JP3787191B2 - 流体回路内のヘリウムの存在を検出するための設備 - Google Patents
流体回路内のヘリウムの存在を検出するための設備 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3787191B2 JP3787191B2 JP13033496A JP13033496A JP3787191B2 JP 3787191 B2 JP3787191 B2 JP 3787191B2 JP 13033496 A JP13033496 A JP 13033496A JP 13033496 A JP13033496 A JP 13033496A JP 3787191 B2 JP3787191 B2 JP 3787191B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- helium
- semi
- space
- equipment
- leak detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 32
- 239000001307 helium Substances 0.000 title claims description 31
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 title claims description 31
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims description 20
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 14
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 11
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 10
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 10
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 7
- 239000002775 capsule Substances 0.000 claims description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 6
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N nitrogen dioxide Inorganic materials O=[N]=O JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体回路内のヘリウムの存在を検出するための設備に関する。
【０００２】
【従来の技術】
稼働している化学、石油化学、熱等の設備内の回路の気密性を点検する方法として、これら回路内に加圧ヘリウムを注入し、点検しようとする部分を、二次流体が流れる二次回路を構成するケーシング（enveloppe ）で取り囲む方法が知られている。被検部分内の設備のある回路から漏れがある場合、二次流体はヘリウムによって「汚染」される。このように、二次回路内にヘリウムが存在することにより、漏れが存在することがわかる。ヘリウムの存在を検出するための既知の技術は、主として、多孔質媒体に支持されヘリウムだけを通過させる分離半透過膜によって内部的に二つの部分に分離された小型ケーシングから成る半透過膜採取セルを使用することから成る。このセルが二次流体採取回路内に挿入され、二次流体は半透過膜の前を通過するが、膜の反対側に位置するケーシングの部分はヘリウム漏れ検出器に接続される。
【０００３】
上記と同じ作用をもたらす別の既知の方法は、漏れ検出器に接続された半透過膜通気（reniflage ）プローブ（sonde ）を使用することである。唯一の違いは、この場合はプローブが、膜によって内部的に二つの部分に分離される小型ケーシングではなく、いわば膜によってケーシングが閉じられること、ならびに膜の前において、ヘリウムが存在した場合その検出を所望する場所を流体が通過するようにするために、プローブの周囲にパッキンを設けることにより、この流体が通過する回路内にプローブを挿入しなければならないことである。
【０００４】
いずれの場合も、漏れ検出器を採取セルまたは通気プローブに接続する管路は真空度が高く、万一ヘリウムが存在したとしても、分子状態で循環する。従って素早い検出器の反応を得るためには、この管路が最大でも２〜３ｍと短く、かつ直径が少なくとも１ｃｍと充分に大きいことが必須である。このように検出器は被検回路に近いところになければならないが、被検回路は、配管が入り組んだりあるいは危険ですらあるような、接近が難しい環境下にあることが多い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、この欠点を解消することを目的とし、ヘリウムを通す半透過隔壁によって互いに分離された第一空間および第二空間を含む容量を構成する採取装置を備え、前記採取装置の前記第一空間が前記流体回路内に直列に挿入され、前記第二空間が可変開口オリフィスを介して気体発生源に接続されるとともに、管路によりポンピング手段に接続され、管路内でポンピングされる流束によりこの粘性状態の流束が、ヘリウム漏れ検出器に接続された取り込み装置の方向に送られることを特徴とする流体回路内のヘリウムの存在を検出するための設備を対象とする。
