CN207300507U - 氦质谱检漏仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种氦质谱检漏仪；解决的技术问题：针对背景技术中提及的现有氦质谱检漏仪存在的问题。采用的技术方案：一种氦质谱检漏仪，包括质谱室、复合分子泵、粗抽泵和细抽泵。优点，采用粗抽和细抽的检测方式，有效地提高了检测精度。

Description

氦质谱检漏仪

技术领域

本实用新型涉及一种氦质谱检漏仪。

背景技术

氦质谱检漏仪是一种常规的分析仪器设备，在国内外均广泛运用，如在电力行业，真空行业，核行业，制冷行业等。氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，是真空检漏技术中用的最普遍的检漏仪器。在科学技术的不断发展的时代，氦质谱检漏仪及其应用技术也在不断的发展与完善，仪器结构也随着应用的推广不断发生着变化。

目前，现有的氦质谱检漏仪结构复杂，生产效率低，检漏成本高，操作使用不便。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：针对背景技术中提及的现有氦质谱检漏仪存在的问题。

本实用新型的目的在于提供一种氦质谱检漏仪，该仪器结构简单，功耗低，检测效率高，最低可检漏率低，使用方便。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的具体技术方案是：

一种氦质谱检漏仪，包括质谱室、复合分子泵、粗抽泵和细抽泵；质谱室通过真空气管道设置在复合分子泵的一个进气口处，复合分子泵的另一进气口通过真空气管道连接吸枪检测阀，吸枪检测阀通过真空气管道连接吸枪接口，复合分子泵的出气口通过真空气管道分为两路检测通路；第一检测通路为，真空气管道连接粗检分子泵排气口阀，粗检分子泵排气口阀通过真空气管道连接粗抽泵的进气口，粗抽泵的出气口通过真空气管道连接粗抽泵放气阀，粗抽泵的进气口通过真空气管道连接粗检阀，粗检阀通过真空气管道连接检漏口；第二检测通路为，真空气管道连接细检分子泵排气口阀，细检分子泵排气口阀通过真空气管道连接细抽泵的进气口，细抽泵的出气口通过真空气管道连接细抽泵放气阀，细抽泵的进气口通过真空气管道连接细检阀，细检阀通过真空气管道连接检漏口；检漏口处通过真空气管道设置检漏口放气阀。

对本实用新型技术方案的改进，氦质谱检漏仪还包括第一真空计和第二真空计；第一真空计设置在复合分子泵出气口处的真空气管道上；第二真空计设置在检漏口处的真空气管道上。

本实用新型技术方案中质谱室和复合分子泵均为现有技术中应用于氦质谱检漏仪内的常规技术产品。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果是：

1)本实用新型氦质谱检漏仪，采用粗抽和细抽的检测方式，有效地提高了检测精度。

2)本实用新型氦质谱检漏仪，结构简单，功耗低，检测效率高，最低可检漏率低，使用方便。

附图说明

图1是本氦质谱检漏仪的工作气路图。

具体实施方式

下面对本实用新型技术方案进行详细说明，但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。

为使本实用新型的内容更加明显易懂，以下结合附图1和具体实施方式做进一步的描述。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例：

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1，本氦质谱检漏仪，包括质谱室、复合分子泵、粗抽泵和细抽泵；质谱室通过真空气管道设置在复合分子泵的一个进气口处，复合分子泵的另一进气口通过真空气管道连接吸枪检测阀，吸枪检测阀通过真空气管道连接吸枪接口，复合分子泵的出气口通过真空气管道分为两路检测通路；第一检测通路为，真空气管道连接粗检分子泵排气口阀，粗检分子泵排气口阀通过真空气管道连接粗抽泵的进气口，粗抽泵的出气口通过真空气管道连接粗抽泵放气阀，粗抽泵的进气口通过真空气管道连接粗检阀，粗检阀通过真空气管道连接检漏口；第二检测通路为，真空气管道连接细检分子泵排气口阀，细检分子泵排气口阀通过真空气管道连接细抽泵的进气口，细抽泵的出气口通过真空气管道连接细抽泵放气阀，细抽泵的进气口通过真空气管道连接细检阀，细检阀通过真空气管道连接检漏口；检漏口处通过真空气管道设置检漏口放气阀。第一真空计设置在复合分子泵出气口处的真空气管道上；第二真空计设置在检漏口处的真空气管道上。

本实施例的工作过程：

给整个系统通电，进入正常工作状态后，复合分子泵启动，第一真空计显示真空值达到6x102Mpa时，粗检分子泵排气口阀打开，粗抽泵启动，进行粗抽；粗抽完成后，关闭粗检分子泵排气口阀，待第一真空计显示真空值达到2x104Mpa时，细检分子泵排气口阀打开，细抽泵启动，进行细抽。

本实用新型未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种氦质谱检漏仪，其特征在于，包括质谱室、复合分子泵、粗抽泵和细抽泵；质谱室通过真空气管道设置在复合分子泵的一个进气口处，复合分子泵的另一进气口通过真空气管道连接吸枪检测阀，吸枪检测阀通过真空气管道连接吸枪接口，复合分子泵的出气口通过真空气管道分为两路检测通路；第一检测通路为，真空气管道连接粗检分子泵排气口阀，粗检分子泵排气口阀通过真空气管道连接粗抽泵的进气口，粗抽泵的出气口通过真空气管道连接粗抽泵放气阀，粗抽泵的进气口通过真空气管道连接粗检阀，粗检阀通过真空气管道连接检漏口；第二检测通路为，真空气管道连接细检分子泵排气口阀，细检分子泵排气口阀通过真空气管道连接细抽泵的进气口，细抽泵的出气口通过真空气管道连接细抽泵放气阀，细抽泵的进气口通过真空气管道连接细检阀，细检阀通过真空气管道连接检漏口；检漏口处通过真空气管道设置检漏口放气阀。

2.如权利要求1所述的氦质谱检漏仪，其特征在于，氦质谱检漏仪还包括第一真空计和第二真空计；第一真空计设置在复合分子泵出气口处的真空气管道上；第二真空计设置在检漏口处的真空气管道上。