KR20190039842A

KR20190039842A - 가스 샘플러 및 이를 이용하는 감지 장치

Info

Publication number: KR20190039842A
Application number: KR1020170128552A
Authority: KR
Inventors: 박승모
Original assignee: 박승모
Priority date: 2017-10-06
Filing date: 2017-10-06
Publication date: 2019-04-16

Abstract

가스 누설이 발생할 수 있는 장소에 설치되는 자동 검출 장치 및 관리 시스템에 적용할 수 있는 가스 샘플러 및 이를 이용하는 감지 장치가 개시된다. 가스 샘플러는, 복수의 장소에서 검지 대상 가스를 샘플링 장치에 내부에 설치되어 있는 펌프로 흡입하며 흡입된 샘플 가스는 밸브에 의하여 단독 또는 혼합이 동작이 되며 샘플길이에 대한 영향을 최소화하기 위한 바이패스 자동유량조절기 설치하고 측정 모듈 전단에 삼방향 밸브와 유입 유량조절기 설치한 것과, 복수개의 밸브에 의한 흡입된 공기의 혼합조에서 유량과 압력에 대한 영향을 최소화하기 위한 자동유량조절기 설치하고 진공펌프와 연결된 것과, 수동, 자동 제어에 의하여 감지기의 전단에 설치된 삼방향 밸브에 의하여 측정 모듈에 교정가스 공급이 가능하며, 측정모듈 전단에 유입 유량계를 설치하여 측정 모듈의 상태를 진단한다.

Description

가스 샘플러 및 이를 이용하는 감지 장치{Gas Sampler and Gas detection device using the same}

본 발명은 가스 샘플러 및 이를 이용하는 감지 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게 가스 누설이 발생할 수 있는 장소에 설치되는 자동 검출 장치 및 관리 시스템에 적용할 수 있는 가스 샘플러 및 이를 이용하는 감지 장치에 관한 것이다.

일반적으로 대형 공장에서는 여러 설비가 상호 연결되어 있으며 특히 설비의 노후화, 작업자의 실수 등으로 누수나 누설이 발생할 수 있다. 그 경우, 누수나 누설 부위를 찾아내어 신속하게 누수나 누설 부위를 수리하고 누수나 누설로 인한 피해를 줄여야 한다. 하지만, 반도체 공정 등에서는 사람에게 유해한 화학약품을 많이 사용하여 적은 양의 누출로도 사람에게 치명적인 피해를 입히는 일이 빈번하다.

최근 석유화학단지, 반도체 공정 등에서 시설의 노후화나 작업자의 실수 등에 의한 약품 누출로 인하여 대형 사고로 이어질 우려가 많다. 그 경우, 시설물 손상, 복구비용 등의 막대한 손실이 있게 되지만, 종래의 누수나 누설 발생시에 감시자가 확인하기 전까지는 누설 발생 사실을 알기가 어려운 실정이었다.

더욱이, 반도체 공정 라인이나 대단위 화학 공업 단지, 발전소 등의 경우, 누설에 의한 심각한 피해가 예상되는 중요시설이지만, 이러한 시설 대부분에서도 재정적 이유, 적절한 방안 부재 등의 여러 가지 이유로 아직까지 일정한 장소에 측정 장비를 설치하고 관리 시스템을 적용하고 있지 못한 실정이다.

즉, 종래의 측정 장비는 1대의 측정 장비가 한 개의 장소만 측정 가능한 구조로 관리 시스템이 필요하지 않은 구조이 있었다.

이와 같이, 반도체 공정 등에는 사람에게 생명을 위협할 수 있는 약품이 많이 사용되고 있기 때문에 공정을 전체 장소에 대하여 체계적으로 관리하고 누설이 있을 경우 그 피해를 최소화할 수 있는 방안이 절실히 요구되고 있는 실정이다.

등록특허공보 제10-1658507호(2016.09.12.) 등록특허공보 제10-1782915호(2017.09.22.)

