SU1310657A1 - Устройство дл испытаний изделий на герметичность - Google Patents
Устройство дл испытаний изделий на герметичность Download PDFInfo
- Publication number
- SU1310657A1 SU1310657A1 SU853935946A SU3935946A SU1310657A1 SU 1310657 A1 SU1310657 A1 SU 1310657A1 SU 853935946 A SU853935946 A SU 853935946A SU 3935946 A SU3935946 A SU 3935946A SU 1310657 A1 SU1310657 A1 SU 1310657A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- pump
- chamber
- diffusion
- adsorption
- mass
- Prior art date
Links
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к области контрол герметичности изделий масс- спектрометрическим методом и позвол ет повысить чувствительность контрол . Устройство содержит последовательно соединенные вакуумную камеру 1, адсорбционный насос 6, масс-спект- рометрическую камеру В, диффузионный насос 10 и механический насос 14. Выход диффузионного насоса 10 соединен с входной магистралью 4 перед адсорбционным насосом 6. При охлаждении жидким азотом адсорбционный насос 6 многократно поглощает все атмосферные газы в циркулирующем потоке, кроме водорода и гели , и уменьшает фоновый сигнал течеис- кател . Устройство позвол ет накап- ливдть пробный газ в системе, что обеспечивает измерение малых величин течей. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. (Л оо о о СП
Description
Изобретение относитс к контролю герметичности изделий масс-спектро- метрическим методом.
Целью изобретени вл етс повышение чувствительности путем многократного вьщелени пробного газа из циркулирующего потока газов перед подачей его в масс-спектрометрическую камеру.
Устройство дл испытани изделий на герметичность содержит камеру 1 с расположенным внутри нее испытываемым изделием 2, соединенную через вентиль 3 с одним концом входной маги.страли 4, второй конец которой через вентиль 5 соединен с входом адсорбционного насоса 6, выход которого через вентиль 7 соединен с входом масс-спектрометрической камеры 8 Выход последней через вентиль 9 соединен с входом диффузионного насоса 10, выход которого через вентиль 1Т соединен с одним концом трубопровода 12, которьш через вентиль 13 соединен- с механическим насосом 14, другой конец которого соединен с трубопроводом 4.
Устройство работает следующим образом .
Изделие 2 помещают в камеру 1, открывают вентили 3 и 13 и вакуумируют камеру 1, магистраль 4 и трубопровод 12. Открывают вентиль 11, включают диффузионный насос 10 и открывают вентиль 9. Откачивают масс-спектрометрическую камеру 8. Закрывают вентиль 13 и заполн ют изделие 2 контрольным газом. В адсорбционный насос 6 заливают жидкий азот и открывают вентили 5 и 7. При охлаждении жидким азотом адсорбционный насос 6 поглощает все атмосферные газы, кроме воСоставитель В.Черно сов Редактор К.Волощук Техред Н.ГлущенкоКорректор М.Шароши
...« -« ... «... «.. -.-«-..„
Заказ 1881/37 . Тираж 777Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР
по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4
0
5
0
дорода и гели , и уменьшает фоновый сигнал течеискател . Откачиваема смесь газов, проход через мас-с-спек- трометрическую камеру 8, регистрируетс последней и откачиваетс диффузионным йасосом 10. От сачиваема ад- сорбцион} ым насосом 6 смесь газов снова попадает в последний, а затем в масс-спектрометрическую камеру 8, Путем циркул ции откачиваемой смеси газов в замкнутом контуре системы испытаний происходит многократное увеличение концентрации пробного газа в масс-спектрометрической камере 8, по величине которой суд т о негерметичности издели . При этом весь поток пробного газа проходит через камеру 8, что дополнительно повьшает чувствительность.
Фо рмула изобретени
Claims (2)
1.Устройство дл испытаний изделий на герметичность.содержащее входную магистраль, соединенную с ней масс-спектрометрическую камеру, диффузионный и механический насосы, вход диффузионного насоса соединен с входной магистралью, а выход - с механическим насосом и входной магистралью, отличающеес тем, что, с. целью повышени чувствительности, оно снабжено адсорбционным насосом, установленным на входной магистрали
между местом подсоединени выхода диффузионного насоса и масс-спектрометрической камерой.
