CN203532847U - 一种质谱检漏仪的组合阀体装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种质谱检漏仪的组合阀体装置，包括阀体，所述阀体的内部开设有用于气体泄漏检测的粗检气体通路、用于气体泄漏检测的精检气体通路，以及用于安装切换组件的安装口，所述切换组件用于所述粗检气体通路和所述精检气体通路之间的切换。本实用新型质谱检漏仪的组合阀体装置，由于精检气体通路和粗检气体通路在所述阀体的内部开设而成，避免了现有技术中采用多个管路连接形成整条气体通路时容易导致密封不严的问题，大大提高了密封性，并且，粗检气体通路和精检气体通路以及切换组件都位于壳体的内部，使得装置的结构紧凑，减小占地面积，并便于运输。

Description

一种质谱检漏仪的组合阀体装置

技术领域

本实用新型涉及一种组合阀体装置,具体讲,是涉及一种质谱检漏仪的组合阀体装置。

背景技术

检漏仪是一种用氦气、氢气等作为示漏气体，以气体分析仪（即质谱计）检测示漏气体来进行检漏的质谱仪。检漏仪可以用于检漏各类容器的气密性，因而广泛应用到电力、电子、化工、制冷、航空航天等诸多行业。随着科学技术的发展及市场需求的不断提高，检漏仪不仅向高灵敏度、全量程方向发展，而且向体积小和重量轻等方向发展。在设计上需要检漏仪结构紧凑，将其真空系统部件一体化、电气部件一体化。

中国专利文献CN201903433U公开了一种检漏仪真空系统，其包括检漏口、质谱室和真空泵机构，所述检漏口放置被检件；所述质谱室检测示漏气体，在所述质谱室与所述检漏口之间的气路通道上设置有真空泵机构，所述真空泵机构用于对所述检漏口和所述质谱室抽真空，在所述真空泵机构与所述检漏口之间的气路通道上设置有阀门；所述质谱室和所述检漏口之间的气路通道与所述质谱室和所述真空泵机构之间的气路通道连接并形成节点，在所述节点与所述质谱室之间的气路通道上也设置有阀门。该实用新型提供的检漏仪真空系统，在初检时采用逆扩散检漏方式，检漏效率高，在精检时采用正扩散检漏方式，准确度高、灵敏度高，而且在转换为正扩散检漏时不会损坏质谱室内灯丝。虽然如此，其仍存在如下缺陷：整个检漏仪真空系统的气路由管道连接组成，管道与管道之间、管道与前级低真空泵或者管道与高真空分子泵之间的各个连接处，密封要求都比较高。由于各个部件均由管道连接组成，节点很多，每一个节点都必须得到良好的密封，这使得管道的连接十分麻烦，而且很容易出现密封不严、漏气等问题，从而给正常的检漏操作带来不便，降低了工作效率和检漏精度；而且检漏仪的真空气路系统采用管道连接实现，整体上使得检漏仪体积较大，结构松散，运输和使用都不方便。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服上述技术缺陷，提供一种结构紧凑，密封接点少且密封效果好的用于质谱检漏仪的组合阀体装置。

因此，本实用新型提供如下技术方案：一种质谱检漏仪的组合阀体装置，包括阀体，所述阀体的内部开设有用于气体泄漏检测的粗检气体通路、用于气体泄漏检测的精检气体通路，以及用于安装切换组件的安装口，所述切换组件用于所述粗检气体通路和所述精检气体通路之间的切换。

所述阀体为组合阀体，所述组合阀体包括第一阀体、第二阀体以及将所述第一阀体和所述第二阀体密封连接的密封固定组件。

所述第一阀体的内部开设有第一粗检气体通路和第一精检气体通路，所述第二阀体的内部开设有第二粗检气体通路和第二精检气体通路，所述第一粗检气体通路和所述第二粗检气体通路连通形成所述粗检气体通路，所述第一精检气体通路和所述第二精检气体通路连通形成所述精检气体通路。