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 샘플링제어서버, 샘플링장치, 측정장비 등의 프로그램을 통합하여 효율적으로 관리할 수 있도록 하는 가스 샘플러 및 이를 포함하는 감지 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은, 반도체 공장, 화학공장 등의 경우 인간에게 유해한 화학약품을 사용할 수밖에 없는 실정에서 여러 장소를 동시에 관리하면서 누설이 발생할 경우 누설 장소를 빠른 시간에 찾아서 인적 물적 피해를 최소화시킬 수 있는 가스 샘플러 및 이를 포함하는 감지 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 기존 기술에서는 흡입 라인은 한개 할 경우와 다수를 할경우는 기존 유량계의 일정 유량 국한되어 설정됨므로 측정모듈에 흡인 펌프의 압력차에 의한 영향이 발생되어 측정 모듈에 영향을 미치는 경우가 발생할 수 있어 본 발명을 측정 모듈에 영향을 미치는 것을 최소화 시킬 수 있는 샘플러를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 전자제품 제조 라인에서 여러 공정의 진행되고 있는 제조 라인에서 여러 장소를 동시에서 가스를 샘플링하여 측정하고 있다가 일부분에서 누설 발생이 되면 검출되어 측정 장비에서 측정 농도가 설정 값보다 높게 되면 자동적으로 누설 장소를 자동 확인할 수 있는 가스 샘플러 및 이를 포함하는 감지 장치를 제공하는데 있다.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 가스 샘플러는, 복수의 장소에서 검지 대상 가스를 샘플링 장치에 내부에 설치되어 있는 펌프로 흡입하며 흡입된 샘플 가스는 밸브에 의하여 단독 또는 혼합이 동작이 되며 샘플길이에 대한 영향을 최소화하기 위한 바이패스 자동유량조절기 설치하고 측정 모듈 전단에 삼방향 밸브와 유입 유량조절기 설치한 것과, 복수개의 밸브에 의한 흡입된 공기의 혼합조에서 유량과 압력에 대한 영향을 최소화하기 위한 자동유량조절기 설치하고 진공펌프와 연결된 것과, 수동, 자동 제어에 의하여 감지기의 전단에 설치된 삼방향 밸브에 의하여 측정 모듈에 교정가스 공급도 가능하도록 하며, 측정모듈 전단에 유입 유량계를 설치하여 측정 모듈의 상태를 진단할 수 있는 특징을 가진다.

일실시예에서, 상기 공기 유입관과 결합되어 복수개의 유입관과 연결된 자동유량조절장치를 포함할 수 있다.

일실시예에서, 감지기 또는 측정장치의 전단에 삼방향 밸브를 설치하여 삼방향 밸브를 교정가스등에 공급으로 감지기의 성능을 진단할 수 있다.

일실시예에서, 감지기의 전단에 유량제어기를 설치하여 감지기의 유량을 표시할 수 있다.

일실시예에서, 감지기의 농도에 따라 자동으로 삼방향 밸브의 동작으로 감지기의 정상 유무 확인할 수 있다.

일실시예에서, 상기 혼합관의 유입되는 공기의 량을 조절하기 위하여 자동유량 조절기 또는 동등 이상의 제어를 위한 구성부를 추가하여 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 감지장치는 샘플러를 통해 유입된 샘플공기가 감지장치에 공급되며 유입된 공기의 농도를 알 수 있는 구조이다. 메인서버에서 샘플링제어장치를 통하여 프로그램에 의한 자동 제어로 샘플링장치를 제어하여 자동으로 누설 장소를 검출하는 장치로 수동이나 자동으로 제어 가능한 구조이며 또는 샘플링제어서버는 측정 장비 상태를 실시간으로 메인서버로 전송함으로 동작 상태를 중앙 제어실과 관리자에게 SMS 와 E-mail로 원방 또는 양방으로 전송할 수 있다.

