JP3391027B2 - サーチガス漏洩検出器 - Google Patents
サーチガス漏洩検出器Info
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- 239000007789 gas Substances 0.000 description 37
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 8
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
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- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、サーチガス漏洩検出器を運転するための方
法並びにこの方法を行うために適したサーチガス漏洩検
出器に関する。
法並びにこの方法を行うために適したサーチガス漏洩検
出器に関する。
ここで述べるような形式のサーチガス漏洩検出器は、
例えば検査室に接続されていて、この検査室内には単数
又は複数の検査体が位置している。検査体から漏れが生
じた場合には、検査体内に位置するサーチガスが、検査
室内に達し、ここからサーチガス漏洩検出器に達する。
サーチガス漏洩検出器によってサーチガスが検出され
る。別の漏洩検出法では、検査体自体がサーチガス漏洩
検出器の流入口に接続されている。この検査体に外部か
らサーチガスが吹き付けられる。この検査体から漏れが
生じた場合には、サーチガスが検査体に達し、その後サ
ーチガス漏洩検出器に達する。
例えば検査室に接続されていて、この検査室内には単数
又は複数の検査体が位置している。検査体から漏れが生
じた場合には、検査体内に位置するサーチガスが、検査
室内に達し、ここからサーチガス漏洩検出器に達する。
サーチガス漏洩検出器によってサーチガスが検出され
る。別の漏洩検出法では、検査体自体がサーチガス漏洩
検出器の流入口に接続されている。この検査体に外部か
らサーチガスが吹き付けられる。この検査体から漏れが
生じた場合には、サーチガスが検査体に達し、その後サ
ーチガス漏洩検出器に達する。
サーチガス漏洩検出器の流入口から流入し、漏洩が生
じた場合にはサーチガスを含むガスが、漏洩検出器内に
位置するセンサ（サーチガスディテクタ）に直接的に案
内される。サーチガスとしてヘリウムが使用されている
場合には、サーチガスディテクタは通常、質量４に調節
された質量分析計である。この質量分析計は比較的低い
運転圧を有するので、前置された前真空ポンプを備えた
高真空ポンプを必要とする。サーチガスの存在を検査し
ようとするガスが、質量分析計に直接供給される場合
は、このような圧力特性が考慮されなければならない。
検査しようとするガスを高真空ポンプの流出口に供給す
ることもできる。場合によっては存在するヘリウムが、
高真空ポンプの搬送方向とは逆方向で質量分析計に達
し、ここで検出される（逆流の原理）。
じた場合にはサーチガスを含むガスが、漏洩検出器内に
位置するセンサ（サーチガスディテクタ）に直接的に案
内される。サーチガスとしてヘリウムが使用されている
場合には、サーチガスディテクタは通常、質量４に調節
された質量分析計である。この質量分析計は比較的低い
運転圧を有するので、前置された前真空ポンプを備えた
高真空ポンプを必要とする。サーチガスの存在を検査し
ようとするガスが、質量分析計に直接供給される場合
は、このような圧力特性が考慮されなければならない。
検査しようとするガスを高真空ポンプの流出口に供給す
ることもできる。場合によっては存在するヘリウムが、
高真空ポンプの搬送方向とは逆方向で質量分析計に達
し、ここで検出される（逆流の原理）。
記載されたような形式のサーチガス漏洩検出器の感度
は、とりわけ内部のサーチガスの潜在若しくはヘリウム
の潜在によって制限されてしまう。この潜在の原因は、
特に以前の測定からのヘリウムで、これは前真空ポンプ
のシール媒体及び又はオイル内部に拡散されたものであ
る。シール媒体及びオイルから徐々に流出するサーチガ
スが、前真空ポンプの搬送方向に反して質量分析計に達
し、不都合な潜在を引き起こす。
は、とりわけ内部のサーチガスの潜在若しくはヘリウム
の潜在によって制限されてしまう。この潜在の原因は、
特に以前の測定からのヘリウムで、これは前真空ポンプ
のシール媒体及び又はオイル内部に拡散されたものであ
る。シール媒体及びオイルから徐々に流出するサーチガ
スが、前真空ポンプの搬送方向に反して質量分析計に達
し、不都合な潜在を引き起こす。
本発明の課題は、サーチガス漏洩検出器の感度を改善
させることである。
させることである。
この課題は、請求項の特徴部に従って漏洩ディテクタ
の流入口でガス流を調整することにより解決された。
の流入口でガス流を調整することにより解決された。
本発明の使用により、調整されていない外乱、特に調
整されていない、機器に潜在するサーチガスが、位相敏
感な検波の原理に従って排除される。従って、大きな潜
在が存在するにも関わらず、極めて小さな漏洩率を検出
することができる。本発明による方法の別の利点は、極
めて小さな信号／漏洩率のもとでの時間特性が、従来の
技術に比べ著しく改善される。
整されていない、機器に潜在するサーチガスが、位相敏
感な検波の原理に従って排除される。従って、大きな潜
在が存在するにも関わらず、極めて小さな漏洩率を検出
することができる。本発明による方法の別の利点は、極
めて小さな信号／漏洩率のもとでの時間特性が、従来の
技術に比べ著しく改善される。
本発明の別の利点と詳細は、第１図から第３図に示し
た実施例に従って説明する。
た実施例に従って説明する。
第１図は、本発明によるサーチガス漏洩検出器の実施
例を概略的に示した図、 第２図及び第３図は、択一的な、流入ガス流の調整の
ための装置を示した図である。
例を概略的に示した図、 第２図及び第３図は、択一的な、流入ガス流の調整の
ための装置を示した図である。
第１図のサーチガス漏洩検出器１では、流入口が符号
２で、この流入口に接続された導管が符号３で、質量分
析計として形成されたサーチガス探知機が符号４で示さ
れている。質量分析計４の流入口には、導管５を介して
高真空ポンプ６（有利にはターボモレキュラ真空ポン
プ）が接続されている。高真空ポンプ６の流出口には、
弁８を備えた導管７が接続されている。この導管７は前
真空ポンプ９の流入口に接続されている。導管３には、
弁13,14を備えた導管区分11,12が接続されている。流入
口２内に流入するガスは、これらの導管11,12を介して
直接的に（導管11）又は間接的に（導管12）質量分析計
４に達する。ガス経路の選択は弁13,14によって行われ
る。弁８及び弁13が閉鎖されている場合は、開放された
弁14のもとで、前真空ポンプ９が、検査体又は検査室
（図示しない）の排気のために働くことができる。検査
体又は検査室は、漏洩検出の開始以前から流入口２に接
続されている。
２で、この流入口に接続された導管が符号３で、質量分
析計として形成されたサーチガス探知機が符号４で示さ
れている。質量分析計４の流入口には、導管５を介して
高真空ポンプ６（有利にはターボモレキュラ真空ポン
プ）が接続されている。高真空ポンプ６の流出口には、
弁８を備えた導管７が接続されている。この導管７は前
真空ポンプ９の流入口に接続されている。導管３には、
弁13,14を備えた導管区分11,12が接続されている。流入
口２内に流入するガスは、これらの導管11,12を介して
直接的に（導管11）又は間接的に（導管12）質量分析計
４に達する。ガス経路の選択は弁13,14によって行われ
る。弁８及び弁13が閉鎖されている場合は、開放された
弁14のもとで、前真空ポンプ９が、検査体又は検査室
（図示しない）の排気のために働くことができる。検査
体又は検査室は、漏洩検出の開始以前から流入口２に接
続されている。
本発明によるサーチガス漏洩検出器１の運転を可能に
するために、導管３内には、通流するガスの調整を可能
にする構成部分が位置している。第１図の実施例では弁
16が設けられていて、この弁16の開講横断面は可変的で
ある。第２図及び第３図には、導管３内に設けられた調
節可能な絞り17若しくは回転式のスロットルバルブ18が
示されている。これらの構成部分は全て、有利な周期的
な流入ガス流調整を可能にする。
するために、導管３内には、通流するガスの調整を可能
にする構成部分が位置している。第１図の実施例では弁
16が設けられていて、この弁16の開講横断面は可変的で
ある。第２図及び第３図には、導管３内に設けられた調
節可能な絞り17若しくは回転式のスロットルバルブ18が
示されている。これらの構成部分は全て、有利な周期的
な流入ガス流調整を可能にする。
第１図に示したように、弁16の操作のためにスイッチ
22が設けられていて、このスイッチ22自体は周波数発生
器21によって操作される。さらに、周波数発生器21によ
って発せられた信号は、増幅器23に基準信号として送ら
れる。増幅器23は、サーチガスディテクタ４により発せ
られた信号を処理するために働く。増幅及び、ロックイ
ン原理に応じて位相敏感な検波がなされた後に、信号表
示が行われる。信号表示器としてブロック24が示されて
いる。
22が設けられていて、このスイッチ22自体は周波数発生
器21によって操作される。さらに、周波数発生器21によ
って発せられた信号は、増幅器23に基準信号として送ら
れる。増幅器23は、サーチガスディテクタ４により発せ
られた信号を処理するために働く。増幅及び、ロックイ
ン原理に応じて位相敏感な検波がなされた後に、信号表
示が行われる。信号表示器としてブロック24が示されて
いる。
流入ガス流が調整される際に、質量分析計のイオンコ
レクタに同様に変調された信号が送られる。この信号
は、同期化して働く増幅器によりロックイン原理（LOCK
−IN Prinzip）に従って定電圧信号に処理されて、ブロ
ック24において表示される。特にヘリウムの潜在によっ
て引き起こされる外乱がこれにより排除される。極めて
小さな漏洩率も検出され得る。イオンコレクタの信号が
さらに（十分な大きさの）変調を有するようにするため
に、周波数発生器によって生ぜしめられた信号周波数ｆ
は、真空機構の時定数の逆数ｔよりも小さくなければな
らない。
レクタに同様に変調された信号が送られる。この信号
は、同期化して働く増幅器によりロックイン原理（LOCK
−IN Prinzip）に従って定電圧信号に処理されて、ブロ
ック24において表示される。特にヘリウムの潜在によっ
て引き起こされる外乱がこれにより排除される。極めて
小さな漏洩率も検出され得る。イオンコレクタの信号が
さらに（十分な大きさの）変調を有するようにするため
に、周波数発生器によって生ぜしめられた信号周波数ｆ
は、真空機構の時定数の逆数ｔよりも小さくなければな
らない。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 ウルリッヒ デプラー
ドイツ連邦共和国 Ｄ−42929 ヴェル
メルスキルヒェン ドルテンホーフ ４
アー
(72)発明者 ヴェルナー グローセ ブライ
ドイツ連邦共和国 Ｄ−53125 ボン
メッサーシュミットシュトラーセ 28
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01M 3/20
Claims (9)
- 【請求項１】ガス流入口（２）とサーチガス敏感なディ
テクタ（４）とを備えており、流入口（２）に達する、
漏洩発生時にはサーチガスを含むガス流を、ディテクタ
（４）に全部又は一部供給するサーチガス漏洩検出器
（１）を運転するための方法において、 ガス流を調整し、サーチガスディテクタ（４）の信号
を、ガス流の調整と同期的に処理することを特徴とす
る、サーチガス検出器を運転するための方法。 - 【請求項２】前記ガス流の調整を周期的に行う、請求項
１記載の方法。 - 【請求項３】ガス流の調整と、サーチガスディテクタの
信号の処理とをロックイン原理に従って行う、請求項１
または２記載の方法。 - 【請求項４】場合によってはサーチガスを含むガス流
を、サーチガスディテクタ（４）に直接的に又は間接的
に、サーチガスディテクタ（４）に接続された高真空ポ
ンプ（６）とは逆流で供給する、請求項１から３までの
いずれか１項記載の方法。 - 【請求項５】調整周波数及び信号処理周波数が、給電網
周波数の範囲内又は真空機構の時定数の範囲内に存在し
ないようにする、請求項１から４までのいずれか１項記
載の方法。 - 【請求項６】請求項１から４までのいずれか１項記載の
方法を行うのに適したサーチガス漏洩検出器（１）であ
って、流入口（２）とサーチガスディテクタ（４）とを
備えた形式のものにおいて、 流入側に、流入ガス流を調整するための装置（16,17,1
8）が設けられていることを特徴とする、サーチガス漏
洩検出器。 - 【請求項７】流入ガス流を調整するための装置として、
調整可能な弁（16）又は調整可能な絞り（17）又は回転
式のスロットルバルブ（18）が設けられている、請求項
６記載のサーチガス漏洩検出器。 - 【請求項８】サーチガスディテクタ（４）が質量分析計
であって、このサーチガスディテクタ（４）の流入口は
高真空ポンプに接続されていて、信号出口は増幅器（2
3）に接続されている、請求項６又は７記載の漏洩検出
器。 - 【請求項９】構成部分（16,17,18）の制御及び増幅器
（23）の制御のために周波数発生器（21）が設けられて
いる、請求項８記載の漏洩検出器。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4408877A DE4408877A1 (de) | 1994-03-16 | 1994-03-16 | Testgaslecksucher |
| DE4408877.9 | 1994-03-16 | ||
| PCT/EP1995/000186 WO1995025267A1 (de) | 1994-03-16 | 1995-01-19 | Testgaslecksucher |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09511330A JPH09511330A (ja) | 1997-11-11 |
| JP3391027B2 true JP3391027B2 (ja) | 2003-03-31 |
Family
ID=6512914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52379395A Expired - Lifetime JP3391027B2 (ja) | 1994-03-16 | 1995-01-19 | サーチガス漏洩検出器 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5821404A (ja) |
| EP (1) | EP0750738B1 (ja) |
| JP (1) | JP3391027B2 (ja) |
| DE (2) | DE4408877A1 (ja) |
| WO (1) | WO1995025267A1 (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2761776B1 (fr) * | 1997-04-03 | 1999-07-23 | Alsthom Cge Alcatel | Detecteur de fuite a gaz traceur |
| US5823044A (en) * | 1997-04-30 | 1998-10-20 | Ford Global Technologies, Inc. | Method for selective gas sensors based on nonlinear gas reactions |
| DE19735250A1 (de) * | 1997-08-14 | 1999-02-18 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Heliumlecksuchers und für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Heliumlecksucher |
| US7210342B1 (en) | 2001-06-02 | 2007-05-01 | Fluid Inclusion Technologies, Inc. | Method and apparatus for determining gas content of subsurface fluids for oil and gas exploration |
| DE10156205A1 (de) * | 2001-11-15 | 2003-06-05 | Inficon Gmbh | Testgaslecksuchgerät |
| US6766259B2 (en) * | 2002-07-29 | 2004-07-20 | Baxter International Inc. | System and a method for detecting fiber damage in a dialyzer |
| DE10324596A1 (de) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
| DE10324766A1 (de) * | 2003-05-31 | 2004-12-16 | Inficon Gmbh | Leckraten-Messvorichtung |
| US20050050943A1 (en) * | 2003-09-08 | 2005-03-10 | Tom Barber | Dry aerosol leak detection for dialyzers |
| US7189066B2 (en) * | 2004-05-14 | 2007-03-13 | Varian, Inc. | Light gas vacuum pumping system |
| US7472581B2 (en) * | 2005-03-16 | 2009-01-06 | Tokyo Electron Limited | Vacuum apparatus |
| DE102006021335A1 (de) * | 2006-05-05 | 2007-11-08 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Leiterplatte mit mehreren Bauteilen und Verfahren zum Löten dieser Leiterplatte |
| DE102006047856A1 (de) | 2006-10-10 | 2008-04-17 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher |
| CN101718574B (zh) * | 2009-12-17 | 2012-07-11 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 | 一种测量恒压式正压漏孔校准装置变容室容积的方法 |
| US9038441B2 (en) * | 2012-01-20 | 2015-05-26 | TLI Enterprises, Inc. | High speed helium leak detection system and method |
| WO2016069189A1 (en) | 2014-10-29 | 2016-05-06 | Laitram, L.L.C. | Electromagnetic conveyor |
| DE102016205381B4 (de) | 2016-03-31 | 2023-11-30 | Inficon Gmbh | Gaslecksuche mit einer Testgassprühvorrichtung |
| DE102016210701A1 (de) * | 2016-06-15 | 2017-12-21 | Inficon Gmbh | Massenspektrometrischer Lecksucher mit Turbomolekularpumpe und Boosterpumpe auf gemeinsamer Welle |
| DE102017217374A1 (de) | 2017-09-29 | 2019-04-04 | Inficon Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Unterscheidung eines aus einem Leck austretenden Prüfgases von Störgas |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2532424A1 (fr) * | 1982-08-27 | 1984-03-02 | Cit Alcatel | Dispositif de mesure et d'affichage du taux q de fuite pour un detecteur de fuites a gaz traceur |
| FR2604522B1 (fr) * | 1986-09-26 | 1989-06-16 | Cit Alcatel | Installation de detection de fuite a gaz traceur et procede d'utilisation |
| FR2667937B1 (fr) * | 1990-10-15 | 1995-03-10 | Cit Alcatel | Detecteur de fuite a gaz traceur. |
| DE4037524A1 (de) * | 1990-11-26 | 1992-05-27 | Leybold Ag | Lecksuchgeraet |
| FR2681689B1 (fr) * | 1991-09-25 | 1993-11-12 | Alcatel Cit | Detecteur de fuite a gaz traceur. |
| DE4140366A1 (de) * | 1991-12-07 | 1993-06-09 | Leybold Ag, 6450 Hanau, De | Lecksucher fuer vakuumanlagen sowie verfahren zur durchfuehrung der lecksuche an vakuumanlagen |
| DE4228149A1 (de) * | 1992-08-25 | 1994-03-03 | Leybold Ag | Vakuum-Meßgerät für die integrale Dichtigkeitskontrolle mit leichten Gasen |
-
1994
- 1994-03-16 DE DE4408877A patent/DE4408877A1/de not_active Withdrawn
-
1995
- 1995-01-19 US US08/702,696 patent/US5821404A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-01-19 WO PCT/EP1995/000186 patent/WO1995025267A1/de not_active Ceased
- 1995-01-19 JP JP52379395A patent/JP3391027B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1995-01-19 DE DE59506173T patent/DE59506173D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-01-19 EP EP95907566A patent/EP0750738B1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4408877A1 (de) | 1995-09-21 |
| JPH09511330A (ja) | 1997-11-11 |
| US5821404A (en) | 1998-10-13 |
| WO1995025267A1 (de) | 1995-09-21 |
| DE59506173D1 (de) | 1999-07-15 |
| EP0750738B1 (de) | 1999-06-09 |
| EP0750738A1 (de) | 1997-01-02 |
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