所述第一阀体上设有检漏口，所述检漏口处适于安装待检部件，所述检漏口通过开设在所述第一阀体内部的连接管路与第一粗检气体通路和第一精检气体通路分别连通。

所述第二阀体内设有用于安装分子泵和质谱室的中间口，所述中间口分别与所述第二粗检气体通路和第二精检气体通路连通。

所述切换组件包括安装在所述粗检气体通路上的用于控制所述检漏口与所述中间口通断的第一预抽阀，以及安装在所述精检气体通路上的用于控制所述检漏口与中间口通断的第一中间阀。

所述切换组件还包括在所述粗检气体通路上与所述第一预抽阀并联设置的第二预抽阀，以及在所述精检气体通路上与所述第一中间阀并联设置的第二中间阀。

所述切换组件还包括安装在所述粗检气体通路上的前级阀，所述前级阀位于所述中间口与所述第一预抽阀之间的通路上。

所述第二阀体的内部设置有用于安装机械泵的机械泵连接口，所述前级阀位于所述机械泵与所述质谱室之间的通路上。

所述连接管路上设置放气阀。

本实用新型质谱检漏仪的组合阀体装置具有以下优点：

1. 本实用新型质谱检漏仪的组合阀体装置，由于精检气体通路和粗检气体通路在所述阀体的内部开设而成，避免了现有技术中采用多个管路连接形成整条气体通路时容易导致密封不严的问题，大大提高了密封性，并且，粗检气体通路和精检气体通路以及切换组件都位于壳体的内部，使得装置的结构紧凑，减小占地面积，并便于运输。

2.本实用新型质谱检漏仪的组合阀体装置，所述组合阀体包括第一阀体、第二阀体以及将所述第一阀体和所述第二阀体密封连接的密封固定组件，将阀体分设成两个阀体，从而便于分别在两个阀体内开设气体通路以及进行部件的安装，管路开设之后只需要将位于第一阀体内的气体通路和第二阀体内的气体通路连通即可，减少了连接节点，提高了密封性，避免了现有技术中通过多个管路相互连通而可能造成的漏气问题。

3.本实用新型质谱检漏仪的组合阀体装置，在封闭的阀体内部设置气路通道，用作气路系统的气体传递通道，与机械泵、分子泵、质谱室等相接的接口合理的分布在组合阀体装置的不同侧面，组合后的整个质谱检漏仪平面空间占用小，结构紧凑；而且与传统的管道系统相比，气体传递的通道更短，气体信号传递路程更近，提高了整机检漏仪的精度和可靠性。

4.本实用新型质谱检漏仪的组合阀体装置，通过预抽阀和中间阀的开闭配合，可以改变气路的状态，从而实现粗检、精检等不同方式的检漏操作。首先使用机械泵对气路抽真空,然后利用质谱室对被检件进行粗检，因机械泵抽真空的效率高,因此可以将相对大漏的被检件迅速排除，提高了检漏仪的检漏效率；检测到属于微漏时再转换使用精检，此时气路内部已经有一定的真空度,提高了分子泵抽对气路进一步抽真空的效率。

5.本实用新型质谱检漏仪的组合阀体装置，在封闭的阀体内部设置通路，用作真空气路的气体传递通道，通道完全被封闭在阀体内部，因此密封性能好，密封性能稳定，不会出现气路通道漏气的情况。减少了使用过程中的故障率，能够提高工作效率。

6.本实用新型质谱检漏仪的组合阀体装置，主要由第一阀体、第二阀体两个阀体组成，中间通过密封支架使用固定螺钉固定,加工工艺简单，装配方便，而且成本低，便于生产和推广。

附图说明

图1是本实用新型实施例1质谱检漏仪的气路原理图。

图2是本实用新型实施例1质谱检漏仪的组合阀体装置的结构示意图。

图3是图2中阀体气体通路的平面示意图。

图4是图2的平面左视图。

图中：

1-质谱室；2-分子泵，21-中间口；3-前级阀；4-机械泵，41-机械泵接口；5-第一预抽阀；6-第二预抽阀；7-标准漏孔；8-漏孔阀，81-标准漏孔接口；9-放气阀；10-检漏口；11-第一中间阀；12-第二中间阀；P1-前级热偶；P2-皮拉尼规；100-第一阀体；200-第二阀体，201-环形突出部；300-密封支架，301-欧圈，302-欧圈支架；400-螺钉。

具体实施方式

实施例1

本实施例提供一种用于气体泄漏检测的阀体装置，包括开设在阀体内部的精检气体通路、粗检气体通路以及用于安装切换组件的安装口，所述切换组件用于所述粗检气体通路和所述精检气体通路之间的切换。

本实施例提供的装置，由于精检气体通路和粗检气体通路在所述阀体的内部开设而成，避免了现有技术中采用多个管路连接形成整条气体通路时容易导致密封不严的问题，大大提高了密封性，并且，粗检气体通路和精检气体通路以及切换组件都位于壳体的内部，使得装置的结构紧凑，减小占地面积，并便于运输。

为了便于加工、安装以及拆卸，本实施例中，所述阀体为组合阀体装置，如图1-4所示，具体包括第一阀体100，第二阀体200、用于密封固定上述第一阀体100和第二阀体200的密封支架300、用于将第一阀体100和第二阀体200固定的螺钉400以及螺纹孔，以及切换组件，所述切换组件至少包括第一中间阀11、第一预抽阀5以及前级阀3。

上述第一阀体100上部设有检漏口10，所述检漏口10处适于安装待检部件，所述检漏口10通过开设在所述第一阀体100内部的连接管路与开设在所述第一阀体100内部的第一粗检气体通路和第一精检气体通路分别连通，第一粗检气体通路和第一精检气体通路为两条并行设置的竖直气体通路，所述第一预抽阀5设在第一粗检气体通路上，用于控制检漏口10与第一粗检气体通路的通断。第一阀体100的内部开设有机械泵接口41，上述机械泵接口41与第一粗检气体通路始终保持连通，所述机械泵结构41处安装机械泵4；第一精检气体通路上部与检漏口10保持连通，所述第一中间阀11设置在所述第一精检气体通路上，用于控制所述第一精检气体通路与所述检漏口10的通断，所述连接管路上设置有用于检测真空度的皮拉尼规P2以及用于在检测结束后放气的放气阀9。

上述第二阀体200上设置有中间口21，中间口21处安装有质谱室1和分子泵2，所述质谱室1通过分子泵2与开设在所述第二阀体200内部的第二粗检气体通路和第二精检气体通路分别连通，第二粗检气体通路与所述第一粗检气体通路对接连通形成所述粗检气体通路，第二精检气体通路与第一精检气体通路对接连通形成所述精检气体通路，其中第二粗检气体通路上设有可控制其通断的前级阀3以及用于检测真空度的前级热偶P1。 

第一阀体100和第二阀体200通过密封固定组件密封连接在一起，上述密封固定组件包括固定件和密封支架，其中固定件包括螺钉400，设置在第一阀体100上的螺纹孔，设在第二阀体200上的环形突出部201，以及设在环形突出部201上的通孔，通孔与上述螺纹孔对应设置，螺钉400穿过上述通孔与上述螺纹孔连接，从而将第一阀体100和第二阀体200连接固定在一起。

上述的固定件还可以有其他的变形，如在第一阀体100上设置具有通孔的上述环形突出部201，在第二阀体200上设置螺纹孔，螺钉400穿过上述通孔与螺纹孔连接，从而将第一阀体100和第二阀体200连接固定在一起。还可以在第一阀体100和第二阀体200上同时设置环形突出部201，在环形突出部201上设置对应的通孔，将螺钉400穿过分别设在第一阀体100和第二阀体200上相对应位置的通孔，然后通过螺帽与螺钉400连接，实现第一阀体100和第二阀体200的连接固定。通过设置环形突出部201，如上所述非常方便的将第一阀体100和第二阀体200固定在一起。另外，值得注意的是，上述固定方式并不构成对本实用新型的限制，实际上，第一阀体100和第二阀体200的连接固定方式有多种，本领域的技术人员可以灵活采用公知的连接固定方式，而采用这些公知方式实现第一阀体100和第二阀体200连接固定的组合阀体装置，均应涵盖在本专利的保护范围之内。

为了保证第一阀体100和第二阀体200连接后的密封性，在第一阀体100和第二阀体200配合对接处还设有密封支架300，其包括一体连接的圆环形殴圈301以及筒状殴圈支架302，殴圈支架302安装在精检气体通路和粗检气体通路的内部，欧圈301安装在所述欧圈支架302上并位于第一阀体100和第二阀体200之间，第一阀体100和第二阀体200密封连接的时候，欧圈支架302位于气体通路内部起到定位殴圈301位置的作用，欧圈301位于第一阀体100和第二阀体200之间，用于实现气体通路连接处的密封。

上述的殴圈301由橡胶材料制成，在第一阀体100和第二阀体200连接固定的时候，殴圈301受压产生变形起到密封的作用；上述的殴圈支架302由铝型材或不锈钢制成，安装在气体通路内部，用于欧圈301的定位，防止第一阀体100和第二阀体200压紧的时候发生殴圈301的位置错位，影响密封效果和安装效率。

具体安装时，在上述机械泵接口41的位置密封连接机械泵4，在中间口21的位置密封连接分子泵2以及质谱室1。上述的组合阀体装置通过将上述不同部件接口位置进行合理布置，将机械泵4，前级热偶P1，皮拉尼规P2、分子泵2以及质谱室1分布在组合阀体的不同侧面，合理利用了空间，使得整个质谱检漏仪的结构紧凑且气路通路分布合理，由于没有使用管道，整个质谱检漏仪一体化为一个固定的结构，移动或放置都十分方便。

具体使用时，首先是粗检流程：关闭第一中间阀11，放气阀9；打开第一预抽阀5，前级阀3，打开分子泵2，使得从检漏口10至所述质谱室1之间的粗检气体通路处于连通状态；将被检件充满示漏气体（如氦气）后，放置在检漏口10处，启动机械泵4对粗检系统进行预抽，当通过前级热偶P1检测到漏检口10内气压达到第一预定值时，停止机械泵4，此时质谱室1开始对被检件的漏气情况进行检漏。如果质谱室1检测出被检件为大漏，则打开放气阀9，让空气进入气体通路，将被检件排除，进行下一个被检件的检漏工作；如果质谱室1检测出被检件为微漏，则关闭第一预抽阀5，打开第一中间阀11，使得从检漏口10至所述质谱室1之间的精检气体通路处于连通状态，启动分子泵2，继续对气路系统进行抽真空，当通过皮拉尼规P2检测到检漏口10内的气压达到第二预定值时，停止分子泵2，此时质谱室1开始对被检件的漏气情况进行精检,以进一步获取被检件的漏孔大小及位置等信息。

实施例2

本实施例提供一种用于气体泄漏检测的阀体装置，是在实施例1基础上的变形，其与实施例1的不同之处在于，在所述第一粗检气体通路上还设置有与所述第一预抽阀5并联的第二预抽阀6；在所述第一精检气体通路上还设置有与第一中间阀11并联的第二中间阀12，当两个并联的阀中间的任一个发生故障时，均可以将其完全封闭，使用另外一个来控制相应位置处的气路通断，这样的设置可以使整个质谱检漏仪更加耐久稳定。

进一步地，本实施例中，所述第一预抽阀5并联的第二预抽阀6在所述第一阀体100的厚度方向（即图2中垂直于纸面的方向）并排设置，与此同时，第一中间阀11和第二中间阀12并联的第二预抽阀6在所述第一阀体100的厚度方向（即图2中垂直于纸面的方向）并排设置，这样的结构设计使得组合阀体的结构更加紧凑。

利用本实施例的组合阀体装置进行检测时的具体流程为：

粗检流程：关闭第一中间阀11、第二中间阀12以及放气阀9，打开前级阀3、第一预抽阀5以及第二预抽阀6，打开分子泵2；将被检件内部充满示漏气体（如氦气）后放置到检漏口10内，然后打开机械泵4对检漏口10进行预抽，直到检漏口10内的真空度到第一预定数值，停止机械泵4，此时质谱室1开始对被检件的漏气情况进行检漏；如果质谱室1检测到是大漏，则可迅速将其排除；此时打开放气阀9，空气从放气阀9位置进入气路系统，气路系统内气压升高，此时被检件很容易就被取出，然后进行下一个被检件的检漏操作。如果质谱室1检测到是微漏，则启动精检操作。

精检流程：接上述粗检流程，当上述质谱室1检测到是微漏时，将第一预抽阀5和第二预抽阀6关闭，打开第一中间阀11和第二中间阀12，启动分子泵2，对检测口10进一步抽真空，直到检漏口10内的真空度达到第二预定数值后，停止分子泵2，此时质谱室1开始对被检件的漏气情况进行进精检,以进一步获取被检件的漏孔大小及位置等信息。

实施例3

本实施例提供一种用于气体泄漏检测的阀体装置，是在实施例2基础上的改进，其与实施例2的不同之处在于：在第一阀体100内的与第一精检气体通路和所述检漏口10分别连通连接管路上连通连接漏气阀8，漏气阀8具有漏气阀接口81，上述漏气阀81与标准漏孔7连接，完全封闭检漏口10后，在第一或第二预定气压值下，标准漏孔7大小的漏孔在质谱室上显示有特定的值，可通过上述原理对质谱检漏仪的显示数值进行校准。

    显然，上述实施例仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：包括阀体，所述阀体的内部开设有用于气体泄漏检测的粗检气体通路、用于气体泄漏检测的精检气体通路，以及用于安装切换组件的安装口，所述切换组件用于所述粗检气体通路和所述精检气体通路之间的切换。

2.根据权利要求1所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述阀体为组合阀体，所述组合阀体包括第一阀体（100）、第二阀体（200）以及将所述第一阀体（100）和所述第二阀体（200）密封连接的密封固定组件。

3.根据权利要求2所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述第一阀体（100）的内部开设有第一粗检气体通路和第一精检气体通路，所述第二阀体（200）的内部开设有第二粗检气体通路和第二精检气体通路，所述第一粗检气体通路和所述第二粗检气体通路连通形成所述粗检气体通路，所述第一精检气体通路和所述第二精检气体通路连通形成所述精检气体通路。

4.根据权利要求2或3所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述第一阀体（100）上设有检漏口（10），所述检漏口（10）处适于安装待检部件，所述检漏口（10）通过开设在所述第一阀体（100）内部的连接管路与第一粗检气体通路和第一精检气体通路分别连通。

5.根据权利要求4所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述第二阀体（200）内设有用于安装分子泵（2）和质谱室（1）的中间口（21），所述中间口（21）分别与所述第二粗检气体通路和第二精检气体通路连通。

6.根据权利要求5所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述切换组件包括安装在所述粗检气体通路上的用于控制所述检漏口（10）与所述中间口（21）通断的第一预抽阀（5），以及安装在所述精检气体通路上的用于控制所述检漏口（10）与中间口（21）通断的第一中间阀（11）。

7.根据权利要求6所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述切换组件还包括在所述粗检气体通路上与所述第一预抽阀（5）并联设置的第二预抽阀（6），以及在所述精检气体通路上与所述第一中间阀（11）并联设置的第二中间阀（12）。

8.根据权利要求7所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述切换组件还包括安装在所述粗检气体通路上的前级阀（3），所述前级阀（3）位于所述中间口（21）与所述第一预抽阀（5）之间的通路上。

9.根据权利要求8所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述第二阀体（200）的内部设置有用于安装机械泵（4）的机械泵连接口（41），所述前级阀（3）位于所述机械泵（4）与所述质谱室（1）之间的通路上。

10.根据权利要求9所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述连接管路上设置放气阀（9）。

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