KR20180093471A - 층류소자를 이용하는 누설률 모니터링 장치 - Google Patents

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KR20180093471A KR1020170019615A KR20170019615A KR20180093471A KR 20180093471 A KR20180093471 A KR 20180093471A KR 1020170019615 A KR1020170019615 A KR 1020170019615A KR 20170019615 A KR20170019615 A KR 20170019615A KR 20180093471 A KR20180093471 A KR 20180093471A
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Abstract

본 발명은 원자력발전소와 같은 시설물에 설치된 배관에서 발생하는 누설률을 측정하고 감시하는 누설률 모니터링 장치에 관한 것이다. 상기 누설률 모니터링 장치는, 가스가 유입되는 가스 유입구; 상기 가스 유입구와 연결되고 복수의 유로로 분기되어 유로별로 서로 다른 유량 측정 범위를 갖는 유량 측정부; 상기 가스 유입구와 연결되어 가스가 유출되는 가스 유출구; 상기 유량 측정부의 작동을 제어하는 제어부; 를 포함하고, 상기 유량 측정부는, 가스가 유입되는 입력부; 가스가 유출되는 출력부; 상기 입력부와 상기 출력부 사이에 연결되는 복수의 상기 유로; 상기 복수의 유로를 각각 개폐하는 밸브; 상기 입력부와 상기 출력부 사이의 차압을 측정하는 차압계; 를 포함하고, 복수의 상기 유로의 내부에는 각각 소정의 직경과 길이를 갖고 가스가 통과할 수 있는 하나 이상의 층류소자를 구비하고, 상기 유로로 유입된 가스는 상기 층류소자를 통해서만 유동할 수 있다.
이러한 구성에 따르면, 누설률을 측정하기 위한 센서를 층류소자로 대체함으로써, 제품의 무게가 줄어 이동이 편리하고 장시간 사용에도 누설률 측정의 정확도가 유지될 수 있는 누설률 모니터링 장치를 제공할 수 있다.

Description

층류소자를 이용하는 누설률 모니터링 장치 {Apparatus for monitoring leakage rate in pipes by using laminar flow element}
본 발명은 원자력발전소와 같은 시설물에 설치된 배관에서 발생하는 누설률을 측정하고 감시하는 누설률 모니터링 장치에 관한 것이다.
원자력발전소와 같은 시설물에는 다수의 배관이 설치되어 있고, 이러한 배관에는 유체의 이동을 위해 밸브들이 설치된다. 밸브 또는 배관을 통해 유체가 누설되는지 그리고 얼마나 누설되는지를 측정하고 감시하는 것은 시설물의 안전을 위해서 매우 중요한 일이다.
누설량을 측정하기 위해서는, 배관에 있는 전후단의 밸브를 완전히 잠그고 밸브와 밸브 사이의 누설을 측정한다. 이를 위해, 먼저 압축공기를 누설률 모니터링 장치를 통해 배관으로 공급하고, 배관 내부의 압력이 안정될 때까지 기다린다. 다음에, 추가로 압축공기를 배관으로 공급하면서, 배관으로 공급되는 공기의 양을 측정하여 누설되는 정도를 판단한다.
배관에서의 누설은 외부에서 감지할 수 있고, 대부분의 경우 누설은 배관에서보다는 밸브 시트에서 주로 발생한다. 누설량을 측정해서 누설량이 허용치보다 큰 경우에는 밸브를 보수하거나 교체하게 된다.
종래의 누설률 모니터링 장치에서는, 누설되는 유량을 측정하는 센서로 질량유량계(thermal mass flow meter)을 용량별로 여러 대 설치하여 사용하고 있다.
작업자는 누설률 모니터링 장치를 들고다니면서 배관마다 누설량을 측정하는 데, 이러한 장치는 무게는 약 18 kg이며, 이 중에서 질량유량계가 차지하는 무게가 약 7 kg 정도가 된다. 따라서, 누설률 모니터링 장치에서 질량유량계가 차지하는 무게를 줄이면, 휴대하면서 반복적인 검사를 하는 작업자의 어려움을 많이 해소할 수 있다.
또한, 질량유량계는 장시간 사용하면 센서로서의 질량유량계의 측정값이 달라지게 되고, 작업자는 해당 질량유량계의 전기적인 신호를 보정하여 사용하면서 누설률 측정의 정확도가 저하되는 문제점이 있다.
대한민국 등록특허 제10-0526291호
따라서, 본 발명은 상기 사정을 감안하여 발명한 것으로, 누설률을 측정하기 위한 센서를 층류소자로 대체함으로써, 제품의 무게가 줄어 이동이 편리하고 장시간 사용에도 누설률 측정의 정확도가 유지될 수 있는 누설률 모니터링 장치를 제공하고자 함에 목적이 있다.
상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명에 따른 가스를 투입하여 누설율을 모니터링하는 누설률 모니터링 장치는, 가스가 유입되는 가스 유입구; 상기 가스 유입구와 연결되고 복수의 유로로 분기되어 유로별로 서로 다른 유량 측정 범위를 갖는 유량 측정부; 상기 가스 유입구와 연결되어 가스가 유출되는 가스 유출구; 상기 유량 측정부의 작동을 제어하는 제어부; 를 포함하고, 상기 유량 측정부는, 가스가 유입되는 입력부; 가스가 유출되는 출력부; 상기 입력부와 상기 출력부 사이에 연결되는 복수의 상기 유로; 상기 복수의 유로를 각각 개폐하는 밸브; 상기 입력부와 상기 출력부 사이의 차압을 측정하는 차압계; 를 포함하고, 복수의 상기 유로의 내부에는 각각 소정의 직경과 길이를 갖고 가스가 통과할 수 있는 하나 이상의 층류소자를 구비하고, 상기 유로로 유입된 가스는 상기 층류소자를 통해서만 유동할 수 있다.
또한, 복수의 상기 유로는 각각 상기 층류소자를 상기 유로에 지지하기 위한 지지판을 포함하고, 상기 지지판에는 개구가 형성되고, 상기 개구를 통해 상기 층류소자가 삽입된 상태에서, 상기 개구와 상기 층류소자의 원주 사이는 용접된다.
또한, 복수의 상기 유로는 각각 상기 지지판 일측의 제1 유로와, 상기 지지판 타측의 제2 유로로 이루어지고, 상기 층류소자가 상기 제1 유로와 상기 제2 유로에 삽입된 상태에서, 상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 상기 지지판에 접촉시켜 용접한다.
다른 실시예에 따른, 가스 유입구와, 가스 유출구와, 복수의 유로로 분기되어 유로별로 서로 다른 유량 측정 범위를 갖는 유량 측정부와, 상기 유량 측정부의 작동을 제어하는 제어부를 포함하는 누설률 모니터링 장치를 이용하여 측정 대상물의 누설률을 모니터링하는 방법은, 상기 가스 유입구를 가스원과 연결하고, 상기 가스원을 통해 공급되는 가스를 상기 가스유출구를 통해 측정 대상물로 공급하는 단계; 상기 가스원을 통해 공급되는 가스를 상기 유량 측정부의 가장 넓은 측정 범위를 갖는 유로를 통해 측정 대상물로 공급하는 단계; 상기 가스원을 통해 공급되는 가스를 상기 유량 측정부의 다음으로 넓은 측정 범위를 갖는 유로를 통해 측정 대상물로 공급하는 단계; 를 포함하고, 상기 유로의 내부에는 각각 소정의 직경과 길이를 갖고 가스가 통과할 수 있는 하나 이상의 층류소자가 구비하고, 상기 유로로 유입된 가스는 상기 층류소자를 통해서만 유동할 수 있도록 하고, 상기 제어부는 상기 층류소자 양단의 압력차로부터 상기 유로를 통해 유동하는 가스의 유량 및 측정 대상물의 누설률을 모니터링한다.
