JP6883051B2 - 共通のシャフト上にターボ分子ポンプおよびブースターポンプを有する質量分析式漏洩検出器 - Google Patents
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Description
図1は、先行技術から公知な質量分析式漏洩検出器の模式図である。この検出器は多段式ターボ分子ポンプ12を有し、その吸込側はガス導通路14を介して質量分析計17に接続され、正圧側はガス導通路16を介してバッキングポンプ18の吸込側に接続されている。ターボ分子ポンプ12は、付加的なガス導通路22を介してブースターポンプ24の正圧側に接続された中間ガスコネクタ20を有する。吸込側において、ブースターポンプ24(このポンプもターボ分子ポンプである)は、ガス導通路26を介して、試験される被検体または被検体を取り込んだ試験チャンバに対するコネクタ28に接続されている。
なお本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
〔態様1〕
多段式ターボ分子ポンプ(12)と、
前記ターボ分子ポンプ(12)の吸込側に接続された質量分析計(17)と、
前記ターボ分子ポンプ(12)の正圧側に接続されたバッキングポンプ(18)と、
吸込側が、試験される被検体に対するコネクタ(28)を有し、正圧側が、ガス導通路(22)を介して前記ターボ分子ポンプ(12)の正圧側と、前記バッキングポンプ(18)の吸込側とに接続されているブースターポンプステージ(24)と、
を備えた質量分析式漏洩検出器において、
前記ターボ分子ポンプ(12)のステージ(30,32)および前記ブースターポンプは、共通のシャフト上に配置され、共通の駆動部(34)を有し、
前記被検体に接続されるよう構成された前記ブースターポンプステージの前記正圧側と、前記質量分析計(17)に接続された前記ターボ分子ポンプステージ(12)の前記ポンプステージの前記吸込側との間において、分離部(36)が前記ガス導通路を遮断することを特徴とする質量分析式漏洩検出器。
〔態様2〕
態様1に記載の漏洩検出器において、前記ターボ分子ポンプ(12)が、2ステージ式の設計であることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様3〕
態様1または2に記載の漏洩検出器において、前記ターボ分子ポンプ(12)の前記ポンプステージおよび前記ブースターポンプステージ(24)が、共通の真空ポンプを構成していることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様4〕
態様1から3のいずれか一態様に記載の漏洩検出器において、前記駆動部(34)は、前記ポンプステージと前記バッキングポンプ(18)との間に位置する前記ターボ分子ポンプ(12)の端部に設けられていることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様5〕
態様1から4のいずれか一態様に記載の漏洩検出器において、前記ターボ分子ポンプ(12)の前記ポンプステージのうちの1つが分子ポンプステージ(32)であり、前記ターボ分子ポンプ(12)は、少なくとも1つのターボ分子ポンプステージ(30)を備えることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様6〕
態様1から5のいずれか一態様に記載の漏洩検出器において、前記ブースターポンプステージ(24)は、ターボ分子ポンプステージであることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様7〕
態様1から6のいずれか一態様に記載の漏洩検出器において、前記分離部(36)は、前記シャフトに沿って前記ガス導通路(22)を封止するシールであり、前記シャフトのトルクは、前記シールを通って伝達可能であることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様8〕
態様7に記載の漏洩検出器において、前記シールは磁性流体シールによって形成されていることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様9〕
態様1から6のいずれか一態様に記載の漏洩検出器において、前記分離部(36)は分離ポンプステージ(38)によって形成されており、この分離ポンプステージ(38)の吸込側は前記質量分析計(17)に接続され、正圧側は前記ブースターポンプステージ(24)の前記正圧側と、前記質量分析計(17)に接続された前記ターボ分子ポンプ(12)の前記ポンプステージの正圧側とに接続されていることを特徴とする漏洩検出器。
〔態様10〕
態様9に記載の漏洩検出器において、前記分離ポンプステージ(38)は、分子ポンプステージまたはターボ分子ポンプステージであることを特徴とする漏洩検出器。
17 質量分析計
18 バッキングポンプ
14、16、22、26 ガス導通路
20 中間ガスコネクタ
24 ブースターポンプ
28 コネクタ
30 ターボ分子ポンプステージ
32 分子ポンプステージ
34、35 駆動部
36 分離部
38 分離ポンプステージ
Claims (10)
- 多段式ターボ分子ポンプ(12)と、
前記ターボ分子ポンプ(12)の吸込側に接続された質量分析計(17)と、
前記ターボ分子ポンプ(12)の正圧側に接続されたバッキングポンプ(18)と、
吸込側が、試験される被検体に対するコネクタ(28)を有し、正圧側が、ガス導通路(22)を介して前記ターボ分子ポンプ(12)の正圧側と、前記バッキングポンプ(18)の吸込側とに接続されているブースターポンプステージ(24)と、
