JPH1090105A - 漏洩探知方法と装置 - Google Patents
漏洩探知方法と装置Info
- Publication number
- JPH1090105A JPH1090105A JP24171696A JP24171696A JPH1090105A JP H1090105 A JPH1090105 A JP H1090105A JP 24171696 A JP24171696 A JP 24171696A JP 24171696 A JP24171696 A JP 24171696A JP H1090105 A JPH1090105 A JP H1090105A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- pump
- exhaust
- test
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ターボ分子ポンプの圧縮比を低くすることなく
分析管へ逆拡散するガス量を多くでき、分析管内の測定
ガスのクリーンアップとレスポンス時間を短縮する 【解決手段】分析管２内を排気するターボ分子ポンプ３
の排気口にフォアバルブ４を備えた接続管５を介して補
助排気ポンプ６を接続し、漏洩試験体７に接続される排
気管９を、粗引きバルブ１１を介してフォアバルブと補
助排気ポンプの間の接続管へ接続すると共にテストバル
ブ１０を介してターボ分子ポンプの排気口よりも圧縮比
の低い位置の中間口３ａに接続し、粗引きバルブ１１を
開いて漏洩試験体内を所定の真空に排気したのちフォア
バルブ及びテストバルブを開いて排気管に引き出される
漏洩試験体からの漏洩ガスの一部を該テストバルブ、タ
ーボ分子ポンプ、フォアバルブ、粗引きバルブを介して
該排気管と接続管を循環させながら分析管に於いて漏洩
ガスを検出する
分析管へ逆拡散するガス量を多くでき、分析管内の測定
ガスのクリーンアップとレスポンス時間を短縮する 【解決手段】分析管２内を排気するターボ分子ポンプ３
の排気口にフォアバルブ４を備えた接続管５を介して補
助排気ポンプ６を接続し、漏洩試験体７に接続される排
気管９を、粗引きバルブ１１を介してフォアバルブと補
助排気ポンプの間の接続管へ接続すると共にテストバル
ブ１０を介してターボ分子ポンプの排気口よりも圧縮比
の低い位置の中間口３ａに接続し、粗引きバルブ１１を
開いて漏洩試験体内を所定の真空に排気したのちフォア
バルブ及びテストバルブを開いて排気管に引き出される
漏洩試験体からの漏洩ガスの一部を該テストバルブ、タ
ーボ分子ポンプ、フォアバルブ、粗引きバルブを介して
該排気管と接続管を循環させながら分析管に於いて漏洩
ガスを検出する
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主としてヘリウム
を使用して各種真空装置やコンプレッサー、自動車のラ
ジェーター、コンデンサ等の気密を要する機器の漏洩探
知方法と装置に関する。
を使用して各種真空装置やコンプレッサー、自動車のラ
ジェーター、コンデンサ等の気密を要する機器の漏洩探
知方法と装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、図１に示すように、中空の漏洩試
験体ａの漏洩探知のために、分析管ｂの排気口にターボ
分子ポンプｃを接続すると共にフォアバルブｄ及び粗引
きバルブｅを備えた接続管ｆを介して補助排気ポンプｇ
を接続し、該漏洩試験体ａの内部へ通じる排気管ｈを該
フォアバルブｄと粗引きバルブｅの間の接続管ｆに接続
した構成の漏洩探知装置が知られている。この装置は、
粗引きバルブｅを開き、補助排気ポンプｇにより例えば
ヘリウムガスの雰囲気に置いた該漏洩試験体ａ内を真空
計ｉに設定された圧力まで排気したのちフォアバルブｄ
を開にして漏洩探知を行うもので、該漏洩試験体ａに漏
れがあったとき、その内部へ漏れるヘリウムガスがター
ボ分子ポンプｃの排気口から分析管ｂ内へと逆拡散して
その漏れを分析管ｂにて検出できる。
験体ａの漏洩探知のために、分析管ｂの排気口にターボ
分子ポンプｃを接続すると共にフォアバルブｄ及び粗引
きバルブｅを備えた接続管ｆを介して補助排気ポンプｇ
を接続し、該漏洩試験体ａの内部へ通じる排気管ｈを該
フォアバルブｄと粗引きバルブｅの間の接続管ｆに接続
した構成の漏洩探知装置が知られている。この装置は、
粗引きバルブｅを開き、補助排気ポンプｇにより例えば
ヘリウムガスの雰囲気に置いた該漏洩試験体ａ内を真空
計ｉに設定された圧力まで排気したのちフォアバルブｄ
を開にして漏洩探知を行うもので、該漏洩試験体ａに漏
れがあったとき、その内部へ漏れるヘリウムガスがター
