RU2728446C2 - Масс-спектрометрический течеискатель с турбомолекулярным насосом и бустерным насосом на общем валу - Google Patents
Масс-спектрометрический течеискатель с турбомолекулярным насосом и бустерным насосом на общем валу Download PDFInfo
- Publication number
- RU2728446C2 RU2728446C2 RU2019100225A RU2019100225A RU2728446C2 RU 2728446 C2 RU2728446 C2 RU 2728446C2 RU 2019100225 A RU2019100225 A RU 2019100225A RU 2019100225 A RU2019100225 A RU 2019100225A RU 2728446 C2 RU2728446 C2 RU 2728446C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- pump
- stage
- turbomolecular
- turbomolecular pump
- leak detector
- Prior art date
Links
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract description 26
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 31
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 7
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 7
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 7
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 7
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000035508 accumulation Effects 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/16—Combinations of two or more pumps ; Producing two or more separate gas flows
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/08—Sealings
- F04D29/10—Shaft sealings
- F04D29/102—Shaft sealings especially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/104—Shaft sealings especially adapted for elastic fluid pumps the sealing fluid being other than the working fluid or being the working fluid treated
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
- G01M3/205—Accessories or associated equipment; Pump constructions
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
Масс-спектрометрический течеискатель, имеющий многоступенчатый турбомолекулярный насос (12), соединенный со стороной всасывания турбомолекулярного насоса (12) масс-спектрометр (17), соединенный со стороной нагнетания турбомолекулярного насоса (12) насос (18) предварительного разрежения и ступень (24) бустерного насоса, сторона всасывания которой включает в себя подсоединение (28) для подлежащего проверке проверяемого объекта, а сторона нагнетания которой через трубопроводную разводку (22) соединена со стороной нагнетания турбомолекулярного насоса (12) и со стороной всасывания насоса (18) предварительного разрежения, отличающийся тем, что ступени (30, 32) турбомолекулярного насоса (12) и ступень бустерного насоса расположены на общем валу и имеют общий привод (34) и что трубопроводная разводка между стороной нагнетания, соединяемой с проверяемым объектом ступенью бустерного насоса, и стороной всасывания, соединенной с масс-спектрометром (17) откачивающей ступени турбомолекулярного насоса (12), разъединена разделительной перегородкой (36). 9 з.п. ф-лы, 5 ил.
Description
Изобретение относится к масс-спектрометрическому течеискателю, имеющему многоступенчатый турбомолекулярный насос и ступень бустерного насоса.
В случае с масс-спектрометрическим течеискателем в проверяемом объекте или в окружающей проверяемый объект испытательной камере с помощью обычно многоступенчатого турбомолекулярного насоса создают разрежение и подают на масс-спектрометр поток газа для анализа откачанного газа. На масс-спектрометр подают при этом только часть всего отведенного газа. Подобный масс-спектрометрический течеискатель описан, например, в DE 197 35 250 A1. В качестве поверочного газа для обнаружения течей обычно используют гелий.
Кроме того, известно, что в соединенную с проверяемым объектом или испытательной камерой газопроводную разводку такого масс-спектрометрического течеискателя включают бустерный насос, чтобы обеспечить быстрое создание разрежения в проверяемом объекте или испытательной камере, более высокую чувствительность, а также показатели более оперативного времени срабатывания в случае с большими объемами.
Подобный течеискатель с бустерным насосом описан в US 2006/0280615 A1. Через двухступенчатый турбомолекулярный насос, откачивающие ступени которого расположены на общем валу, масс - спектрометр соединен с насосом предварительного разрежения. В соединяемой с проверяемым объектом газопроводной разводке предусмотрен бустерный насос. При этом сторона всасывания бустерного насоса соединена с проверяемым объектом, в то время как сторона нагнетания бустерного насоса соединена с промежуточным газовпуском между обеими откачивающими ступенями турбомолекулярного насоса, а также с газопроводной разводкой между турбомолекулярным насосом и насосом предварительного разрежения. Каждая из этих газопроводных разводок включает в себя при этом собственный клапан.
