RU1809919C - Устройство дл детектировани утечки с помощью газа-индикатора - Google Patents

Abstract

Изобретение касаетс  контрол  на герметичность с помощью газа-индикатора и позвол ет повысить чувствительность путем уменьшени  фонового шума. Дл  этого на линии 2 первичной откачки издели  4 установлен дополнительный вторичный механический насос 14, расположенный между форвакуумным вентилем 5 и первичным форвакуумным насосом 1. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Изобретение относитс  к системе детектировани  утечек с помощью газа-индикатора, состо щей из трубопровода, снабженного форвакуумным вентилем и обеспечивающего св зь тестируемой емкости со стороной всасывани  форвакуумного насоса, газоанализатора, св занного со стороной всасывани  вторичного механического насоса, нагнетающа  сторона которого св зана каналом с первичным насосом по меньшей мере одной св зью, снабженной входным вентилем, св зывающим указанную емкость с вторичным механическим насосом.

Цель изобретени . - повышение чувствительности за счет уменьшени  фонового шума, который существует в этой системе детектировани .

На фиг. 1 показана система детектиро-, вани  утечек с помощью газа-индикатора в случае, когда используютс  два различных лопаточных насоса; на фиг, 2 - система детектировани  в случае, когда используетс  лишь один лопастный насос; на фиг. 3 - вариант с одним лопаточным насосом, работает в режиме противотока.

По фиг. 1 система детектировани  утечки с помощью газа-индикатора имеет фор- вакуумный насос 1, например лопаточный насос. Этот лопаточный насос 1 св зан стороной всасывани  с трубопроводом 2, другой - конец которого св зан сходным фланцем 3 с тестируемой емкостью 4. Этот трубопровод 2 снабжен форвакуумным вентилем 5. Газоанализатор 6, такой как масс-спектрометр, настроенный , например, на гелий, св зан со стороной всасывани  вторичного механического насоса 7, Речь идет о молекул рном насосе типа турбомолекул рного, например, но можно также использовать другие типы насосов, например насос Хольвека или гибридный насос.

Сторона нагнетани  вторичного насоса 7 св зана каналом 8 с первичным насосом 9, таким как лопаточный насос.

Тестируема  емкость 4 св зана, кроме того, со стороной всасывани  вторичного насоса 7 св зью 10, снабженной входным вентилем 11.

Эта св зь позвол ет выполнить тест в. режиме пр мотока.

ел

G

00

о

Ч

ю ю

СлЭ

Кроме того, факультативно, система может иметь другую св зь 12, снабженную также входным вентилем 13, который св зывает непосредственно сторону нагнетани  вторичного насоса 7с тестируемой емкостью посредством трубопровода 2. Эта св зь 12 позвол ет выполнить тест в режиме противотока.

Согласно изобретению, второй вторичный механический насос 14 расположен на трубопроводе 2, ниже форвакуумного вен- тил  5.

Св зь 12 присоедин ет трубопровод 2 ниже насоса 14. Благодар  этому вторичному механическому насосу 14, например молекул рному насосу 14, например молекул рному насосу турбомолекул рного типа, быстро снижают входное давление, использу  большую скорость откачки моле

кул рного насоса ниже 10 мб.ар, а отличие от лопаточного насоса при этих давлени х.

Так достигаетс  граничное давление пор дка мбар, существенно меньшее мбар, достигаемых ранее в предшествующем уровне техники, откуда лучшее удаление, в ходе фазы форвакуумировани , гели , со- держащегос  в воздухе; таким образом устран етс  фоновый шум.

Другое преимущество состоит еще в том, что этот насос 14 преп тствует ретро- диффузии масла насоса 1, откуда реализа- ци  собственного детектора.

Наконец, в случае работы в режиме пр мотока  вление пам ти гели , обусловленное насосом 1, снижаетс  этим насосом 14.

В качестве примера: насосы 7 и 14  вл ютс  турбомолекул рными с расходом 100 л/с. Иасос 9  вл етс  лопаточным с расходом 4 м3/ч, а форвакуумный насос 1 имеет расход 20м3/ч.