또한, 상기 층류소자는 지지판에 형성된 개구를 통해 삽입되어 상기 유로에 지지되고, 상기 개구와 상기 층류소자의 원주 사이는 용접된다.
본 발명에 따르면, 누설률을 측정하기 위한 센서를 층류소자로 대체함으로써, 제품의 무게가 줄어 이동이 편리하고 장시간 사용에도 누설률 측정의 정확도가 유지될 수 있는 누설률 모니터링 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 누설률 모니터링 장치를 이용하여 밸브를 통한 누설량을 측정하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 누설률 모니터링 장치에서 누설률을 측정하기 위한 방법을 설명하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 누설률 모니터링 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 4는 도 3에서 유량 측정부의 구성을 상세히 설명하는 도면이다.
도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 층류소자를 유로에 지지하는 방법을 순차적으로 설명하는 도면이다.
도 6은 본 발명의 유량 측정부를 통해 유량을 측정한 실험 예를 도시하는 그래프이다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서 각 도면의 구성요소들에 대해 참조부호를 부가함에 있어서 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 표기되었음에 유의하여야 한다.
도 1은 본 발명의 누설률 모니터링 장치를 이용하여 밸브를 통한 누설량을 측정하는 방법을 설명하는 도면이다. 도 2는 본 발명의 누설률 모니터링 장치에서 누설률을 측정하기 위한 방법을 설명하는 도면이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 누설률 모니터링 장치의 구성을 도시하는 도면이다. 도 4는 도 3에서 유량 측정부의 구성을 상세히 설명하는 도면이다.
본 발명의 누설률 모니터링 장치(100)는 가스 유입구(101), 유량 측정부, 가스 유출구(102), 제어부(160), 표시부(170) 등을 포함한다.
가스 유입구(101)는 가스원과 연결되어, 가스원으로부터의 압축가스가 유입된다.
유량 측정부는 가스 유입구(101)와 연결되고 복수의 유로로 분기되어 유로별로 서로 다른 유량 측정 범위를 갖는다. 유량 측정부의 전단에는 가스 내에 존재할 수 있는 습기 또는 미세먼지를 여과하기 위해 필터(110)가 배치된다. 필터(110)의 다음에는 유입되는 가스의 압력을 제어하기 위한 레큘레이터(120)가 배치될 수 있다.
가스 유출구(102)는 가스 유입구(101)와 연결되어 가스가 유출되고, 가스 유출구(102)는 누설률을 측정하기 위한 배관(10) 등과 연결된다. 가스 유출구(102)에는 유로를 개폐하기 위한 밸브(102a)가 배치된다. 가스 유출구(102)와는 별도로 가스를 외부로 배출하기 위한 벤트 유로(103)가 배치될 수 있고, 벤트 유로(103)에는 유로를 개폐하기 위한 밸브(103a)가 배치된다.
제어부(160)는 유량 측정부 등의 작동을 제어한다. 표시부(170)는 누설률을 측정하는 과정을 화면에 표시한다.
배관(10)의 누설률을 측정하기 위해서는, 누설률 모니터링 장치(100)의 가스 유입구(101)를 가스원과 연결한다. 배관(10)의 밸브(20)를 잠근 상태에서, 가스원으로부터 공급되는 압축가스를 가스 유입구(101), 연결관(145) 및 가스 유출구(102)를 통해 배관(10)으로 공급한다. 배관(10) 내의 압력이 안정된 상태에서, 유량 측정부의 복수의 유로(141, 142, 143, 144)를 통해 가스를 공급하면서 배관(10)에서의 누설률을 모니터링 할 수 있다.
유량 측정부는 입력부(130), 출력부(150), 복수의 유로(141, 142, 143, 144), 밸브(131, 132, 133, 134), 차압계(155) 등을 포함한다.
입력부(130)로는 가스가 유입된다. 입력부(130)로 유입된 가스는 복수의 유로(141, 142, 143, 144) 중 어느 하나를 거쳐 출력부(150)로 유출된다. 출력부(150)로 유출된 가스는 가스 유출구(102)를 통해 배관(10)으로 공급될 수 있다.
복수의 유로(141, 142, 143, 144)는 입력부(130)와 출력부(150) 사이에 연결되고, 각각의 유로(141, 142, 143, 144)에는 유로를 개폐하기 위한 밸브(131, 132, 133, 134)가 배치된다. 밸브(131, 132, 133, 134)는 각각의 유로(141, 142, 143, 144)에 개별적으로 설치되지만, 각각의 유로를 선택적으로 개폐하기 위한 하나의 밸브가 설치될 수도 있다.
차압계(155)는 입력부(130)와 출력부(150) 사이의 차압을 측정한다. 입력부(130)에는 온도센서(104)가 설치되고, 출력부(150)에는 압력센서(105)가 설치될 수 있다. 온도센서(104)와 압력센서(105)가 설치되는 위치는 변경될 수 있다.
복수의 유로(141, 142, 143, 144)의 내부에는 각각 소정의 직경과 길이를 갖고 가스가 통과할 수 있는 하나 이상의 층류소자가 구비된다. 유로(141, 142, 143, 144)로 유입된 가스는 층류소자를 통해서만 유동할 수 있도록 구성된다.
도 2를 참조하면, 가스가 세관 내부를 흐를 때 유속이 낮은 층류 영역인 경우(예를 들어, 레이놀즈수가 2300 이하인 경우), 차압과 유량(Q)은 다음 식으로부터 구할 수 있다.
Q = (πD4/128μL)*△P 식 (1)
여기서, Q는 유량이고, D는 유로의 직경이고, μ는 유체의 점도이고, L은 유로의 길이이고, △P는 유로의 전단과 후단의 압력차이다.
도 4를 참조하면, 복수의 유로(141, 142, 143, 144)는 각각 층류소자를 유로에 지지하기 위한 지지판을 포함한다.
예를 들어, 유로(141)는 직경이 0.25mm이고, 길이가 85mm인 층류소자(141b) 하나를 포함하고, 이러한 층류소자(141b)는 지지판(141a)을 통해 유로(141)에 지지된다. 유로(141)는 2~20ccm(cm3/min)의 유량을 측정할 수 있다.
유로(142)는 직경이 0.25mm이고, 길이가 85mm인 층류소자(142b) 2개를 포함하고, 이러한 층류소자(142b)는 지지판(142a)을 통해 유로(142)에 지지된다. 유로(142)는 20~200ccm의 유량을 측정할 수 있다.
유로(143)는 직경이 0.54mm이고, 길이가 85mm인 층류소자(143b) 2개를 포함하고, 이러한 층류소자(143b)는 지지판(143a)을 통해 유로(143)에 지지된다. 유로(143)는 200~2000ccm의 유량을 측정할 수 있다.
유로(144)는 직경이 0.54mm이고, 길이가 85mm인 층류소자(144b) 20개를 포함하고, 이러한 층류소자(144b)는 지지판(144a)을 통해 유로(144)에 지지된다. 유로(144)는 2000~20000ccm의 유량을 측정할 수 있다.
도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 층류소자를 유로에 지지하는 방법을 순차적으로 설명하는 도면이다.
도 5a를 참조하면, 개구(142a')가 형성된 지지판(142a)이 마련된다. 지지판(142a)은 원형의 얇은 판으로 형성되고, 지지판(142a)의 직경은 유로의 직경보다 크게 형성된다.
도 5b를 참조하면, 개구(142a')를 통해 층류소자(142b)가 삽입된다. 층류소자(142b)는 2개로 형성되고, 각각 0.25mm의 직경을 가질 수 있다.
도 5c를 참조하면, 개구(142a')와 층류소자(142b)의 원주 사이는 용접(P1)된다. 이는 개구(142a')와 층류소자(142b) 사이의 공간을 통해 가스가 누설되지 않도록 한다.
도 5d를 참조하면, 지지판(142a) 일측에 제1 유로(142c)를 배치하고, 지지판(142a) 타측에 제2 유로(142d)를 배치한다. 이때, 층류소자(142b)는 제1 유로(142c)와 제2 유로(142d)에 삽입된 상태가 된다.
도 5e를 참조하면, 제1 유로(142c)와 제2 유로(142d)를 지지판(142a)에 접촉시킨다.
도 5f를 참조하면, 제1 유로(142c)와 지지판(142a) 사이 그리고 제2 유로(142d)와 지지판(142a) 사이를 용접(P2)한다.
다시 도 4를 참조하면, 유로(141, 142, 143, 144)를 통해 유입되는 가스는 층류소자(141b, 142b, 143b, 144b)로만 유입된다. 이는 층류소자의 원주와 지지판 사이가 용접되고, 유로와 지지판 사이도 용접되어 있기 때문이다.
유로(144)와 같이 다수(예를 들어, 20개)의 층류소자(144b)가 배치되는 경우에는, 지지판(144a)에 하나의 개구가 형성되고, 이러한 개구를 통해 20개의 층류소자(144b)가 삽입될 수 있다. 다음에, 개구와 층류소자(144b) 사이 및 층류소자(142b)들 사이를 용접하여 가스가 층류소자(144b)로만 유동되게 할 수 있다.
본 발명의 누설률 모니터링 장치(100)에 따르면, 복수의 유로로 분기되어 유로별로 서로 다른 유량 측정 범위를 갖는 유량 측정부에 층류소자(141b, 142b, 143b, 144b)가 배치되고, 이러한 층류소자(141b, 142b, 143b, 144b) 양단의 차압을 측정하여 누설률을 측정한다.
이러한 유량 측정부는 매우 간단한 구조를 가지면서 부품의 수가 적어 누설률 모니터링 장치(100)의 무게를 줄일 수 있다. 그에 따라, 누설률 모니터링 장치(100)를 가지고 다니면서 배관마다 누설률을 모니터링하는 작업자의 이동이 편리한 이점이 있다.
또한, 이러한 유량 측정부는 구조가 간단하여 측정 오차가 적고, 매우 용이하면서 저렴하게 교체가 가능하므로, 장시간 사용에도 누설률 모니터링 장치(100)의 측정 정확도를 유지될 수 있다.
이하에서는, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 누설률 모니터링 장치(100)를 사용하여 측정 대상물의 누설률을 모니터링하는 방법을 설명하기로 한다.
먼저, 누설률 모니터링 장치(100)의 가스 유입구(101)를 가스원과 연결하고, 이러한 가스원을 통해 공급되는 가스를 연결관(145) 및 가스 유출구(102)를 통해 측정 대상물(예를 들어, 배관)로 공급한다. 소정의 시간이 지나면, 배관 내부의 압력이 일정하게 된다. 이때, 밸브(135)만 개방되고 나머지 밸브(131, 132, 133, 134)는 폐쇄된다.
다음에, 가스원을 통해 공급되는 가스를 유량 측정부의 가장 넓은 측정 범위를 갖는 유로를 통해 배관으로 공급한다. 본 실시예에서는, 2000~20000ccm의 유량을 측정할 수 있는 유로(144)를 통해 가스를 공급한다. 이때, 밸브(134)만 개방되고 나머지 밸브(131, 132, 133, 135)는 폐쇄된다.
제어부(160)는 층류소자(144b) 양단의 압력차로부터 유로(144)를 통해 유동하는 가스의 유량 및 측정 대상물의 누설률을 모니터링한다.
다음에, 누설이 없다고 판단될 경우, 가스원을 통해 공급되는 가스를 유량 측정부의 다음으로 넓은 측정 범위를 갖는 유로를 통해 배관으로 공급한다. 본 실시예에서는, 200~2000ccm의 유량을 측정할 수 있는 유로(143)를 통해 가스를 공급한다. 이때, 밸브(133)만 개방되고 나머지 밸브(131, 132, 134, 135)는 폐쇄된다. 이와 같이, 순차적으로 유로(142) 및 유로(141)를 통해 가스를 공급하여 가스의 유량 및 측정 대상물의 누설률을 모니터링한다.
이러한 측정 대상물의 누설률을 모니터링하는 방법에 따르면, 매우 간단하면서 정확하게 측정 대상물의 누설률을 판단할 수 있다.
도 6은 본 발명의 유량 측정부를 통해 유량을 측정한 실험 예를 도시하는 그래프이다. 세관에서 유량과 차압의 관계식은 유동이 완전히 발달된 영역에서 적용되고, 세관의 길이가 짧은 경우에는 유동이 발달되지 않은 입구 유동효과(entrance effect)가 있어 차압과 유량사이의 상관관계를 실험으로 구축하였다.
본 실험은 직경이 0.54mm이고, 길이가 85mm인 층류소자 2개를 사용하여 200~2000ccm의 유량을 측정할 수 있는 유로에서 진행되었다. 공급되는 가스는 공기로, 온도와 압력을 측정하면 공기의 점도를 알 수 있다. 유로 압력은 49psi 정도이고, 차압은 대략 500~4000 Pa 정도가 된다.
식 (1)에서 얻을 수 있는 이론상 유량은 아래 직선으로 표시되고, 실제로 측정한 유량은 점선으로 표시된다. 실제로 누설량을 측정할 때는, 차압계(155)에 의해 측정된 차압을 실험으로 얻어진 그래프에 대입하여 유량을 얻을 수 있다. 이러한 유량은 배관에서의 누설량이 될 수 있다.
유량 측정부에 설치되는 각각의 층류소자마다 실험에 의해 그래프를 얻고, 제어부(160)는 차압으로부터 누설량을 계산하여 표시부(170)에 표시할 수 있다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정 또는 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
100 : 누설률 모니터링 장치
101 : 가스 유입구
102 : 가스 유출구
103 : 벤트 유로
104 : 온도센서
105 : 압력센서
110 : 필터
120 : 레큘레이터
130 : 입력부
131, 132, 133, 134, 135 : 밸브
141, 142, 143, 144 : 유로
142a : 지지판
142b : 층류소자
142c : 제1 유로
142d : 제2 유로
145 : 연결관
150 : 출력부
155 : 차압계
160 : 제어부
170 : 표시부

Claims (5)

  1. 가스를 투입하여 누설율을 모니터링하는 누설률 모니터링 장치에 있어서,
    가스가 유입되는 가스 유입구;
    상기 가스 유입구와 연결되고 복수의 유로로 분기되어 유로별로 서로 다른 유량 측정 범위를 갖는 유량 측정부;
    상기 가스 유입구와 연결되어 가스가 유출되는 가스 유출구;
    상기 유량 측정부의 작동을 제어하는 제어부;
    를 포함하고,
    상기 유량 측정부는,
    가스가 유입되는 입력부;
    가스가 유출되는 출력부;
    상기 입력부와 상기 출력부 사이에 연결되는 복수의 상기 유로;
    상기 복수의 유로를 각각 개폐하는 밸브;
    상기 입력부와 상기 출력부 사이의 차압을 측정하는 차압계;
    를 포함하고,
    복수의 상기 유로의 내부에는 각각 소정의 직경과 길이를 갖고 가스가 통과할 수 있는 하나 이상의 층류소자를 구비하고, 상기 유로로 유입된 가스는 상기 층류소자를 통해서만 유동할 수 있는 누설률 모니터링 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    복수의 상기 유로는 각각 상기 층류소자를 상기 유로에 지지하기 위한 지지판을 포함하고,
    상기 지지판에는 개구가 형성되고, 상기 개구를 통해 상기 층류소자가 삽입된 상태에서, 상기 개구와 상기 층류소자의 원주 사이는 용접되는 누설률 모니터링 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    복수의 상기 유로는 각각 상기 지지판 일측의 제1 유로와, 상기 지지판 타측의 제2 유로로 이루어지고, 상기 층류소자가 상기 제1 유로와 상기 제2 유로에 삽입된 상태에서, 상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 상기 지지판에 접촉시켜 용접하는 누설률 모니터링 장치.
