KR20120063238A - 입자 측정 장치 - Google Patents

입자 측정 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20120063238A
KR20120063238A KR1020100124332A KR20100124332A KR20120063238A KR 20120063238 A KR20120063238 A KR 20120063238A KR 1020100124332 A KR1020100124332 A KR 1020100124332A KR 20100124332 A KR20100124332 A KR 20100124332A KR 20120063238 A KR20120063238 A KR 20120063238A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pipe
gas
branch pipe
particle measuring
diameter
Prior art date
Application number
KR1020100124332A
Other languages
English (en)
Inventor
유광준
박병권
목진호
안성준
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020100124332A priority Critical patent/KR20120063238A/ko
Publication of KR20120063238A publication Critical patent/KR20120063238A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
    • G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/10—Investigating individual particles
    • G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/10—Investigating individual particles
    • G01N2015/1029—Particle size

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

본 발명은 가스 배관에 연결되되 상기 가스 배관과 90도 미만의 각도를 가지는 분기관; 분기관에 연결되어 분기관에 유동하는 가스 내의 입자를 측정하는 입자 측정 챔버를 포함한다.
본 발명은 가스 배관에서 분기된 분기관의 각도를 90 미만으로 하고 이 분기관에 유입된 가스 내의 입자를 측정함으로써, 가스 내 입자 측정 시 유속의 영향 및 관성의 영향을 줄일 수 있어 가스 배관에서 입자의 손실을 최소화할 수 있고, 이로 인해 유동 가스 내 입자의 측정 정확도를 높일 수 있다. 또한 입자 측정 장치를 저렴한 가격에 구입할 수 있어 다양한 산업 시설에 보급을 확대할 수 있다.

Description

입자 측정 장치{Particle measuring apparatus}
본 발명은 가스 배관 내 입자를 측정하기 위한 입자 측정 장치에 관한 것이다.
의학, 산업의 연구가 이루어지는 공간, LCD나 반도체 제조가 이루어지는 공간에 이물질 등의 입자가 존재하면 입자에 의해 연구 결과에 영향을 미치게 되고, LCD나 반도체의 불량이 발생하게 된다. 이에 따라 의학, 산업의 연구와 LCD나 반도체 제조가 이루어지는 공간의 환경에서 공기의 청정도는 매우 중요시되고 있다.
그리고 의학, 산업의 연구와 LCD나 반도체 제조 공간에서는 에어 나이프 등을 이용하여 물기, 입자를 제거하거나, 세정, 건조, 냉각 등을 수행한다. 이 때 에어 나이프 등에 공급되는 가스에 입자가 존재하면 입자에 의해 연구 결과에 영향을 미치게 되고, LCD나 반도체의 불량이 발생하게 된다.
예를 들어 LCD나 반도체 제조 시 기판은 습식세정 및 건조를 반복적으로 수행하는데, LCD나 반도체 기판의 건조 시에는 에어 나이프(Air knife)를 통해 고압의 가스(Gas)를 기판으로 분사한다. 이때 에어 나이프에 공급되는 고압의 가스가 오염되면 가스 내 포함된 입자가 기판에 부착됨으로써 기판도 오염되는 문제가 발생한다.
이를 방지하기 위해 고압의 가스가 유동하는 배관에 입자 측정 장치를 설치하여 가스 오염을 모니터링하는 기술이 개발되었다.
이 입자 측정 장치는 배관의 일부를 절개한 후 절개된 부분에 장착되고, 절개된 부분에 위치한 발광부 및 수광부를 이용하여 배관 내 입자를 측정하는 장치이다.
즉, 입자 측정 장치는 발광부를 통해 레이저를 발생시키고, 이때 수광부에서 배관 내 광을 측정하고 측정된 광에 기초하여 배관 내 입자를 측정한다. 여기서 입자 측정 장치의 수광부에서 측정된 광은 배관 내 존재하는 입자에서 산란되는 광으로, 입자의 량에 대응한다.
