JPH034133A - ヘリウムリークディテクタ - Google Patents
ヘリウムリークディテクタInfo
- Publication number
- JPH034133A JPH034133A JP1139825A JP13982589A JPH034133A JP H034133 A JPH034133 A JP H034133A JP 1139825 A JP1139825 A JP 1139825A JP 13982589 A JP13982589 A JP 13982589A JP H034133 A JPH034133 A JP H034133A
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- JP
- Japan
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- leak
- time
- line
- leak line
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/30—Nuclear fission reactors
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Monitoring And Testing Of Nuclear Reactors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、真空リークテストに用いられる逆拡散法を利
用したヘリウムリークディテクタに関するものである。
用したヘリウムリークディテクタに関するものである。
［従来の技術］
ヘリウムリークディテクタは、例えば原子炉の燃料棒等
のように高い密閉性が要求される容器のリークテストを
行う際に有効な手段として利用されている。このうち逆
拡散法は、それ以前の手法が被試験体と粗引ポンプを接
続するリークラインに直接分析管を接続してその排気系
を高真空ポンプによって排気するようにしていたのに対
し、リークラインに高真空ポンプの排気口を接続し該高
真空ポンプの吸気口に分析管を接続して逆拡散したＨｅ
のみを分析管によって測定するようにしたものであって
、次のようなメリットが得られる。
のように高い密閉性が要求される容器のリークテストを
行う際に有効な手段として利用されている。このうち逆
拡散法は、それ以前の手法が被試験体と粗引ポンプを接
続するリークラインに直接分析管を接続してその排気系
を高真空ポンプによって排気するようにしていたのに対
し、リークラインに高真空ポンプの排気口を接続し該高
真空ポンプの吸気口に分析管を接続して逆拡散したＨｅ
のみを分析管によって測定するようにしたものであって
、次のようなメリットが得られる。
■本来、高真空排気は分析管に対してのみ行えばよいの
であるが、従前の手法では分析管と被試験体とを接続す
るラインを高真空ポンプによって排気しているため、排
気すべき容量が必要以上に大きく、その結果、真空到達
時間が長く掛かってテスト開始に手間取っていた。これ
に対し、逆拡散法によると分析管のみを高真空排気でき
、リークライン自体は粗引ポンプで排気する程度でよい
ので、上記の不具合が解消される。
であるが、従前の手法では分析管と被試験体とを接続す
るラインを高真空ポンプによって排気しているため、排
気すべき容量が必要以上に大きく、その結果、真空到達
時間が長く掛かってテスト開始に手間取っていた。これ
に対し、逆拡散法によると分析管のみを高真空排気でき
、リークライン自体は粗引ポンプで排気する程度でよい
ので、上記の不具合が解消される。
■Ｈｅは他の粒子に比べて拡散性に富むことから、逆拡
散法によると高真空ポンプの吸気口側に水や窒素等を含
まないＨｅのみを取出すことが可能になり、プリセパレ
イト効果が得られる。
散法によると高真空ポンプの吸気口側に水や窒素等を含
まないＨｅのみを取出すことが可能になり、プリセパレ
イト効果が得られる。
［発明が解決しようとする課題］
ところが、このような逆拡散法によっても次のような課
題が残る。すなわち、一般にリークテストは繰返し行わ
れることが多く、この場合、リーク曾が測定される毎に
、次の測定に備えて被試験体を一旦リークラインから切
り離し、該リークラインに残留するＨｅ分圧が次の測定
に影響を及ぼさない程度に低減するまで粗引ポンプによ
る排気を続ける必要がある。そして、次の測定に移るた
めの条件は分析管における測定値が一定のしきい値（以
下、バックグランドレベルと称する）以下に低減したこ
とをもって与えられる。
題が残る。すなわち、一般にリークテストは繰返し行わ
れることが多く、この場合、リーク曾が測定される毎に