ボ分子ポンプｃの排気口から分析管ｂ内へと逆拡散して
その漏れを分析管ｂにて検出できる。
【０００３】また、出願人は、先に、大きな容量の漏洩
試験体の逆拡散式の漏洩探知装置に於いて、漏洩探知を
短時間に開始すること検出感度及び反応速度が容易で操
作の簡単にするため、分子ポンプの中間の低い圧縮比が
得られる位置に漏洩試験体からの配管を接続する構成の
ものを提案した（特開平８−１５０７８）。
試験体の逆拡散式の漏洩探知装置に於いて、漏洩探知を
短時間に開始すること検出感度及び反応速度が容易で操
作の簡単にするため、分子ポンプの中間の低い圧縮比が
得られる位置に漏洩試験体からの配管を接続する構成の
ものを提案した（特開平８−１５０７８）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記逆拡散法の各漏洩
探知装置では、分析管ｂにて測定できるヘリウムガスの
導入量はターボ分子ポンプｃと補助排気ポンプｇの性能
により決定される。すなわち、ターボ分子ポンプｃの性
能である圧縮比を上げるように設計すれば、各バルブが
制御する圧力を高くでき、漏洩試験体ａ内の圧力を高く
して漏洩探知を行えるが、試験を行う為の圧力が高いの
で粗引き時間を短縮できてもその分ヘリウムガスがター
ボ分子ポンプｃをさかのぼって分析管ｃへ到達しにくく
なり、分析管ｂにおける測定量が少なくなる。また、そ
の圧縮比を下げると、ヘリウムガスがターボ分子ポンプ
ｃをさかのぼりやすくなり、分析管ｂにおける測定量が
多くなるが、制御する圧力が低くなる。この種の装置と
しては、バルブが制御する圧力が高く分析管に到達する
ヘリウムガスの量が多い方が好ましいが、この両方は前
記のようにターボ分子ポンプｃの圧縮比を決定しても同
時に満足されることがない。
探知装置では、分析管ｂにて測定できるヘリウムガスの
導入量はターボ分子ポンプｃと補助排気ポンプｇの性能
により決定される。すなわち、ターボ分子ポンプｃの性
能である圧縮比を上げるように設計すれば、各バルブが
制御する圧力を高くでき、漏洩試験体ａ内の圧力を高く
して漏洩探知を行えるが、試験を行う為の圧力が高いの
で粗引き時間を短縮できてもその分ヘリウムガスがター
ボ分子ポンプｃをさかのぼって分析管ｃへ到達しにくく
なり、分析管ｂにおける測定量が少なくなる。また、そ
の圧縮比を下げると、ヘリウムガスがターボ分子ポンプ
ｃをさかのぼりやすくなり、分析管ｂにおける測定量が
多くなるが、制御する圧力が低くなる。この種の装置と
しては、バルブが制御する圧力が高く分析管に到達する
ヘリウムガスの量が多い方が好ましいが、この両方は前
記のようにターボ分子ポンプｃの圧縮比を決定しても同
時に満足されることがない。
【０００５】また、補助排気ポンプｇには一般的に油回
転ポンプ等のロータリーポンプが使用されているが、こ
のポンプは圧力によって排気速度が異なってしまうとい
う性能的特徴があり、このポンプに導入されているヘリ
ウムガスの量が一定とすると、その圧力如何によって、
ターボ分子ポンプｃをさかのぼるヘリウムガスの量とこ
のポンプで排気されるヘリウムガスの量の比が変化し、
その結果、分析管ｂの測定値が変化して一定の測定結果
が得られない問題がある。
転ポンプ等のロータリーポンプが使用されているが、こ
のポンプは圧力によって排気速度が異なってしまうとい
う性能的特徴があり、このポンプに導入されているヘリ
ウムガスの量が一定とすると、その圧力如何によって、
ターボ分子ポンプｃをさかのぼるヘリウムガスの量とこ
のポンプで排気されるヘリウムガスの量の比が変化し、
その結果、分析管ｂの測定値が変化して一定の測定結果
が得られない問題がある。
【０００６】更に、逆拡散法特有の問題として、分析管
ｂ内に到達したヘリウムガスを掃引する程の排気速度が
ターボ分子ポンプｃにないため、分析管ｃのクリーンア
ップに長い時間が掛かること、及び、漏洩試験体ａ内に
漏洩したヘリウムガスを装置内へ引き込む作用を補助排
気ポンプｇに依存しているため、レスポンスが遅いとい
う欠点がある。
ｂ内に到達したヘリウムガスを掃引する程の排気速度が
ターボ分子ポンプｃにないため、分析管ｃのクリーンア
ップに長い時間が掛かること、及び、漏洩試験体ａ内に
漏洩したヘリウムガスを装置内へ引き込む作用を補助排
気ポンプｇに依存しているため、レスポンスが遅いとい
う欠点がある。
【０００７】本発明は、ターボ分子ポンプの圧縮比を低
くすることなく分析管へ逆拡散するガス量を多くでき、
分析管内の測定ガスのクリーンアップの時間とレスポン
ス時間を短縮する方法とこれに適した装置を提供するこ
とを目的とするものである。
くすることなく分析管へ逆拡散するガス量を多くでき、
分析管内の測定ガスのクリーンアップの時間とレスポン