이러한 입자 측정 장치는 발광부에서 발생된 레이저가 배관의 일부 영역만을 통과하며 통과한 영역의 입자만을 측정하므로 배관 전체에 흐르는 가스에 포함된 입자 측정이라 할 수 없다. 또한 산란되는 빛의 양은 배관을 통과하는 유속에 매우 민감하기 때문에 일정한 유속에서만 측정해야 한다. 따라서 입자의 측정을 위하여 배관의 유속을 정해진 값으로 가속 또는 감속하여야 하며 또한 부가적으로 측정 후에는 유속을 원 상태로 환원하여야 하는 문제가 있다.
또한 입자 측정 장치는 매우 고가이기 때문에 고압 가스가 이용되는 의학, 산업, LCD 및 반도체 제조가 이루어지는 환경에서 사용하기 곤란한 문제가 있다.
일 측면은 가스 배관에 마련되되 가스 배관과 90도 미만의 각도를 가지는 분기관을 포함하는 입자 측정 장치를 제공한다.
다른 측면은 가스 배관에 마련되되 가스 배관과 같은 직경을 가지는 분기관을 포함하는 입자 측정 장치를 제공한다.
또 다른 측면은 가스 배관에 마련되되 가스 배관과 90도 미만의 각도를 가지고, 다단으로 형성된 분기관을 포함하는 입자 측정 장치를 제공한다.
일 측면에 따르면 입자 측정 장치는 가스 배관에 연결되되 가스 배관과 90도 미만의 각도를 가지는 분기관; 분기관에 연결되어 분기관에 유동하는 가스 내의 입자를 측정하는 입자 측정 챔버를 포함한다.
분기관은, 가스 배관의 직경과 같은 직경을 가진다.
분기관은, 가스 배관의 직경보다 작은 직경을 가진다.
입자 측정 장치는 입자 측정 챔버의 배기부에 마련되어 가스의 유동을 일정 유속으로 조절하는 오리피스를 더 포함한다.
입자 측정 장치는 오리피스에 의해 조절되는 유량을 측정하는 유량계를 더 포함한다.
입자 측정 장치의 입자 측정 챔버는 광을 발생시키는 발광부와, 광을 수광하는 수광부를 가지고, 입자 측정 장치는 수광부에서 측정된 광에 기초하여 입자의 크기 및 양을 검출하는 제어부; 입자의 크기 및 양을 표시하는 표시부를 더 포함한다.
다른 측면에 따른 입자 측정 장치는 가스 배관에 90도 미만의 각도로 연결되고, 가스 배관에 다단으로 연결된 서로 다른 직경의 복수의 관을 가지는 분기관; 분기관에 연결되어 분기관에 유동하는 가스 내의 입자를 측정하는 입자 측정 챔버를 포함한다.
분기관을 이루는 복수의 관 중 가스 배관에 인접된 관의 직경은 가스 배관의 직경과 같고, 나머지 분기관의 직경은 가스 배관과 멀어질수록 점차적으로 작아진다.
또 다른 측면에 따른 입자 측정 장치는 가스 배관에 90도 미만의 각도로 연결되고, 가스 배관에서 멀어질수록 직경이 점차적으로 작아지는 분기관; 분기관에 연결되어 분기관에 유동하는 가스 내의 입자를 측정하는 입자 측정 챔버를 포함한다.
가스배관과 인접한 부분의 분기관의 직경은 가스 배관의 직경과 같은 직경을 가진다.
또 다른 측면에 따른 입자 측정 장치는 가스 배관에서 분기되되 가스 배관의 가스 유동 방향으로 분기된 분기관; 분기관에 연결되어 분기관에 유동하는 가스 내의 입자를 측정하는 입자 측정 챔버를 포함한다.
일 측면에 따르면, 가스 배관에서 분기된 분기관의 각도를 90 미만으로 하고 이 분기관에 유입된 가스 내의 입자를 측정함으로써, 분기관으로 유입되는 유동의 저항을 줄일 수 있다. 또한 입자의 관성력을 최소화하여 입자가 분기관으로 유입될 확률을 높여 측정 정확도를 향상할 수 있다.
