JPH10510922A - 向流形スニッファ漏れ検査器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、検出器として質量分光計（３）を備えた向流形スニッファ漏れ検査器（１）であって、向流でプローブガスによって貫流される高真空ポンプ（４，１３）または高真空ポンプ段（１４）と、該高真空ポンプもしくは高真空ポンプ段の出口側に接続されたスニッファホース（７）と、該スニッフアホース（７）の入口領域（８）の大気圧とスニッファホースの出口領域（９）の圧力との間の圧力差を維持する絞りとが設けられている形式のものに関する。感度および応答時間を改善するために本発明の構成では、スニッファホース（７）の少なくとも一部、有利にはスニッファホース（７）全体が、所望の絞り作用が得られるように寸法設定されている。

Description

【発明の詳細な説明】 向流形スニッファ漏れ検査器 本発明は、検出器として質量分光計を備えた向流形スニッファ漏れ検査器であ って、向流(Gegenstrom)でプローブガスによって貫流される高真空ポンプまたは 高真空ポンプ段と、該高真空ポンプもしくは高真空ポンプ段の出口側に接続され たスニッファホースと、該スニッファホースの入口領域の大気圧とスニッファホ ースの出口領域の圧力との間の圧力差を維持する絞りとが設けられている形式の ものに関する。 このような形式の漏れ検査器において、短い応答時間と高い検知感度とを得る ために、所望の絞り作用が達成されるようにスニッファホースを形成することが 提案される。 このような手段により、常に最大限許容し得るガス流がスニッファホースを貫 流する。ヘリウムプローブガス検査時に対象となる漏れは１０^-2ｍｂａｒ／１／ ｓｅｃオーダの範囲にあるので、場合によっては存在する漏れ個所から逃げる全 プローブガス流が吸い込まれ、漏れ検査器内に達することが保証される。これに より高い検知感度が得られる。さらに本発明に基づき寸法設定されたスニッファ ホース内の流れ速度が比較的高いので、付加的に短い応答時間も得られる。こ のような利点は、スニッファホースがその全長にわたって統一された直径を有し ていてこれにより全体的に所望の絞り作用を生ぜしめるようになっていると、特 に良好に達成される。しかしながら、与えられた課題を解決するためには、スニ ッファホースの唯１つの比較的大きな部分、例えばその長さの５０％または７５ ％の部分が絞り機能を有する一方、残りの部分は検査しようとするガスを著しい 抵抗無しに漏れ検査器に供給するようになっていれば十分である。 スニッファ漏れ検査器はドイツ連邦共和国特許出願公告第２４４１１２４号明 細書に基づき公知である。この明細書に記載された先行技術の構成においては、 スニッファホースの入口領域に絞りが設けられている。前記明細書の請求項１に 記載のスニッファ漏れ検査器は、質量分光計検出器の直前に配置された絞りを有 している。これらの両構成においては、場合によっては存在する漏れ個所から流 出したプローブガスの一部が漏れ検査器の入口内には達しないことを回避するこ とはできない。 特別な利点が本発明の範囲において、校正に関連して得られる。本発明に基づ く種類のスニッファ漏れ検査器の場合、校正を行うために、高真空ポンプと前置 真空ポンプとの間の接続導管の領域内に、既知量のプローブガスがテストリーク (Testleck)によって流入させられる。従来ではスニッファ漏れ検査器において必 要であった外部のテストリークによる校正は不要となる。 本発明の更なる利点および詳細を第１図および第２図につき説明する。 第１図および第２図においては、概略的に示された漏れ検査器が符号１を、こ の漏れ検査器の入口が符号２を有している。この漏れ検査器は質量分光計３を有 している。この質量分光計は、高真空ポンプ４、有利にはターボ分子ポンプの入 口に接続されている。高真空ポンプ４は接続導管５を介して前置真空ポンプ６に 接続されている。 漏れ検査器１の入口２には、スニッファホース７が接続されている。