ス時間を短縮する方法とこれに適した装置を提供するこ
とを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明では、分析管内を
排気するターボ分子ポンプの排気口にフォアバルブを備
えた接続管を介して補助排気ポンプを接続し、漏洩試験
体に接続される排気管を、粗引きバルブを介して該フォ
アバルブと補助排気ポンプの間の接続管へ接続すると共
にテストバルブを介して該ターボ分子ポンプの排気口よ
りも圧縮比の低い位置の中間口に接続し、粗引きバルブ
を開いて該漏洩試験体内を所定の真空に排気したのち該
フォアバルブ及びテストバルブを開いて該排気管に引き
出される漏洩試験体からの漏洩ガスを該テストバルブ、
ターボ分子ポンプ、フォアバルブ、粗引きバルブを介し
て該排気管と接続管を循環させながら該分析管に於いて
漏洩ガスを検出することにより、上記の目的を達成する
ようにした。該補助排気ポンプにドライポンプを使用す
ることが好都合であり、該補助排気ポンプには、該テス
トバルブに於ける排気速度を該粗引きバルブの排気速度
よりも大きくすると共に該漏洩試験体内のガスを排気し
ながら該分析管内の圧力を分析可能な圧力に排気できる
ポンプが使用される。また、上記の目的は、分析管内を
排気するターボ分子ポンプの排気口にフォアバルブを備
えた接続管を介して補助排気ポンプを接続し、漏洩試験
体に接続される排気管を、粗引きバルブを介して該フォ
アバルブと補助排気ポンプの間の接続管へ接続すると共
にテストバルブを介して該ターボ分子ポンプの排気口よ
りも圧縮比の低い位置の中間口に接続し、該フォアバル
ブ及びテストバルブ並びに粗引きバルブを開いて該排気
管に引き出される漏洩試験体からの漏洩ガスを該テスト
バルブ、ターボ分子ポンプ、フォアバルブ、粗引きバル
ブを介して該排気管と接続管を循環させながら該分析管
に於いて漏洩ガスを検出する構成の装置により、適切に
達成できる。
排気するターボ分子ポンプの排気口にフォアバルブを備
えた接続管を介して補助排気ポンプを接続し、漏洩試験
体に接続される排気管を、粗引きバルブを介して該フォ
アバルブと補助排気ポンプの間の接続管へ接続すると共
にテストバルブを介して該ターボ分子ポンプの排気口よ
りも圧縮比の低い位置の中間口に接続し、粗引きバルブ
を開いて該漏洩試験体内を所定の真空に排気したのち該
フォアバルブ及びテストバルブを開いて該排気管に引き
出される漏洩試験体からの漏洩ガスを該テストバルブ、
ターボ分子ポンプ、フォアバルブ、粗引きバルブを介し
て該排気管と接続管を循環させながら該分析管に於いて
漏洩ガスを検出することにより、上記の目的を達成する
ようにした。該補助排気ポンプにドライポンプを使用す
ることが好都合であり、該補助排気ポンプには、該テス
トバルブに於ける排気速度を該粗引きバルブの排気速度
よりも大きくすると共に該漏洩試験体内のガスを排気し
ながら該分析管内の圧力を分析可能な圧力に排気できる
ポンプが使用される。また、上記の目的は、分析管内を
排気するターボ分子ポンプの排気口にフォアバルブを備
えた接続管を介して補助排気ポンプを接続し、漏洩試験
体に接続される排気管を、粗引きバルブを介して該フォ
アバルブと補助排気ポンプの間の接続管へ接続すると共
にテストバルブを介して該ターボ分子ポンプの排気口よ
りも圧縮比の低い位置の中間口に接続し、該フォアバル
ブ及びテストバルブ並びに粗引きバルブを開いて該排気
管に引き出される漏洩試験体からの漏洩ガスを該テスト
バルブ、ターボ分子ポンプ、フォアバルブ、粗引きバル
ブを介して該排気管と接続管を循環させながら該分析管
に於いて漏洩ガスを検出する構成の装置により、適切に
達成できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図２に基づき本発明の実施の形態
を説明すると、同図に於いて符号１は逆拡散式の漏洩探
知装置を示し、該装置１は、ヘリウム分析用の質量分析
管２内を排気すべく設けられたターボ分子ポンプ３と、
該ターボ分子ポンプ３の排気口３ａにフォアバルブ４を
備えた接続管５を介して接続したドライポンプから成る
補助排気ポンプ６と、一端が中空の漏洩試験体７にテス
トポート８を介して接続され且つ他端が分岐されて排気
口３ａに於ける圧縮比よりも低い圧縮比が得られる該タ
ーボ分子ポンプ３の中間口３ｂ及び該接続管５とに接続
された排気管９を有する。該排気管９の中間口３ｂへ接
続される分岐部９ａにはテストバルブ１０が設けられ、
その接続管５へ接続される分岐部９ｂには粗引きバルブ
１１が設けられる。尚、漏洩試験体７とテストポート８
の接続方法は、ヘリウム雰囲気に於いた漏洩試験体７の
内部をテストポート８に接続したり、或いは内部にヘリ
