JPS6015537A - 冷却トラツプ付逆流漏れ検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術的背景 本発明は密封された物質の漏れの検出に関するものであ
り、とりわけ、ヘリウム質量スペクトロメータ漏れ検出
器に関するものでちる。

ヘリウム質量スペクトロメータ漏れ検出器は、既知の漏
れ検出技術である。ヘリウムは、密封された試験片の漏
れの最も小さな部分を通シ抜けるトレーサガス（ｔｒａ
ｃｅｒ　ｇａｓ）として用いられる。

ヘリウムは漏れ検出装置に吸引され、計測される。

装置の最も重要な構成装置は、ヘリウムを検出し、計測
する質量スペクトロメータ管でりる。注入ガスは、計測
されるヘリウム成分を分離するためにスペクトロメータ
管によってイオン化され、分析される。１つのアプロー
チは、試験片をヘリウムで加圧することである。漏れ検
出器のテストボー）　（ｔｅｓｔ　ｐｏｒｔ）に接続さ
れたガス検知器プローブ（ｓｎｉｆｆｅｒ　ｐｒｏｂｅ
）は、試験片の外部の周ｐを動かされる。漏れの近辺で
は、ヘリウムはプローブに吸い込まれ、漏れ検出器によ
って計測される。

もう１つのアプローチは、試験片の内部を漏れ検出器の
テストボートと連結することである。試験片の外部に吹
き付けられたヘリウムは、漏れ部分を通って内部に吸い
込まれ、漏れ検出器によって言ｆ測される。ヘリウム質
量スペクトロメータ漏れ検出は、良好な感度、広めダイ
ナミックレンジ（ｄｙｎａｍｉｃ　ｒａｎｇｅ）を提供
し、迅速に行えて使用に便利である。

スペクトロメータ管の１つの必要条件は、ヘリウム及び
他のガスが受け入れられるところの入口が、比較的低い
圧力（典型的には２Ｘ１０　）ル）に維持されることで
ある。いわゆる在来の漏れ検出器における粗引きポンプ
、拡散ポンプと同伴フォアポンプ（ｆｏｒｅｐｕｍｐ）
及び冷却トラップは、スペクトロメータ管の入口を所望
の圧力に維持するために在来真空ボンピング配置におい
て利用される。在米の漏れ検出器は、様々な条件の下で
良好な性能を提供する。冷却トラップは水蒸気及び他の
混入物を除去し、スペクトロメータ管の操作圧力への到
達を可能にして−る。しかし、この配置はある欠点を有
してｈる。試験装置又は、ガス検知器プローブに接続さ
れているテストボートは、比較的低い圧力に維持されね
ばならない。従って、真空ボンピングサイクルは比較的
長い。更に、漏れ易い又は体積の太き女部分の試験にお
いて、所望の圧力レベルを達成することは難がしいが又
は不可能である。もし所望の圧力レペルがいくぶんなり
とも達成されるとすれば、ボンピングサイクルは長くな
る。結果は、製造ライン叔験のコスト高になる。機椋ポ
ンプから試験片内へのオイルの逆流もまた在来の漏れ検
出器における問題点であった。

これらの問題点の多くは、米国特許＠ａ、ａ９ｏユ５１
号（発明者Ｂｒ　ｉ　ｇｇｓ　）　に開示された逆流漏
れ検出器にお−て解消された。この漏れ検出器において
、負数スペクトロメータ管は拡散ポンプの入口に接続さ
れており、ヘリウムトレーサガスは拡散ポンプの前方管
路又は、基準用カポ−）　（ｎ’ｏ　ｒｍａ　１ｏｕｔ
ｐｕｔ　ｐｏｒｔ）を通して導入される。その拡散ポン
プは、重いガスに対しては高−圧力比を示し、ヘリウム
のような軽いガスに対しては低い圧力比を示す。それ故
、ヘリウムは許容できる割合で拡散ポンプを通ってスペ
クトロメータ管へと逆方向に拡散し、計測される。サン
プル中の重いガスは拡散ポンプによって大部分が阻止さ
れ、スペクトロメータ管に到達することを妨げられる。