【０００７】
個別の実施態様によれば、前記ポンピング手段は、前記漏れ検出器を構成する一次ポンプ段であり、前記取り込み装置は、前記管路および前記ポンピング手段、ならびに前記ヘリウム漏れ検出器の入力部に接続された半透過多孔質隔壁カプセルである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
次に、図を参照しながら本発明について説明する。
【０００９】
図１を参照すると、流体回路１内のヘリウムの存在を検出するための本発明による設備がある。この検出を行うために採取装置２を使用する。このような装置は既知である。この装置はたとえば、ヘリウムしか通さない半透過隔壁５によって分離された第一空間３および第二空間４を含む容量を構成する。この隔壁はたとえば、液体中に溶解したヘリウムしか通さない厚み１０ミクロン程度の薄い分離膜と、膜を支持する多孔質媒体とで構成される。
【００１０】
この採取装置２の第一空間３は回路１に直列に挿入される。この採取装置２の第二空間４は、単に空気か好ましくは窒素または二酸化炭素などのヘリウムを含まない気体である坦体気体の発生源に可変開口弁６を介して接続されるとともに、管路７によりポンピング手段８に接続される。この管路７の長さは数ｍから数十ｍとし、内径はｍｍ程度と小さくすることができる。ポンピングされた流束は９において吸引され、粘性状態で輸送される。管路７の端部では、ポンピングされた流束が、ヘリウム漏れ検出器１１に接続された取り込み装置１０上を通過する。
【００１１】
取り込み装置１０はたとえば（図２）、採取装置２に類似した半透過多孔質隔壁２６を有するカプセル、または管路７の拡大部分内に挿入された簡単な通気プローブである。この取り込み装置は、管路７およびポンプ８、ならびに検出器１１の入力部２７に接続される。
【００１２】
従って流体回路１内にヘリウムが存在する場合、ヘリウムのみが半透過隔壁５を通過し、ポンプ８により９において吸引される坦体気体（空気、窒素等）によって駆動され同気体と混合されて第二空間４内に戻り、ポンプにより粘性状態で駆動される。坦体気体の流束は、可変弁６によって調節される。取り込み装置１０内で、気体流束は二つに分かれ、小さい方は検出器１１に向かって流れ、大きい方はポンプ８によってポンピングされる。有利には、９において吸引される坦体気体として、必然的にヘリウムを含む空気ではなく、窒素を使用する。これにより、バックグラウンドノイズを低減することが可能である。
【００１３】
有利には、ポンプ８は、図１のフレーム１２内にまとめられた要素のアセンブリの好ましい実施例を示す図２に示すように、検出器そのもののポンピングシステムの一部を成す。
【００１４】
取り込み装置１０につながる管路７について説明する。そこでは、直列接続された二つのベーンポンプ１４および８を含む一次ポンプユニット１３の高圧段８によって、気体流束の大部分が高速でポンピングされる。
【００１５】
１０に入る流束の一部は、二次ポンプ１５および一次ポンプユニット１３を含む検出器のポンピングユニットによって吸引される。分析セル１６は、二次ポンプ１５の吸引側に接続される。
【００１６】
このように、本発明により、アセンブリ１２は被検回路１から遠いところに設置することができ、ヘリウムが回路内に存在し隔壁５を通過する場合、ヘリウムは、９において吸引される坦体気体流束によって駆動され、粘性状態で素早く検出器の取り込み装置１０まで送られる。前記で説明したように、管路７は非常に長くすることができる。
【００１７】
図３は、分離膜の表面積がより大きい、すなわちより多量のヘリウムがこれら膜を横断できるようにし、従って坦体気体で駆動されるヘリウム流束を増大させることが可能な採取装置２の実施変形例を示す図であり、これにより感度が向上する。
【００１８】
この装置は、それぞれが半透過膜の媒体の役目を果たす複数の多孔質の管１７を含む。これらの管は平行に配設され、一方の端部が、吸い込みマニホールド（collecteur）１９に結合された第一管板１８に接続され、管１７のもう一方の端部は、排出マニホールド２１に結合された第二管板２０に同じ方法で接続される。外部ケーシング２２は、二つの管板１８および２０を接続することにより管１７を囲んでいる。このケーシング２２は、坦体気体発生源に接続される入力オリフィス２３と、管路７に接続された出力オリフィス２４とを含む。
【００１９】
吸い込みマニホールド１９および排出マニホールド２１は、被検流体回路１に接続される。
【００２０】
図４は、異なる複数の流体回路１Ａ、１Ｂおよび１Ｃの点検を可能にする複数の採取装置２を直列に組み合わせた設備の場合を示す図である。これら回路はそれぞれ、連続測定を可能にする仕切弁２５を具備する。
【００２１】
図５は、採取装置２が並列に配置される図４の変形である。この図においては、検出装置は図２と同様に詳細が示してある。
【図面の簡単な説明】
【図１】流体回路内のヘリウムの存在を検出するための本発明による設備を示す略図である。
【図２】個別の実施態様における図１の部分の詳細を示す図である。
【図３】個別の実施態様における発明による採取装置を示す図である。
【図４】複数の流体回路の点検を可能にする複数の採取装置を直列に組み合わせた場合を示す、本発明による設備を示す図である。
【図５】異なる採取装置が並列に配置される、図４の設備の変形例である。
【符号の説明】
１ 流体回路
２ 採取装置
３ 第一空間
４ 第二空間
５ 半透過隔壁
６ 可変開口オリフィス
７ 管路
８ ポンピング手段
９ 気体発生源
１０ 取り込み装置
１１ ヘリウム漏れ検出器