このスニ ッファホースの両端部は符号８（入口）および符号９（出口）を有している。ス ニッファホースの入口８の領域は、試験体１１の漏れの疑いのある領域を介して 案内されている。漏れ個所が符号１２で示されている。 第１図に示した漏れ検査器の場合、漏れ検査器１の入口２は接続導管５に接続 されている。向流で運転される高真空ポンプ４として、ターボ分子真空ポンプ１ ３が選択されている。 第２図に示した漏れ検査器の場合、高真空ポンプ４は、高真空側に位置する段 １４（有利にはターボ分子ポンプ段）と前真空側に位置する段１５（有利には分 子ポンプ段）とを有している。高真空ポンプ４は、高 真空ポンプ段１４，１５の間の領域に接続された接続部１６を備えている。漏れ 検査器１の入口２は選択的に、図示していない弁によって高真空ポンプ４と前置 真空ポンプ６との間の接続導管５に接続されるか、または、感度を増大するため に高真空ポンプ４の入口１６に接続されてもよい。 スニッファホース７の寸法（長さ、内径）は、このスニッファホースが、その 入口８の領域における大気圧と出口９の領域における圧力との間の圧力差を維持 することができるように選択されている。漏れ検査器１の入口２が高真空ポンプ ４と前置真空ポンプ６との間の接続導管に接続されている（第１図）場合、出口 ９の領域における圧力は約２ｍｂａｒである。漏れ検査器１の入口２が高真空ポ ンプ４の接続部１６に接続されている（第２図）場合、スニッファホース７の出 口９の領域における圧力は約０．１ｂａｒである。約０．４ｍｍの内径と約４ｍ の長さとを有するスニッファホース７が所望の絞り作用を有する。このようなス ニッファホースにおいては、約０．４ｍｂａｒ／Ｌ／ｓｅｃのガス貫流が得られ る。スニッファホースがより長い場合にはその内径をより大きく選択しなければ ならず、スニッファホースがより短い場合にはその内径をより小さく選択しなけ ればならない。 高真空ポンプ４と前置真空ポンプ６との間の接続導管５には、さらに、弁１７ を介してテストリーク１８ が接続されている。スニッファホース７が特別な特性を有しているので、漏れ検 査器の校正は、組み付けられたテストリーク１８で行うだけで十分である。外部 のテストリークによる校正はもはや必要でない。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．検出器として質量分光計（３）を備えた向流形スニッファ漏れ検査器（１） であって、向流でプローブガスによって貫流される高真空ポンプ（４，１３）ま たは高真空ポンプ段（１４）と、該高真空ポンプもしくは高真空ポンプ段の出口 側に接続されたスニッファホース（７）と、該スニッファホース（７）の入口領 域（８）の大気圧とスニッファホースの出口領域（９）の圧力との間の圧力差を 維持する絞りとが設けられている形式のものにおいて、 スニッファホース（７）の少なくとも一部、有利にはスニッファホース（７ ）全体が、所望の絞り作用が得られるように寸法設定されていることを特徴とす る、向流形スニッファ漏れ検査器。 ２．漏れ検査器（１）の入口（２）が導管（５）に接続されており、該導管が高 真空ポンプ（４）と前置真空ポンプ（６）とを接続している、請求項１記載の漏 れ検査器。 ３．高真空ポンプ（４）がターボ分子ポンプ（１３）である、請求項２記載の漏 れ検査器。 ４．高真空ポンプ（４）が２つの段（１４，１５）をしており、高真空ポンプが 、両段（１４，１５）相互間の中間領域に開口する入口（１６）を備えており、 漏れ検査器（１）の入口（２）が、高真空ポ ンプ（４）の入口（１６）に接続可能である、請求項１記載の漏れ検査器。 ５．高真空ポンプ（４）と前置真空ポンプ（６）との間の接続導管（５）に、テ ストリーク（１８）が接続されている、請求項１から４までのいずれか１項記載 の漏れ検査器。 ６．スニッファホース（７）が、４ｍの長さで０．４ｍｍの内径を有している、 請求項１から５までのいずれか１項記載の漏れ検査器。