ウムガスを入れた漏洩試験体７の周囲の雰囲気を採取す
べくテストポート８を接続する等任意である。
を説明すると、同図に於いて符号１は逆拡散式の漏洩探
知装置を示し、該装置１は、ヘリウム分析用の質量分析
管２内を排気すべく設けられたターボ分子ポンプ３と、
該ターボ分子ポンプ３の排気口３ａにフォアバルブ４を
備えた接続管５を介して接続したドライポンプから成る
補助排気ポンプ６と、一端が中空の漏洩試験体７にテス
トポート８を介して接続され且つ他端が分岐されて排気
口３ａに於ける圧縮比よりも低い圧縮比が得られる該タ
ーボ分子ポンプ３の中間口３ｂ及び該接続管５とに接続
された排気管９を有する。該排気管９の中間口３ｂへ接
続される分岐部９ａにはテストバルブ１０が設けられ、
その接続管５へ接続される分岐部９ｂには粗引きバルブ
１１が設けられる。尚、漏洩試験体７とテストポート８
の接続方法は、ヘリウム雰囲気に於いた漏洩試験体７の
内部をテストポート８に接続したり、或いは内部にヘリ
ウムガスを入れた漏洩試験体７の周囲の雰囲気を採取す
べくテストポート８を接続する等任意である。
【００１０】該ターボ分子ポンプ３は、そのポンプケー
ス１４内に交互にわずかの間隔を存して配置されたロー
タ１２とステータ１３から成る羽根を備えており、ポン
プケース１４のその羽根列の一端と他端に対応した位置
に、排気口３ａと分析管２への吸気口３ｃを形成し、そ
の羽根列の中間の位置に中間口３ｂを形成した。該ポン
プ３の圧縮比は吸気口３ｃ側から排気口３ａ側に於いて
増大し、中間口３ｂに於いては排気口３ａよりも低い圧
縮比が得られる。該ターボ分子ポンプ３の性能として
は、テストバルブ１０を介して導入するガス圧が７０Ｐ
a程度でも分析管２内の圧力すなわち吸気口３ｃの圧力
が１０-3Ｐa以下になるような圧縮比を持ったものであ
る事が好ましい。該導入するガス圧の設定は、分析管２
に於けるヘリウムガスの検出量をどの程度にするかとい
う設定に依存している。
ス１４内に交互にわずかの間隔を存して配置されたロー
タ１２とステータ１３から成る羽根を備えており、ポン
プケース１４のその羽根列の一端と他端に対応した位置
に、排気口３ａと分析管２への吸気口３ｃを形成し、そ
の羽根列の中間の位置に中間口３ｂを形成した。該ポン
プ３の圧縮比は吸気口３ｃ側から排気口３ａ側に於いて
増大し、中間口３ｂに於いては排気口３ａよりも低い圧
縮比が得られる。該ターボ分子ポンプ３の性能として
は、テストバルブ１０を介して導入するガス圧が７０Ｐ
a程度でも分析管２内の圧力すなわち吸気口３ｃの圧力
が１０-3Ｐa以下になるような圧縮比を持ったものであ
る事が好ましい。該導入するガス圧の設定は、分析管２
に於けるヘリウムガスの検出量をどの程度にするかとい
う設定に依存している。
【００１１】従来のこの種の探知装置では補助排気ポン
プとして油回転ポンプが使用されているが、本発明の場
合は、その漏洩探知作動において粗引きバルブ１１とテ
ストバルブ１０とを同時に開くことがあり、このときに
補助排気ポンプからターボ分子ポンプの起動等を妨げる
オイル蒸気が発生しないように、該補助排気ポンプ６と
してソープションポンプ等のドライポンプが使用され
る。ドライポンプ使用の理由は、テストバルブ１０の排
気速度が粗引きバルブ１１の排気速度より高いため、油
回転ポンプのようなウエットポンプでは吸気口に発生す
るオイルベーパー等をターボ分子ポンプ３に吸い込む危
険があるからである。但し、オイルベーパーが発生しな
い圧力での使用が可能なときは問題ないと考えられる。
１５及び１６は、排気管９のテストポート８に直接連な
る部分に設けたベントバルブ及び真空計である。
プとして油回転ポンプが使用されているが、本発明の場
合は、その漏洩探知作動において粗引きバルブ１１とテ
ストバルブ１０とを同時に開くことがあり、このときに
補助排気ポンプからターボ分子ポンプの起動等を妨げる
オイル蒸気が発生しないように、該補助排気ポンプ６と
してソープションポンプ等のドライポンプが使用され
る。ドライポンプ使用の理由は、テストバルブ１０の排
気速度が粗引きバルブ１１の排気速度より高いため、油
回転ポンプのようなウエットポンプでは吸気口に発生す
るオイルベーパー等をターボ分子ポンプ３に吸い込む危
険があるからである。但し、オイルベーパーが発生しな
い圧力での使用が可能なときは問題ないと考えられる。
１５及び１６は、排気管９のテストポート８に直接連な
る部分に設けたベントバルブ及び真空計である。
【００１２】該漏洩試験体７を漏洩探知するには、該テ
ストポート８に漏洩試験体７を取り付け、粗引きバルブ
１１を開けて補助排気ポンプ６により該漏洩試験体７内
を真空計１６でモニターしながら所定の圧力にまで真空