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体回路内のヘリウムの存在を検出するための設備に関する。
【０００２】
【従来の技術】
稼働している化学、石油化学、熱等の設備内の回路の気密性を点検する方法として、これら回路内に加圧ヘリウムを注入し、点検しようとする部分を、二次流体が流れる二次回路を構成するケーシング（enveloppe ）で取り囲む方法が知られている。被検部分内の設備のある回路から漏れがある場合、二次流体はヘリウムによって「汚染」される。このように、二次回路内にヘリウムが存在することにより、漏れが存在することがわかる。ヘリウムの存在を検出するための既知の技術は、主として、多孔質媒体に支持されヘリウムだけを通過させる分離半透過膜によって内部的に二つの部分に分離された小型ケーシングから成る半透過膜採取セルを使用することから成る。このセルが二次流体採取回路内に挿入され、二次流体は半透過膜の前を通過するが、膜の反対側に位置するケーシングの部分はヘリウム漏れ検出器に接続される。
【０００３】
上記と同じ作用をもたらす別の既知の方法は、漏れ検出器に接続された半透過膜通気（reniflage ）プローブ（sonde ）を使用することである。唯一の違いは、この場合はプローブが、膜によって内部的に二つの部分に分離される小型ケーシングではなく、いわば膜によってケーシングが閉じられること、ならびに膜の前において、ヘリウムが存在した場合その検出を所望する場所を流体が通過するようにするために、プローブの周囲にパッキンを設けることにより、この流体が通過する回路内にプローブを挿入しなければならないことである。
【０００４】
いずれの場合も、漏れ検出器を採取セルまたは通気プローブに接続する管路は真空度が高く、万一ヘリウムが存在したとしても、分子状態で循環する。従って素早い検出器の反応を得るためには、この管路が最大でも２〜３ｍと短く、かつ直径が少なくとも１ｃｍと充分に大きいことが必須である。このように検出器は被検回路に近いところになければならないが、被検回路は、配管が入り組んだりあるいは危険ですらあるような、接近が難しい環境下にあることが多い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、この欠点を解消することを目的とし、ヘリウムを通す半透過隔壁によって互いに分離された第一空間および第二空間を含む容量を構成する採取装置を備え、前記採取装置の前記第一空間が前記流体回路内に直列に挿入され、前記第二空間が可変開口オリフィスを介して気体発生源に接続されるとともに、管路によりポンピング手段に接続され、管路内でポンピングされる流束によりこの粘性状態の流束が、ヘリウム漏れ検出器に接続された取り込み装置の方向に送られることを特徴とする流体回路内のヘリウムの存在を検出するための設備を対象とする。
【０００７】
個別の実施態様によれば、前記ポンピング手段は、前記漏れ検出器を構成する一次ポンプ段であり、前記取り込み装置は、前記管路および前記ポンピング手段、ならびに前記ヘリウム漏れ検出器の入力部に接続された半透過多孔質隔壁カプセルである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
次に、図を参照しながら本発明について説明する。
【０００９】
図１を参照すると、流体回路１内のヘリウムの存在を検出するための本発明による設備がある。この検出を行うために採取装置２を使用する。このような装置は既知である。この装置はたとえば、ヘリウムしか通さない半透過隔壁５によって分離された第一空間３および第二空間４を含む容量を構成する。この隔壁はたとえば、液体中に溶解したヘリウムしか通さない厚み１０ミクロン程度の薄い分離膜と、膜を支持する多孔質媒体とで構成される。
【００１０】
この採取装置２の第一空間３は回路１に直列に挿入される。この採取装置２の第二空間４は、単に空気か好ましくは窒素または二酸化炭素などのヘリウムを含まない気体である坦体気体の発生源に可変開口弁６を介して接続されるとともに、管路７によりポンピング手段８に接続される。この管路７の長さは数ｍから数十ｍとし、内径はｍｍ程度と小さくすることができる。ポンピングされた流束は９において吸引され、粘性状態で輸送される。管路７の端部では、ポンピングされた流束が、ヘリウム漏れ検出器１１に接続された取り込み装置１０上を通過する。
【００１１】
取り込み装置１０はたとえば（図２）、採取装置２に類似した半透過多孔質隔壁２６を有するカプセル、または管路７の拡大部分内に挿入された簡単な通気プローブである。この取り込み装置は、管路７およびポンプ８、ならびに検出器１１の入力部２７に接続される。
【００１２】
従って流体回路１内にヘリウムが存在する場合、ヘリウムのみが半透過隔壁５を通過し、ポンプ８により９において吸引される坦体気体（空気、窒素等）によって駆動され同気体と混合されて第二空間４内に戻り、ポンプにより粘性状態で駆動される。坦体気体の流束は、可変弁６によって調節される。取り込み装置１０内で、気体流束は二つに分かれ、小さい方は検出器１１に向かって流れ、大きい方はポンプ８によってポンピングされる。有利には、９において吸引される坦体気体として、必然的にヘリウムを含む空気ではなく、窒素を使用する。これにより、バックグラウンドノイズを低減することが可能である。
【００１３】
有利には、ポンプ８は、図１のフレーム１２内にまとめられた要素のアセンブリの好ましい実施例を示す図２に示すように、検出器そのもののポンピングシステムの一部を成す。
【００１４】