Особое значение в случае с подобными традиционными масс-спектрометрическими течеискателями с бустерным насосом имеет то, что бустерный насос включает в себя собственный привод, который обычно расположен на стороне нагнетания бустерного насоса. Следовательно, привод бустерного насоса через промежуточный газовпуск многоступенчатого турбомолекулярного насоса соединен с масс-спектрометром и с измерительным трактом для анализа газа. В результате этого привод бустерного насоса может загрязнять измерительный тракт и отрицательно сказываться на выполнении анализа масс-спектрометром. Например, в приводе бустерного насоса может скапливаться гелий, который через измерительный тракт попадает в масс-спектрометр и искажает там результат измерений.
Из EP 0344345 A1 известны также, например, масс-спектрометрические компоновочные схемы для обнаружения течей, в случае с которыми несколько откачивающих ступеней расположены на общем валу. Привод откачивающих ступеней расположен на конце вала на стороне низкого давления и, следовательно, на стороне масс-спектрометра. То же самое относится и к подшипникам вала. Также и в данном случае гелий, скопившийся в приводе насоса или в подшипнике вала, может через измерительный тракт попадать в масс-спектрометр и, тем самым, искажать результат измерений.
В основу изобретения положена задача создать улучшенный масс-спектрометрический течеискатель с многоступенчатым турбомолекулярным насосом (ТМН) и бустерным насосом, в случае с которым привод ТМН, который может загрязняться гелием, максимально эффективно отделен от масс-спектрометра.
Течеискатель согласно изобретению задан отличительными признаками п. 1 формулы изобретения.
В соответствии с этим откачивающие ступени турбомолекулярного насоса и бустерный насос расположены на общем валу и снабжены общим приводом. Бустерный насос является при этом откачивающей ступенью многоступенчатого вакуумного насоса, который включает в себя также откачивающие ступени турбомолекулярного насоса. Ступень бустерного насоса на стороне всасывания снабжена подсоединением для проверяемого объекта. В данном случае под подсоединением для проверяемого объекта подразумевается также подсоединение для включающей в себя проверяемый объект испытательной камеры. Сторона нагнетания ступени бустерного насоса через газопроводную разводку соединена со стороной нагнетания турбомолекулярного насоса и со стороной всасывания насоса предварительного разрежения.
Для предотвращения того, чтобы привод вала для откачивающих ступеней турбомолекулярного насоса и ступени бустерного насоса загрязнял измерительный тракт в сторону масс-спектрометра, газопроводная разводка между стороной нагнетания ступени бустерного насоса и стороной всасывания соединенной с масс-спектрометром откачивающей ступени турбомолекулярного насоса разъединена разделительной перегородкой. Благодаря этому скопления газа или другие загрязнения из привода не могут попадать в масс-спектрометр.
В случае с разделительной перегородкой речь может идти об уплотнении, запирающем соответствующую газопроводную разводку. Поскольку газопроводная разводка проходит от ступени бустерного насоса через вал в сторону масс-спектрометра, уплотнение на валу должно обеспечивать передачу крутящего момента вала. Это может быть достигнуто, например, посредством уплотнения из ферромагнитной жидкости, которое обеспечивает уплотнение по газу с помощью закрытой стенки, через которую посредством магнитной силы является передаваемым крутящий момент вала. На обеих сторонах закрытой стенки при этом присутствует жидкость с ферромагнитными частичками.
Ферромагнитным частичкам на стороне стенки с ведомым валом придают вращение под действием вала. Магнитные силы вращающихся ферромагнитных частичек воздействуют сквозь закрытую стенку на ферромагнитные частички в жидкости на другой стороне закрытой стенки, перемещают их и придают им импульс к вращению, в результате чего участок вала на этой сторон е закрытой стенки приводят во вращение. Через закрытую стенку никакой газ не может попадать с одной стороны на другую сторону вдоль вала.
