JP5264994B2 - 流体から気体分子を採取するためのガスプローブおよびガスプローブを備えた装置 - Google Patents
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Claims (13)
- 流体から気体分子を採取するガスプローブ(1)であって、このガスプローブ(1)は、気体サンプル分子を前記流体からハウジングの内部に取り入れるためのオリフィス(3)を有するプローブハウジング(2)を備えて構成され、前記プローブハウジング(2)の前記内部が、前記気体サンプル分子の中のテストガス分子を検出するように構成されたテストガスセンサ(4)と気体連通した状態に置かれるような構成となっている、ガスプローブ(1)において、
前記ガスプローブ(1)はさらに、層(7a、7b、8a、8b、8c、8d、9a、9b、9c、9d)の積層体で構成される保護手段(6)を備え、前記保護手段である積層体(6)は、前記プローブハウジング(2)の中で、前記オリフィス(3)から、およびさらに前記プローブハウジング(2)の中へ入る気体サンプル分子のための流路内に配置され、その結果、気体サンプル分子が、前記プローブハウジング(2)の中へとさらに進んで前記テストガスセンサ(4)に到達するために、前記積層体(6)のすべての層(7a、7b、8a、8b、8c、8d、9a、9b、9c、9d)を通過する必要があり、気体サンプル分子は気体サンプル流の中で前記積層体(6)を通過し、前記積層体(6)は、前記気体サンプル流が前記積層体(6)を通過する方向に見て、少なくとも第一の膜層(7a)と、第一のスペーサ層(8a)と、第一のフィルタ層(9a)と、第二のスペーサ層(8b)とを有していること、
前記プローブハウジング(2)は、ブロッキングガス分子を前記第二のスペーサ層(8b)の中に導入するための吸気口(10)と、ブロッキングガス分子を前記第一のスペーサ層(8a)から外に放出するための排出口(11)とを有し、前記ブロッキングガス分子は、前記排出口(11)に到達するために、前記気体サンプル流の方向とは逆方向に向けられたブロッキングガス流内で前記第一のフィルタ層(9a)を通過する必要があること、および
前記ガスプローブ(1)は、前記吸気口(10)から前記第二のスペーサ層(8b)へのブロッキングガス分子の流れを制御し、前記第一のフィルタ層(9a)を通過する前記ブロッキングガス流を制御して、前記第一のフィルタ層(9a)を通過する前記気体サンプル流を制御するための制御ユニット(12)に連結可能であること、
を特徴とするガスプローブ(1)。 - 前記ガスプローブ(1)は前記制御ユニット(12)を備えて構成されることを特徴とする、請求項1に記載のガスプローブ(1)。
- 前記積層体(6)が、前記第一の膜層(7a)と前記第一のスペーサ層(8a)との間に介在する第二のフィルタ層(9b)をさらに備え、前記第二のフィルタ層(9b)は、前記積層体(6)を通過する前記気体サンプル流の方向に見て、前記第一の膜層(7a)の後で、前記第一のスペーサ層(8a)の前に配置されていることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載のガスプローブ(1)。
- 前記積層体(6)は、前記積層体(6)を通過する前記気体サンプル流の方向に見て、前記第一の膜層(7a)の前に配置された第二のフィルタ層(9b)をさらに備えることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載のガスプローブ(1)。
- 前記積層体(6)は、前記積層体(6)を通過する前記気体サンプル流の方向に見て、前記第二のスペーサ層(8b)の後に配置された第三のフィルタ層(9c)と、前記積層体(6)を通過する前記気体サンプル流の方向に見て、前記第三のフィルタ層(9c)の後に配置された第三のスペーサ層(8c)とをさらに備えることを特徴とする、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のガスプローブ(1)。
- 前記積層体(6)は、前記第三のフィルタ層(9c)と前記第三のスペーサ層(8c)との間に介在する第二の膜層(7b)をさらに備えることを特徴とする、請求項5に記載のガスプローブ(1)。
- 前記積層体(6)は、前記第一のスペーサ層(8a)と前記第一のフィルタ層(9a)との間に介在する第四のフィルタ層(9d)と第四のスペーサ層(8d)をさらに備え、前記第四のフィルタ層(9d)は、前記積層体(6)を通過する前記気体サンプル流の方向に見て、前記第四のスペーサ層(8d)の前に配置されていることを特徴とする、請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のガスプローブ(1)。
- 前記テストガスは、水素、ヘリウム、二酸化炭素、六フッ化硫黄、炭化水素からなる群から選択されることを特徴とする、請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のガスプローブ(1)。
- 請求項1から請求項8のいずれか一項に記載のガスプローブ(1)と前記テストガスセンサ(4)とを備えることを特徴とする、テストガス検出システム(5)。
- 前記テストガスセンサ(4)は、前記ガスプローブ(1)の前記プローブハウジング(2)の内部に配置されていることを特徴とする、請求項9に記載のテストガス検出システム(5)。
- 前記テストガスセンサ(4)が、前記ガスプローブ(1)の前記プローブハウジング(2)の内部に連結可能な別のセンサユニット(15)の中に配置されていることを特徴とする、請求項9に記載のテストガス検出システム(5)。
- ブロッキングガス供給源、ブロッキングガスポンプおよび測定ユニット(16)からなる群から選択される少なくとも1つの装置をさらに備えることを特徴とする、請求項9から請求項11のいずれか一項に記載のテストガス検出システム(5)。
- 請求項9から請求項12のいずれか一項に記載のテストガス検出システム(5)、並びに、試験対象物を収容するように構成された密閉可能なテストチャンバと、前記ガスプローブ(1)を前記テストチャンバに連結するためのフランジと、トレーサガス供給源と、トレーサガス制御ユニットと、トレーサガス圧力調整器と、真空ポンプと、前記試験対象物のための固定具と、固定具制御ユニットとからなる群から選択される少なくとも1つの装置を備えることを特徴とする、リークテストシステム。
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