2.Устройство по п. 1, отличающеес тем, что масс-спект- рометрическа камера размещена между адсорбционным и диффузионным насосами .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853935946A SU1310657A1 (ru) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | Устройство дл испытаний изделий на герметичность |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853935946A SU1310657A1 (ru) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | Устройство дл испытаний изделий на герметичность |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1310657A1 true SU1310657A1 (ru) | 1987-05-15 |
Family
ID=21191414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU853935946A SU1310657A1 (ru) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | Устройство дл испытаний изделий на герметичность |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1310657A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4984450A (en) * | 1988-08-23 | 1991-01-15 | Alcatel Cit | Method of leak testing a test container with a tracer gas |
WO1995004920A1 (de) * | 1993-08-05 | 1995-02-16 | Leybold Aktiengesellschaft | Testgasdetektor mit vakuumpumpe sowie verfahren zum betrieb eines testgasdetektors dieser art |
-
1985
- 1985-07-29 SU SU853935946A patent/SU1310657A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Патент FR № 2475728, кл. G 01 М 3/02, 1981. * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4984450A (en) * | 1988-08-23 | 1991-01-15 | Alcatel Cit | Method of leak testing a test container with a tracer gas |
WO1995004920A1 (de) * | 1993-08-05 | 1995-02-16 | Leybold Aktiengesellschaft | Testgasdetektor mit vakuumpumpe sowie verfahren zum betrieb eines testgasdetektors dieser art |
US5786529A (en) * | 1993-08-05 | 1998-07-28 | Leybold Aktiengesellschaft | Search gas detector with vacuum pump and process for operating such a search gas detector |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3672207A (en) | Apparatus for verifying hermeticity of small electronic assemblies | |
US3616680A (en) | Leak detector | |
GB1262920A (en) | Method and apparatus for inspecting sealed packages for leaks | |
CN104062153A (zh) | 用于气体杂质含量分析的吹扫取样系统和吹扫取样方法 | |
JP4431144B2 (ja) | 密封品における大規模漏れの検出方法および装置 | |
KR100364102B1 (ko) | 가스분석장치 및 방법 | |
DE3767670D1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur auffindung von lecks mittels eines spuergases. | |
JPS60230029A (ja) | クライオポンプを備えた漏洩検出装置 | |
US3824839A (en) | Leak detecting system and method for passing a measured sample of gas to a leak detector | |
US4365158A (en) | Helium leakage detector | |
SU1310657A1 (ru) | Устройство дл испытаний изделий на герметичность | |
KR200191426Y1 (ko) | 추적가스를 이용한 누설검사장치 | |
CN103645269B (zh) | 超纯砷烷的分析方法及其装置 | |
CN203532847U (zh) | 一种质谱检漏仪的组合阀体装置 | |
RU2617567C1 (ru) | Способ и устройство контроля герметичности цилиндрических обечаек корпусов жидкостных ракет | |
CN115336421B (zh) | 一种用于单组元推力器的氦质谱检漏装置 | |
SU1504527A1 (ru) | Устройство дл испытаний изделий на герметичность | |
KR200191427Y1 (ko) | 추적가스를 이용한 누설검사장치 | |
KR100365655B1 (ko) | 외부누출량계측방법및계측시스템 | |
CN112816644A (zh) | 水中VOCs检测装置及方法 | |
SU1357737A1 (ru) | Способ испытани на герметичность изделий | |
CN109883803A (zh) | 一种二次富集解析的装置和方法 | |
SU1004791A1 (ru) | Способ контрол герметичности систем передачи газов | |
CN113419019B (zh) | 一种检测高纯四氟化锗杂质含量的气相色谱系统及方法 | |
SU877379A1 (ru) | Устройство дл контрол герметичности изделий |