Другой профиль разделительной перегородки может быть обеспечен посредством ступени сепараторного насоса, сторона всасывания которого соединена с масс-спектрометром, а сторона нагнетания которого соединена со сторонами нагнетания ступени бустерного насоса и соединенной с масс-спектрометром откачивающей ступени турбомолекулярного насоса. Ступень сепараторного насоса, следовательно, расположена на том же самом валу, что и прочие откачивающие ступени между ступенью бустерного насоса и соединенной с масс-спектрометром откачивающей ступенью. Ступень сепараторного насоса может быть выполнена как ступень молекулярного насоса, например, по принципу Хольвека (Holweck) или Геде (Gaede) или как ступень турбомолекулярного насоса. Ступень молекулярного насоса обеспечивает при этом особенно высокую степень компрессии.
Турбомолекулярный насос может быть выполнен, прежде всего, двухступенчатым. Вместе со ступенью бустерного насоса на одном и том же валу, что и для обеих откачивающих ступеней турбомолекулярного насоса, тем самым задают трехступенчатый вакуумный насос. В случае со ступенью сепараторного насоса, расположенной на одном и том же валу между ступенью бустерного насоса и турбомолекулярным насосом, задают в целом четырехступенчатый вакуумный насос, причем каждую из откачивающих ступеней приводят в действие одним и тем же приводом и одним и тем же валом.
Предпочтительно, общий привод насоса расположен на конце турбомолекулярного насоса, лежащем между откачивающими ступенями турбомолекулярного насоса и насоса предварительного разрежения, то есть на стороне нагнетания турбомолекулярного насоса.
В случае с откачивающей ступенью на находящемся на стороне нагнетания конце турбомолекулярного насоса речь может идти о ступени молекулярного насоса или о ступени Хольвека. Турбомолекулярный насос имеет по меньшей мере одну ступень турбомолекулярного насоса. Ступень бустерного насоса в предпочтительном решении выполнена как ступень турбомолекулярного насоса, чтобы обеспечивать высокую всасывающую способность по гелию.
Изобретение базируется на замысле создания масс-спектрометрического течеискателя с многоступенчатым турбомолекулярным насосом и с тупенью бустерного насоса, в случае с которым все откачивающие ступени расположены только на одном валу и приводятся в действие только одним общим приводом. Конструкция течеискателя благодаря этому является более оптимальной и технически упрощенной. Для предотвращения того, чтобы привод подобной многоступенчатой насосной установки загрязнял масс-спектрометр и, тем самым, искажал результат измерений, предусмотрена разделительная перегородка газопроводной разводки между ступенью бустерного насоса и соединенной с масс-спектрометром откачивающей ступенью.
Далее на основе фигур приведено более подробное разъяснение примеров конструктивного выполнения согласно изобретению. На фигурах показаны:
Фиг. 1: известная из уровня техники традиционная компоновочная схема, Фиг. 2: пример конструктивного выполнения согласно изобретению в схематичном представлении,
Фиг. 3: другой пример конструктивного выполнения компоновочной схемы согласно фиг. 2,
Фиг. 4: пример конструктивного выполнения по фиг. 3 в схематической привязке его представления к фиг. 1,
Фиг. 5: другой пример конструктивного выполнения с клапанами для управления циклом откачивания/измерения.
На фиг. 1 в схематичном представлении показан известный из уровня техники масс-спектрометрический течеискатель с многоступенчатым турбомолекулярным насосом 12, сторона всасывания которого через газопроводную разводку 14 соединена с масс-спектрометром 17 (обозначен на фигурах как MS-прим. переводчика), а сторона нагнетания которого через газопроводную разводку 16 соединена со стороной всасывания насоса 18 предварительного разрежения (форвакуумного насоса). Турбомолекулярный насос 12 включает в себя промежуточное газовое подсоединение 20, которое через другую газопроводную разводку 22 соединено со стороной нагнетания бустерного насоса 24. На стороне всасывания бустерный насос 24, в случае с которым равным образом идет речь о турбомолекулярном насосе, через газопроводную разводку 26 соединен с подсоединением 28 для проверяемого объекта или содержащую проверяемый объект испытательную камеру.
