RU2013127277A - Устройство обнаружения утечки - Google Patents

Устройство обнаружения утечки Download PDF

Info

Publication number
RU2013127277A
RU2013127277A RU2013127277/28A RU2013127277A RU2013127277A RU 2013127277 A RU2013127277 A RU 2013127277A RU 2013127277/28 A RU2013127277/28 A RU 2013127277/28A RU 2013127277 A RU2013127277 A RU 2013127277A RU 2013127277 A RU2013127277 A RU 2013127277A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
leak detection
inlet
rotors
detection device
mass spectrometer
Prior art date
Application number
RU2013127277/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2545468C2 (ru
Inventor
Есикадзу МАЦУМОТО
Норимаса СЕТО
Дансуке НАКАМУРА
Акихиро МАЕДА
Original Assignee
Улвак, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Улвак, Инк. filed Critical Улвак, Инк.
Publication of RU2013127277A publication Critical patent/RU2013127277A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2545468C2 publication Critical patent/RU2545468C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
    • G01M3/205—Accessories or associated equipment; Pump constructions
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

1. Устройство обнаружения утечки, включающее в себя:масс-спектрометрическую трубку, выполненную с возможностью обнаружения газа для поиска утечки; итурбомолекулярный насос, который имеет множество ступеней роторов и статоров, поочередно размещенных внутри корпуса, причем роторы прикреплены к вращающемуся валу,и который включает в себя источник привода, выполненный с возможностью приведения во вращение вращающегося вала;причем впускное отверстие турбомолекулярного насоса соединено с испытательным образцом посредством соединительной трубы, при этом устройство обнаружения утечки выполнено с возможностью выполнения обнаружения утечки, побуждая газ для поиска утечки входить в масс-спектрометрическую трубку изнутри испытательного образца, причемвпускное отверстие, сообщающееся с испытательным образцом, и соединительное отверстие, с которым соединена масс-спектрометрическая трубка, открыты в положениях, отстоящих друг от друга на поверхности стенки корпуса, причем поверхность стенки обращена к одному из роторов, который расположен на стороне предельного вакуума.2. Устройство обнаружения утечки по п.1, в котором проводимость между впускным отверстием и соединительным отверстием составляет 1/10 или меньше от эффективной скорости откачки впускного отверстия.

Claims (2)

1. Устройство обнаружения утечки, включающее в себя:
масс-спектрометрическую трубку, выполненную с возможностью обнаружения газа для поиска утечки; и
турбомолекулярный насос, который имеет множество ступеней роторов и статоров, поочередно размещенных внутри корпуса, причем роторы прикреплены к вращающемуся валу,
и который включает в себя источник привода, выполненный с возможностью приведения во вращение вращающегося вала;
причем впускное отверстие турбомолекулярного насоса соединено с испытательным образцом посредством соединительной трубы, при этом устройство обнаружения утечки выполнено с возможностью выполнения обнаружения утечки, побуждая газ для поиска утечки входить в масс-спектрометрическую трубку изнутри испытательного образца, причем
впускное отверстие, сообщающееся с испытательным образцом, и соединительное отверстие, с которым соединена масс-спектрометрическая трубка, открыты в положениях, отстоящих друг от друга на поверхности стенки корпуса, причем поверхность стенки обращена к одному из роторов, который расположен на стороне предельного вакуума.
2. Устройство обнаружения утечки по п.1, в котором проводимость между впускным отверстием и соединительным отверстием составляет 1/10 или меньше от эффективной скорости откачки впускного отверстия.
RU2013127277/28A 2010-11-16 2011-09-29 Устройство обнаружения утечки RU2545468C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010256030 2010-11-16
JP2010-256030 2010-11-16
PCT/JP2011/005491 WO2012066715A1 (ja) 2010-11-16 2011-09-29 リークディテクタ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013127277A true RU2013127277A (ru) 2014-12-27
RU2545468C2 RU2545468C2 (ru) 2015-03-27

Family

ID=46083669

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013127277/28A RU2545468C2 (ru) 2010-11-16 2011-09-29 Устройство обнаружения утечки

