RU2002111643A - Способ испытания на герметичность и вакуумная система течеискателя, реализующая его - Google Patents

Claims (2)

1. Способ испытания на герметичность, содержащий операции статической калибровки течеискателя по контрольной течи с пробным газом или по атмосферному воздуху, содержащему пробный газ, напуска в масс-спектрометрическую камеру разреженной исследуемой смеси газов с пробным газом от объекта, выделение в масс-спектрометрической камере электрического сигнала от парциального давления пробного газа; при увеличении электрического сигнала от найденной течи регистрируют его и рассчитывают поток газа через течь, отличающийся тем, что, выделяют пробный газ из потока исследуемой смеси газа в форбачке сепарированием первым высоковакуумным насосом, подают его в масс-спектрометрическую камеру, проводят статическую и динамическую калибровку течеискателя по контрольной течи пробного газа или по парциальному давлению пробного газа из газовой среды, окружающей течеискатель: накапливают смесь с пробным газом в форбачке при различных давлениях, измеряемых датчиками давления как в форбачке, так и перед вторым высоковакуумным насосом, каждый раз фиксируют масс-спектрометром изменение сигнала от пробного газа при калибровках, ведут поиск мест не герметичности объекта пропуская через второй высоковакуумный насос поток исследуемой смеси газа от объекта в форбачек и в форвакуумный насос, выделяют пробный газ из исследуемой смеси в форбачке сепарированием первым высоковакуумным насосом, подают его в масс-спектрометрическую камеру, фиксируют от него сигнал и сравнивают с сигналом от статической калибровки при соответствующих давлениях в форбачке и перед вторым высоковакуумным насосом, при увеличении сигнала от найденной течи рассчитывают поток газа через течь, если необходимо уточнить величину потока газа через течь, то увеличивают давление смеси газа в форбачке при помощи дросселирующих вентилей, фиксируют увеличение сигнала, сравнивают его со статической калибровкой при соответствующих давлениях и если изменение сигнала признано достоверным и достаточным, то рассчитывают поток газа через течь, если изменение сигнала признано не достаточным, то: вновь производят повышение давления потока газа в форбачке или накапливают смесь газов в форбачке при полностью закрытом дросселирующем вентиле на форвакуумной магистрали, регулируют время накопления смеси газов в форбачке при помощи дросселирующего вентиля на высоковакуумной магистрали или проводят дополнительную динамическую калибровку течеискателя для нахождения достоверного и достаточного изменения сигнала от пробного газа, рассчитывают поток газа через течь, если необходимо дополнительное уточнение величины потока газа через течь, то изменяют откачные характеристики первого высоковакуумного насоса, например по зависимости (1), изменяя обороты ротора ТМН или мощность подогрева диффузионного насоса с повторением определения достоверной величины потока газа через течь.

2. Вакуумная система течеискателя, содержащая высоковакуумный насос, к которому с высоковакуумной стороны присоединена высоковакуумная магистраль для газа, содержащая, датчик давления, два клапана - один дросселирующий, для присоединения к контрольной течи с пробным газом, к устройству блокировки и испытуемому объекту или устройству для испытания объекта (условно не показано), второй для присоединения к масс-спектрометрической камере, с форвакуумной стороны высоковакуумного насоса присоединена форвакуумная магистраль для газа с расположенными на ней датчиком давления, клапанами для присоединения к форвакуумному насосу, к устройству напуска атмосферного воздуха или другого газа в форвакуумную магистраль, отличающаяся тем, что вакуумная система течеискателя содержит два высоковакуумных насоса, соединенных с форвакуумной стороны общим форбачком к которому присоединены датчик давления, контрольная течь пробного газа с клапаном, дросселирующий вентиль, высоковакуумные стороны высоковакуумных насосов соединены с отдельными высоковакуумными магистралями для газа - к первой магистрали присоединены датчик давления и клапан для присоединения масс-спектрометрической камере, ко второй магистрали присоединены датчик давления, дросселирующий вентиль, устройство блокировки, устройство для присоединения к объекту или устройству для испытания объекта (условно не показано).