Турбомолекулярный насос 12 выполнен двухступенчатым, со ступенью 30 турбомолекулярного насоса и ступенью 32 молекулярного насоса. Ступень 30 турбомолекулярного насоса и ступень 32 молекулярного насоса посажены на общий, на фиг. 1 не показанный вал и приводятся в действие общим приводом 34 насоса. Привод 34 насоса расположен на стороне нагнетания турбомолекулярного насоса 12, то есть между стороной нагнетания ступени 32 молекулярного насоса и стороной всасывания насоса 18 предварительного разрежения. Промежуточное газовое подсоединение 20 соединяет сторону нагнетания бустерного насоса 24 со стороной нагнетания ступени 30 турбомолекулярного насоса и стороной всасывания ступени 32 молекулярного насоса. Привод 35 бустерного насоса 24 находится непосредственно в измерительном тракте трубопроводов 22, 26, идущих от проверяемого объекта 28, в результате чего накопившийся гелий из атмосферного воздуха в процессе откачивания аккумулируется в приводе 35, при выходе на режим низкого давления медленно снова улетучивается и, таким образом, при выполнении измерения попадает в масс-спектрометр.
Пример конструктивного выполнения, наглядно отображающий основной принцип изобретения, представлен на фиг. 2. Основная идея изобретения состоит в том, чтобы выполнить бустерный насос 24 как дополнительную откачивающую ступень турбомолекулярного насоса 12. Ступень 24 бустерного насоса расположена при этом на том же самом валу, что и ступень 30 турбомолекулярного насоса и ступень 32 молекулярного насоса (в составе) турбомолекулярного насоса 12. При этом ступень 24 бустерного насоса приводят в действие тем же самым единственным приводом 34 насоса в секции предварительного разрежения, что и для обеих откачивающих ступеней 30, 32.
Для обеспечения максимально ранней готовности к измерению давление в масс-спектрометре 17 должно быть меньше, чем давление в проверяемом объекте. При этом, поскольку бустерный насос 24 нагнетает давление со стороны проверяемого объекта в направлении своей стороны выпуска, предусмотрена разделительная перегородка 36 газопроводной разводки между стороной всасывания ступени 30 турбомолекулярного насоса и стороной нагнетания ступени 24 бустерного насоса, чтобы разъединить здесь промежуточную газопроводную разводку. Разделительная перегородка 36 на фиг. 2 показана двумя волнистыми линиями и может быть обеспечена различными способами.
В случае с первым, на фигурах не представленным вариантом речь идет об охватывающем вал между ступенью 24 бустерного насоса и ступенью 30 турбомолекулярного насоса уплотнении по газу, которое допускает передачу крутящего момента вдоль вала от привода 34 на ступень 24 бустерного насоса.
Это может быть достигнуто, например, посредством уплотнения из ферромагнитной жидкости, в случае с которым посредством взвешенных в жидкости, вращающихся ферромагнитных частичек крутящий момент с помощью магнитных сил передают сквозь закрытую стенку.
Альтернативно, разделительная перегородка 36 может быть обеспечена также с помощью представленной на фиг. 3 и 4 ступени 38 сепараторного насоса. При этом сторона всасывания ступени 38 сепараторного насоса соединена с газопроводной разводкой 14, которая соединяет масс-спектрометр 7 со стороной всасывания ступени 30 турбомолекулярного насоса. Сторона нагнетания ступени 38 сепараторного насоса соединена с газопроводной разводкой 22, которая соединяет сторону нагнетания ступени 24 бустерного насоса с промежуточным газовпуском 20 турбомолекулярного насоса между обеими откачивающими ступенями 30, 32.
На фиг. 4 наглядно представлено предусмотренное изобретением отличие обеспеченной ступенью 38 сепараторного насоса разделительной перегородки 36 от известной из уровня техники компоновочной схемы согласно фиг. 1.
Фиг. 3 отражает соответствующее компоновочной схеме согласно фиг. 2 представление примера конструктивного выполнения на фиг. 4, в случае с которым разделительную перегородку 36 согласно фиг. 2 обеспечивают посредством ступени 38 сепараторного насоса по фиг. 4. Ступень 24 является сугубо турбонасосной ступенью с высокой всасывающей способностью. Ступени 38 и 30 параметрически рассчитаны на среднюю компрессию с числом от по меньшей мере 10 до максимум 100 (для водяного пара). Одна из этих двух ступеней 38, 30, предпочтительно ступень 38 , альтернативно, может быть параметрически рассчитана также как ступень молекулярного насоса с очень высокой компрессией, поскольку эта ступень реализует только разделительную перегородку 36, в то время как другую ступень 30 используют для функции противотока.