В процессе тестировани  в работе с режимом пр мотока после выполнени  форвакуумировани  насосами 1 и 14 закрывают вентили 5 и 13 и открывают вентиль 11. Получают максимально 10 атм см /с со скоростью откачки 8 л/с.

В случае измерени  большой утечки работают в режим е противотока : вентиль 11 остаетс  открытым, а после форвакуумировани  емкости 4 открывают вентиль 13. Та- ким образом можно работать при высоком давлении (выше 10 мбар) со скоростью откачки 15 л/с). ..Дл  обеспечени  контрол  больших объемов , достигающих, например 200 л, возмож- но реализовать чистый тест, оставл   одновременно вентили 11 и 13 открытыми. Чувствительность уменьшена в отношении 3, но скорость подкачки гели  переходит к 23 л/с, откуда улучшение времени отклика.

5

5

0

5

0

5

0

5

0

5

На фиг. 2 представлена упрощенна  схема, в которой отсутствует лопаточный насос , обозначенный позицией 19, играющий в действительности роль двух насосов 1 и 9 на фиг. 1. Тогда был добавлен дополнительный вентиль 15.

В процессе фбрвакуумировани  вентили 5 и 15открыты,а вентили 11 и 13 закрыты.

В процессе тестировани  в пр мотоке закрывают вентили 5 и 15 и открывают вентили 11 и 13.

В процессе тестировани  в противотоке вентиль 11 остаетс  закрытым, а три вентили 5, 15 и 13 открыты. ..

Позицией $12 отмечен единственный трубопровод, который играет роль канала 8 фиг. 1 и роль св зи 12 этого фиг, 1. На фиг. 2 используемый лопаточный насос 19 имеет расход, соответствующий расходу насоса 1 (фиг. 1), следовательно 20 м3/ч в указанном не ограничивающем примере.

Таким образом, благодар  систем.е детектировани  теперь имеетс  аппаратура с лучшими характеристиками, чем у наилуч-- ших приборов с диффузионным насосом с ловушкой на жидком азоте.Характеристики, которые не были достигнуты до насто щего времени на аппаратах с механическими молекул рными насосами в примен емых схемах .

Действительно, получают:

-высокую чувствительность: атм/см3/с;

- высокую скорость откачки:

- 8 л/с дл  малых утечек

- 15 л/с дл  больших утечек,

- 23 л/с дл  быстрого .поиска утечек на значительных объемах, . - система чистого детектировани ,

- пониженна  пам ть гели .

Claims (3)

1. Устройство применимо к любой системе детектировани , имеющей описанные компоненты , Причем комплекс этих компонент может быть перегруппирован в аппарате, называемом детектором, но этот аппарат может в случае необходимости группировать лишь часть компонент, что позвол ет реализовать меньшие и более легкие детекторы , если например контролируемый объем обладает собственной группой откачки. Формула изобретени  1. Устройство дл  детектировани  утечки , с помощью газа-индикатора, содержащее первый трубопровод, форвакуумный насос, соединенный с этим трубопроводом, форвакуумный вентиль, расположенный со

   стороны всасывани  форвакуумного насоса , предназначенный дл  соединени  с испытываемой емкостью, второй трубопровод с входным вентилем, соединенный с ним стороной всасывани  первый вторичный механический насос, анализатор газа, соединенный с стороной всасывани  первого вторичного механического насоса, третий трубопровод, св зывающий сторону нагнетани  первого вторичного механического насоса с форвакуумным насосом, отличающеес  тем, что, с целью повышени  чувствительности путем уменьшени  фонового шума, оно снабжено вторым вторич0

   ным механическим насосом, расположенным на первом трубопроводе между форвакуумным вентилем и форвакуумым насосом.
2. 2. Устройство по п. 1,отличающее- с   тем, что третий трубопровод соединен с вторым трубопроводом между вторым вторичным механическим насосом и форвакуумным насосом.
3. 3. Устройство по п. 2, о т л и ч а ю щ е е- с   тем, что оно содержит дополнительный вентиль, расположенный на втором трубопроводе между вторым вторичным насосом и соединением третьего трубопровода с первым трубопроводом.

   &#г.2