또한 입자 측정 장치를 저렴한 가격에 구입할 수 있어 다양한 산업 시설에 보급을 확대할 수 있다.
입자 측정 장치를 가스 챔버의 배기부에 설치하여 가스 내의 입자를 모니터링함으로써 가스 챔버 및 배관 내 입자의 발생여부, 증가, 감소 경향을 확인하는 것도 가능하다. 이로 인해 가스 챔버 및 배관 내 입자의 수가 비정상적으로 증가하는 경우 오염이 발생하는 부분에 대하여 즉각적으로 대처할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 입자 측정 장치의 분기관의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 입자 측정 장치의 분기관의 분기 각도별 유량 그래프이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 입자 측정 장치의 분기관 단면도이다.
도 5는 본 발명의 각 실시예에 따른 입자 측정 장치에 마련된 분기관을 통한 입자 크기별 검출비율 그래프이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 입자 측정 장치의 분기관 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 설명한다.
도 1은 일 실시예에 따른 입자 측정 장치의 구성도로, 입자 측정 장치는 가스 배관(100)에서 분기된 분기관(200a), 입자 측정 챔버(300), 제어부(400) 및 표시부를 포함한다.
가스 배관(100)은 가스 챔버(미도시)와 산업 시설 사이에 마련되어 가스 챔버(미도시)로부터 고압의 가스를 공급받고 공급된 고압의 가스를 각 산업, 연구, 제조 시설 등의 실린더, 에어베어링, 에어나이프 등에 공급한다.
이 가스 배관(100)은 L1의 직경을 가지는 배관으로, 가스가 유동한다.
이러한 가스 배관(100)은 가스 유동 시 가스 챔버와의 연결부위, 다른 부속품과의 연결부위, 연속된 배관과의 연결부위 등 다양한 부위에서 먼지, 이물질 등의 입자가 유입되어 가스와 함께 유동될 가능성이 있다.
분기관(200a)은 가스 배관(100)에서 분기된 배관으로, 가스 배관(100)에 형성된 홀(미도시)에 일체로 고정 연결된다.
이러한 분기관(200a)은 가스 배관(100)과 90도 미만의 각도(θ)를 가진다. 이때 분기관(200a)은 가스 배관(100)의 가스 유동 방향에 대해 90도 미만의 각도(θ)를 갖게 된다.
이로 인해 가스 배관(100) 내의 가스에 포함된 입자가 큰 관성력을 가져도 가스 배관(100)의 가스 유동 방향과 유사 방향으로 분기된 분기관(200a)으로 유입되는 것이 용이하다.
이러한 분기관(200a)의 직경은 가스 배관(100)의 직경과 동일한 직경(L1)을 가진다. 이에 따라 가스 배관(100)에서 고속으로 유동하는 가스 내 입자가 분기관(200a)에 용이하게 유입될 수 있다.
즉, 가스 배관(100)과 동일한 직경(L1)을 갖고 동시에 가스 배관(100)의 가스 유동 방향과 유사 방향으로 형성된 분기관(200a)에 입자의 유입이 용이하여 가스 내 입자가 손실되는 것을 방지할 수 있다.
입자 측정 챔버(300)는 분기관(200a)이 연결되는 유입부(미도시)를 가진다.
입자 측정 챔버(300)는 유입부에 연결된 분기관(200a)을 통해 가스가 유입되면 유입된 가스 내 입자를 측정한다.
이러한 입자 측정 챔버(300)는 광을 발생시키는 발광부(310)와, 발광부(310)에서 발생시킨 광을 측정하되, 내부에 입자가 존재할 경우 입자에 의해 산란된 광을 측정하고, 측정된 광 데이터를 제어부(400)에 전송하는 수광부(320)를 포함한다.
입자 측정 챔버(300)는 가스를 배기하는 배기부(330)를 가진다.
그리고 입자 측정 챔버(300)의 후단인 배기부(330)에는 입자 측정 챔버(300) 내의 유속을 일정 유속으로 조절하는 오리피스(340)와, 오리피스(340)에 의해 조절되는 유량을 측정함으로써 오리피스(340)의 유속 조절을 확인 가능하게 하는 유량계(350)를 더 포함한다. 이에 의해 분기관(200a)에 유입되는 입자의 손실을 최소화 할 수 있어 유동 가스 내부의 입자를 정확하게 측정할 수 있다.
제어부(400)는 수광부에서 측정된 광에 기초하여 입자를 계측한다. 즉 제어부(400)는 입자의 크기 및 양을 검출하고 검출된 입자의 크기와 양을 미리 설정된 기준 데이터와 비교하여 위험 상황임을 판단하고, 위험 상황이라 판단되면 표시부(500)를 제어하여 위험 상황이 표시되도록 한다.
표시부(500)는 제어부(400)의 지시에 따라 입자의 크기 및 양을 표시하고, 또한 제어부(400)의 지시에 따라 사용자가 인지할 수 있도록 위험 상황을 표시한다.
이러한 입자 측정 장치를 가스 챔버(미도시)의 배기부에 설치하여 가스 챔버 내의 입자를 모니터링함으로써 가스 챔버 내 입자의 발생여부, 증가, 감소 경향을 확인하는 것도 가능하다. 이로 인해 가스 챔버 내 입자의 수가 비정상적으로 증가하는 경우 오염이 발생하는 부분에 대하여 즉각적으로 대처할 수 있다.
도 2는 다른 실시예에 따른 입자 측정 장치에 마련된 분기관의 단면도이다.
가스 배관(100)은 가스가 유동하는 배관으로 L1의 직경을 가진다.
분기관(200b)은 L1의 직경을 가지는 가스 배관(100)에서 분기된 배관으로, 가스 배관의 직경 L1보다 작은 L2의 직경을 가진다.
분기관(200b)은 가스 배관(100)에 형성된 홀(미도시)에 일체로 고정 연결된다. 여기서 홀은 분기관(200b)이 밀폐 가능하게 연결되도록 L2 직경 이상의 직경을 가진다.
이러한 분기관(200b)은 가스 배관(100)과 90도 미만의 각도(θ)를 가진다. 이때 분기관(200b)은 가스 배관(100)의 가스 유동 방향에 대해 90도 미만의 각도(θ)를 갖게 된다.
이로 인해 가스 배관(100) 내의 가스에 포함된 입자가 큰 관성력을 가져도 가스 배관(100)의 가스 유동 방향과 유사 방향으로 분기된 분기관(200b)으로 유입되는 것이 용이하고 이로 인해 가스 내 입자가 손실되는 것을 방지할 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 분기관의 분기 각도별 유량 그래프이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 가스 배관(100)과 분기관(200b)의 각도(θ)가 90도 보다 작은 각도로 감소함에 따라 분기관(200b)으로 유입되는 가스 유량이 선형적으로 증가함을 알 수 있다. 여기서 가스 유량은 샘플링 유량이다.
좀 더 구체적으로 가스 배관(100)과 분기관(200b)의 각도(θ)가 90도에서 30도로 감소하는 경우 가스 유량은 63% 증가함을 알 수 있다.
이에 따라 가스 유량이 증가함에 따라 분기관(200b)으로 유입되는 입자의 양도 비례하여 증가할 것으로 예상 가능하다.
즉, 가스 배관과 분기관의 각도를 최대한 작게 함으로써 가스 유량을 최대한 증가시킨 후 가스 내 입자를 측정함으로써 측정 정확도를 높이는 것이 가능하다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 입자 측정 장치의 분기관 단면도이다.
가스 배관(100)은 가스가 유동하는 배관으로 L1의 직경을 가진다.
분기관(200c)은 서로 다른 직경을 가진 복수의 관(C1, C2, C3)으로 이루어지고, 이 복수의 관(C1, C2, C3)은 서로 다단으로 이루어진다.
이러한 분기관(200c)은 가스 배관(100)에 복수의 관(C1, C2, C3)이 다단으로 연결되는데, 이때 복수의 관(C1, C2, C3)은 가스 배관(100)에서 멀어질 수록 점차적으로 직경이 작아진다.
좀 더 구체적으로 분기관(200c)의 제1관(C1)은 가스 배관(100)에 연결되고, 제 2관(C2)은 제1관(C1)에 연결되며 제 3관(C3)은 제 2관(C2)에 연결된다.
이때 제1관(C1)은 가스 배관(100)의 직경과 동일한 L1의 직경을 가지고, 제2관(C2)은 L1보다 작은 L2의 직경을 가지며, 제3관(C3)은 L2보다 작은 L3의 직경을 가지기 때문에 제1관(C1), 제2관(C2), 제3관(C3)은 다단으로 이루어진다. 이렇게 다단으로 이루어진 분기관(200c)은 가스 배관(100)에 연결된다.
이러한 분기관(200c)의 제1관(C1)은 가스 배관(100)에 형성된 홀(미도시)에 연결된다. 여기서 홀은 분기관(200c)이 밀폐 가능하게 연결되도록 L1의 직경을 가진다. 아울러 제3관(C3)의 직경(L3)은 입자 측정 챔버(300)의 유입부(미도시)의 직경과 동일하다. 이로써 입자 측정 시 입자 측정 챔버(300) 내 가스의 누출을 방지하고 또한 입자의 유입을 방지한다.
이러한 분기관(200c)의 복수 관(C1, C2, C3)은 가스 배관(100)과 각각 90도 미만의 각도(θ)를 가진다. 이때 분기관(200c)은 가스 배관(100)의 가스 유동 방향에 대해 90도 미만의 각도(θ)를 갖게 된다.
이로 인해 가스 배관(100) 내의 가스에 포함된 입자가 큰 관성력을 가져도 가스 배관(100)의 가스 유동 방향과 유사 방향으로 분기된 분기관(200c)으로 유입되는 것이 용이하고 이로 인해 가스 내 입자가 손실되는 것을 방지할 수 있다.
또한 분기관(200c)의 제1관(C1)의 직경은 가스 배관(100)의 직경과 동일한 직경(L1)을 가지기 때문에 가스 배관(100)에서 고속으로 유동하는 가스 내 입자가 분기관(200c)에 용이하게 유입될 수 있다.
즉, 일측이 가스 배관(100)과 동일한 직경(L1)을 갖고 동시에 가스 배관(100)의 가스 유동 방향과 유사 방향으로 형성된 분기관(200c)에 입자의 유입이 용이하여 가스 내 입자가 손실되는 것을 방지할 수 있다.
도 5는 도 2 및 도 4에 도시된 분기관을 통한 입자 크기별 검출비율 그래프이다.
백색 그래프는 도 2에 도시된 분기관(200b)를 이용하여 입자 측정 시 검출 비율이고, 흑색 그래프는 도 4에 도시된 분기관(200c)를 이용하여 입자 측정 시 검출 비율이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 가스 배관(100)에 일정량의 입자를 투입한 후, 분기관(200b, 200c)을 통하여 측정되는 입자량을 비교하면, 분기관(200b)의 경우에는 입자의 관성력이 작은 0.3um의 소형 입자만 측정되고 분기관(200c)의 경우에는 대형 입자의 측정 비율이 높게 나타남을 알 수 있다.
즉, 분기관(200b)의 경우 소형 입자의 측정에 용이하고, 분기관(200c)의 경우 대형 입자의 측정에 용이함을 알 수 있다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 입자 측정 장치의 분기관 단면도이다.
가스 배관(100)은 가스가 유동하는 배관으로 L1의 직경을 가진다.
분기관(200d)은 가스 배관(100)에 연결되되, 가스 배관(100)에서 멀어질 수록 점차적으로 직경이 작아진다. 이러한 분기관(200d)의 일측은 가스 배관(100)에 형성된 홀(미도시)에 연결되고 타측은 입자 측정 챔버(300)에 연결된다.