Газопроводная разводка 22 представляет собой перепускную линию, которая соединяет выпускное отверстие ступени 24 с впускным отверстием ступени 32. Ступень 32 может быть параметрически рассчитана как сугубо винтовая ступень или как винтовая ступень с одной или несколькими турбонасосными ступенями на впуске, чтобы обеспечивать высокую компрессию и, следовательно, максимально эффективное отделение масс -спектрометра 17 от привода 34. Дополнительное подсоединение 39 на проверяемый объект 28 может быть осуществлено (с врезкой) в ступень 32, как показано на фиг. 3, или также между ступенями 30 и 32. Это зависит от всасывающей способности ступени 32 и от сопротивления ступеней 38 и 30 давлению.
Пример конструктивного выполнения согласно фиг. 5 в сравнении с примером конструктивного выполнения согласно фиг. 3 дополнен клапанами V1-V6 для обеспечения функционирования течеискателя.
В подсоединенном к подсоединению 28 проверяемом объекте сначала через клапан V5 создают с помощью насоса 18 предварительного разрежения разрежение до давления примерно в 15 мбар. Затем открывают клапан V4 для подтверждения большого объема протечек, и можно приступать к обнаружению течей. Атомы поверочного газа с преодолением компрессии ступеней 32, 38 и 30 попадают в масс-спектрометр 17, где выполняют их детектирование. Начиная с давления p2 величиной менее 2 мбар, через клапан V3 происходит переключение на более чувствительный впуск, который осуществляется в ступень 32. Клапан V3 предусмотрен в промежуточном соединении откачивающей ступени 32. На откачивающих ступенях 32, 38 альтернативно или дополнительно могут быть предусмотрены другие промежуточные соединения, чтобы на соответствующих режимах давления перемыкать мостовой схемой компоненты соответствующих откачивающих ступеней и за счет этого повышать чувствительность (измерений).
При выходе за нижний предел давления р1в 0,1 мбар через клапан V1 выполняют переключение на самый чувствительный рабочий режим, при этом клапан V5 перекрывают. В этом случае большая всасывающая способность ступени 24 бустерного насоса воздействует на впуск 28 и, тем самым, положительно сказывается на времени срабатывания сигнала, в то время как компрессия в ступени 24 приводит к превышению парциального давления гелия на участке соединительной линии 22 и, следовательно, повышению уровня сигнала в масс-спектрометре 17. Определяющим фактором для порога чувствительности течеискателя в данном случае является всасывающая способность ступени 32 и компрессия ступеней 38, 30.
Claims (16)
1. Масс-спектрометрический течеискатель, имеющий:
- многоступенчатый турбомолекулярный насос (12),
- соединенный со стороной всасывания турбомолекулярного насоса (12) масс-спектрометр (17),
- соединенный со стороной нагнетания турбомолекулярного насоса (12) насос (18) предварительного разрежения, и
- ступень (24) бустерного насоса, сторона всасывания которой включает в себя подсоединение (28) для подлежащего проверке проверяемого объекта, а сторона нагнетания которой через трубопроводную разводку (22) соединена со стороной нагнетания турбомолекулярного насоса (12) и со стороной всасывания насоса (18) предварительного разрежения,
отличающийся тем,
что ступени (30, 32) турбомолекулярного насоса (12) и ступень бустерного насоса расположены на общем валу и имеют общий привод (34) и что трубопроводная разводка между стороной нагнетания, соединяемой с проверяемым объектом ступенью бустерного насоса, и стороной всасывания, соединенной с масс-спектрометром (17) откачивающей ступени турбомолекулярного насоса (12), разъединена разделительной перегородкой (36).
2. Течеискатель по п. 1, отличающийся тем, что турбомолекулярный насос (12) выполнен двухступенчатым.
3. Течеискатель по п. 1 или 2, отличающийся тем, что откачивающие ступени турбомолекулярного насоса (12) и ступень (24) бустерного насоса образуют общий вакуумный насос.
4. Течеискатель по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что привод (34) расположен на лежащем между откачивающими ступенями и насосом (18) предварительного разрежения конце турбомолекулярного насоса (12).
5. Течеискатель по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что одна из откачивающих ступеней турбомолекулярного насоса (12) является ступенью (32) молекулярного насоса и что турбомолекулярный насос (12) включает в себя по меньшей мере одну ступень (30) турбомолекулярного насоса.
6. Течеискатель по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что ступень (24) бустерного насоса является ступенью турбомолекулярного насоса.
7. Течеискатель по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что разделительная перегородка (36) является запирающим вдоль вала газопроводную разводку (22) уплотнением, через которое является передаваемым крутящий момент вала.
8. Течеискатель по п. 7, отличающийся тем, что уплотнение создают посредством уплотнения из ферромагнитной жидкости.
9. Течеискатель по одному из пп. 1-6, отличающийся тем, что разделительную перегородку (36) создают посредством ступени (38) сепараторного насоса, сторона всасывания которого соединена с масс-спектрометром (17), а сторона нагнетания которого соединена со сторонами нагнетания ступени (24) бустерного насоса и соединенной с масс-спектрометром (17) откачивающей ступени турбомолекулярного насоса (12).
10. Течеискатель по п. 9, отличающийся тем, что ступень (38) сепараторного насоса является ступенью молекулярного насоса или ступенью турбомолекулярного насоса.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102016210701.1 | 2016-06-15 | ||
| DE102016210701.1A DE102016210701A1 (de) | 2016-06-15 | 2016-06-15 | Massenspektrometrischer Lecksucher mit Turbomolekularpumpe und Boosterpumpe auf gemeinsamer Welle |
| PCT/EP2017/064434 WO2017216173A1 (de) | 2016-06-15 | 2017-06-13 | Massenspektrometrischer lecksucher mit turbomolekularpumpe und boosterpumpe auf gemeinsamer welle |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2019100225A RU2019100225A (ru) | 2020-07-15 |
| RU2019100225A3 RU2019100225A3 (ru) | 2020-07-15 |
| RU2728446C2 true RU2728446C2 (ru) | 2020-07-30 |
Family
ID=59055219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2019100225A RU2728446C2 (ru) | 2016-06-15 | 2017-06-13 | Масс-спектрометрический течеискатель с турбомолекулярным насосом и бустерным насосом на общем валу |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11009030B2 (ru) |
| EP (1) | EP3472471B1 (ru) |
| JP (1) | JP6883051B2 (ru) |
| KR (1) | KR102430735B1 (ru) |
| CN (1) | CN109312754B (ru) |
| DE (1) | DE102016210701A1 (ru) |
| RU (1) | RU2728446C2 (ru) |
| TW (1) | TWI743137B (ru) |
| WO (1) | WO2017216173A1 (ru) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR3070489B1 (fr) * | 2017-08-29 | 2020-10-23 | Pfeiffer Vacuum | Detecteur de fuites et procede de detection de fuites pour le controle de l'etancheite d'objets a tester |
| FR3072774B1 (fr) * | 2017-10-19 | 2019-11-15 | Pfeiffer Vacuum | Detecteur de fuites pour le controle de l'etancheite d'un objet a tester |
| DE102020132896A1 (de) | 2020-12-10 | 2022-06-15 | Inficon Gmbh | Vorrichtung zur massenspektrometrischen Leckdetektion mit dreistufiger Turbomolekularpumpe und Boosterpumpe |
| CN114046941B (zh) * | 2021-11-28 | 2024-03-19 | 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 | 一种基于涡轮分子泵薄膜生长设备的测漏阀门系统 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2016255C1 (ru) * | 1990-08-23 | 1994-07-15 | Специальное конструкторско-технологическое бюро прецизионного оборудования "Вектор" | Молекулярный вакуумный насос |
| RU39658U1 (ru) * | 2004-03-15 | 2004-08-10 | Открытое акционерное общество "Завод "Измеритель" | Турбомолекулярный насос |
| RU2240524C1 (ru) * | 2003-07-15 | 2004-11-20 | Открытое акционерное общество "Завод "Измеритель" | Течеискатель |
| DE102005021909A1 (de) * | 2005-05-12 | 2006-11-16 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor |
Family Cites Families (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2872102A (en) * | 1955-12-19 | 1959-02-03 | Stempel Hermetik Gmbh | Compressor |
| DE1648648C3 (de) * | 1967-04-12 | 1980-01-24 | Arthur Pfeiffer-Hochvakuumtechnik Gmbh, 6330 Wetzlar | Anordnung zur Lecksuche nach dem Massenspektrometer-Prinzip |
| US3520173A (en) * | 1967-05-02 | 1970-07-14 | Mobil Oil Corp | Automated test apparatus |
| US3536418A (en) * | 1969-02-13 | 1970-10-27 | Onezime P Breaux | Cryogenic turbo-molecular vacuum pump |
| US3616680A (en) * | 1969-10-27 | 1971-11-02 | Sargent Welch Scientific Co | Leak detector |
| JPS5125158A (en) * | 1974-08-26 | 1976-03-01 | Nippon Kuatsu System Co | Ryutaijikukeryono ryuryokei |
| US4180370A (en) * | 1975-03-22 | 1979-12-25 | Kernforschungsanlage Julich Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | Turbomolecular pump |
| US4527805A (en) * | 1984-05-03 | 1985-07-09 | Ferrofluidics Corporation | High-pressure ferrofluid seal apparatus |
| EP0283543B1 (de) * | 1987-03-27 | 1991-12-11 | Leybold Aktiengesellschaft | Lecksuchgerät und Betriebsverfahren dazu |
| EP0344345B1 (de) | 1988-06-01 | 1991-09-18 | Leybold Aktiengesellschaft | Pumpsystem für ein Lecksuchgerät |
| DE4228313A1 (de) * | 1992-08-26 | 1994-03-03 | Leybold Ag | Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe |
| DE4343912A1 (de) * | 1993-12-22 | 1995-06-29 | Leybold Ag | Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgaslecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Testgaslecksucher |
| DE4408877A1 (de) * | 1994-03-16 | 1995-09-21 | Leybold Ag | Testgaslecksucher |
| DE19504278A1 (de) * | 1995-02-09 | 1996-08-14 | Leybold Ag | Testgas-Lecksuchgerät |
| US5703281A (en) * | 1996-05-08 | 1997-12-30 | Southeastern Univ. Research Assn. | Ultra high vacuum pumping system and high sensitivity helium leak detector |
| JP3675983B2 (ja) * | 1996-09-12 | 2005-07-27 | 株式会社アルバック | ヘリウムリークディテクター |
| DE19735250A1 (de) | 1997-08-14 | 1999-02-18 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Heliumlecksuchers und für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Heliumlecksucher |
| DE10004271A1 (de) * | 2000-02-01 | 2001-08-02 | Leybold Vakuum Gmbh | Reibungsvakuumpumpe |
| DE10004263A1 (de) * | 2000-02-01 | 2001-08-02 | Leybold Vakuum Gmbh | Dynamische Dichtung |
| US7082404B2 (en) * | 2001-06-29 | 2006-07-25 | International Business Machines Corporation | System and method for improved matrix management of personnel planning factors |
| DE10156205A1 (de) * | 2001-11-15 | 2003-06-05 | Inficon Gmbh | Testgaslecksuchgerät |
| DE10308420A1 (de) * | 2003-02-27 | 2004-09-09 | Leybold Vakuum Gmbh | Testgaslecksuchgerät |
| DE10319633A1 (de) | 2003-05-02 | 2004-11-18 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
| DE10334455B4 (de) * | 2003-07-29 | 2013-01-31 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Lecksuchverfahren und Lecksuchanordnung zur Durchführung des Verfahrens |
| WO2011132365A1 (ja) | 2010-04-22 | 2011-10-27 | 株式会社アルバック | 漏洩検知方法及び真空処理装置 |
| JP2011069834A (ja) * | 2010-11-18 | 2011-04-07 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークデテクタ |
| US10073001B2 (en) | 2013-05-07 | 2018-09-11 | Luedolph Management GmbH | Leak test arrangement and leak test method |
-
2016
- 2016-06-15 DE DE102016210701.1A patent/DE102016210701A1/de not_active Withdrawn
-
2017
- 2017-06-13 WO PCT/EP2017/064434 patent/WO2017216173A1/de unknown
- 2017-06-13 JP JP2018565830A patent/JP6883051B2/ja active Active
- 2017-06-13 US US16/308,521 patent/US11009030B2/en active Active
- 2017-06-13 KR KR1020187035501A patent/KR102430735B1/ko active IP Right Grant
- 2017-06-13 EP EP17729865.0A patent/EP3472471B1/de active Active
- 2017-06-13 CN CN201780035452.5A patent/CN109312754B/zh active Active
- 2017-06-13 RU RU2019100225A patent/RU2728446C2/ru active
- 2017-06-14 TW TW106119828A patent/TWI743137B/zh active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2016255C1 (ru) * | 1990-08-23 | 1994-07-15 | Специальное конструкторско-технологическое бюро прецизионного оборудования "Вектор" | Молекулярный вакуумный насос |
| RU2240524C1 (ru) * | 2003-07-15 | 2004-11-20 | Открытое акционерное общество "Завод "Измеритель" | Течеискатель |
| RU39658U1 (ru) * | 2004-03-15 | 2004-08-10 | Открытое акционерное общество "Завод "Измеритель" | Турбомолекулярный насос |
| DE102005021909A1 (de) * | 2005-05-12 | 2006-11-16 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWI743137B (zh) | 2021-10-21 |
| TW201802444A (zh) | 2018-01-16 |
| CN109312754A (zh) | 2019-02-05 |
| US20190162193A1 (en) | 2019-05-30 |
| KR102430735B1 (ko) | 2022-08-08 |
| JP6883051B2 (ja) | 2021-06-02 |
| CN109312754B (zh) | 2021-05-04 |
| RU2019100225A (ru) | 2020-07-15 |
| DE102016210701A1 (de) | 2017-12-21 |
| EP3472471B1 (de) | 2022-02-23 |
| RU2019100225A3 (ru) | 2020-07-15 |
| US11009030B2 (en) | 2021-05-18 |
| WO2017216173A1 (de) | 2017-12-21 |
| KR20190019070A (ko) | 2019-02-26 |
| EP3472471A1 (de) | 2019-04-24 |
| JP2019523882A (ja) | 2019-08-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2728446C2 (ru) | Масс-спектрометрический течеискатель с турбомолекулярным насосом и бустерным насосом на общем валу | |
| JP2655315B2 (ja) | 複合分子ポンプを使用した漏洩探知装置 | |
| US9316559B2 (en) | Leak detection appliance | |
| EP1596066A1 (en) | Light gas vacuum pumping system | |
| JP4357528B2 (ja) | リークディテクタ | |
| US5341671A (en) | Helium leak detector | |
| CN111213043B (zh) | 用于检查待测物体的密封性的泄漏检测器 | |
| JP3568536B2 (ja) | 真空ポンプを有する漏れ検出器及び漏れ検出器を運転する方法 | |
| CN108369151B (zh) | 测试气体入口处的压力测量 | |
| JP3544989B2 (ja) | 前真空ポンプを有する漏れ検出装置 | |
| US7082813B2 (en) | Test gas leakage detector | |
| JP2019523882A5 (ru) | ||
| US7500381B2 (en) | Systems and methods for trace gas leak detection of large leaks at relatively high test pressures | |
| JP2001503511A (ja) | 多数の類似の被検体の漏洩を検査する方法並びに前記方法を実施するのに適した漏洩検出器 | |
| RU2239807C2 (ru) | Способ испытания на герметичность и вакуумная система течеискателя, реализующая его | |
| CN116601391A (zh) | 具有三级涡轮分子泵和增压泵的用于质谱泄漏检测的装置 | |
| JP2006343262A (ja) | 減圧下におけるガス分析システム |