  4. 가스 유입구와, 가스 유출구와, 복수의 유로로 분기되어 유로별로 서로 다른 유량 측정 범위를 갖는 유량 측정부와, 상기 유량 측정부의 작동을 제어하는 제어부를 포함하는 누설률 모니터링 장치를 이용하여 측정 대상물의 누설률을 모니터링하는 방법에 있어서,
    상기 가스 유입구를 가스원과 연결하고, 상기 가스원을 통해 공급되는 가스를 상기 가스유출구를 통해 측정 대상물로 공급하는 단계;
    상기 가스원을 통해 공급되는 가스를 상기 유량 측정부의 가장 넓은 측정 범위를 갖는 유로를 통해 측정 대상물로 공급하는 단계;
    상기 가스원을 통해 공급되는 가스를 상기 유량 측정부의 다음으로 넓은 측정 범위를 갖는 유로를 통해 측정 대상물로 공급하는 단계;
    를 포함하고,
    상기 유로의 내부에는 각각 소정의 직경과 길이를 갖고 가스가 통과할 수 있는 하나 이상의 층류소자가 구비하고, 상기 유로로 유입된 가스는 상기 층류소자를 통해서만 유동할 수 있도록 하고,
    상기 제어부는 상기 층류소자 양단의 압력차로부터 상기 유로를 통해 유동하는 가스의 유량 및 측정 대상물의 누설률을 모니터링하는 측정 대상물의 누설률을 모니터링하는 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 층류소자는 지지판에 형성된 개구를 통해 삽입되어 상기 유로에 지지되고, 상기 개구와 상기 층류소자의 원주 사이는 용접되는 측정 대상물의 누설률을 모니터링하는 방법.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109211490A (zh) * 2018-09-14 2019-01-15 克诺尔商用车系统（重庆）有限公司 气密性检测装置
KR20200023074A (ko) * 2018-08-24 2020-03-04 주식회사 진일이엔씨 유동분포 특성을 위한 다중 차압장치 및 이의 운용방법
KR20220001715A (ko) * 2020-06-30 2022-01-06 자인주식회사 산소 공급 시스템

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH056327U (ja) * 1991-07-11 1993-01-29 株式会社エステツク 層流素子
KR100526291B1 (ko) 2002-04-18 2005-11-03 한국표준과학연구원 누설율 모니터링 장치
US20130008261A1 (en) * 2011-06-22 2013-01-10 Edward Albert Morrell Gas flow meter with horizontal piston movement
WO2016035558A1 (ja) * 2014-09-01 2016-03-10 日立金属株式会社 質量流量制御装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH056327U (ja) * 1991-07-11 1993-01-29 株式会社エステツク 層流素子
KR100526291B1 (ko) 2002-04-18 2005-11-03 한국표준과학연구원 누설율 모니터링 장치
US20130008261A1 (en) * 2011-06-22 2013-01-10 Edward Albert Morrell Gas flow meter with horizontal piston movement
WO2016035558A1 (ja) * 2014-09-01 2016-03-10 日立金属株式会社 質量流量制御装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200023074A (ko) * 2018-08-24 2020-03-04 주식회사 진일이엔씨 유동분포 특성을 위한 다중 차압장치 및 이의 운용방법
CN109211490A (zh) * 2018-09-14 2019-01-15 克诺尔商用车系统（重庆）有限公司 气密性检测装置
KR20220001715A (ko) * 2020-06-30 2022-01-06 자인주식회사 산소 공급 시스템

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