본 발명의 가스 샘플러는 공정의 여러 장소에서 샘플링 공기를 포집하는 샘플링장치와 측정장비를 모듈로 구성된다. 샘플링 장치의 경우, 여러 장소의 샘플링 공기를 일정한 장소로 모으기 위하여 샘플링 위치로부터의 거리가 다르므로 거리에 따른 바이패스의 자동유량기를 설치하고 일정한 유량을 끌어들이는 샘플 펌프를 설치한다. 바이패스의 유량계로 샘플링 유량을 일정하게 흘려보냄으로써 흡착성이 강한 약품(암모니아, 염화수소, 프로화수소 등)에 대하여 밸브 후단에는 유량계를 설치하지 않고 응답속도를 최대한 높을 수 있다. 감지기 전단에 3방향(3-way) 밸브를 설치하여 감지기의 성능 상태를 진단 가능하며 그에 의해 기존 감지기에서의 성능 상태 진단의 어려움으로 인해 발생할 수 있는 피해를 최소화할 수 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 대형공장인 화학 공장, 반도체 공장 등 특히 인간에게 유해한 약품을 사용하고 있는 장소의 공정 설비를 효율적으로 관리할 수 있을 뿐만 아니라 그에 따른 불필요한 낭비를 줄이고 운영비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 여러 장소를 동시에 샘플링하고 샘플링 위치를 찾아서 알려주는 장치를 사용함으로써, 여러 장소를 모니터링하는 효과와 누설 위치를 가장 빠른 방법으로 찾아낼 수 있고, 그에 의해 화학 공장이나 반도체 공정에서 안전 사고 예방, 비용 절감 등에 크게 기여할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 반도체 공정 등 대단위 공정 설비의 여러 장소의 가스 분위기를 실시간 샘플링하여 관리함으로써 공정 설비의 여러 장소를 효율적으로 관리할 수 있을 뿐만 아니라 설비의 노후화 등으로 발생할 수 있는 파손이나 누설로 인하여 대형 사고를 미연에 방지하거나 안전사고를 최소화할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 대형 공장에서 여러 장소를 동시에 관리와 또한 공정의 노후화 등으로 발생한 누설위치를 찾아가는 장치를 제공할 수 있다. 특히, 반도체 공정과 같이 위험 약품을 취급하는 대단위 공정에서 공정 설비의 여러 장소에서의 가스 누출을 효율적으로 관리할 수 있는 누설발생장소 자동검출장치를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스샘플러의 개략적인 구성도이다.
도 2은 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스샘플러와 가스 장치의 개략적인 구성도이다.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 가스 샘플러 및 이를 이용하는 감지 장치를 첨부된 도면을 통하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러의 개략적인 구성도이다.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 가스 샘플러(100)는, 복수 개의 공기 유입관(120)과 유입 솔레노이드 밸브(127)와 혼합관(130)과 자동유량조절기(135)와 바이패스관(140)과 바이패스 자동유량 조절기(145)와 삼방향밸브(174)와 유입 유량조절기(125) 공기 공급관(150) 및 진공 펌프(160)를 포함하여 형성된다. 또한, 상기 가스 샘플러(100) 는 복수 개의 공기 포집관(110) 및 청소용 공기 공급관(170)을 더 포함하여 형성될 수 있다.

상기 가스 샘플러(100)는 공기 유입관(120)과 유입 솔레노이드 밸브(127)와 메인혼합관(130)과 자동유량조절기(135)와 바이패스관(140)과 바이패스 자동유량 조절기(145)와 삼방향밸브(174)와 유량 유량계(125) 공기 공급관(150) 및 진공 펌프(160)구성하며, 공기 포집관(110)이 가스 샘플러 본체(100a)로부터 외부로 연장되어 형성된다.

상기 가스 샘플러(100)는 가스 누설 여부를 감지하는 복수 개의 위치(이하 '감지 위치'라 한다)에서 동시에 포집되는 공기를 측정 모듈(20)로 공급한다.

이때, 상기 가스 샘플러(100)는 각 감지 위치에서 포집되는 공기를 균일한 유량으로 측정 모듈(20)로 공급하여 삼방향밸브(174)와 유입 유량조절기(125)를 설치하여 감기의 공급되는 유량을 감시 또는 조절할 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 누설 감지 장치(10)는 가스 샘플러(100) 및 측정 모듈(20)을 포함하여 형성된다. 상기 측정 모듈(20)은 공기 포집관(110)의 개수가 많은 경우에 2대 이상으로 형성될 수 있다. 상기 가스측정 모듈(20)은 가스 성분의 성분 분석에 사용되는 일반적인 분석기로 형성된다.

또한, 상기 가스 누설 측정 장치(10)는 별도의 제어부(미도시)를 구비하여 가스 샘플러(100)와 측정 모듈(20)의 작동을 제어할 수 있다

상기 측정 모듈(20)은 가스 샘플러(100)로부터 공급되는 공기를 분석하여 감지 대상 가스의 농도를 산출하고, 산출된 농도로부터 감지 대상 가스의 누설 여부를 확인한다.

따라서, 상기 측정 모듈(20)은 감지 대상 가스의 누설이 있는 경우에 신속하게 가스가 누설된 감지 위치를 확인할 수 있도록 일반적인 장치이나 삼방향밸브(174)와 유입 유량계 (125)의 설치함으로 감지기의 정확한 성능 상태를 보다 파악할 수 있어서 감지 농도의 신뢰성을 높일 수 있다.

즉, 본 실시예에 따른 가스 샘플러는 혼합관에 유입되는 흡입 공기량과 측정모듈에 공급하는 흡인 유량을 조절하기 위하여 혼합관과 흡인펌프 사이에 유량조절기나 밸브 등으로 유량제어가 가능한 구조를 포함하는 것을 특징으로 한다. 혼합관(130)과 흡인펌프(160) 사이에는 유량조절기(135)나 밸브를 설치하여 유량을 제어할 수 있다.

또한, 상기 가스 누설 감지 장치(10)는 측정 모듈(20)로부터 산출된 농도로부터 감지 대상 가스의 누설 정도를 파악하고 필요한 경우에 연결된 별도의 모니터(관리자의 컴퓨터 모니터)에 알람 신호 와 SMS등을 생성할 수 있다. 또한, 상기 가스 누설 감지 장치(10)는 감지 대상 가스의 누설정도에 따라 가스 누설에 대한 대응 방법을 가이드하여 진행되는 공정의 중단 여부 및 인원 대피 명령등 필요한 조치를 취하는데 도움을 줄 수 있다.

이하에서, 공기는 감지 대상 가스가 누설되어 혼합된 공기를 포함하는 개념이며, 이 경우에 가스와 같은 개념으로 사용될 수 있다. 여기서 감지 대상 가스는 암모니아, 염화 수소 또는 프로화수소와 같이 흡착성이 강한 성분일 수 있다.

상기 공기 포집관(110)은 복수 개의 공기 포집관(110)으로 구성되며, 2개, 4개, 8개 또는 다수개 등으로 형성될 수 있다. 상기 공기 포집관(110)은 감지 위치의 개소에 대응되는 개수로 형성될 수 있다. 상기 공기 포집관(110)은 복수 개가 가스 샘플러 본체들(100a, 100b, 100c)이 설치되는 위치로부터 각각 감지 위치로 연장되어 형성된다.

상기 공기 포집관(110)은 가스 샘플러 본체(100a)로부터 감지 위치까지의 거리에 따라 어느 하나 또는 전체가 서로 다른 길이로 형성될 수 있다. 또한, 상기 공기포집관(110)은 감지 위치까지의 경로에 따라 꺽이는 회수 또는 곡률이 다를 수 있다.

따라서, 상기 공기 포집관(110)은 길이, 꺽이는 회수 또는 곡률에 따라 내부를 흐르는 공기의 마찰력이 다르게 되어 포집하는 공기의 유량이 다를 수 있다.

상기 공기 포집관(110)은 복수 개로 형성되는 경우에 적어도 2개의 그룹으로 분리되어 감지 위치의 가스 누설을 감지하도록 형성될 수 있다.

상기 공기 포집관(110)이 그룹으로 분리되어 형성되는 경우에 가스 누설이 진행되는 감지 위치를보다 신속하게 감지할 있다. 이에 대하여는 이하에서 보다 구체적으로 설명한다.