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20130199275A1 (ru)
EP (1) EP2642266A4 (ru)
JP (1) JP5581398B2 (ru)
KR (1) KR101456843B1 (ru)
CN (1) CN103189724B (ru)
RU (1) RU2545468C2 (ru)
TW (1) TWI519772B (ru)
WO (1) WO2012066715A1 (ru)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2770315B1 (fr) * 2013-02-21 2021-03-31 The Swatch Group Research and Development Ltd. Dispositif électronique muni de moyens de détection automatique de fuite
JP6255196B2 (ja) * 2013-09-17 2017-12-27 Ｄｏｗａサーモテック株式会社 真空排気方法及び真空排気設備
CN103925385B (zh) * 2014-04-11 2016-03-30 北京中科科仪股份有限公司 一种真空阀门和可切换流导真空阀门
US20160260594A1 (en) * 2015-03-02 2016-09-08 Bayspec, Inc. Sample Inlet and Vacuum System for Portable Mass Spectrometer
JP6464542B2 (ja) * 2015-08-31 2019-02-06 島津エミット株式会社 ヘリウムリークディテクタ
CN107091716A (zh) * 2017-04-13 2017-08-25 深圳市卓誉自动化科技有限公司 一种用于检测电池密封性的真空氦检装置和方法
KR101950798B1 (ko) 2018-03-22 2019-02-21 이승우 가스 탐지를 이용한 배관의 용접 부위 검사 장치
JP7192660B2 (ja) * 2019-05-30 2022-12-20 株式会社島津製作所 真空ポンプおよびリークディテクタ
CN111735581B (zh) * 2020-06-24 2024-08-23 安徽伽德罗工业技术有限公司 一种气体自动配比装置及其配比方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3616680A (en) * 1969-10-27 1971-11-02 Sargent Welch Scientific Co Leak detector
DE3133781A1 (de) * 1981-08-26 1983-03-10 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Fuer die durchfuehrung der gegenstrom-lecksuche geeignete turbomolekularpumpe
JPH07286928A (ja) * 1994-04-15 1995-10-31 Anelva Corp ヘリウムリークディテクタ
JP2655315B2 (ja) * 1994-06-29 1997-09-17 日本真空技術株式会社 複合分子ポンプを使用した漏洩探知装置
JPH1089260A (ja) * 1996-09-10 1998-04-07 Toshiba Corp 回転機械のクラック検出方法及びクラック検出装置
JP3657366B2 (ja) * 1996-09-12 2005-06-08 株式会社アルバック 漏洩探知方法
FR2761776B1 (fr) * 1997-04-03 1999-07-23 Alsthom Cge Alcatel Detecteur de fuite a gaz traceur
FR2787192B1 (fr) * 1998-12-10 2001-01-05 Cit Alcatel Vitesse variable sur le pompage primaire d'un detecteur de fuites par gaz traceur
DE10055057A1 (de) * 2000-11-07 2002-05-08 Pfeiffer Vacuum Gmbh Leckdetektorpumpe
DE10302987A1 (de) * 2003-01-25 2004-08-05 Inficon Gmbh Lecksuchgerät mit einem Einlass
JP4130968B2 (ja) * 2003-05-15 2008-08-13 株式会社アルバック 漏洩検知装置
DE10334455B4 (de) * 2003-07-29 2013-01-31 Pfeiffer Vacuum Gmbh Lecksuchverfahren und Lecksuchanordnung zur Durchführung des Verfahrens
US7036359B2 (en) * 2003-07-31 2006-05-02 Aisan Kogyo Kabushiki Kaisha Failure diagnostic system for fuel vapor processing apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
TW201237384A (en) 2012-09-16
WO2012066715A1 (ja) 2012-05-24
KR20130090419A (ko) 2013-08-13
KR101456843B1 (ko) 2014-11-04
US20130199275A1 (en) 2013-08-08
JP5581398B2 (ja) 2014-08-27
CN103189724B (zh) 2015-03-04
TWI519772B (zh) 2016-02-01
EP2642266A4 (en) 2017-08-09
EP2642266A1 (en) 2013-09-25
JPWO2012066715A1 (ja) 2014-05-12
RU2545468C2 (ru) 2015-03-27
CN103189724A (zh) 2013-07-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2013127277A (ru) Устройство обнаружения утечки
CN103119413B (zh) 渗漏检测装置
RU2011138067A (ru) Течеискатель для работы методом щупа
JP7142089B2 (ja) 検査対象物の密閉性をチェックするための漏れ検出器
RU2545355C2 (ru) Способ функциональной проверки течеискателя
JP4357528B2 (ja) リークディテクタ
RU2009110165A (ru) Компрессор, содержащий поршень с газовым подшипником
RU2015117250A (ru) Компрессор с уравновешиванием осевого усилия и способ уравновешивания
KR20110007946A (ko) 자기 구동 펌프용 비매설식 증기 검출기
RU2728446C2 (ru) Масс-спектрометрический течеискатель с турбомолекулярным насосом и бустерным насосом на общем валу
CN204666315U (zh) 一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置
JP2019523882A5 (ru)
CN203798516U (zh) 一种真空实验平台
RU2012155439A (ru) Компрессор турбокомпрессора, приводимого в действие выхлопными газами
CN203548214U (zh) 高真空多级罗茨泵多功能检测装置
RU2016112261A (ru) Корпус для вращающейся машины и вращающаяся машина, содержащая такой корпус
CN207300507U (zh) 氦质谱检漏仪
RU2014111458A (ru) Устройство для перекачивания текучей среды
CN105588691B (zh) 一种仿生自愈合材料漏风率的测试装置及测试方法
CN103823078A (zh) 一种水泵转速测试方法
CN203657988U (zh) 一种电机端盖的气密性检测设备
CN112649343A (zh) 一种薄膜渗透测试的腔体结构、设备及方法
RU2008101521A (ru) Способ диагностирования центробежных насосов
RU2007113928A (ru) Способ перистальтического нагнетания, шланговый насос и шланг
RU2011124992A (ru) Агрегат с радиальным потоком