拡散ポンプ内の逆流の方法によって、漏れ検出器テスト
ボートは、拡散ポンプ前方管路で所望される圧力で働く
ことができる。この圧力は、スペクトロメータ管の所望
の操作圧力よりも数段高い大きさの圧力である。よシ高
い圧力で漏れ試験を行うことは種々の理由のため有益で
ある。試験圧力が比較的容易に得られるので、漏れ易く
或いは大きな体積の試験片の試験が可能である。更に、
試験片の真空ボンピングは、試験片の大きさや漏れ率に
かかわりなくより早くなる。在米の漏れ検出器と比べて
、逆流漏れ検出器の操作圧力が１閣いことによって、冷
却トラップはこのような装置（例えは、米国特許第８．
６９０，１５１号）においては有益ではないと概して考
えられた。逆流型漏れ検出器は、広範の様々な状況下で
非常に良好な働きを提供した。しかし、それはある限ら
れた欠点を有する。

いくつかの場合において、ホールディング（ｈｏｌｄｉ
ｎｇ）又は前方管路ポンプから試験片へのオイルの逆流
が現われた。更に、ある程度大きく、漏れ易く又は汚染
された部分を素早く試験するとき、又は、湿度レベルが
高いとき、粗引きポンプの能力が必要な圧力レベルに到
達することは大変なことであシ、ボンピング時間も長か
った。逆流漏れ検出器の非常に望ましい特性に影響を与
えることなく、これらの問題を軽減することが望ましい
。

本発明の全般的な目的は、新規なヘリウム質量スペクト
ロメータ漏れ検出器を提供することである。

本発明のもう１つの目的は、高い試験圧力及び高い水蒸
気ボンピング能力といった特徴を有する漏れ検出装置を
提供することである。

更に、本発明の目的の１つは、試験片内へのオイルの逆
流が解消された漏れ検出装置を提供することである。

更に、本発明の目的の１つは、改善された操作スピード
を有する漏れ検出装置を提供することである。

発明の概要 本発明に従って、これら及び他の目的と利点が漏れ検出
のための装置において得られている。この装置は、トレ
ースガスを受けるのに適したテストボート、トレースガ
スを検出するように調整され、トレースガスを受けるだ
めの入口を有するガス分析装置及び軽いガスに対しては
比較的高い逆拡散率を有し、重いガスに対しては比較的
低い逆拡散率を有するという特徴をもつ第１真空ボンピ
ング手段とから成る。第１真空ポンピング手段は、ガス
分析装置と連結したポンプ入口を有する。装置は更に、
テストボートと第１真空ポンピング手段の前方管路又は
出口ポートとの間で連結された冷却トラップを有する。

冷却トラップはガスサンプルからの混入物、水蒸気及び
その他のガスを凝固させる。トレースガスは、第１真空
ポンピング手段を逆方向に通過し、ガス分析装置によっ
て計測される。第２真空ボンピング手段は冷却トラップ
と組み合って、漏れ試験の間前方管路に規定の操作圧力
を与えるように働く。冷却トラップを組み入れた逆流漏
れ試験装置は、比較的高い圧力での漏れテストを行う能
力を提供する。それは更に、機械真空ポンプから試験片
へのオイルの逆流を防ぐ能力、大きく、漏れ易い試験７
片或いは汚染された試験片を迅速に試験する能力及びこ
のような試験片を高湿度条件下で試験する能力を提供す
る。

好適実施例 第１Ａ図に在来の漏れ検出装置が図示されている。テス
トボート（ｔｅｓｔ　ｐｏｒｔ）　１０は、粗引きパル
プ１２を介して粗引きポンプ１４に連結されている。そ
の旬引きポンプ１４は、テストボートｌＯの初期の粗引
き、又は、真空排気を行う。試験片又は、ガス検知器プ
ローブ（ｓｎ百ｆｅｒ　ｐｒｏｂｅ）（図示せず）がテ
ストボー）１０に連結されている。スペクトロメータ管
１６は、冷却トラップ１８及びテストパルプｚＯを介し
てテストボート１０に連結された入口を有する。冷却ト
ラップ１８もまた拡散ポンプ２ｚの吸気口に連結されて
おり、その前方管路圧力はフォアポンプ２４によって維
持されている。操作に３いて、初めに粗引きポンプ１４
がテストボート１０における圧力を大体１５ミリトルに
減少さぜる。その時、テストバルブｚ０は開かれる。拡
散ポンプ２ｚと組になって働く冷却トラップ１８は、テ
ストボート１ｏにおける圧力を、スペクトロメータ管１
６の作動に必要な２×１０　トルのオーダーまで減少さ
せる。その冷却トラップ１８は、水蒸気及び他の凝縮可
能な混入物を除去する。しか踵高圧ガス負荷試験片（ｈ
ｉｇｈ　ｇａｓ　１ｏａｄ　ｔｅｓｔ　ｐｉｅｃｅｓ）
の場合、低い試験圧は達成できず、また、漏れ試験は不
可能であった。

第１Ｂ図に従来技術に従った逆流漏れ検出器が略示的に
図示されている。テストボート８０は、粗引きパルプ８
２を介して粗引きポンプ８４に連結されている。そのテ
ストボート８ｏは、テストバルブ８６を介して拡散ポン
プ４ｏの前方管路８８にも連結されている。その前方管
路８８はまた、その管路において所望の操作圧力を維持
する前方ポンプ４２に連結されている。拡散ポンプ４ｏ
の入口は、スペクトロメータ管４４の入口に連結されて
いる。操作において、粗引きポンプ８４は、初めにテス
トボート８０及び試験片（又はガス検知器プローブ）を
１００乃至８００ミリトルの範囲の圧力まで排気する。

次にテストパルプ８６が開かれ、テストボート３０を通
って吸い込まれたヘリウムトレーザガス（ｈｅｌｉｕｍ
　ｔｒａｃｅｒ　ｇａｓ）は）拡散ポンプ４０を通って
スペクトロメータ管４４へと逆方向に拡散する。拡散ポ
ンプ４０は、試料中の重いガスに対して非常に低い逆方
向拡散率を／１１するので、スペクトロメータ管４４か
らのガスの通過を妨害し、それによって効果的にトレー
サガスを分離する。第１Ｂ図の機器構成は、第１Ａ図の
機器構成よシもずつと高い試験圧を有し、それによって
、真空排気を容易にしている。更に、ハイガスロード試
験片の漏れ試験は効率的になしとげられる。しかし、第
１Ｂ図に示された型式の装置ｄでは、時々、オイルの逆
流、汚染部分の試験及び高湿反条件下での試験が問題で
めつｆｃ。

本発明に従って、月れ検出装置の概略が第２図に示され
ている。１００で示された試験片又はガス検知器プロー
ブ（図示せず）は、テストボート１１０に真穿＠着連結
されている。そのテストボート１１０は、粗引きパルプ
１１２を介して粗引きポンプ１１４に連結されてｈる。

第２図に示された様々ガ構成要素は、外径１〜％インチ
（２，５４〜０．８２　ｃｍ　）の管の適切な気密接続
によって連結されてｂる。・テストボート１】０は、ま
た、テストパルプ１１．６を介して冷却トラップ１１８
の入口に連結されている。

冷却トラップ１１８の排気口は、拡散ポンプ１２２の前
方管路１２０に連結されてｂる。フォアポンプ１２４は
、冷却トラップ１１８のもう１つのボートに連結されて
おり、拡散ポンプ１２２の前方管路１２０とガスが通じ
ている。拡散ポンプ１２２の吸入口は、スペクトロメー
タ管１２６の入口に連結されている。

ヘントハルプ１８０及び真空計１８２は、テストボート
１１Ｏに連結されてめる。グロスリークパルプ（ｇｒｏ
ｓｓ　１ｅａｋ　ｖａｌｖｅ）　１８６は、テストパル
プ１１６の冷却トラップ側と粗引きポンプ１１４との間
に連結されている。

冷却トラップ１１８は、試験片１００又はガス検知器プ
ローブの入口の周辺大気から漏れ検出装置に吸い込まれ
た蒸気を、冷却表面上に凝固させるところの冷却装置で
ある。冷却トラップ１１８は典型的に円筒状外殻１４０
及びその内側に置かれた径の小さい内殻１４−２を有す
る。典型的な配置におりて、外殻１４０は約５インチ（
ｘｓ、７ｃｒｎ）の直径を有することができ、内３５Ｈ
４ｚは外５５１＋６から約５インチ（ｉ、２７ｃｍ）の
所に置かれる。トレースガス及びテストボー）　１１０
と拡散ポンプ１２２との間を流れる他のガスは、外殻１
４０と内殻１４２との間を循環する。液体窒衆のような
冷却物質が内殻１４２の体積中に尋人される。従って、
冷却トラップ１１８を通過する気体は、内殻１４２の外
側表面上に凝固させられる。ヘリウムは、その極めて低
い沸点のために凝（ふ］しない。冷却トラップは、他の
物理形状を肩することができ、貰た、他の冷却物質を利
用することができる。このような装置は、蒸気がｃ′、
Ｌ固する冷却表面を与えることによって働く。例えば、
冷却トラップは、内殻１４２と接触して置かｊｌた冷却
フィルを備える機械的冷却器を用いることができる。選
択的に、商業的に手に入る低温ポンプが利用される。

好適実施例において、粗引きポンプ１１４とフォアポン
プ１２４の各々は、７立方フィート／分（２１８Ｂｃｄ
／分）のボンピング容量を有する。特別な使用において
必要ならば、よシ大きい容量のポンプが与えられる。拡
張ポンプ１２Ｂとスペクトロメータ管１２６は、Ｖａｒ
ｉａｎ　Ｌｅｘｉｎｇｔｏｎ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｄｉｖｉ
ｓｉｏｎによって製造されたＭｏｄｅｌ　９８８−４１
　ＬｅａｋＤｅｔｅｃｔｏｒ　に用いられた装置と同様
のものである。

拡散ポンプが漏れ検出のための逆操作又は向流操作に用
いられることを許すところの特徴は、重いガス及び軽い
ガスに関する差動逆拡散率である。

重いガスの非常に小さな部分が逆方向にその拡散ポンプ
を通過すると同時に、ヘリウムガスを含む軽いガスのい
くらかの小部分が逆方向にその拡散ポンプを通過する。

逆流操作における拡散ポンプの利用が米国特許第８．６
９０．１５１号に記載されており、また、Ｗｏｒｔｈｉ
ｎｇｔｏｎによって、１９７６年１１月発行のＶａｃｕ
ｕｍ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　Ｒｅ５ｅａｒｃｈ／Ｄｅ
ｖｅ　ｌ　ｏｐｍｅｎ　ｔの”Ｎｅｗ　Ｄｅｖｅｌｏｐ
ｍｅｎｔｓ　ｉｎ　ＴｒａｐｌｅｓｓＬｅａｋ　Ｄｅｔ
ｅｃｔｉｏｎ”に記載されている。他の高真空ポンプは
所望の差動拡散率特性を有し、本発明の逆流漏れ検出器
での利用に適している。

操作中、試験片１００又はガス検知器プローブは、テス
トボート１１０に取９付けられる。試験片ｌＯθは、第
２図の装置によって検出される１つ又はそれ以上の漏れ
を有するかもしれな論。初めに、テストバルブ１１６　
、グロスリークハル７’４ａ６　及（ｊヘントバルプ１
１２は開かれており、それによって、試験片１００（又
は、ガス検知器プローブ管）及びテストボー）１１Ｇの
粗引きで大体１００乃至８００ミＩＪ　）ルの圧力を可
能にしている。この圧力に到達すると、粗引きバルブ１
１２は閉じられ、テストパルプ１１６が開かれる。バル
ブの開■ｊはオペレータコンソール（ｏｐｅｒａｔｏｒ
　ｃｏｎｓｏｌｅ）のようなもので手動で制御でき、又
は、真空計１８２から入力を受けるマイクロプロセッサ
制御装置又は、電気制御装置によって自動的に制御され
る。テストパルプ１１６が開いているとき、冷却トラッ
プ１１８及びフォアポンプ１２４は組になって働き、試
験片１００ヌはガス検知器クローブ、テストボート１１
Ｏ及び拡散ポンプｌ銘の前方管路１２０の圧力を１００
乃至８００ミリトルのオーダーに維持し、漏れ試験が続
行される。トレーサガス、ヘリウムは、ヘリウムスプレ
ーのようなもので、第２図の１５０の所に図示されてい
るように、試験片１００の外部表面上に導入される。選
択的に、もし試験片がヘリウムて高圧密封されれば、そ
のときガス検知器プローブは試験片の外側で周り金動く
。ヘリウムは漏れのために試験片１００の内部に吸引さ
れ、又は、ガス検知器プローブ内に吸引される。そして
、テストポー）　１１０を通って漏れ検出装置五に移動
する。ヘリウムはそのとき冷却トラップ１１８を通り抜
け、拡散ポンプ前方管路１２０中に入る。当業者には知
られてｂるように、ヘリウムは、その軽さの故に拡散ポ
ンプｌ肥を通ってスペクトロメータ管１２６へと逆方向
に拡散する。スペクトロメータ管１２６は、ヘリウムを
検出し計測するように１１整され、また、試験片１００
又はガス検知器グローブから受取ったガスサンプル中の
ヘリウムの量に比例した出力信号を提供するように調整
さｎている。ヘリウムの濃度は試験片１００の漏れ率に
比例する。拡散ポンプｌＳＳがヘリウムの規定部分だけ
をスペクトロメータ管１２６に通す間、十分な量がスペ
クトロメータ管１２６に達し、高い正確度で漏れ率の記
録を可能にしている。漏れ試験が終了した後、テストパ
ルプ１１６は閉じられ、ベントバルブ１８０は試験片１
００を大気中に排気しその除去を可能にするために開か
れる。ガス検知器プローブが用いられるとき、ヘリウム
ガス圧力は試験片から取シ除かれ、ガス検知器グローブ
がテストポー）１１０に接続されて残る。

グロスリークバルブ１８６は、非常に商い漏れ率を有す
る試験片の漏れ試験をする能力を与えている。クロス漏
れ試験が行われるとき、テストパルプ１１６及びグロス
リークバルブ１８６は初めは閉じられ、試験片又社ガス
検知器グローブ管及びテストボートの粗引き排気を可能
にするために粗引きバルブ１ｉｓＩが開かれる。次に、
漏れ試験を行うために、粗引きバルブ１１２は開いたま
まで、テストパルプ１１６は閉じたままで、そして、グ
ロスリークバルブ１８６が開かれる。粗引きポンプ１１
．４はテストボー）　１１０に接続され、所望の試験圧
力の維持の補助をしてｂる。

本発明のもう１つの好適実施例の概略が第す図に図示さ
れている。第８図の漏れ検出器は第２図に図示されてい
る漏れ検出器とは異なシ、１つの機械ポンプが粗引き及
び保持機能の両方を果すように利用されることが、前文
に原理的に記載されてｂる。試験片Ｓｏｏ又はガス検知
器プローブは、テストボート２１０と真空密着状態で連
結されている。テストボート２１０は、粗引きバルブ２
１２及びテストパルプ２１６（これらは直列に連結され
ている）を介して冷却トラップ２１８の入口に連結てれ
て−る。粗引きバルブ２１２とテストパルプ２１６の接
続点は、粗引き／保持ポンプ２１４と連結されている。

冷却トラップ２１８の出口は、拡散ポンプ２２２の前方
管路２２０と連結されている。拡散ポンプ２２２の入口
は、スペクトロメータ管２２６の入口に連結されている
。ベントバルブ２８０及び真空計２Ｈは、テストボート
２１Ｏに連結されている。

第８図で図示された漏れ検出器の構成要素であるスペク
トロメータ管２２６、拡散ポンプ２２２及び冷却トラッ
プ２１８は、第２図で示され、前文で記載された同様の
構成要素に対応する。粗引き／保持ポンプ２１４は、典
型的には７立方フィート／分（２１８，５（１１１７分
）の容量を利する機械ポンプでよい。

操作において、試験片２００又はガス検知器プローブは
テストボート２１ｏに取シ付けられる。初めにテストパ
ルプ２１６及びベントパルプ２８０が閉じられ、粗引き
パルプ２１２は開かれる。それによって、粗引き／保持
ポンプ２１４による試験片２θ０（又はガス検知器プロ
ーブ）及びテストボー）　２１０の粗引きが可能になる
。圧力が大体１００から８００ミリトルに到達すると、
テストパルプ２１６が開かれ％＠９図に晦して前文で記
載したように漏れ試験を行うことができる。試験サイク
ル（ｔｅｓｔｃｙｃｌｅ）の間、粗引Ｉ／保持ポンプ２
１４は、テストボー）　２１０と拡散ポンプ８２Ｂの前
方管路との間の管路を所望の試験圧力に維持する。それ
ゆえ、粗引き／保持ポンプ２１４は、粗引き及び試験サ
イクルのどちらの間でも働き、第２図に図示されたフォ
アポンプ１２４は省かれる。第８図の漏れ検出器におけ
る冷却トラップ２１８の使用は、第２図に関連して前文
で記載したものと同様な有益点及び改良点が操作におい
て備っている。

漏れ検出装置は、試験片又はガス検知器プローブからの
トレーサガスのヘリウムを受け入れるだけではなく、大
気、水蒸気及びその他の混入物からのガスを受け入れる
ことが分かる。本発明に従って、冷却トラップは混入物
、水蒸気及びヘリウム以外のガスを凝固し、装置の働き
を改良する。

冷却トラップは特にいくつかの漏れ検出条件下において
有効である。大きな体積の試験片が試験されるとき、そ
の試験片の比較的大きな表面積からのガス放出のために
、所望のレベルへのボンピングは難かしい。ボンピング
はまた、試験片が特に漏れやすい場合、難かしい。漏れ
試験中連続的に脱ガスするオイル又は水蒸気のような揮
発性化合物で汚染された表面を有する部分の試験がしば
しば必要でちる。もしも、周シの環境が特に湿っており
、それによって大量の水蒸気が漏れ検出装置に導入され
るならば、前記のいかなる状況も悪くなる。このような
環境のｂかなる場合も、所望の試験圧力を維持すること
は従来は難かしかった。

更に、できる限９試験時間を減少させることによって漏
れ検出装置の生産性を改善することが記載されている。

試験時間は、試験片のボンピングのための時間を減少す
ることによって、幾分改善できる。本発明に従った冷却
トラップ付逆流漏れ検出器は、比較的高い圧力で試験す
る能力を提供し、ｉｉ氏、極めて湿った条件下において
さえ、大きな又は汚染された試験片を非常に早く試験す
る能力を提供する。冷却トラップの更にもう１つの利点
は、漏れ試験中、フォアポンプからのオイルの逆流に関
するものである。冷却トラップはフォアポンプからのオ
イル蒸気を凝固させ、オイル蒸気が試験片の所に達して
試験片を汚染することを妨げている。

プラスチック（それはガス放出をしがちである）及びブ
ラインドタップトホール（ｂｌｉｎｄ　ｔａｐｐｅｄｌ
ｘｏｌｅｓ）　を含む１１リツトルプラズマエツチング
チエンバ（１１１ｉｔｅｒ　ｐｌａｓｍａ　ｅｔｃｈｉ
ｎｇ　ｃｈａｍｂｅｒ）は、在来の漏れ検出器（第１Ａ
図）、逆流漏れ検出器（第１Ｂ図）及び本発明に従った
漏れ検出器（第２図）で試験される。在来の漏れ検出器
は、スペクトロメータ管に移すのに十分な低圧力を得る
ことができなかった。逆流検出器は、３．２５分でＩ　
Ｘ　ｌ　、Ｏａｔｍ、　ＣＣ／５ｅＣ９の検出感度レベ
ルに到達した。本発明に従った漏れ検出器は、２．５分
でｌ　Ｘ　ｌ　Ｏａｔｍ、　ｃｃ／ｓｅｃ、の検出感度
レベルに到達した０ ここで、発明の好適実施例で考慮されたことを図示し、
記載したが、添付した特許請求の範囲によって限定され
た発明の範囲を逸脱することなく、発明の好適実施例に
様々な変化や変更態様をなすことができることは、当業
者には明らかである。

【図面の簡単な説明】

第１Ａ図及び第１Ｂ図は、従来技術による漏れ検出装置
である。 第２図は本発明に従った漏れ検出装置の略示図である。 第８図は、本発明に従った漏れ検出装置の別の好適実施
例の略示図である。 主要符号の説明 １０．８０，１１０，２１０−−テストポートＩＪ　８
２，１１２，２１２−一粗引きバルブ１４．８４，１１
４，２１４−一粗引き／保持ポンプ１６．４４，１２６
．２２（１−−スペクトロメータ管１８．１１８，２１
８−一冷却トラップ２Ｑ、８６，１１６，２１６−−テ
ストバルブ２２．４０．１２Ｊ　２２２−一拡散ポンプ
８８．１２０，２２０−一前方管路 １８０．２８０−一ベントバルブ ・ぐ）ン、 同　弁理士　富　１）修　自　、（′　、ＦＩＧ、１Ａ ＦＩｏ、２

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　漏れ検出のだめの装置であって、ａ））レースガ
   スの受け入れに適したテストボートと、 ｂ）前記トレースガスを検出するように調整サレ、前記
   トレースガスを受け入れるための入口を有するガス分析
   装置と、 ｃ）第１真空ボンピング手段であって、軽いガスに対し
   ては比較的高い逆拡散率を示し、重いガスに対しては比
   較的低い逆拡散率を示すことを特徴とし、前記ガス分析
   装置の前記入口及び前方管路と連結したポンプ入口を有
   する第１真空ボンピング手段と、ｄ）’＋Ｌｔａテスト
   ボートと前記第１真空ボンピング手段の前記前方管路と
   の間に連結された冷却トラップと、 ｅ）前記冷却トラップと組み合って働き、漏れ試験の間
   、前記前方管路に規定の操作圧力を提供する第２真空ボ
   ンピンク手段、から成る漏れ検出装置。 ２、特許請求の範囲第１項に記載烙れた漏れ検出装置で
   あって、 前記第２真空ボンピング手段が、 ａ）前記漏れ試験の準備に、初めの粗引きサイクルの間
   前記テストポートを排気するための粗引きポンプと、 ｂ）前記粗引きサイクルの間、前記テストボートを前記
   冷却トラップ、前記第１真空ボンピング手段及び前記ガ
   ス分析装置から孤立させるだめのテストバルブ、 を有する装置。 ８、　１１ｉ￥−許請求の範囲第２項に記載された漏れ
   検出装置でろって、 前記第２真をボンピング手段が更に前記冷却トラップと
   組み合わさった前方管路ポンプを有し、該前方管路ポン
   プは前記漏れ試験の間、前記前方管路の圧力を操作圧力
   又はそれ以下の圧力に維持し、また、前記テストバルブ
   が前記テストボートに連結されてい−るところの装置。 ４　特許請求の範囲第２項又は第８項に記載された漏れ
   検出装置であって、 前記粗引きボンピング手段が、前記テストボートに連結
   された粗引きバルブ及び該粗引きバルブを介して前記テ
   ストボートに連結された粗引きポンプを有するところの
   装置。 ５、特許請求の範囲第１項、第２項又は第８項に記載さ
   れた漏れ検出装置であって、 前記第１真空ボンピンク手段が１つの拡散ポンプを有す
   るところの装置。 ６　特許請求の範囲第１項、第２項又は第３項に記載さ
   れた漏れ検出装置であって、 前記ガス分析装置がｌｘ量スペクトロメータ管を有する
   ところの装置。 ７　特許請求の範囲第１項に記載された漏れ検出装置で
   おって、 前記冷却トラップの中に液体窒素冷却液が入っていると
   ころの装置。 ８　特許請求の範囲第１項に記載された漏れ検出装置で
   あって、 前記冷却トラップが機械的冷却手段を有するところの装
   置。 ９、漏れ検出のための装置であって、 ａ）試験中の装置からのトレースガスの受け入れに適し
   たテストボートと、 ｂ）前記トレースガスを検出するように調整され、前記
   トレースガスを受け入れるための入口を有する質量スペ
   クトロメータと、Ｃ）前記質量スペクトロメータの前記
   入口及び前方管路と連結されたポンプ入口を有する拡散
   ポンプと、 ｄ）前記テストボートと前記拡散ポンプの前記前方管路
   との間のガス連絡管内に連結された冷却トラップと、 ｅ）試験サイクルの準備に、初めの粗引きサイクルの間
   、前記テストボートを排気するための手段と、 ｆ）前記冷却トラップと組み合って、前記試験サイクル
   の間、前記前方管路の圧力を規定の操作圧力又はそれ以
   下の圧力に維持するところの真空ポンプと、 ｇ）前記粗引きサイクルの間、前記テストボートを前記
   冷却トラップ、前記拡散ポンプ及び前記スペクトロメー
   タから孤立させるためのテストパルプ、 から成るところの漏れ検出装置。 １０、特許請求の範囲第９項に記載てれた漏れ検出装置
   であって、 前記テストボートの排気のための前記手段が、前記粗引
   きサイクルの間開いている粗引きパルプ２介して前記テ
   ストボートに連結され１こ粗引きポンプを有するところ
   の装置。 １１、特許請求の範囲第９項に記載された漏れ検出装置
   であって、 前記真空ポンプが前記冷却トラップと連結されていると
   ころの装置。 １２、特許請求の範囲第９項に記載された漏れ検出装置
   であって、 前記冷却トラップに液体窒素が入っているところの装置
   。 １８、特許請求の範囲第９項に記載された漏れ検出装置
   であって、 前記冷却トラップが機械的冷却手段を有するところの装
   置。 １、ｋ　特許請求の範囲第１θ項に記載された漏れ検出
   装置であって、 前記粗引きバルブと前記粗引きポンプとの間の連結部に
   グロスリーク導管が接続され、１だ該導管は前記テスト
   パルプと前記冷却トラップとの間の連結部にも接続され
   、前記グロスリーク導管に沿ってグロスリークバルブが
   配置されているところの装置。