상기 공기 유입관(120)은 일단이 공기 포집관(110)과 연결되며, 타단이 혼합관(130) 및 공기 공급관(150)과 연결된다. 상기 공기 유입관(120)은 혼합관(130)을 통하고 자동유량조절기(135) 후단에서 펌프(160)와 직렬로 연결된다. 상기 공기 유입관(120)은 적어도 공기 포집관(110)의 개수에 대응되는 개수로 형성된다. 상기 공기 유입관(120)은 개수가 공기 포집관(110)보다 많은 경우에 일부가 공기 포집관(110)과 연결되지 않고 유입 솔레노이드 밸브(127)에 의하여 차단될 수 있다. 상기 공기 유입관(120)은 공기 포집관(110)으로부터 유입되는 공기를 혼합관(130) 삼방향밸브(174)와 유입 유량조절기(125)에서 공기 공급관(150)으로 공급한다.

상기 공기 유입관(120)은 가스 샘플러(100) 내부에서 길이를 최소화하여 공기 유입관(120)의 길이에 따라 측정모듈(20)로 공급되는 공기의 공급량이 변화되는 것을 최소화한다.

또한, 상기 공기 유입관(120)은 길이를 최소화하여 진공펌프(160)의 진동에 의한 영향을 최소화한다.

또한, 상기 공기 유입관(120)은 포집되어 유입되는 공기를 상대적으로 짧은 시간내에 측정 모듈(20)로 공급하여 가스 누설 여부의 감지에 소요되는 시간을 단축한다.

상기 공기 유입관(120)은 바람직하게는 공기 포집관(110)과 동일하거나 큰 직경을 가지도록 형성된다. 상기 공기 유입관(120)의 직경이 공기 포집관(110)보다 작은 경우에 공기 포집관(110)에 포집된 공기가 원활하게 공기 유입관(120)으로 유입되지 않을 수 있다.

상기 삼방향밸브(174)와 유입 유량조절기(125)(125)는 혼합관(130)과 측정모듈(20)의 중간에 결합되며, 바람직하게는 공기 공급관(150)과 연결되는 타단에 인접한 위치에 결합되다. 상기 유입 유량조절기(125)는 측정모 듈(20)에 공급하는 공기의 유량을 표시한다. 즉 한편, 상기 유입 유량조절기(125) 측정 모듈(20) 공급하는 흐르는 공기의 유량을 조절하는 조절 기능을 구비하여, 측정모듈(20)로 공급되는 공기의 유량을 조절하도록 형성될 수 있다. 상기 유입 유량조절기(125) 가스의 유량을 표시 또는 제어하는 일반적인 유량계로 형성될 수 있다.

한편, 유입 유량조절기(125)는 설치는 메모리 임팩트(memory impact)를 감소시켜기 위해 탈부착 가능한 구조로 가능하고 감지 대상 가스의 누설 농도 산출이 효율적으로 진행되도록 할 수 있다.

상기 공기 공급관(150)은 적어도 1개로 형성되며, 복수 개의 공기 유입관(120)과 동시에 연결된다. 이때, 상기 공기 공급관(150)은 일단이 복수 개의 공기 유입관(120)에 연결되고 타단이 측정모듈(20)에 연결된다.

상기 공기 공급관(150)은 측정모듈(20)의 개수에 대응되는 개수로 형성된다.

상기 공기공급관(150)은 복수 개의 공기 유입관(120)으로부터 유입되는 공기를 측정모듈(20)로 공급한다. 따라서, 상기 공기 공급관(150)은 복수 개의 공기 유입관(120)으로부터 유입되는 공기가 자연스럽게 혼합되면서 측정모듈(20)로 공급되도록 한다.

상기 진공 펌프(160)는 혼합관(130)의 타단과 바이패스관(140)의 타단과 연결된다.

상기 진공 펌프(160)는 공기 포집관(110)으로부터 공기를 포집하는데 필요한 흡인력을 제공한다.

상기 진공 펌프(160)는 혼합관(130) 및 바이패스관(140)에 동시에 연결되어 있으므로 혼합관(130)과 바이패스관(140)을 통하여 공기 포집관(110)에 흡인력을 제공한다.

상기 진공 펌프(160)는 공기 포집관(110)의 개수와가스 측정 모듈(20)에서 분석에 필요로 하는 공기의 유량을 고려하여 적정한 흡인력을 제공하도록 형성된다.

또한, 상기 진공 펌프(160)는 공기 포집관(110)의 길이가 증가되거나 공기 포집관(110)의 직경에 감소하는 경우에 공기의 흐름에 따른 마찰력 증가로 인하여 증가되는 흡인력을 제공하도록 형성될 수 있다.상기 청소용 공기 공급관(170)은 일단이 개방되고 타단이 혼합관(130)에 연결된다. 상기 청소용 공기 공급관(170)은 개방된 일단에 별도의 공기 공급 모듈(미도시)이나 질소 가스 공급 모듈(미도시)이 연결될 수 있다. 상기 청소용 공기공급관(170)은 혼합관(130)에 연결된다. 상기 청소용 공기 공급관(170)은 중간에 차폐용 솔레노이드 밸브(173)가 결합되며, 필요한 경우에만 청소용 공기를 공급한다.

다음은 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러(100)의 작동 방법에 대하여 설명한다. 이하에서는 도 1에서 도시된 바와 같이 공기 유입관(120)이 4개로 형성 되는 경우를 기준으로 설명한다.

먼저, 상기 공기 포집관(110)의 일단을 감지 위치에 위치시키고 타단을 공기유입관(120)에 결합시킨다. 상기에서 설명한 바와 같이, 공기 포집관(110)은 감지대상 가스의 누설을 감지하는 감지 위치와 가스 샘플러(100)의 본체와의 거리에 따라 서로 다른 길이로 형성된다. 상기 진공 펌프(160)를 가동하고 각 공기 유입관(120)에 결합되어 있는 유입 솔레노이드 밸브(127)를 열어 공기 포집관(110)을통하여 공기가 포집되어 공기 유입관(120)으로 유입되도록 한다. 상기 공기 유입관(120)으로 유입되는 공기는 일부가 바이패스 자동유량 조절계(145)를 통하여 진공 펌프(160)로 흐르며, 일부가 자동유량조절기(135)를 통하여 진공 펌프(160)로 흐른다. 상기 자동 유량조절기(135)는 진공 펌프(160)를 통하여 흐르는 전체 공기의 유량을 표시한다. 이때, 상기 바이패스 자동유량 조절계(145)를 흐르는 공기의 유량이 표시 및 제어할 수 있다.

다음으로, 상기 유입 유량조절기(125)를 통과하는 기준 공기 유량을 설정한다.

상기 기준 공기 유량은 측정 모듈(20)이 필요로 유량을 반영하여 결정한다.

다음은 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 샘플러를 설명한다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 샘플러(200)는, 도 2를 참조하면, 복수개의 공기 유입관(120)과 유입 솔레노이드 밸브(127)와 혼합관(130)과 자동 유량조절기(135)와 바이패스관(140)과 바이패스 자동유량 조절기(145)와 공기 공급관(150)와 진공 펌프(160)와 삼방향밸브(174)와 유입 유량조절기(125) 포함하여 형성된다.

발명의 다른 실시예에 따른 가스 샘플러(200)는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러(100)와 다른 구성들은 동일 또는 유사하게 형성된다.

따라서, 이하에서는 상기 가스 샘플러(200)에 대하여 삼방향밸브(274)와 유입 유량계관(283) 및 유입 유량조절기(125)를 중심으로 설명한다. 또한, 상기 가스 샘플러(200)에서 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 샘플러(100)의 구성과 동일 유사한 구성에 대하여는 동일한 도면 부호를 사용하며 차이가 있는 점을 중심으로 설명 한다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 샘플러(200)는 적어도 2개의 샘플러 유닛(200a, 200b, 200c)으로 분리되어 형성된다. 예를 들면, 상기 가스 샘플러(200)는, 도2를 참조하면, 제 1 샘플러 유닛(200a)과 제 2 샘플러 유닛(200b)과 샘플러 유닛(200c)으로 형성될 수 있다. 상기 샘플러 유닛(200a, 200b, 200c)은 1 대의 진공 펌프(160)와 1개의 혼합관(130)과 자동유량조절기(135)와 복수 개의 공기 포집관(110)과 공기 유입관(120)과 바이패스관(140)과 바이패스 유량 조절기(145)와 삼방향밸브(174) 유입 유량계관(283) 유입 유량조절기(125)가 연결되어 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 샘플러 유닛(200a, 200b, 200c)은 공기 포집관(110)과 공기 유입관(120) 및 바이패스관(140)이 2개~ 10개로 형성될 수 있다. 유입유량계(125)상기 후단은 샘플러 유닛(200a, 200b,200c)의 함께 공기 공급관(150)에 연결된다. 상기 샘플러 유닛(200a, 200b, 200c)은 서로 독립적으로 또는 혼합적으로 공기를 포집하여 1 개의 공기 공급관(150)을 통하여 측정 모듈(20)로 공급한다. 즉, 상기 샘플러 유닛(200a, 200b, 200c)은 진공 펌프(160)의 작동에 의하여 복수개의 공기 포집관(110)으로부터 공기를 포집할 수 있도록 형성될 수 있다. 공기 공급관(150)을 통하여 가스 측정 모듈(20)로 공급한다. 상기 가스 샘플러(200)는 감지 위치의 개소에 따라 샘플러 유닛(200a, 200b, 200c)의 개수 및 공기 포집관(110)의 개수가 달리 형성될 수 있다.

따라서, 상기 가스 샘플러(200)는 다수 개소 이상의 감지 위치에 대하여 가스누설 여부를 측정하는데 사용되는 사용될 수 있다. 상기 가스 샘플러(200)는 감지 위치의 개소가 많은 경우에 보다 신속하게 가스 누설 위치를 확인할 수 있다.

상기 가스 샘플러(200)는 각각의 삼방향 밸브(174)와 유입유량조절기(125)가 원격 제어가 가능하도록 형성되며, 프로그래밍에 의하여 제어되도록 형성될 수 있다. 상기 가스 샘플러(200)는 제 1 샘플러 유닛(200a)과 제 2 샘플러 유닛(200b)과 제 3 샘플러 유닛(200c)을 통하여 측정 모듈(20)로 공기를 공급하며, 가스 누설이 감지되면 제 1 샘플러 유닛(200a)과 제 2 샘플러 유닛(200b)과 제 3 샘플러 유닛(200c)의 유입 솔레노이브 밸브(127)를 원격으로 제어하여 순차적으로 열고 닫으면서 가스 누설이 있는 감지 위치를 자동으로 찾도록 할 수 있다.

상기 가스 샘플러(200)는 각각의 유입 솔레노이브 밸브(127)의 제어에 의하여 원하는 수량만큼 또는 순차적으로 제 1 샘플러 유닛(200a)과 제 2 샘플러 유닛(200b)과 제 3 샘플러 유닛(200c)의 구분없이 유입 솔레노이브 밸브(127)의 제어 통하여 측정 모듈(20)로 공기를 공급할 수 있다.

상기 공기 유입관(120)은 타단이 유입 솔레노이브 밸브(127)에 연결된다. 상기 공기 유입관(120)은 유입되는 바이패스 자동유량조절기(145)로 공기를 공급한다.

상기 유입되는 바이패스 자동유량조절기(145)의 타단이 샘플펌프(160)에 연결된다.

상기 혼합관(130)은 일단이 삼방향밸브(174)에 연결된다. 상기 혼합관(130)은 삼방향밸브(174)에 공급되는 공기를 흡입한다.

상기 혼합관(130)은 일단이 자동유량조절기(125)에 연결된다.

상기 혼합관(130)은 자동유량조절기(135)에 공급되는 공기를 흡입하고 타단은 샘플펌프(160)에 연결되어 흡입된 공기의 량을 조절하도록 형성된다.

상기 자동유량조절기(125)는 삼방향밸브(174)으로부터 유입되는 공기를 측정 모듈(20)로 공급한다.

따라서, 상기 가스 샘플러(200)는 다수의 공기 포집관(110)에 대하여 순차적으로 가스 누설 여부를 확인하는 경우보다 신속하게 가스 누설이 있는 감지 위치를 확인할 수 있고 측정 모쥴(20)의 정상 유무도 확인할 수 있다.

본 발명의 가스 샘플러는 감지 대상 가스의 누설 여부를 감지하는 감지 위치로 연장되어 공기를 포집하는 복수 개의 공기 포집관과, 복수 개로 형성되어 일단이 각각 상기 공기 포집관과 연결되어 상기 공기 포집관으로부터 공기가 유입되는 공기 유입관과, 상기 공기 유입관에 결합되는 유입 솔레노이드 밸브와, 복수 개의 상기 공기 유입관과 연결되어 상기 공기 유입관으로부터 공급되는 공기가 흐르는 혼합관과, 상기 혼합관에 결합되어 상기 혼합관을 흐르는 공기의 유량을 제어하는 바이패스 자동유량조절기와, 상기 혼합관과 연결되어 상기 공기 혼합관에서 공기를 포집하는데 필요한 흡인력을 제공하는 진공 펌프와, 일단이 상기 복수 개의 상기 공기 유입관과 연결되어 삼방향 밸브와 자동유량조절기, 측정 모듈로 공기를 공급하는 공기 공급관, 상기 공기 유입관의 개수에 대응되는 개수로 형성되며, 일단이 각각 상기 공기 유입관에 연결되며, 타단이 상기 진공 펌프에 연결되는 바이패스 자동조절기 및 상기 혼합관과 연결되어 있는 자동유량조절기 결합되어 상기 혼합관의 흐르는 공기의 유량을 제어하는 자동으로 조절하는 것을 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한 삼방향 밸브를 설치하여 삼방향밸브로 교정가스등을 공급하여 측정모듈의 성능을 진단할 수 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 공기의 유입관에 유입되는 공기는 유입 솔레노이드 밸브에 의하여 유입 솔레노이드 밸브 수량 범위 내에서 어떠한 조합도 가능한 것을 특징으로 한다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

10 : 가스누설 감지 자징 20 : 측정 모듈
30 : 제어콘트롤 모듈
100, 100a, 200b, 200c : 가스 샘플러
110 : 공기 샘플링관 120 : 공기 유입관
125 : 유입 유량조절기 127 : 유입 솔레노이드 밸브
130 : 혼합관 135 : 자동유량조절기
140 : 바이패스관 145 : 바이패스 자동유량조절기
150 : 공기 공급관 160 : 진공 펌프
170 : 제로 공급관 174 : 삼방향밸브
175 : 교정가스 공급관 176 : 삼방향밸브 공기 공급관
180 : 교정가스 공급 포트

Claims

복수의 장소에서 검지 대상 가스를 샘플링 장치에 내부에 설치되어 있는 펌프로 흡입하며 흡입된 샘플 가스는 밸브에 의하여 단독 또는 혼합이 동작이 되며 샘플길이에 대한 영향을 최소화하기 위한 바이패스 자동유량조절기 설치하고 측정 모듈 전단에 삼방향 밸브와 유입 유량조절기 설치한 것과,
복수개의 밸브에 의한 흡입된 공기의 혼합조에서 측정 모듈에 전달하는 유량과 압력에 대한 영향을 최소화하기 위한 자동유량조절기 설치하고 진공펌프와 연결된 것과,
수동, 자동 제어에 의하여 측정 모듈의 전단에 설치된 삼방향 밸브에 의하여 측정 모듈에 교정가스 공급도 가능하도록 하며, 측정모듈 전단에 유입 유량계를 설치하여 측정 모듈의 상태를 진단할 수 있는 특징을 가진 가스 샘플러.
제 1항에 있어서
상기 공기 유입관과 결합되어 복수개의 유입관과 연결된 자동유량조절장치를 한개 또는 유입관별 밸브 밸브 전단에 설치 가능한 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 샘플러.
제 1항에 있어서
측정 모듈의 전단에 삼방향 밸브를 설치하여 삼방향 밸브를 교정가스 공급으로 측정 모듈의 성능 상태를 진단 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 샘플러.
제 1항에 있어서
측정 모듈의 전단에 유량제어기를 설치하여 측정 모듈로 흐르는 유량을 표시하는 것을 특징으로 하는 가스 샘플러.
제 1항에 있어서
측정 모듈의 농도에 따라 자동으로 삼방향 밸브의 동작으로 측정 모듈의 정상 유무를 확인가능하는 것을 특징으로 하는 가스 샘플러.
제 1항에 있어서
상기 혼합관의 유입되는 공기의 유량을 조절하기 위하여 자동유량 조절기와 동등 이상의 제어를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 샘플러.