排気する。該真空計１６は所定の圧力になると信号を出
力してテストバルブ１０及びフォアバルブ４を開く。こ
れによってテストバルブ１０、フォアバルブ４及び粗引
きバルブ１１を介して排気管９と接続管５を通る環状の
通路が形成され、テストポート８を介して導入される漏
洩試験体７から漏れてきたヘリウムガスの漏洩ガスは、
この環状の通路を循環し、これによってターボ分子ポン
プ３の圧縮比を高めることなくヘリウムの濃度が高ま
り、分析管２へ逆拡散するヘリウムガスの量を多くする
ことができる。ヘリウム濃度が高まる理由は、テストポ
ート８に対するテストバルブ１０と粗引きバルブ１１の
排気速度を比較すると、ターボ分子ポンプ３の中間口３
ｂへ連なっているテストバルブ１０の方が排気速度が大
きい。勿論、補助排気ポンプ６の吸気口の位置と比較し
てもテストバルブ１０の方が排気速度は大きい。そのた
め、テストポート８から吸入されるヘリウムガスを含む
ガスは、テストバルブ１０を介して中間口３ｂからター
ボ分子ポンプ３内へ導入されるが、吸入されたガス中の
ヘリウムガスの一部は逆拡散の原理に則して分析管２へ
流入して質量分析される。逆拡散しなかったヘリウムガ
スは、接続管５のフォアバルブ４を介して流れ、その一
部は補助排気ポンプ６を介して排気されるがその残りは
排気管９の分岐部９ｂの粗引きバルブ１１を通って再び
テストバルブ１０からターボ分子ポンプ３へと循環する
ため、中間口３ｂに流入するガスのヘリウムガス濃度が
高められ、その結果、分析管２に逆拡散するヘリウムガ
スの測定量が増大するから分析管２の感度が上がる。
ストポート８に漏洩試験体７を取り付け、粗引きバルブ
１１を開けて補助排気ポンプ６により該漏洩試験体７内
を真空計１６でモニターしながら所定の圧力にまで真空
排気する。該真空計１６は所定の圧力になると信号を出
力してテストバルブ１０及びフォアバルブ４を開く。こ
れによってテストバルブ１０、フォアバルブ４及び粗引
きバルブ１１を介して排気管９と接続管５を通る環状の
通路が形成され、テストポート８を介して導入される漏
洩試験体７から漏れてきたヘリウムガスの漏洩ガスは、
この環状の通路を循環し、これによってターボ分子ポン
プ３の圧縮比を高めることなくヘリウムの濃度が高ま
り、分析管２へ逆拡散するヘリウムガスの量を多くする
ことができる。ヘリウム濃度が高まる理由は、テストポ
ート８に対するテストバルブ１０と粗引きバルブ１１の
排気速度を比較すると、ターボ分子ポンプ３の中間口３
ｂへ連なっているテストバルブ１０の方が排気速度が大
きい。勿論、補助排気ポンプ６の吸気口の位置と比較し
てもテストバルブ１０の方が排気速度は大きい。そのた
め、テストポート８から吸入されるヘリウムガスを含む
ガスは、テストバルブ１０を介して中間口３ｂからター
ボ分子ポンプ３内へ導入されるが、吸入されたガス中の
ヘリウムガスの一部は逆拡散の原理に則して分析管２へ
流入して質量分析される。逆拡散しなかったヘリウムガ
スは、接続管５のフォアバルブ４を介して流れ、その一
部は補助排気ポンプ６を介して排気されるがその残りは
排気管９の分岐部９ｂの粗引きバルブ１１を通って再び
テストバルブ１０からターボ分子ポンプ３へと循環する
ため、中間口３ｂに流入するガスのヘリウムガス濃度が
高められ、その結果、分析管２に逆拡散するヘリウムガ
スの測定量が増大するから分析管２の感度が上がる。
【００１３】尚、この循環方式で分析管２の感度を向上
させるには、補助排気ポンプ６の排気速度に依存してお
り、また、この循環を行うためにはテストバルブ１０の
吸引口部の排気速度Ｓ1よりも粗引きバルブ１１の吸引
口部の排気速度Ｓ2の方が小さいことが条件であるか
ら、該補助排気ポンプ６には、Ｓ1＞Ｓ2が得られ且つ分
析管２内が分析可能な例えば１０-3Ｐaにテストポート
８からガスを導入しながら排気できる排気速度を持つも
のが使用される。
させるには、補助排気ポンプ６の排気速度に依存してお
り、また、この循環を行うためにはテストバルブ１０の
吸引口部の排気速度Ｓ1よりも粗引きバルブ１１の吸引
口部の排気速度Ｓ2の方が小さいことが条件であるか
ら、該補助排気ポンプ６には、Ｓ1＞Ｓ2が得られ且つ分
析管２内が分析可能な例えば１０-3Ｐaにテストポート
８からガスを導入しながら排気できる排気速度を持つも
のが使用される。
【００１４】
【実施例】図２の漏洩探知装置に於いて、漏洩試験体７
の代わりに2.0×１０-8Ｐa・ｍ3／ｓのヘリウムガスの
校正リークをテストポート８に取り付け、質量分析管２
としてヘリウム検出用に設定した分析管を設け、該分析
管２にその出力を測定すべく電圧計を接続した。また、
ターボ分子ポンプ３は排気速度がテストバルブの入口で