、次の測定に備えて被試験体を一旦リークラインから切
り離し、該リークラインに残留するＨｅ分圧が次の測定
に影響を及ぼさない程度に低減するまで粗引ポンプによ
る排気を続ける必要がある。そして、次の測定に移るた
めの条件は分析管における測定値が一定のしきい値（以
下、バックグランドレベルと称する）以下に低減したこ
とをもって与えられる。
しかし、測定終了後は粗引ポンプの排気速度が殆ど下限
に飽和した状態にあり、それ以後はリークラインは徐々
にしか引かれず、したがってＨｅ分圧がそれに伴って徐
々に低下していくのを専ら期待するのみである。このた
め、測定値がバックグランドレベルに到達するのに相当
時間を要し、リークテストに係る作業効率が悪いという
問題がある。
に飽和した状態にあり、それ以後はリークラインは徐々
にしか引かれず、したがってＨｅ分圧がそれに伴って徐
々に低下していくのを専ら期待するのみである。このた
め、測定値がバックグランドレベルに到達するのに相当
時間を要し、リークテストに係る作業効率が悪いという
問題がある。
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであっ
て、Ｈｅ分圧がバックグランドレベルにまで低減する時
間を有効に短縮する手段を与えることにより、リークテ
ストに係る作業効率の向上を図ることを目的としている
。
て、Ｈｅ分圧がバックグランドレベルにまで低減する時
間を有効に短縮する手段を与えることにより、リークテ
ストに係る作業効率の向上を図ることを目的としている
。
［課題を解決するための手段］
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手
段を講じたものである。
段を講じたものである。
すなわち、本発明のヘリウムリークディテクタは、逆拡
散を利用してＨｅリーク量の測定を行うようにしたもの
において、リークラインに断接切換可能にＮ２供給手段
を接続したことを特徴としている。
散を利用してＨｅリーク量の測定を行うようにしたもの
において、リークラインに断接切換可能にＮ２供給手段
を接続したことを特徴としている。
［作用］
このような構成によって、測定終了後に被試験体を先ず
リークラインから切離し、しかる後、該リークラインに
Ｎ２供給手段を接続してＮ２を供給してやれば、−時的
にリークラインの真空度が低下するため、粗引ポンプは
改めてこのラインを排気することになる。しかし、この
時の排気速度は大きく、しかもこれによって供給したＮ
２のみならず残留していたＨｅが追従して連行排気され
る。したがって、リークラインからＨｅを強制的にパー
ジすることが可能となり、なりゆきに任せる以外になか
った従来手法に比して遥かに早＜ａ１１定値をバックグ
ランドレベル以下に低減することができる。
リークラインから切離し、しかる後、該リークラインに
Ｎ２供給手段を接続してＮ２を供給してやれば、−時的
にリークラインの真空度が低下するため、粗引ポンプは
改めてこのラインを排気することになる。しかし、この
時の排気速度は大きく、しかもこれによって供給したＮ
２のみならず残留していたＨｅが追従して連行排気され
る。したがって、リークラインからＨｅを強制的にパー
ジすることが可能となり、なりゆきに任せる以外になか
った従来手法に比して遥かに早＜ａ１１定値をバックグ
ランドレベル以下に低減することができる。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
この実施例のヘリウムリークディテクタは、第１図に示
すように、粗引ポンプとして油回転真空ポンプ（ＲＰ）
を用い、高真空ポンプとしてターボ分子ポンプ（ＴＭＰ
）を用いている。そして、燃料棒等の被試験体１と粗引
ポンプＲＰとをリークラインＬによって接続するととも
に、このリークラインＬにＴＭＰの排気口２を接続し、
該ＴＭＰの吸気口３に分析管４を取付けている。分析管
４は、例えばリアルタイ４にＨｅｆｆ１のみを選択的に
測定し得る機能を備えたものである。また、以上の系に
、被試験体１をリークラインＬに対して断接させる電磁
バルブＢＶと、ＴＭＰをリークラインＬに対して断接さ
せる電磁バルブＦＶとを介設している。
すように、粗引ポンプとして油回転真空ポンプ（ＲＰ）
を用い、高真空ポンプとしてターボ分子ポンプ（ＴＭＰ
）を用いている。そして、燃料棒等の被試験体１と粗引
ポンプＲＰとをリークラインＬによって接続するととも
に、このリークラインＬにＴＭＰの排気口２を接続し、
該ＴＭＰの吸気口３に分析管４を取付けている。分析管
４は、例えばリアルタイ４にＨｅｆｆ１のみを選択的に
測定し得る機能を備えたものである。また、以上の系に