を備えた質量分析式漏洩検出器において、
前記ターボ分子ポンプ(12)のステージ(30,32)および前記ブースターポンプは、共通のシャフト上に配置され、共通の駆動部(34)を有し、
前記被検体に接続されるよう構成された前記ブースターポンプステージの前記正圧側と、前記質量分析計(17)に接続された前記ターボ分子ポンプステージ(12)の前記ポンプステージの前記吸込側との間において、分離部(36)が前記ガス導通路を遮断することを特徴とする質量分析式漏洩検出器。 - 請求項1に記載の漏洩検出器において、前記ターボ分子ポンプ(12)が、2ステージ式の設計であることを特徴とする漏洩検出器。
- 請求項1または2に記載の漏洩検出器において、前記ターボ分子ポンプ(12)の前記ポンプステージおよび前記ブースターポンプステージ(24)が、共通の真空ポンプを構成していることを特徴とする漏洩検出器。
- 請求項1から3のいずれか一項に記載の漏洩検出器において、前記駆動部(34)は、前記ポンプステージと前記バッキングポンプ(18)との間に位置する前記ターボ分子ポンプ(12)の端部に設けられていることを特徴とする漏洩検出器。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載の漏洩検出器において、前記ターボ分子ポンプ(12)の前記ポンプステージのうちの1つが分子ポンプステージ(32)であり、前記ターボ分子ポンプ(12)は、少なくとも1つのターボ分子ポンプステージ(30)を備えることを特徴とする漏洩検出器。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載の漏洩検出器において、前記ブースターポンプステージ(24)は、ターボ分子ポンプステージであることを特徴とする漏洩検出器。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の漏洩検出器において、前記分離部(36)は、前記シャフトに沿って前記ガス導通路(22)を封止するシールであり、前記シャフトのトルクは、前記シールを通って伝達可能であることを特徴とする漏洩検出器。
- 請求項7に記載の漏洩検出器において、前記シールは磁性流体シールによって形成されていることを特徴とする漏洩検出器。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の漏洩検出器において、前記分離部(36)は分離ポンプステージ(38)によって形成されており、この分離ポンプステージ(38)の吸込側は前記質量分析計(17)に接続され、正圧側は前記ブースターポンプステージ(24)の前記正圧側と、前記質量分析計(17)に接続された前記ターボ分子ポンプ(12)の前記ポンプステージの正圧側とに接続されていることを特徴とする漏洩検出器。
- 請求項9に記載の漏洩検出器において、前記分離ポンプステージ(38)は、分子ポンプステージまたはターボ分子ポンプステージであることを特徴とする漏洩検出器。
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Family Cites Families (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2872102A (en) * | 1955-12-19 | 1959-02-03 | Stempel Hermetik Gmbh | Compressor |
DE1648648C3 (de) * | 1967-04-12 | 1980-01-24 | Arthur Pfeiffer-Hochvakuumtechnik Gmbh, 6330 Wetzlar | Anordnung zur Lecksuche nach dem Massenspektrometer-Prinzip |
US3520173A (en) * | 1967-05-02 | 1970-07-14 | Mobil Oil Corp | Automated test apparatus |
US3536418A (en) * | 1969-02-13 | 1970-10-27 | Onezime P Breaux | Cryogenic turbo-molecular vacuum pump |
US3616680A (en) * | 1969-10-27 | 1971-11-02 | Sargent Welch Scientific Co | Leak detector |
JPS5125158A (en) * | 1974-08-26 | 1976-03-01 | Nippon Kuatsu System Co | Ryutaijikukeryono ryuryokei |
US4180370A (en) * | 1975-03-22 | 1979-12-25 | Kernforschungsanlage Julich Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | Turbomolecular pump |
US4527805A (en) * | 1984-05-03 | 1985-07-09 | Ferrofluidics Corporation | High-pressure ferrofluid seal apparatus |
DE3775213D1 (de) * | 1987-03-27 | 1992-01-23 | Leybold Ag | Lecksuchgeraet und betriebsverfahren dazu. |