３ｌ／ｓで到達圧力が１０-3Ｐa、補助排気ポンプ６は
排気速度が２ｌ／ｓ、到達圧力が１Ｐaである。テスト
バルブ１０及びフォアバルブ４は、真空計１６が所定の
圧力、この場合は分析管２が測定可能になる１０Ｐaに
なると開弁されるように該真空計１６に接続した。
の代わりに2.0×１０-8Ｐa・ｍ3／ｓのヘリウムガスの
校正リークをテストポート８に取り付け、質量分析管２
としてヘリウム検出用に設定した分析管を設け、該分析
管２にその出力を測定すべく電圧計を接続した。また、
ターボ分子ポンプ３は排気速度がテストバルブの入口で
３ｌ／ｓで到達圧力が１０-3Ｐa、補助排気ポンプ６は
排気速度が２ｌ／ｓ、到達圧力が１Ｐaである。テスト
バルブ１０及びフォアバルブ４は、真空計１６が所定の
圧力、この場合は分析管２が測定可能になる１０Ｐaに
なると開弁されるように該真空計１６に接続した。
【００１５】まず粗引きバルブ１１を開いて補助排気ポ
ンプ６によりテストポート８と補助排気ポンプ６を結ぶ
排気管９内を校正リークからヘリウムガスを所定量流し
ながら排気した。真空計１６が１０Ｐaを示すとテスト
バルブ１０及びフォアバルブ４が開かれ、このとき分析
管２に接続した電圧計の出力即ち検出感度は、図３の曲
線Ａで示したようにバルブを開いてから約２秒後に約
２．８Ｖの出力で一定した。
ンプ６によりテストポート８と補助排気ポンプ６を結ぶ
排気管９内を校正リークからヘリウムガスを所定量流し
ながら排気した。真空計１６が１０Ｐaを示すとテスト
バルブ１０及びフォアバルブ４が開かれ、このとき分析
管２に接続した電圧計の出力即ち検出感度は、図３の曲
線Ａで示したようにバルブを開いてから約２秒後に約
２．８Ｖの出力で一定した。
【００１６】従来の循環させない方法との比較のため
に、前記の状態から粗引きバルブ１１を閉じ、テストポ
ート８からのガスをテストバルブ１０、中間口３ａ、タ
ーボ分子ポンプ３及びフォアバルブ４を介して補助排気
ポンプ６に流したところ、電圧計には曲線Ｂで示すよう
に、現在の最も効率のよい漏洩探知装置と同等の１．８
Ｖの出力があった。このあと校正リークを止め、テスト
バルブ１０を閉じ、フォアバルブ４及び粗引きバルブ１
１を開いて分析管２内のガスを排除するクリーンアップ
を行ったところ、曲線Ｃのように約７秒後には出力電圧
がほぼ零になった。
に、前記の状態から粗引きバルブ１１を閉じ、テストポ
ート８からのガスをテストバルブ１０、中間口３ａ、タ
ーボ分子ポンプ３及びフォアバルブ４を介して補助排気
ポンプ６に流したところ、電圧計には曲線Ｂで示すよう
に、現在の最も効率のよい漏洩探知装置と同等の１．８
Ｖの出力があった。このあと校正リークを止め、テスト
バルブ１０を閉じ、フォアバルブ４及び粗引きバルブ１
１を開いて分析管２内のガスを排除するクリーンアップ
を行ったところ、曲線Ｃのように約７秒後には出力電圧
がほぼ零になった。
【００１７】本発明の循環方式では従来の探知方法の約
５割増の出力アップ即ち分析管２の検出感度の増大が得
られ、クリーンアップの時間も短くレスポンスも良好で
あった。
５割増の出力アップ即ち分析管２の検出感度の増大が得
られ、クリーンアップの時間も短くレスポンスも良好で
あった。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明によるときは、逆拡
散式の漏洩探知方法に於いて、漏洩試験体から漏れるガ
スをターボ分子ポンプの中間の圧縮比が得られる中間口
へテストバルブを介して導き、ターボ分子ポンプから補
助排気ポンプ方向へ排出されるヘリウムガスを開かれた
粗引きバルブを介して再び循環させるようにしたので、
ヘリウムガスが濃縮され、ターボ分子ポンプの圧縮比を
低くすることなく分析管へ逆拡散するヘリウムガスの量
を多くでき、分析管のクリーンアップの時間とレスポン
ス時間を短縮することができ、その操作も簡単である等
の効果があり、本発明の装置によれば、この方法を適切
に実施できる効果がある。
散式の漏洩探知方法に於いて、漏洩試験体から漏れるガ
スをターボ分子ポンプの中間の圧縮比が得られる中間口
へテストバルブを介して導き、ターボ分子ポンプから補
助排気ポンプ方向へ排出されるヘリウムガスを開かれた
粗引きバルブを介して再び循環させるようにしたので、
ヘリウムガスが濃縮され、ターボ分子ポンプの圧縮比を
低くすることなく分析管へ逆拡散するヘリウムガスの量
を多くでき、分析管のクリーンアップの時間とレスポン
ス時間を短縮することができ、その操作も簡単である等
の効果があり、本発明の装置によれば、この方法を適切
に実施できる効果がある。
【図１】従来の逆拡散式の漏洩探知装置の線図
【図２】本発明の方法の実施に使用した漏洩探知装置の
線図
線図
【図３】図２の装置を使用して本発明の方法を実施した
ときの分析管の検出感度の線図
ときの分析管の検出感度の線図
２ 分析管、３ ターボ分子ポンプ、３ａ 排気口、３
ｂ 中間口、４ フォアバルブ、５ 接続管、６ 補助
排気ポンプ、７ 漏洩試験体、８ テストポート、９
排気管、１０ テストバルブ、１１ 粗引きバルブ、
ｂ 中間口、４ フォアバルブ、５ 接続管、６ 補助
排気ポンプ、７ 漏洩試験体、８ テストポート、９
排気管、１０ テストバルブ、１１ 粗引きバルブ、
Claims (4)
- 【請求項１】分析管内を排気するターボ分子ポンプの排
気口にフォアバルブを備えた接続管を介して補助排気ポ
ンプを接続し、漏洩試験体に接続される排気管を、粗引
きバルブを介して該フォアバルブと補助排気ポンプの間
の接続管へ接続すると共にテストバルブを介して該ター
ボ分子ポンプの排気口よりも圧縮比の低い位置の中間口
に接続し、粗引きバルブを開いて該漏洩試験体内を所定
の真空に排気したのち該フォアバルブ及びテストバルブ
を開いて該排気管に引き出される漏洩試験体からの漏洩
ガスを該テストバルブ、ターボ分子ポンプ、フォアバル
ブ、粗引きバルブを介して該排気管と接続管を循環させ
ながら該分析管に於いて漏洩ガスを検出することを特徴
とする漏洩探知方法。 - 【請求項２】上記補助排気ポンプにドライポンプを使用
することを特徴とする請求項１に記載の漏洩探知方法。 - 【請求項３】上記補助排気ポンプは、上記テストバルブ
に於ける排気速度を上記粗引きバルブの排気速度よりも
大きくすると共に上記漏洩試験体内のガスを排気しなが
ら上記分析管内の圧力を分析可能な圧力に排気できるポ
ンプを使用することを特徴とする請求項１に記載の漏洩
探知方法。 - 【請求項４】分析管内を排気するターボ分子ポンプの排
気口にフォアバルブを備えた接続管を介して補助排気ポ
ンプを接続し、漏洩試験体に接続される排気管を、粗引
きバルブを介して該フォアバルブと補助排気ポンプの間
の接続管へ接続すると共にテストバルブを介して該ター
ボ分子ポンプの排気口よりも圧縮比の低い位置の中間口
に接続し、該フォアバルブ及びテストバルブ並びに粗引
きバルブを開いて該排気管に引き出される漏洩試験体か
らの漏洩ガスを該テストバルブ、ターボ分子ポンプ、フ
ォアバルブ、粗引きバルブを介して該排気管と接続管を
循環させながら該分析管に於いて漏洩ガスを検出するこ
とを特徴とする漏洩探知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24171696A JP3657366B2 (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | 漏洩探知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24171696A JP3657366B2 (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | 漏洩探知方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1090105A true JPH1090105A (ja) | 1998-04-10 |
| JP3657366B2 JP3657366B2 (ja) | 2005-06-08 |
Family
ID=17078480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24171696A Expired - Fee Related JP3657366B2 (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | 漏洩探知方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3657366B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012066715A1 (ja) * | 2010-11-16 | 2012-05-24 | 株式会社アルバック | リークディテクタ |
| CN109519407A (zh) * | 2018-12-06 | 2019-03-26 | 北京东方计量测试研究所 | 一种宽量程高精度分子泵压缩比测试装置及方法 |
-
1996
- 1996-09-12 JP JP24171696A patent/JP3657366B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012066715A1 (ja) * | 2010-11-16 | 2012-05-24 | 株式会社アルバック | リークディテクタ |
| CN103189724A (zh) * | 2010-11-16 | 2013-07-03 | 株式会社爱发科 | 检漏仪 |
| JP5581398B2 (ja) * | 2010-11-16 | 2014-08-27 | 株式会社アルバック | リークディテクタ |
| KR101456843B1 (ko) * | 2010-11-16 | 2014-11-04 | 가부시키가이샤 알박 | 리크 디텍터 |
| CN109519407A (zh) * | 2018-12-06 | 2019-03-26 | 北京东方计量测试研究所 | 一种宽量程高精度分子泵压缩比测试装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3657366B2 (ja) | 2005-06-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5561240A (en) | Leak detecting apparatus using compound turbo-molecular pump | |
| JPH0478936B2 (ja) | ||
| JPH05223681A (ja) | ヘリウム漏れ検出器 | |
| JP2005330967A (ja) | 軽量気体用真空ポンプシステム | |
| US6014892A (en) | Tracer gas leak detector | |
| JP2013532833A (ja) | 漏れ検出装置 | |
| JP2018533736A (ja) | 試験ガス入口における圧力測定 | |
| JP2002147393A (ja) | 漏れ検出ポンプ | |
| JP3737132B2 (ja) | 多数の類似の被検体の漏洩を検査する方法 | |
| US20050066708A1 (en) | Test gas leakage detector | |
| JPH11508045A (ja) | 前真空ポンプを有する漏れ検出装置 | |
| JP2023554280A (ja) | 試験体のガスリークを検出するガスリーク検知装置およびガスリーク検知方法 | |
| JPH03154837A (ja) | トレーサガス式漏洩検出システム | |
| JP3657366B2 (ja) | 漏洩探知方法 | |
| JP3568667B2 (ja) | 漏洩検査装置 | |
| JP3675983B2 (ja) | ヘリウムリークディテクター | |
| JP3116830B2 (ja) | ヘリウムリークディテクタ | |
| JPH11153508A (ja) | 真空装置用ヘリウムリークディテクター装置 | |
| JPH08219932A (ja) | 漏れ検出器 | |
| JP2001050852A (ja) | スニッファープローブ及びそれを用いたガス漏れ試験方法 | |
| JP2606568B2 (ja) | リークデテクタ | |
| JPH11241971A (ja) | リークテスト装置 | |
| JPH034133A (ja) | ヘリウムリークディテクタ | |
| JP3371924B2 (ja) | 逆拡散測定によるヘリウムリーク量検出方法 | |
| JP2007198865A (ja) | ヘリウムリークデテクタ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040312 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041102 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041216 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050208 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050309 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080318 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110318 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140318 Year of fee payment: 9 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |