JP2016189219A - 質量流量コントローラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】質量流量コントローラは、質量流量コントローラを通る質量流量を測定するように構成され、配置された第1の流量計と、質量流量コントローラを通る質量流量を測定するように構成され、配置された第2の流量計と、流量計のうちの1つによって測定された流量の関数として生成された制御信号に応じて、質量流量コントローラを通る質量流量を制御するように構成され、配置された制御弁と、制御信号を生成し、第1の流量計によって測定された質量流量と第2の流量計によって測定された質量流量の差が閾値を超えた場合に指示を行うように構成され、配置されたシステムコントローラと、を含む。
【選択図】図1
Description
本出願は、2012年1月20日に出願された米国特許出願第13/354,988号の優先権を米国特許法第119条の下で主張するものであり、その内容は参照として全体が本明細書に組み入れられる。
12,14 流量計
16 システムコントローラ
18 制御弁
20 MFC
28 ブロック
30,70 第1の流量計
32 吸気口
34 主流路
36 熱質量流量センサ
38 バイパス素子
40 毛管
42 抵抗素子
50,72 第2の流量計
52,74 流量制限器
54 温度センサ
56 上流圧センサ
58 下流センサ
60 排気口
76 比較器
78 閾値検出器
80 閾値設定
Claims (19)
- 質量流量コントローラを通る質量流量を測定するように構成され、配置された第1の流量計と、
前記質量流量コントローラを通る質量流量を測定するように構成され、配置された第2の流量計と、
前記流量計のうちの1つによって測定された前記流量の関数として生成された制御信号に応じて、前記質量流量コントローラを通る前記質量流量を制御するように構成され、配置された制御弁と、
前記制御信号を生成し、前記第1の流量計によって測定された前記質量流量と前記第2の流量計によって測定された前記質量流量の差が閾値を超えた場合に指示を行うように構成され、配置されたシステムコントローラと、
を含む、質量流量コントローラ。 - 前記第1の流量計と前記第2の流量計は同じ種類である、請求項1に記載の質量流量コントローラ。
- 前記第1の流量計と前記第2の流量計は違う種類である、請求項1に記載の質量流量コントローラ。
- 前記流量計のうち少なくとも1つは差圧流量計である、請求項1に記載の質量流量コントローラ。
- 前記流量計のうち少なくとも1つは熱質量流量計である、請求項1に記載の質量流量コントローラ。
- 前記流量計のうちもう片方は差圧流量計である、請求項5に記載の質量流量コントローラ。
- 前記流量計のうち少なくとも1つはコリオリ流量計である、請求項1に記載の質量流量コントローラ。
- 前記流量計のうち少なくとも1つは磁気式流量計である、請求項1に記載の質量流量コントローラ。
- 前記流量計のうち少なくとも1つは超音波流量計である、請求項1に記載の質量流量コントローラ。
- 前記第1および第2の流量計は前記制御弁の上流および下流にそれぞれ位置する、請求項1に記載の質量流量コントローラ。
- 前記第1および第2の流量計の両方が前記制御弁の上流に位置する、請求項1に記載の質量流量コントローラ。
- 前記第1および第2の流量計の両方が前記制御弁の下流に位置する、請求項1に記載の質量流量コントローラ。
- 前記制御信号は、熱質量流量計によって測定された流量の関数として生成される、請求項1に記載の質量流量コントローラ。
- もう片方の流量計は差圧流量計である、請求項13に記載の質量流量コントローラ。
- 前記制御信号は、差圧流量計によって測定された流量の関数として生成される、請求項1に記載の質量流量コントローラ。
- もう片方の流量計は熱質量流量計である、請求項15に記載の質量流量コントローラ。
- 前記閾値はユーザ設定である、請求項1に記載の質量流量コントローラ。
- 前記閾値は工場設定である、請求項1に記載の質量流量コントローラ。
- 前記閾値は、ガスを送るために前記コントローラを使用する工程の質量流量における許容差の関数として設定される、請求項1に記載の質量流量コントローラ。
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