여기서 홀은 분기관(200d)이 밀폐 가능하게 연결되도록 L1의 직경을 가진다.
그리고, 입자 측정 시 입자 측정 챔버(300) 내 가스의 누출을 방지하고 또한 입자의 유입을 방지하도록 분기관(200d)의 타측의 직경(L2)은 입자 측정 챔버(300)의 유입부(미도시)의 직경과 동일하다. 여기서 직경 L1은 직경 L2보다 크다.
즉 분기관(200d)은 직경(L1)이 큰 쪽이 가스 배관(100)에 연결되고, 직경(L2)이 작은 쪽이 입자 측정 챔버(300)에 연결된다.
이러한 분기관(200d)은 가스 배관(100)과 각각 90도 미만의 각도(θ)를 가진다. 이때 분기관(200d)은 가스 배관(100)의 가스 유동 방향에 대해 90도 미만의 각도(θ)를 갖게 된다.
이로 인해 가스 배관(100) 내의 가스에 포함된 입자가 큰 관성력을 가져도 가스 배관(100)의 가스 유동 방향과 유사 방향으로 분기된 분기관(200d)으로 유입되는 것이 용이하고 이로 인해 가스 내 입자가 손실되는 것을 방지할 수 있다.
또한 분기관(200c)의 직경은 가스 배관(100)의 직경과 동일한 직경(L1)을 가지기 때문에 가스 배관(100)에서 고속으로 유동하는 가스 내 입자가 분기관(200d)에 용이하게 유입될 수 있다.
즉, 분기관(200d)의 일측이 가스 배관(100)과 동일한 직경(L1)을 갖고 동시에 가스 배관(100)의 가스 유동 방향과 유사 방향으로 형성됨으로써 분기관(200d)에 입자의 유입이 용이하여 가스 내 입자가 손실되는 것을 방지할 수 있다.
100: 가스 배관 200a 내지 200d: 분기관
300: 입자 측정 챔버 310: 발광부
320: 수광부 330: 배기부
340: 오리피스 350: 유량계
400: 제어부 500: 표시부

Claims (11)

  1. 가스 배관에 연결되되 상기 가스 배관과 90도 미만의 각도를 가지는 분기관;
    상기 분기관에 연결되어 상기 분기관에 유동하는 가스 내의 입자를 측정하는 입자 측정 챔버를 포함하는 입자 측정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 분기관은,
    상기 가스 배관의 직경과 같은 직경을 가지는 입자 측정 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 분기관은,
    상기 가스 배관의 직경보다 작은 직경을 가지는 입자 측정 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 입자 측정 챔버의 배기부에 마련되어 상기 가스의 유동을 일정 유속으로 조절하는 오리피스를 더 포함하는 입자 측정 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 오리피스에 의해 조절되는 유량을 측정하는 유량계를 더 포함하는 입자 측정 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 입자 측정 챔버는 광을 발생시키는 발광부와, 상기 광을 수광하는 수광부를 가지고,
    상기 수광부에서 측정된 광에 기초하여 상기 입자의 크기 및 양을 검출하는 제어부;
    상기 입자의 크기 및 양을 표시하는 표시부를 더 포함하는 입자 측정 장치.
  7. 가스 배관에 90도 미만의 각도로 연결되고, 상기 가스 배관에 다단으로 연결된 서로 다른 직경의 복수의 관을 가지는 분기관;
    상기 분기관에 연결되어 상기 분기관에 유동하는 가스 내의 입자를 측정하는 입자 측정 챔버를 포함하는 입자 측정 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 분기관을 이루는 복수의 관 중 상기 가스 배관에 인접된 관의 직경은 상기 가스 배관의 직경과 같고, 나머지 분기관의 직경은 상기 가스 배관과 멀어질수록 점차적으로 작아지는 입자 측정 장치.
  9. 가스 배관에 90도 미만의 각도로 연결되고, 상기 가스 배관에서 멀어질수록 직경이 점차적으로 작아지는 분기관;
    상기 분기관에 연결되어 상기 분기관에 유동하는 가스 내의 입자를 측정하는 입자 측정 챔버를 포함하는 입자 측정 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 가스배관과 인접한 부분의 분기관의 직경은 상기 가스 배관의 직경과 같은 직경을 가지는 입자 측정 장치.
  11. 가스 배관에서 분기되되 상기 가스 배관의 가스 유동 방향으로 분기된 분기관;
    상기 분기관에 연결되어 상기 분기관에 유동하는 가스 내의 입자를 측정하는 입자 측정 챔버를 포함하는 입자 측정 장치.
KR1020100124332A 2010-12-07 2010-12-07 입자 측정 장치 KR20120063238A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100124332A KR20120063238A (ko) 2010-12-07 2010-12-07 입자 측정 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100124332A KR20120063238A (ko) 2010-12-07 2010-12-07 입자 측정 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20120063238A true KR20120063238A (ko) 2012-06-15

Family

ID=46683794

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100124332A KR20120063238A (ko) 2010-12-07 2010-12-07 입자 측정 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20120063238A (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020066338A (ja) * 2018-10-24 2020-04-30 株式会社デンソー 車両用粉塵計測装置
US10698427B2 (en) 2016-10-31 2020-06-30 Ge Oil & Gas Pressure Control Lp System and method for assessing sand flow rate
KR20210015052A (ko) * 2019-07-31 2021-02-10 국방과학연구소 저전력 방식의 청정공기 순환을 이용한 미세입자 검출장치

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10698427B2 (en) 2016-10-31 2020-06-30 Ge Oil & Gas Pressure Control Lp System and method for assessing sand flow rate
JP2020066338A (ja) * 2018-10-24 2020-04-30 株式会社デンソー 車両用粉塵計測装置
WO2020084911A1 (ja) * 2018-10-24 2020-04-30 株式会社デンソー 車両用粉塵計測装置
KR20210015052A (ko) * 2019-07-31 2021-02-10 국방과학연구소 저전력 방식의 청정공기 순환을 이용한 미세입자 검출장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU2017201651B2 (en) Fire detection
US8800383B2 (en) Flow monitored particle sensor
TWI510772B (zh) 氣體檢測器裝置
US7518719B2 (en) Contaminant analyzer for fuel
JP4182187B2 (ja) 漏洩試験及び漏洩検出方法及び装置
KR20140130525A (ko) 유체 부식성 오염물질을 감시하기 위한 시스템 및 방법
KR20150047097A (ko) 오염도 측정을 위한 멀티 샘플링 포트 모니터링 장치 및 이를 이용한 모니터링 방법
JP2019035729A (ja) ガスサンプラー及びこれを含むガス漏れ感知装置
KR20120063238A (ko) 입자 측정 장치
CN105939801B (zh) 管道系统的监控
WO2005068807A3 (en) Fluid test machine, methods and systems
JP6068504B2 (ja) 被駆動機械に用いられるガス及び／又はエアロゾルに関する測定データを得るための装置並びに方法
US11609144B2 (en) Detection of leakage in an aspirating fire detection system
KR20100091916A (ko) 인라인 고압 입자의 감지시스템
KR20150053403A (ko) 필터 검사 장치 및 그 방법
KR20190039365A (ko) 가스 샘플러 및 이를 이용하는 감지 장치
JP5739212B2 (ja) 配管の気密検査方法、及び、配管の気密検査装置
KR20160114783A (ko) 진공 챔버의 파티클 모니터링 장치 및 방법
KR101346633B1 (ko) 시료채취 이송배관 내 입자침적에 의한 손실량 측정을 위한 장치
KR20190039842A (ko) 가스 샘플러 및 이를 이용하는 감지 장치
JP4789666B2 (ja) ガスパイプライン監視設備
JP2015105892A (ja) ガス濃度測定設備及び測定方法
US20230236082A1 (en) Monitoring of an aspirating detection system
KR20120094675A (ko) 누설 위치 감지 장치 및 누설 위치 감지 방법
JP2002181653A (ja) ガス検知システム

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid