 등을 포함할 수 있다.
이 중에서 오염물질 검출 시스템은 청정실 내 여러 오염물질의 분포 및 농도를 지속적으로 검사한다. 일반적인 오염물질 검출 시스템은 청정실 내 각각의 지점에서 에어를 유입시키는 유입 부재들과, 상기 유입 부재들과 각각 연결되어 상기 유입 부재들에 의해 유입된 상기 에어 내 서로 상이한 오염물질을 검출하는 복수의 검출기들을 포함한다. 여기서, 상기 유입 부재들은 상기 지점에서 측정하고자 하는 오염물질 종류의 수만큼 배치된다. 즉, 상기 유입 부재들은 각각의 지점별로 측정하고자 하는 오염물질의 수만큼 복수개가 배치된다.
그러나, 상기와 같은 구성을 갖는 오염물질 검출 시스템은 상기 유입 부재들과 상기 검출기들의 연결이 복잡하다. 즉, 각각의 상기 유입 부재들로부터 유입된 에어는 각각의 상기 검출기들로 공급되어야 하므로, 상기 유입 부재들의 수가 증가할수록, 또는 검출하고자하는 오염물질의 수가 증가할수록 상기 유입 부재들과 상기 검출기들을 연결하는 라인들은 기하급수적으로 증가한다. 따라서, 오염물질 검출 시스템의 구성이 복잡하고 시스템의 제작 비용이 증가한다. 또한, 오염물질 검출 시스템의 설치 시간이 길고, 작업자가 유지 보수를 수행해야되는 부분들이 많다는 문제점을 갖는다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 구성을 단순화한 오염물질 검출 시스템을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 제작 비용을 줄일 수 있는 오염물질 검출 시스템을 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 설치 시간을 단축시킬 수 있는 오염물질 검출 시스템을 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 유지 보수 비용을 줄일 수 있는 오염물질 검출 시스템을 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 작업자의 유지 보수 부담을 줄일 수 있는 오염물질 검출 시스템을 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 오염물질 검출 시스템은 상기 공간 내부에서 에어를 유입하는 적어도 하나의 유입 부재와, 상기 유입 부재로 유입된 상기 에어가 저장되는 버퍼 부재, 그리고 상기 버퍼 부재로부터 에어를 공급받아 에어 내 오염물질을 검출하는 검출 부재들을 포함하되, 각각의 상기 검출 부재가 검출하는 오염물질의 종류는 상이한 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 공간은 반도체 및 평판디스플레이 제조 공정에 사용되는 청정실(clean room)의 내부 공간이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 유입 부재는 복수개이다. 여기서, 상기 유입 부재들은 상기 공간 내에서 오염물질의 측정이 요구되는 지점에 각각 배치된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 오염물질 검출 시스템은 복수의 상기 유입 부재들로부터 유입된 각각의 상기 에어들을 하나로 통합시켜주고, 통합된 에어를 상기 버퍼 부재로 공급하는 통합 부재를 더 포함한다.
본 발명의 실시에에 따르면, 상기 버퍼 부재는 상기 검출 부재들로 공급되고 남은 에어가 배출되는 배기관을 갖는다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 배기관의 배기는 자연배기로 이루어진다.
본 발명의 실시예에 따르면, 각각의 상기 검출 부재는 상기 버퍼 부재로부터 상기 에어를 분배받는 검출라인 및 상기 검출라인에 설치되어 그 내부를 흐르는 에어 내 오염물질을 측정하는 검출기들을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 각각의 상기 검출 부재는 상기 검출라인에 설치되어 상기 버퍼 부재로부터 상기 검출라인으로 공급되는 상기 에어의 유량을 조절 하는 유량조절부재를 더 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 오염물질 검출 시스템은 상기 공간 내 에어를 상기 유입 부재로 강제 흡입하는 흡입 부재를 더 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 오염물질 검출 시스템은 상기 검출 부재들로부터 검출신호를 전송받고, 이를 분석하는 제어부 및 상기 제어부의 상기 검출 신호의 분석결과를 작업자가 인지하도록 표시하는 표시 부재를 더 포함한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 오염물질 검출 방법은 (a) 상기 공간 내부에서 에어를 유입하는 단계, (b) 상기 에어를 버퍼 부재에 저장하는 단계, (c) 상기 에어를 복수의 검출 부재들로 분배하는 단계, (d) 상기 검출 부재들에 유입된 상기 에어 내 오염물질을 검출하는 단계를 포함하되, 상기 (d)단계는 상기 검출 부재들이 서로 상이한 오염물질을 검출한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 공간은 반도체 및 평판디스플레이 제조 공정에 사용되는 청정실(clean room)의 내부 공간이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 (a)단계는 상기 공간 내 서로 다른 복수의 영역에서 에어를 유입하고, 각각의 상기 에어들을 상기 버퍼 부재로 공급하기 전에 상기 에어들을 하나로 통합시킨다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 오염물질 검출 방법은 상기 (b)단계와 상기 (c)단계 사이에, 상기 검출 부재들로 공급되고 남은 에어를 배기시키는 단계를 더 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 (c)단계는 상기 에어들의 유량을 조절시키 는 단계를 더 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 (a) 단계는 소정의 흡입 부재에 의한 강제흡입으로 이루어진다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 3을 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
(실시예)
도 1은 본 발명에 따른 오염물질 검출 시스템을 개략적으로 도시한 구성도이다. 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 오염물질 검출 시스템(100)은 유입 부재(110), 통합 부재(120), 흡입 부재(130), 버퍼 부재(140), 검출부(150), 제어부(160), 그리고 표시 부재(170)를 포함한다.
유입 부재(110)는 소정의 공간(10) 내에 배치되어 배치된 지점에서의 에어를 유입시킨다. 여기서, 유입 부재(110)는 복수개가 구비되어, 공간(10) 내 오염물질을 측정하고자 하는 지점당 하나씩 배치된다. 이때, 유입 부재(110)의 공간(10) 내 배치는 공간(10) 내부에 고르게 배치되어 공간(10) 내 모든 지역으로부터 에어를 유입시키는 것이 바람직하다.
또한, 유입 부재(110)는 흡입 부재(130)에 의한 강제흡입에 의해 공간(10) 내 에어를 흡입시킨다. 각각의 유입 부재(110)들로 유입된 에어들은 통합 부재(120)에 의해 하나로 통합된다.
여기서, 상술한 공간(10)은 반도체 및 평판디스플레이 분야에서 사용되는 청정실(clean room)일 수 있다. 그러나, 공간(10)은 산업상 이용되는 제조 공정실, 연구 또는 실험을 위한 실험실을 포함한다.
통합 부재(120)는 유입 부재(110)로부터 에어들을 이송받아 하나로 통합시키고, 통합된 에어를 버퍼 부재(140)로 이송시킨다. 이를 위해, 통합 부재(120)는 유입 라인(122), 통합기(124), 그리고 공급라인(126)을 포함한다. 유입 라인(122)은 복수개가 구비된다. 각각의 유입 라인(122)들의 일단은 상술한 유입 부재(110)와 연결되고, 타단은 통합기(124)와 연결된다. 각각의 유입 라인(122)은 유입 부재(110)에 의해 유입된 에어를 통합기(124)로 이송한다.
통합기(124)는 복수의 유입 라인(122)들을 하나로 연결시켜 각각의 유입 부재(110)들로 유입된 에어들을 하나로 통합시킨다. 또한, 통합부재(122)는 통합된 에어를 공급라인(126)을 통해 버퍼 부재(140)로 공급시킨다. 이때, 통합기(124)는 각각의 유입 부재(110)들로부터 공급받은 에어들이 균일하게 혼합되도록 하는 것이 바람직하다. 만약, 에어들이 균일하게 혼합되지 않으면 후술할 검출부재(152, 154, 156)들의 검출이 정확하지 않을 수 있다.
통합 장치(124)에서 통합된 에어는 공급라인(126)을 통해 버퍼 부재(140)로 공급된다. 공급라인(126)은 하나의 라인으로 이루어지는 것이 바람직하다. 공급라 인(126)에는 흡입 부재(130)가 설치되며, 흡입 부재(130)는 통합된 에어가 통합기(124)로부터 버퍼 부재(140)로 흐르도록 유동압을 제공한다. 예컨대, 흡입 부재(130)는 펌프(pump)일 수 있다.
여기서, 본 실시예에서는 유입 부재(110)가 통합 부재(120)와 버퍼 부재(140) 사이에 배치된 것을 예로 들어 설명하였으나, 흡입 부재(130)의 위치는 다양하게 배치가 가능하다. 예컨대, 흡입 부재(130)는 통합 부재(120)에 포함되는 구성일 수 있다.
버퍼 부재(140)는 통합된 에어를 공급받아 검출부(150)의 검출부재(152, 154, 156)들 각각으로 분배시킨다. 버퍼 부재(140)는 분배부(142) 및 배기관(144)을 포함한다. 분배부(142)는 통합부재(120)의 공급라인(126)으로부터 통합된 에어를 공급받아 이를 각각의 검출 부재(152, 154, 156)로 분배시킨다. 이때, 상기 검출 부재(152, 154, 156)들 각각은 서로 상이한 오염물질을 검출하게 되며, 각각의 검출 부재(152, 154, 156)에서 요구되는 에어의 양은 서로 다를 수 있다. 그러므로, 분배부(142)는 통합된 에어를 각각의 검출 부재(152, 154, 156)에 요구되는 양만큼 분배시켜주는 것이 바람직하다.
배기관(144)은 분배부(142)가 검출부(150)로 통합된 에어를 공급하고 남은 에어를 배기시킨다. 예컨대, 배기관(144)은 분배부(142)에 설치되며, 각각의 검출 부재(152,154,156)에 요구되는 양만큼을 분배하고 남은 에어는 분배부(142)를 통해 외부로 배출된다. 이때, 배기관(144)의 배기는 자연배기 방식으로 이루어지는 것이 바람직하다. 그러나, 배기관(144)의 배기 방식은 소정의 흡입장치에 의한 강제배치 방식으로 이루어질 수 있다.
검출부(150)는 서로 상이한 오염물질을 검출하는 검출 부재(152, 154, 156)를 갖는다. 검출 부재(152)는 검출관(152a), 검출기(152b), 그리고 유량조절부재(152c)를 포함한다. 검출관(152a)은 버퍼 부재(140)로부터 검출기(152b)로 에어를 공급시킨다. 검출기(152b)는 검출관(152a)으로부터 공급받은 에어 내 오염물질을 검출한다. 예컨대, 검출기(152b)는 공급받은 에어 내 특정 오염물질의 농도를 분석한다. 그리고, 검출기(152b)가 분석한 오염물질의 농도에 대한 전기적인 검출 신호를 제어부(160)로 전송한다.
유량조절부재(152c)는 검출관(152a)에 설치되어 검출관(152a)을 통해 이동되는 에어가 검출기(152b)의 기설정된 에어의 양만큼 공급하도록 에어의 유량을 조절한다. 이는 검출기(152b)가 특정 양만큼의 에어 내 오염물질의 농도를 측정하므로, 검출기(152b)로 유입되는 에어의 양이 기설정된 에어의 양을 벗어나면 검출기(152b)의 측정이 달라질 수 있기 때문이다. 그러므로, 유량조절부재(152c)는 기설정된 에어의 양만큼을 검출기(152b)로 공급한다.
검출 부재(154, 156)은 상술한 검출 부재(152)의 구성과 같은 방식으로 구비된다. 즉, 검출 부재(154, 156)는 버퍼 부재(140)로부터 검출기(154b, 156b)로 에어를 공급하는 검출관(154a, 156a), 검출관(154a, 156a)으로부터 공급받은 에어 내 오염물질을 검출하는 검출기(154b, 156b), 그리고 검출관(154a, 156a)에 설치되어 검출관(154a, 156b)을 흐르는 에어의 유량을 조절하는 유량조절부재(154c, 156c)를 갖는다. 여기서, 각각의 검출관(152a, 154a, 156a)의 구경 및 길이, 검출기(152b, 154b, 156b)의 검출하고자 하는 오염물질, 그리고 유량조절부재(152c, 154c, 156c)의 에어의 유량 조절값 등은 서로 상이할 수 있다. 또한, 본 실시예에서는 3개의 검출 부재(152, 154, 156)를 갖는 검출부(150)를 예로 들어 설명하였으나, 검출 부재(152, 154, 156)의 개수는 다양하게 적용될 수 있다.
제어부(160)는 각각의 검출 부재(152, 154, 156)가 오염물질을 검출한 신호를 전송받아 이를 판독한다. 또한, 제어부(160)는 상기 검출 신호를 분석하여 분석 결과는 표시 부재(170)로 전송한다.
표시 부재(170)는 제어부(160)로부터 분석 결과를 전송받아 작업자가 이를 인지할 수 있도록 표시한다. 이를 위해, 표시 부재(170)는 다수의 표시장치(172a, 172b, 172c)를 포함할 수 있다. 예컨대, 표시장치(172a, 172b, 172c) 각각은 경보장치, 마이컴, 그리고 그 밖의 작업자가 상기 분석 결과를 인지할 수 있는 장치들을 포함하며, 청정실 내부 또는 외부의 다양한 위치에서 작업자가 상기 분석 결과를 인지하도록 한다.
상술한 구성을 갖는 오염물질 검출 시스템(100)은 복수의 유입 부재(110)들로 유입된 에어들을 하나로 통합시켜 검출부(150)로 이동시키므로, 유입 부재(110)와 검출부(150)의 연결을 단순화시킬 수 있다. 그리하여, 오염물질 검출 시스템(100)의 제작비용이 줄일 수 있고, 오염물질 검출 시스템(100)의 설치 시간을 줄일 수 있다.
이하, 상술한 구성을 갖는 오염물질 검출 시스템(100)의 작동 과정을 상세히 설명한다. 여기서, 상술한 오염물질 검출 시스템(100)의 구성에 대한 상세한 설명 은 생략하며, 각각의 구성에 대한 참조번호를 동일하게 표시한다.
도 2는 본 발명에 따른 오염물질 검출 방법을 도시한 순서도이다. 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 오염물질 검출 방법은 오염물질의 검출이 개시되면, 유입 부재(110)들이 공간(10) 내 각각의 구역으로부터 에어를 유입시킨다(S110). 여기서, 유입 부재(110)들이 에어를 유입시키는 방식은 흡입 부재(130)에 의한 강제 흡입일 수 있다. 또한, 상기 공간(10)은 반도체 및 평판디스플레이 제조 공정에 사용되는 청정실(clean room)의 내부 공간일 수 있다.
유입 부재(110)들에 의해 유입된 에어는 통합 부재(120)에 의해 하나로 통합된다(S120). 통합 부재(120)에 의해 통합된 에어는 버퍼 부재(140)로 공급된다. 버퍼 부재(140)는 통합 부재(120)로부터 통합된 에어를 일시적으로 저장한다. 그리고, 버퍼 부재(140)는 통합된 에어를 검출부(150)의 검출 부재(152, 154, 156)들로 분배시키고, 각각의 검출 부재(152, 154, 156)들은 공급받은 에어 내 오염물질을 검출한다(S130). 여기서, 버퍼 부재(140)는 검출부(150)로 공급하고 남은 에어를 배기관(124)을 통해 외부로 배출시켜 검출부(150)에 기설정된 에어의 분배량보다 많은 양이 공급되는 것을 방지함과 동시에 분배부(122)의 과부하를 방지한다. 그리고, 각각의 검출 부재(152, 154, 156)들은 서로 상이한 오염물질을 검출한다. 예컨대, 상기 오염물질은 파티클, 특정 양이온 및 음이온, 그리고 염삼(HCL), 암모니아(Ammonia) 입자 등을 포함하며, 상술한 오염물질들은 서로 다른 검출 부재(152, 154, 156)들에 의해 검출된다.
검출부(150)는 오염물질을 검출한 신호를 발생시켜 이를 제어부(160)로 전송 시킨다. 제어부(160)는 상기 검출 신호를 분석하여 분석 결과를 표시 부재(170)로 전송하며, 표시 부재(170)는 상기 분석 결과를 작업자가 인지하도록 표시한다(S140).
이상에서, 본 발명에 따른 오염물질 검출 시스템 및 방법을 참조한 도면에 따라 설명하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경 가능함은 물론이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 오염물질 검출 시스템은 구성을 단순화할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 오염물질 검출 시스템은 제작 비용을 줄여준다.
또한, 본 발명에 따른 오염물질 검출 시스템은 설치 시간을 단축할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 오염물질 검출 시스템은 유지 보수 비용을 절약한다.
또한, 본 발명에 따른 오염물질 검출 시스템은 작업자의 유비 보수 부담을 줄여준다.

Claims (16)

  1. 소정의 공간 내의 오염물질을 검출하는 시스템에 있어서,
    상기 공간 내부에서 에어를 유입하는 적어도 하나의 유입 부재와,
    상기 유입 부재로 유입된 상기 에어가 저장되는 버퍼 부재와,
    상기 버퍼 부재로부터 에어를 공급받아 에어 내 오염물질을 검출하는 검출 부재들을 포함하되,
    각각의 상기 검출 부재가 검출하는 오염물질의 종류는 상이한 것을 특징으로 하는 오염물질 검출 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 공간은,
    반도체 및 평판디스플레이 제조 공정에 사용되는 청정실(clean room)의 내부 공간인 것을 특징으로 하는 오염물질 검출 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 유입 부재는,
    복수개인 것을 특징으로 하는 오염물질 검출 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 오염물질 검출 시스템은,
    복수의 상기 유입 부재들로부터 유입된 각각의 상기 에어들을 하나로 통합시켜주고, 통합된 에어를 상기 버퍼 부재로 공급하는 통합 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오염물질 검출 시스템.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 버퍼 부재는,
    상기 검출 부재들로 공급되고 남은 에어가 배출되는 배기관을 갖는 것을 특징으로 하는 오염물질 검출 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 배기관의 배기는,
    자연배기로 이루어지는 것을 특징으로 하는 오염물질 검출 시스템.
  7. 제 3 항에 있어서,
    각각의 상기 검출 부재는,
    상기 버퍼 부재로부터 상기 에어를 분배받는 검출라인과,
    상기 검출라인에 설치되어 그 내부를 흐르는 에어 내 오염물질을 측정하는 검출기들을 포함하는 것을 특징으로 하는 오염물질 검출 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    각각의 상기 검출 부재는,
    상기 검출라인에 설치되어 상기 버퍼 부재로부터 상기 검출라인으로 공급되는 상기 에어의 유량을 조절하는 유량조절부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오염물질 검출 시스템.
  9. 제 3 항에 있어서,
    상기 오염물질 검출 시스템은,
    상기 공간 내 에어를 상기 유입 부재로 강제 흡입하는 흡입 부재를 더 포함하는 특징으로 하는 오염물질 검출 시스템.
  10. 제 3 항에 있어서,
    상기 오염물질 검출 시스템은,
    상기 검출 부재들로부터 검출신호를 전송받고, 이를 분석하는 제어부와,
    상기 제어부의 상기 검출 신호의 분석결과를 작업자가 인지하도록 표시하는 표시 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오염물질 검출 시스템.
  11. 소정의 공간 내 오염물질을 검출하는 방법에 있어서,
    (a) 상기 공간 내부에서 에어를 유입하는 단계와,
    (b) 상기 에어를 버퍼 부재에 저장하는 단계와,
    (c) 상기 에어를 복수의 검출 부재들로 분배하는 단계와,
    (d) 상기 검출 부재가 분배된 상기 에어 내 오염물질을 검출하는 단계를 포함하되,
    상기 (d)단계는,
    상기 검출 부재들이 서로 상이한 오염물질을 검출하는 것을 특징으로 하는 오염물질 검출 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 공간은,
    반도체 및 평판디스플레이 제조 공정에 사용되는 청정실(clean room)의 내부 공간인 것을 특징으로 하는 오염물질 검출 방법.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 (a)단계는,
    상기 공간 내 서로 다른 복수의 영역에서 에어를 유입하고,
    각각의 상기 에어들을 상기 버퍼 부재로 공급하기 전에 상기 에어들을 하나로 통합시키는 것을 특징으로 하는 오염물질 검출 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 오염물질 검출 방법은,
    상기 (b)단계와 상기 (c)단계 사이에, 상기 검출 부재들로 공급되고 남은 에어를 배기시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오염물질 검출 방법.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 (c)단계는,
    상기 에어들의 유량을 조절시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오염물질 검출 방법.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 (a) 단계는,
    소정의 흡입 부재에 의한 강제흡입으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 오염물질 검출 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101047483B1 (ko) * 2009-09-09 2011-07-07 공석범 공기 흡입형 복합 독성가스 감지장치
KR101658507B1 (ko) * 2015-04-20 2016-09-21 주식회사 네오탑 가스 샘플러 및 이를 포함하는 가스 누설 감지 장치
US20220392811A1 (en) * 2021-06-07 2022-12-08 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. Method and system for processing wafer

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