、被試験体１をリークラインＬに対して断接させる電磁
バルブＢＶと、ＴＭＰをリークラインＬに対して断接さ
せる電磁バルブＦＶとを介設している。
さらに、このような構成に加え、リークラインＬに電磁
バルブＢＬＶ及び減圧弁５を介して乾燥窒素を充填した
Ｎ２ボンベ６を接続しており、バルブＢＬＶの開閉操作
を通じて適宜調圧したＮ２を前記リークラインＬに供給
し得るようにしている。なお、ＰＭＩ、ＰＭ２はそれぞ
れリークラインＬの圧力を測定するためのビラニー真空
計である。
バルブＢＬＶ及び減圧弁５を介して乾燥窒素を充填した
Ｎ２ボンベ６を接続しており、バルブＢＬＶの開閉操作
を通じて適宜調圧したＮ２を前記リークラインＬに供給
し得るようにしている。なお、ＰＭＩ、ＰＭ２はそれぞ
れリークラインＬの圧力を測定するためのビラニー真空
計である。
このような構成により、リークテストは第２図に示すタ
イムチャートに沿って行われる。先ず、時刻Ａでバルブ
ＦＶを閑、バルブＢＶを開とし、ＲＰで被試験体１を粗
引する。この時バルブＢＬＶは閑となっている。次に、
時刻Ｂにおいて真空：ｌ−ＰＭＩによるリークラインＬ
の測定圧力が設定値以下に下がったら、その状態でバル
ブＦＶを開にする。これにより、リークラインＬにおけ
るＨ０分圧に応じた量のＨｅがＴＭＰ内における逆拡散
を通じて分析管４に現われ、該分析管４によるリーク量
の実質的な測定が開始される。そして、経時的に測定量
が安定すると、そのときの測定値をもって被試験体１か
らのリーク量とみなし、測定を終了する。しかる後、時
刻ＣにおいてバルブＢＶを閉とし、今度はバルブＢＬＶ
を開にする。
イムチャートに沿って行われる。先ず、時刻Ａでバルブ
ＦＶを閑、バルブＢＶを開とし、ＲＰで被試験体１を粗
引する。この時バルブＢＬＶは閑となっている。次に、
時刻Ｂにおいて真空：ｌ−ＰＭＩによるリークラインＬ
の測定圧力が設定値以下に下がったら、その状態でバル
ブＦＶを開にする。これにより、リークラインＬにおけ
るＨ０分圧に応じた量のＨｅがＴＭＰ内における逆拡散
を通じて分析管４に現われ、該分析管４によるリーク量
の実質的な測定が開始される。そして、経時的に測定量
が安定すると、そのときの測定値をもって被試験体１か
らのリーク量とみなし、測定を終了する。しかる後、時
刻ＣにおいてバルブＢＶを閉とし、今度はバルブＢＬＶ
を開にする。
これにより、Ｎ２ボンベ６からリークラインＬにＮ２が
供給されてくる。そして、リークラインＬの真空度がＮ
２の導入によって徐々に低下し、時刻りにおいて真空計
ＰＭ２による測定圧力が設定値に達したら、バルブＢＬ
Ｖを閉とし、それまで供給したＮ２をＲＰによって排気
しつつ、測定値がバックグランドレベル以下に下がる時
刻Ｅまで待機する。そして、バックグランドレベルが得
られたら、再び時刻Ａの状態から次の測定を開始する。
供給されてくる。そして、リークラインＬの真空度がＮ
２の導入によって徐々に低下し、時刻りにおいて真空計
ＰＭ２による測定圧力が設定値に達したら、バルブＢＬ
Ｖを閉とし、それまで供給したＮ２をＲＰによって排気
しつつ、測定値がバックグランドレベル以下に下がる時
刻Ｅまで待機する。そして、バックグランドレベルが得
られたら、再び時刻Ａの状態から次の測定を開始する。
ところで、第３図はＲＰの排気速度を吸気口圧力（すな
わち、リークラインの圧力）との関係において示したも
のである。すなわち、上記手順によると、時刻Ｂ以後Ｃ
までは、リークラインＬの圧力は図中Ｐｃ近傍にあり、
ＲＰの排気速度は下限に近い値Ｓｃにおいてほぼ飽和し
た状態にある。
わち、リークラインの圧力）との関係において示したも
のである。すなわち、上記手順によると、時刻Ｂ以後Ｃ
までは、リークラインＬの圧力は図中Ｐｃ近傍にあり、
ＲＰの排気速度は下限に近い値Ｓｃにおいてほぼ飽和し
た状態にある。
しかし、時刻ＣにおいてＮ２が導入されると、リークラ
インＬの真空度が一旦ＰＤに低下し、このためＲＰは再
び排気速度をＳＤに取り戻して改めてＮ２を有効に排気
することになる。しかし、これによりＮ２が排気される
ときにはＨｅが追従して連行排気されるので、結果的に
Ｈｅ分圧の低減化が早められ、測定値は従来に比して逸
早くバックグランドレベルに到達できるものとなる。第
４図はリークラインＬにおけるＨｅ分圧の推移を示した
ものであり、本実施例では時刻ＣでＮ２の供給を開始し
て以後、時刻Ｅにおいてバックグランドレベルに到達し
ているが、従来手法ではＲＰによる排気速度が極めて遅
いために同図中破線に沿って時刻ｅに至るまでバックグ
ランドレベルに到達することができなかった。したがっ
て、図示装置においてはリークテストに係る測定間隔の
大幅へ短縮化が果たされ、特にグロスリークの場合には
大きな効用が得られるものとなる。
インＬの真空度が一旦ＰＤに低下し、このためＲＰは再
び排気速度をＳＤに取り戻して改めてＮ２を有効に排気
することになる。しかし、これによりＮ２が排気される
ときにはＨｅが追従して連行排気されるので、結果的に
Ｈｅ分圧の低減化が早められ、測定値は従来に比して逸
早くバックグランドレベルに到達できるものとなる。第
４図はリークラインＬにおけるＨｅ分圧の推移を示した
ものであり、本実施例では時刻ＣでＮ２の供給を開始し
て以後、時刻Ｅにおいてバックグランドレベルに到達し
ているが、従来手法ではＲＰによる排気速度が極めて遅
いために同図中破線に沿って時刻ｅに至るまでバックグ
ランドレベルに到達することができなかった。したがっ
て、図示装置においてはリークテストに係る測定間隔の
大幅へ短縮化が果たされ、特にグロスリークの場合には
大きな効用が得られるものとなる。
なお、測定値がバックグランドレベル以下であった場合
には、バルブＢＬＶの操作を行う必要はなく、即座に次
の測定に入ることができるのは言うまでもない。また、
Ｎ２供給手段や各種ポンプは上記に限定されるものでは
ない。
には、バルブＢＬＶの操作を行う必要はなく、即座に次
の測定に入ることができるのは言うまでもない。また、
Ｎ２供給手段や各種ポンプは上記に限定されるものでは
ない。
［発明の効果］
本発明のヘリウムリークディテクタは、以上のようにし
てリークラインに残留しているＨｅをＮ２によって強制
的にパージすることができるので、測定終了毎に系を逸
早くバックグランドレベル以下に低減することが可能に
なり、その結果リークテストに係る作業効率を従来に比
して大幅に向上し得るものとなる。
てリークラインに残留しているＨｅをＮ２によって強制
的にパージすることができるので、測定終了毎に系を逸
早くバックグランドレベル以下に低減することが可能に
なり、その結果リークテストに係る作業効率を従来に比
して大幅に向上し得るものとなる。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は回路図、第２
図はリークテストの手順を示すタイムチャート、第３図
はＲＰの排気特性を説明するグラフ、第４図は分析管に
よる測定値の推移を示すグラフである。 １・・・被試験体 ２・・・排気口３・・・吸
気口 ４・・・分析管６・・・Ｎ２供給手段
（Ｎ２ボンベ） Ｌ・・・リークライン
図はリークテストの手順を示すタイムチャート、第３図
はＲＰの排気特性を説明するグラフ、第４図は分析管に
よる測定値の推移を示すグラフである。 １・・・被試験体 ２・・・排気口３・・・吸
気口 ４・・・分析管６・・・Ｎ２供給手段
（Ｎ２ボンベ） Ｌ・・・リークライン
Claims (1)
- 被試験体と粗引ポンプを接続するリークラインに高真空
ポンプの排気口を接続し、該高真空ポンプの吸気口に分
析管を取付けて逆拡散したＨｅ量の測定を行うようにし
たものにおいて、前記リークラインに断接切換可能にＮ
＿２供給手段を接続したことを特徴とするヘリウムリー
クディテクタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1139825A JPH034133A (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 | ヘリウムリークディテクタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1139825A JPH034133A (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 | ヘリウムリークディテクタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH034133A true JPH034133A (ja) | 1991-01-10 |
Family
ID=15254353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1139825A Pending JPH034133A (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 | ヘリウムリークディテクタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH034133A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5317900A (en) * | 1992-10-02 | 1994-06-07 | The Lyle E. & Barbara L. Bergquist Trust | Ultrasensitive helium leak detector for large systems |
| JPH0815078A (ja) * | 1994-06-29 | 1996-01-19 | Ulvac Japan Ltd | 複合分子ポンプを使用した漏洩探知装置 |
| CN100360917C (zh) * | 2002-08-09 | 2008-01-09 | 爱发科股份有限公司 | 反扩散式氦探漏器的节省电力的运转方法 |
| CN104198131A (zh) * | 2014-09-04 | 2014-12-10 | 安徽华东光电技术研究所 | 行波管检漏设备及其应用方法 |
| RU2634309C1 (ru) * | 2016-11-15 | 2017-10-25 | Общество с Ограниченной Ответственностью "Инженерное Бюро Воронежского Акционерного Самолетостроительного Общества" | Способ измерения концентрации гелия в тепловыделяющем элементе |
| RU2760561C1 (ru) * | 2021-02-17 | 2021-11-29 | Акционерное общество «Научно-технический центр «Диапром» | Устройство для измерения концентрации гелия в тепловыделяющем элементе (твэле) |
| RU2772652C1 (ru) * | 2021-12-02 | 2022-05-23 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Способ измерения концентрации гелия в тепловыделяющем элементе |
-
1989
- 1989-05-31 JP JP1139825A patent/JPH034133A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5317900A (en) * | 1992-10-02 | 1994-06-07 | The Lyle E. & Barbara L. Bergquist Trust | Ultrasensitive helium leak detector for large systems |
| JPH0815078A (ja) * | 1994-06-29 | 1996-01-19 | Ulvac Japan Ltd | 複合分子ポンプを使用した漏洩探知装置 |
| CN100360917C (zh) * | 2002-08-09 | 2008-01-09 | 爱发科股份有限公司 | 反扩散式氦探漏器的节省电力的运转方法 |
| CN104198131A (zh) * | 2014-09-04 | 2014-12-10 | 安徽华东光电技术研究所 | 行波管检漏设备及其应用方法 |
| RU2634309C1 (ru) * | 2016-11-15 | 2017-10-25 | Общество с Ограниченной Ответственностью "Инженерное Бюро Воронежского Акционерного Самолетостроительного Общества" | Способ измерения концентрации гелия в тепловыделяющем элементе |
| RU2760561C1 (ru) * | 2021-02-17 | 2021-11-29 | Акционерное общество «Научно-технический центр «Диапром» | Устройство для измерения концентрации гелия в тепловыделяющем элементе (твэле) |
| RU2772652C1 (ru) * | 2021-12-02 | 2022-05-23 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Способ измерения концентрации гелия в тепловыделяющем элементе |
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