DE3865012D1 (de) * | 1988-06-01 | 1991-10-24 | Leybold Ag | Pumpsystem fuer ein lecksuchgeraet. |
RU2016255C1 (ru) * | 1990-08-23 | 1994-07-15 | Специальное конструкторско-технологическое бюро прецизионного оборудования "Вектор" | Молекулярный вакуумный насос |
DE4228313A1 (de) * | 1992-08-26 | 1994-03-03 | Leybold Ag | Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe |
DE4343912A1 (de) * | 1993-12-22 | 1995-06-29 | Leybold Ag | Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgaslecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Testgaslecksucher |
DE4408877A1 (de) * | 1994-03-16 | 1995-09-21 | Leybold Ag | Testgaslecksucher |
DE19504278A1 (de) * | 1995-02-09 | 1996-08-14 | Leybold Ag | Testgas-Lecksuchgerät |
US5703281A (en) * | 1996-05-08 | 1997-12-30 | Southeastern Univ. Research Assn. | Ultra high vacuum pumping system and high sensitivity helium leak detector |
JP3675983B2 (ja) * | 1996-09-12 | 2005-07-27 | 株式会社アルバック | ヘリウムリークディテクター |
DE19735250A1 (de) | 1997-08-14 | 1999-02-18 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Heliumlecksuchers und für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Heliumlecksucher |
DE10004263A1 (de) * | 2000-02-01 | 2001-08-02 | Leybold Vakuum Gmbh | Dynamische Dichtung |
DE10004271A1 (de) | 2000-02-01 | 2001-08-02 | Leybold Vakuum Gmbh | Reibungsvakuumpumpe |
US7082404B2 (en) * | 2001-06-29 | 2006-07-25 | International Business Machines Corporation | System and method for improved matrix management of personnel planning factors |
DE10156205A1 (de) * | 2001-11-15 | 2003-06-05 | Inficon Gmbh | Testgaslecksuchgerät |
DE10308420A1 (de) * | 2003-02-27 | 2004-09-09 | Leybold Vakuum Gmbh | Testgaslecksuchgerät |
DE10319633A1 (de) * | 2003-05-02 | 2004-11-18 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
RU2240524C1 (ru) * | 2003-07-15 | 2004-11-20 | Открытое акционерное общество "Завод "Измеритель" | Течеискатель |
DE10334455B4 (de) * | 2003-07-29 | 2013-01-31 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Lecksuchverfahren und Lecksuchanordnung zur Durchführung des Verfahrens |
RU39658U1 (ru) * | 2004-03-15 | 2004-08-10 | Открытое акционерное общество "Завод "Измеритель" | Турбомолекулярный насос |
DE102005021909A1 (de) * | 2005-05-12 | 2006-11-16 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor |
WO2011132365A1 (ja) | 2010-04-22 | 2011-10-27 | 株式会社アルバック | 漏洩検知方法及び真空処理装置 |
JP2011069834A (ja) * | 2010-11-18 | 2011-04-07 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークデテクタ |
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