取り込み装置１０につながる管路７について説明する。そこでは、直列接続された二つのベーンポンプ１４および８を含む一次ポンプユニット１３の高圧段８によって、気体流束の大部分が高速でポンピングされる。
【００１５】
１０に入る流束の一部は、二次ポンプ１５および一次ポンプユニット１３を含む検出器のポンピングユニットによって吸引される。分析セル１６は、二次ポンプ１５の吸引側に接続される。
【００１６】
このように、本発明により、アセンブリ１２は被検回路１から遠いところに設置することができ、ヘリウムが回路内に存在し隔壁５を通過する場合、ヘリウムは、９において吸引される坦体気体流束によって駆動され、粘性状態で素早く検出器の取り込み装置１０まで送られる。前記で説明したように、管路７は非常に長くすることができる。
【００１７】
図３は、分離膜の表面積がより大きい、すなわちより多量のヘリウムがこれら膜を横断できるようにし、従って坦体気体で駆動されるヘリウム流束を増大させることが可能な採取装置２の実施変形例を示す図であり、これにより感度が向上する。
【００１８】
この装置は、それぞれが半透過膜の媒体の役目を果たす複数の多孔質の管１７を含む。これらの管は平行に配設され、一方の端部が、吸い込みマニホールド（collecteur）１９に結合された第一管板１８に接続され、管１７のもう一方の端部は、排出マニホールド２１に結合された第二管板２０に同じ方法で接続される。外部ケーシング２２は、二つの管板１８および２０を接続することにより管１７を囲んでいる。このケーシング２２は、坦体気体発生源に接続される入力オリフィス２３と、管路７に接続された出力オリフィス２４とを含む。
【００１９】
吸い込みマニホールド１９および排出マニホールド２１は、被検流体回路１に接続される。
【００２０】
図４は、異なる複数の流体回路１Ａ、１Ｂおよび１Ｃの点検を可能にする複数の採取装置２を直列に組み合わせた設備の場合を示す図である。これら回路はそれぞれ、連続測定を可能にする仕切弁２５を具備する。
【００２１】
図５は、採取装置２が並列に配置される図４の変形である。この図においては、検出装置は図２と同様に詳細が示してある。
【図面の簡単な説明】
【図１】流体回路内のヘリウムの存在を検出するための本発明による設備を示す略図である。
【図２】個別の実施態様における図１の部分の詳細を示す図である。
【図３】個別の実施態様における発明による採取装置を示す図である。
【図４】複数の流体回路の点検を可能にする複数の採取装置を直列に組み合わせた場合を示す、本発明による設備を示す図である。
【図５】異なる採取装置が並列に配置される、図４の設備の変形例である。
【符号の説明】
１ 流体回路
２ 採取装置
３ 第一空間
４ 第二空間
５ 半透過隔壁
６ 可変開口オリフィス
７ 管路
８ ポンピング手段
９ 気体発生源
１０ 取り込み装置
１１ ヘリウム漏れ検出器
Claims (5)
- ヘリウムを通すことができる半透過隔壁（５）によって互いに分離された内部の第一空間（３）および第二空間（４）からなる容量を構成する採取装置（２）を含み、前記採取装置（２）の前記第一空間（３）が流体回路（１）内に直列に挿入されている、循環流体回路（１）内のヘリウムの存在を検出するための設備であって、
管路（７）を通って粘性状態でポンピングされる流束を、ヘリウム漏れ検出器（１１）に接続された、半透過多孔質隔壁（２６）を含む取り込み装置（１０）の方へ送るために、前記第二空間（４）が、可変開口を有するオリフィス（６）を介して気体発生源（９）に接続されるとともに、管路（７）によりポンピング手段（８）に接続されていることを特徴とする、前記設備。 - 前記ポンピング手段（８）が、前記ヘリウム漏れ検出器（１１）の一部を構成する一次ポンプ（１３）段であることを特徴とする請求項１に記載の設備。
- 前記取り込み装置（１０）が、前記管路（７）および前記ポンピング手段（８）、ならびに前記ヘリウム漏れ検出器（１１）の入力部（２７）に接続された、半透過多孔質隔壁（２６）を持つカプセルであることを特徴とする請求項１または２に記載の設備。
- 前記採取装置（２）が、それぞれが半透過膜の媒体の役目を果し、平行に配設され、一方の端部が、吸い込みマニホールド（１９）に結合された第一管板（１８）に接続され、もう一方の端部が、排出マニホールド（２１）に結合された第二管板（２０）に接続された、複数の多孔質の管（１７）を備え、外部ケーシング（２２）が二つの管板を接続し管を囲み、入力オリフィス（２３）と出力オリフィス（２４）とを備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の設備。
- ｎ個の採取装置（２）の前記第二空間（４）が直列または並列に結合され、ｎ個の採取装置それぞれの前記第一空間（３）が、点検を行う個々の流体回路（１Ａ、１Ｂ、１Ｃ）内に挿入されることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の設備。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9506220A FR2734633B1 (fr) | 1995-05-24 | 1995-05-24 | Installation pour detecter la presence d'helium dans un circuit de fluide |
| FR9506220 | 1995-05-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08327492A JPH08327492A (ja) | 1996-12-13 |
| JP3787191B2 true JP3787191B2 (ja) | 2006-06-21 |
Family
ID=9479357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13033496A Expired - Fee Related JP3787191B2 (ja) | 1995-05-24 | 1996-05-24 | 流体回路内のヘリウムの存在を検出するための設備 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5728929A (ja) |
| EP (1) | EP0744604B1 (ja) |
| JP (1) | JP3787191B2 (ja) |
| DE (1) | DE69618850T2 (ja) |
| FR (1) | FR2734633B1 (ja) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19536472A1 (de) * | 1995-09-29 | 1997-04-03 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Bestimmung von Konzentrationsprovilen flüssiger oder gasförmiger Stoffe längs einer Strecke |
| GB9612677D0 (en) * | 1996-06-18 | 1996-08-21 | Werner Thomas | Leak detection in heat exchangers |
| US6205845B1 (en) * | 1999-02-22 | 2001-03-27 | Seagate Technology Llc | Disc drive outgassing system |
| US6460405B1 (en) * | 2000-10-02 | 2002-10-08 | Mocon, Inc. | Method for measuring gas leakage from sealed packages |
| US6401465B1 (en) * | 2000-10-19 | 2002-06-11 | Carrier Corporation | Absorption chiller leak detection and location and checking hydrogen removing cells |
| DE10055057A1 (de) * | 2000-11-07 | 2002-05-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Leckdetektorpumpe |
| US7204127B2 (en) * | 2003-06-11 | 2007-04-17 | Varian, Inc. | Method and apparatus for large leak testing |
| EP1860419B1 (en) * | 2003-06-11 | 2014-02-26 | Agilent Technologies, Inc. | Apparatus for leak detection |
| WO2006076110A2 (en) * | 2005-01-10 | 2006-07-20 | Mocon, Inc | Instrument and method for detecting leaks in hermetically sealed packaging |
| JP4684300B2 (ja) | 2005-02-02 | 2011-05-18 | モコン・インコーポレーテッド | 密封シールされた包装における漏洩の大きさの検出及び報告用装置及び方法 |
| WO2006088542A2 (en) | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Mocon, Inc. | Detecting and reporting the location of a leak in hermetically sealed packaging |
| JP3819418B1 (ja) * | 2005-08-12 | 2006-09-06 | ジーティーアールテック株式会社 | 透過量測定装置 |
| US7459677B2 (en) * | 2006-02-15 | 2008-12-02 | Varian, Inc. | Mass spectrometer for trace gas leak detection with suppression of undesired ions |
| US7427751B2 (en) | 2006-02-15 | 2008-09-23 | Varian, Inc. | High sensitivity slitless ion source mass spectrometer for trace gas leak detection |
| US7905132B1 (en) | 2007-08-14 | 2011-03-15 | LACO Technologies, Inc. | Leak testing using tracer gas permeable membrane |
| CN101983324B (zh) * | 2008-03-31 | 2014-02-26 | Atmi包装公司 | 用于柔性容器完整性测试的设备和方法 |
| US8534120B1 (en) | 2012-09-14 | 2013-09-17 | Advanced Scientifics, Inc. | Test system and method for flexible containers |
| DE102013217279A1 (de) * | 2013-08-29 | 2015-03-05 | Inficon Gmbh | Selbstreinigender Partikelfilter in einer Schnüffelsonde |
| DK3065691T3 (da) | 2013-12-10 | 2021-02-01 | Abec Inc | Steril engangsbeholder med en aftagelig fastgørelsesindretning |
| EP3691781A4 (en) | 2017-10-03 | 2021-01-20 | Abec, Inc. | REACTOR SYSTEMS |
| FR3081050B1 (fr) * | 2018-05-09 | 2020-05-22 | Ateq | Installation de detection de fuite, procede, utilisation, et moyens de stockage de programme d'ordinateur correspondants. |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3339341A (en) * | 1965-12-22 | 1967-09-05 | Du Pont | Fluid separation process and apparatus |
| FR2411024A1 (fr) * | 1977-12-08 | 1979-07-06 | Graner Joseph | Procede de separation |
| FR2452699A1 (fr) * | 1979-03-28 | 1980-10-24 | Cit Alcatel | Dispositif de reniflage pour detecteur de fuites a helium a spectrometre de masse |
| JPS56126733A (en) * | 1980-03-10 | 1981-10-05 | Nippon Sanso Kk | Detecting method for leakage of helium |
| US4459844A (en) * | 1982-06-17 | 1984-07-17 | Smith & Denison | Gas separation chamber and portable leak detection system |
| JPS61129547A (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-17 | Toshiba Corp | サンプリング流量調整方法 |
| JPH07110330B2 (ja) * | 1986-05-20 | 1995-11-29 | 旭化成工業株式会社 | ガスの除湿方法 |
| FR2604522B1 (fr) * | 1986-09-26 | 1989-06-16 | Cit Alcatel | Installation de detection de fuite a gaz traceur et procede d'utilisation |
| FR2606509B1 (fr) * | 1986-11-07 | 1989-06-30 | Cit Alcatel | Detecteur de fuite a helium |
| US5022265A (en) * | 1987-03-31 | 1991-06-11 | Finn-Aqua | Method and apparatus for leak testing fluid conducting freeze-drying apparatus |
| EP0365042A1 (de) * | 1987-03-31 | 1990-04-25 | FINN-AQUA SANTASALO-SOHLBERG GmbH | Verfahren zur Lecküberwachung von fluidführenden Leitungssystemen bei Gefriertrocknungseinrichtungen und für die Durchführung dieses Verfahrens geeignete Gefriertrocknungseinrichtung |
| GB8830107D0 (en) * | 1988-12-23 | 1989-02-22 | Boc Group Plc | Gas separation |
| JPH0481033U (ja) * | 1990-11-28 | 1992-07-15 | ||
| FR2681688B1 (fr) * | 1991-09-24 | 1993-11-19 | Alcatel Cit | Installation de detection de fuites de gaz utilisant la technique de reniflage. |
| FR2681689B1 (fr) * | 1991-09-25 | 1993-11-12 | Alcatel Cit | Detecteur de fuite a gaz traceur. |
| JP2612999B2 (ja) * | 1992-10-26 | 1997-05-21 | 日本電信電話株式会社 | 質量分析型ガス漏れ検知器 |
-
1995
- 1995-05-24 FR FR9506220A patent/FR2734633B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-05-20 EP EP96401094A patent/EP0744604B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1996-05-20 DE DE69618850T patent/DE69618850T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-05-22 US US08/651,748 patent/US5728929A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-05-24 JP JP13033496A patent/JP3787191B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0744604A1 (fr) | 1996-11-27 |
| DE69618850D1 (de) | 2002-03-14 |
| EP0744604B1 (fr) | 2002-01-30 |
| JPH08327492A (ja) | 1996-12-13 |
| FR2734633B1 (fr) | 1997-06-20 |
| DE69618850T2 (de) | 2002-08-14 |
| US5728929A (en) | 1998-03-17 |
| FR2734633A1 (fr) | 1996-11-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3787191B2 (ja) | 流体回路内のヘリウムの存在を検出するための設備 | |
| US4459844A (en) | Gas separation chamber and portable leak detection system | |
| US20140096595A1 (en) | Method and device for tightness testing | |
| US4419882A (en) | Leakage detection method using helium | |
| US5341671A (en) | Helium leak detector | |
| EP2390643A1 (en) | Leak test probe for use in industrial facilities | |
| RU2545355C2 (ru) | Способ функциональной проверки течеискателя | |
| JP2000298073A (ja) | デュアルモード・リークディテクタ | |
| US4294106A (en) | Leak detector | |
| CN107179163B (zh) | 大型变压器密封元件的高速吸枪泄漏检测装置及检测方法 | |
| GB2132364A (en) | Low pressure leak detector | |
| CN109211485B (zh) | 检测中空零件泄露的方法和实施该方法的装置 | |
| RU1809919C (ru) | Устройство дл детектировани утечки с помощью газа-индикатора | |
| JP2007500364A (ja) | 大規模漏れテスト方法および装置 | |
| US5193380A (en) | High flow-rate leak detector having three molecular filters | |
| JP5264994B2 (ja) | 流体から気体分子を採取するためのガスプローブおよびガスプローブを備えた装置 | |
| CN115336421B (zh) | 一种用于单组元推力器的氦质谱检漏装置 | |
| WO2021069519A1 (en) | Detection of leaks in heat exchangers | |
| JP3390506B2 (ja) | ガス漏れ検査装置 | |
| JP4026579B2 (ja) | 気密漏れ検査方法及び装置 | |
| US6282946B1 (en) | Leak detector | |
| JPH04268430A (ja) | 漏れ検出装置 | |
| JPS63151347A (ja) | 薬液供給管 | |
| JPH04270932A (ja) | 洩れ探査装置 | |
| SU640168A1 (ru) | Устройство дл отбора проб жидкости |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050510 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050810 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060307 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060324 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |