RU2019100225A - Масс-спектрометрический течеискатель с турбомолекулярным насосом и бустерным насосом на общем валу - Google Patents

Масс-спектрометрический течеискатель с турбомолекулярным насосом и бустерным насосом на общем валу Download PDF

Info

Publication number
RU2019100225A
RU2019100225A RU2019100225A RU2019100225A RU2019100225A RU 2019100225 A RU2019100225 A RU 2019100225A RU 2019100225 A RU2019100225 A RU 2019100225A RU 2019100225 A RU2019100225 A RU 2019100225A RU 2019100225 A RU2019100225 A RU 2019100225A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pump
stage
leak detector
turbomolecular
turbomolecular pump
Prior art date
Application number
RU2019100225A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2019100225A3 (ru
RU2728446C2 (ru
Inventor
БЛАЙ Вернер ГРОССЕ
Томас Бём
Яльмар БРУНС
Original Assignee
Инфикон Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Инфикон Гмбх filed Critical Инфикон Гмбх
Publication of RU2019100225A publication Critical patent/RU2019100225A/ru
Publication of RU2019100225A3 publication Critical patent/RU2019100225A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2728446C2 publication Critical patent/RU2728446C2/ru

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
    • G01M3/205—Accessories or associated equipment; Pump constructions
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D25/00—Pumping installations or systems
    • F04D25/16—Combinations of two or more pumps ; Producing two or more separate gas flows
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/08—Sealings
    • F04D29/10—Shaft sealings
    • F04D29/102—Shaft sealings especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/104—Shaft sealings especially adapted for elastic fluid pumps the sealing fluid being other than the working fluid or being the working fluid treated

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Claims (16)

1. Масс-спектрометрический течеискатель, имеющий:
- многоступенчатый турбомолекулярный насос (12),
- соединенный со стороной всасывания турбомолекулярного насоса (12) масс-спектрометр (17),
- соединенный со стороной нагнетания турбомолекулярного насоса (12) насос (18) предварительного разрежения, и
- ступень (24) бустерного насоса, сторона всасывания которой включает в себя подсоединение (28) для подлежащего проверке проверяемый объект, а сторона нагнетания которой через трубопроводную разводку (22) соединена со стороной нагнетания турбомолекулярного насоса (12) и со стороной всасывания насоса (18) предварительного разрежения,
отличающийся тем,
что ступени (30, 32) турбомолекулярного насоса (12) и ступень бустерного насоса расположены на общем валу и имеют общий привод (34), и что трубопроводная разводка между стороной нагнетания соединяемой с проверяемым объектом ступенью бустерного насоса и стороной всасывания соединенной с масс-спектрометром (17) откачивающей ступени турбомолекулярного насоса (12) разъединена разделительной перегородкой (36).
2. Течеискатель по п. 1, отличающийся тем, что турбомолекулярный насос (12) выполнен двухступенчатым.
3. Течеискатель по п. 1 или 2, отличающийся тем, что откачивающие ступени турбомолекулярного насоса (12) и ступень (24) бустерного насоса образуют общий вакуумный насос.
4. Течеискатель по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что привод (34) расположен на лежащем между откачивающими ступенями и насосом (18) предварительного разрежения конце турбомолекулярного насоса (12).
5. Течеискатель по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что одна из откачивающих ступеней турбомолекулярного насоса (12) является ступенью (32) молекулярного насоса, и что турбомолекулярный насос (12) включает в себя по меньшей мере одну ступень (30) турбомолекулярного насоса.
6. Течеискатель по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что ступень (24) бустерного насоса является ступенью турбомолекулярного насоса.
7. Течеискатель по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что разделительная перегородка (36) является запирающим вдоль вала газопроводную разводку (22) уплотнением, через которое является передаваемым крутящий момент вала.
8. Течеискатель по п. 7, отличающийся тем, что уплотнение создают посредством уплотнения из ферромагнитной жидкости.
9. Течеискатель по одному из пп. 1-6, отличающийся тем, что разделительную перегородку (36) создают посредством ступени (38) сепараторного насоса, сторона всасывания которого соединена с масс - спектрометром (17), а сторона нагнетания которого соединена со сторонами нагнетания ступени (24) бустерного насоса и соединенной с масс - спектрометром (17) откачивающей ступени турбомолекулярного насоса (12).
10. Течеискатель по п. 9, отличающийся тем, что ступень (38) сепараторного насоса является ступенью молекулярного насоса или ступенью турбомолекулярного насоса.
RU2019100225A 2016-06-15 2017-06-13 Масс-спектрометрический течеискатель с турбомолекулярным насосом и бустерным насосом на общем валу RU2728446C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102016210701.1 2016-06-15
DE102016210701.1A DE102016210701A1 (de) 2016-06-15 2016-06-15 Massenspektrometrischer Lecksucher mit Turbomolekularpumpe und Boosterpumpe auf gemeinsamer Welle
PCT/EP2017/064434 WO2017216173A1 (de) 2016-06-15 2017-06-13 Massenspektrometrischer lecksucher mit turbomolekularpumpe und boosterpumpe auf gemeinsamer welle

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2019100225A true RU2019100225A (ru) 2020-07-15
RU2019100225A3 RU2019100225A3 (ru) 2020-07-15
RU2728446C2 RU2728446C2 (ru) 2020-07-30

Family

ID=59055219

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019100225A RU2728446C2 (ru) 2016-06-15 2017-06-13 Масс-спектрометрический течеискатель с турбомолекулярным насосом и бустерным насосом на общем валу

Country Status (9)

Country Link
US (1) US11009030B2 (ru)
EP (1) EP3472471B1 (ru)
JP (1) JP6883051B2 (ru)
KR (1) KR102430735B1 (ru)
CN (1) CN109312754B (ru)
DE (1) DE102016210701A1 (ru)
RU (1) RU2728446C2 (ru)
TW (1) TWI743137B (ru)
WO (1) WO2017216173A1 (ru)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3070489B1 (fr) * 2017-08-29 2020-10-23 Pfeiffer Vacuum Detecteur de fuites et procede de detection de fuites pour le controle de l'etancheite d'objets a tester
FR3072774B1 (fr) * 2017-10-19 2019-11-15 Pfeiffer Vacuum Detecteur de fuites pour le controle de l'etancheite d'un objet a tester
DE102020132896A1 (de) 2020-12-10 2022-06-15 Inficon Gmbh Vorrichtung zur massenspektrometrischen Leckdetektion mit dreistufiger Turbomolekularpumpe und Boosterpumpe
CN114046941B (zh) * 2021-11-28 2024-03-19 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 一种基于涡轮分子泵薄膜生长设备的测漏阀门系统

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2872102A (en) * 1955-12-19 1959-02-03 Stempel Hermetik Gmbh Compressor
DE1648648C3 (de) * 1967-04-12 1980-01-24 Arthur Pfeiffer-Hochvakuumtechnik Gmbh, 6330 Wetzlar Anordnung zur Lecksuche nach dem Massenspektrometer-Prinzip
US3520173A (en) * 1967-05-02 1970-07-14 Mobil Oil Corp Automated test apparatus
US3536418A (en) * 1969-02-13 1970-10-27 Onezime P Breaux Cryogenic turbo-molecular vacuum pump
US3616680A (en) * 1969-10-27 1971-11-02 Sargent Welch Scientific Co Leak detector
JPS5125158A (en) * 1974-08-26 1976-03-01 Nippon Kuatsu System Co Ryutaijikukeryono ryuryokei
US4180370A (en) * 1975-03-22 1979-12-25 Kernforschungsanlage Julich Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung Turbomolecular pump
US4527805A (en) * 1984-05-03 1985-07-09 Ferrofluidics Corporation High-pressure ferrofluid seal apparatus
EP0283543B1 (de) * 1987-03-27 1991-12-11 Leybold Aktiengesellschaft Lecksuchgerät und Betriebsverfahren dazu
EP0344345B1 (de) 1988-06-01 1991-09-18 Leybold Aktiengesellschaft Pumpsystem für ein Lecksuchgerät
RU2016255C1 (ru) * 1990-08-23 1994-07-15 Специальное конструкторско-технологическое бюро прецизионного оборудования "Вектор" Молекулярный вакуумный насос
DE4228313A1 (de) * 1992-08-26 1994-03-03 Leybold Ag Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe
DE4343912A1 (de) * 1993-12-22 1995-06-29 Leybold Ag Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgaslecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Testgaslecksucher
DE4408877A1 (de) * 1994-03-16 1995-09-21 Leybold Ag Testgaslecksucher
DE19504278A1 (de) * 1995-02-09 1996-08-14 Leybold Ag Testgas-Lecksuchgerät
US5703281A (en) * 1996-05-08 1997-12-30 Southeastern Univ. Research Assn. Ultra high vacuum pumping system and high sensitivity helium leak detector
JP3675983B2 (ja) * 1996-09-12 2005-07-27 株式会社アルバック ヘリウムリークディテクター
DE19735250A1 (de) 1997-08-14 1999-02-18 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Heliumlecksuchers und für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Heliumlecksucher
DE10004271A1 (de) * 2000-02-01 2001-08-02 Leybold Vakuum Gmbh Reibungsvakuumpumpe
DE10004263A1 (de) * 2000-02-01 2001-08-02 Leybold Vakuum Gmbh Dynamische Dichtung
US7082404B2 (en) * 2001-06-29 2006-07-25 International Business Machines Corporation System and method for improved matrix management of personnel planning factors
DE10156205A1 (de) * 2001-11-15 2003-06-05 Inficon Gmbh Testgaslecksuchgerät
DE10308420A1 (de) * 2003-02-27 2004-09-09 Leybold Vakuum Gmbh Testgaslecksuchgerät
DE10319633A1 (de) 2003-05-02 2004-11-18 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
RU2240524C1 (ru) * 2003-07-15 2004-11-20 Открытое акционерное общество "Завод "Измеритель" Течеискатель
DE10334455B4 (de) * 2003-07-29 2013-01-31 Pfeiffer Vacuum Gmbh Lecksuchverfahren und Lecksuchanordnung zur Durchführung des Verfahrens
RU39658U1 (ru) * 2004-03-15 2004-08-10 Открытое акционерное общество "Завод "Измеритель" Турбомолекулярный насос
DE102005021909A1 (de) * 2005-05-12 2006-11-16 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor
WO2011132365A1 (ja) 2010-04-22 2011-10-27 株式会社アルバック 漏洩検知方法及び真空処理装置
JP2011069834A (ja) * 2010-11-18 2011-04-07 Shimadzu Corp ヘリウムリークデテクタ
US10073001B2 (en) 2013-05-07 2018-09-11 Luedolph Management GmbH Leak test arrangement and leak test method

Also Published As

Publication number Publication date
TWI743137B (zh) 2021-10-21
TW201802444A (zh) 2018-01-16
CN109312754A (zh) 2019-02-05
US20190162193A1 (en) 2019-05-30
KR102430735B1 (ko) 2022-08-08
JP6883051B2 (ja) 2021-06-02
CN109312754B (zh) 2021-05-04
DE102016210701A1 (de) 2017-12-21
EP3472471B1 (de) 2022-02-23
RU2019100225A3 (ru) 2020-07-15
US11009030B2 (en) 2021-05-18
WO2017216173A1 (de) 2017-12-21
RU2728446C2 (ru) 2020-07-30
KR20190019070A (ko) 2019-02-26
EP3472471A1 (de) 2019-04-24
JP2019523882A (ja) 2019-08-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2019100225A (ru) Масс-спектрометрический течеискатель с турбомолекулярным насосом и бустерным насосом на общем валу
GB2459233B (en) Vacuum pump or vacuum apparatus having a vacuum pump
WO2011121322A3 (en) Vacuum pumping system
EP2963301A3 (en) Compressor and method for assembling a compressor
RU2009110259A (ru) Очистное устройство и способ очистки обрабатываемой детали
RU2013127277A (ru) Устройство обнаружения утечки
CN105571792A (zh) 一种能够实现高压检漏的氦质谱检漏仪
JP2019523882A5 (ru)
RU2013109133A (ru) Течеискатель
EP2626562A3 (en) Pump
RU2017114342A (ru) Система откачки для создания вакуума и способ откачки при помощи этой системы откачки
CN106768685A (zh) 一种能够辅助抽空的氦质谱检漏仪
CN204666315U (zh) 一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置
WO2013186517A3 (en) Separating device for downhole compressor
TW201144784A (en) Leakage detection method and vacuum processing device
BR112017011487A2 (pt) sistemas de ar de motor turbo-alimentado
RU2017102492A (ru) Способ откачивания в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов
WO2015043993A3 (de) Evakuierung einer folienkammer
JP2016537542A5 (ru)
BR112017005927A2 (pt) sistema de bombeamento para gerar um vácuo e método de bombeamento por meio deste sistema de bombeamento
JP5902740B2 (ja) 真空システム
US20190010947A1 (en) Drainage apparatus for a motorcompressor
RU2554677C1 (ru) Система уплотнений вала компрессора
RU2012104612A (ru) Винтовой компрессор сухого сжатия
RU2016143915A (ru) Устройство и способ извлечения сухого газа