SU1504527A1 - Устройство дл испытаний изделий на герметичность - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к контролю герметичности изделий масс-спектрометрическим методом и позвол ет повысить производительность испытаний. Устройство содержит последовательно соединенные вакуумную камеру 1, диффузионный насос 6, адсорбционный насос 8, масс-спектрометрическую камеру 10 и механический насос 14. Входна  магистраль 4 соединена с входом механического насоса 14 и выходом масс-спектрометрической камеры 10. При охлаждении жидким азотом адсорбционный насос 8 многократно поглощает атмосферные газы, кроме водорода и гели , в циркулирующем потоке и уменьшает фоновый сигнал течеискател . Устройство позвол ет накапливать пробный газ в системе, что обеспечивает измерение малых величин потоков газа от течей. 1 ил.

Description

/2

/

/V

/3-4

о

3150

Изобретение относитс  к контролю герметичности изделий масс-спектро- метрическим методом.

Цель изобретени  - повышение про- изводительности испытаний путем снижени  времени получени  достоверного сигнала течеискател ,

На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.

Устройство дл  испытаний изделий на герметичность содержит камеру 1 с расположенным внутри нее испытываемым изделием 2, соединенную через вентиль 3 с одним концом входной магистрали А, второй конец которой через вентиль 5 соединен с входом диффузионного насоса 6, выход которого через вентиль 7 соединен с входом адсорбционного насоса 8. Выход последнего через вентиль 9 соединен с входом масс-спектрометрической камеры 10, выход которой через вентиль 11 соединен с одним концом трубопровода 12, который через вентиль 13 соединен с механическим насосом 14, другой конец которого соединен с трубопроводом 4,

Устройство работает следующим образом .

Изделие 2 помещают в камеру 1, открывают вентили 3 и 13 и вакууми- руют камеру 1, магистраль 4 и трубопровод 12. Открывают вентили 7, 9, 11 и вккуумируют объемы насосов 6, 8 и масс-спектрометрической камеры 10. Закрывают вентиль 11, заливают в адсорбционный насос 8 жидкий азот и включают диффузионный насос 6. После выхода на рабочий режим диффузионного насоса 6 закрывают вентиль 13, открывают вентили 5 и П и заполн ют изделие 2 контрольным

газом. Диффузионный насос 6 обеспечивает циркул цию пробного газа, например гели , а адсорбционный насос 8 поглощает все атмосферные газы, кроме гели , и предохран ет масс- спектрометрическую камеру 10 от попадани  в нее продуктов газовыделени  нагретых поверхностей диффузионного насоса 6. Через масс-спект- рометрическую камеру 10 таким образом прокачиваетс  пробный газ в концентрации , определ емой степенью сжати  диффузионного насоса. Позтому при поиске малых течей врем  получени  достоверного сигнала течеискател  снижаетс  во столько раз, во сколько парциальное давление пробного газа на выходе диффузионного насоса больще, чем его парциальное давление на входе.

Использование предлагаемого устройства позволит не менее чем в 20 раз повысить производительность испытаний.

Claims (1)

1. Формула изобретени  Устройство дл  испытаний изделий на герметичност}}, содержащее входную магистраль, диффузионный насос, адсорбционный насос, масс-спектромет рическую камеру, вход которой соединен с выходом адсорбционного насоса, и механический насос, вход которого соединен с входной магистралью, о т- личающеес  тем, что, с целью повьшени  производительности, вход диффузионного насоса соединен с входной магистралью, а выход - с входом адсорбционного насоса, выход масс-спектрометрической камеры соединен с входной магистралью и входом механического насоса.