CN106768685A - 一种能够辅助抽空的氦质谱检漏仪 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种能够辅助抽空的氦质谱检漏仪，包括分子泵、前级泵、质谱室、电磁阀、辅助抽空阀、辅助抽空泵。质谱室连接分子泵上，分子泵的排气口安装真空规管，分子泵的排气口通过电磁阀连接前级泵，前级泵进气口端再连接电磁阀分别连接在分子泵的精检口、中检口，公共管路处连接辅助抽空电磁阀、大抽速的辅助抽空泵。本发明在氦质谱检漏仪中增加辅助抽空阀、大抽速辅助抽空泵，缩短氦质谱检漏仪进入检漏压力的抽空时间，从而缩短氦质谱检漏仪对大容器检测时的检测时间，提高工作节拍。

Description

一种能够辅助抽空的氦质谱检漏仪
技术领域
本发明涉及氦质谱检漏仪领域，具体是一种能够辅助抽空的氦质谱检漏仪。
背景技术
氦质谱检漏仪是一种常见的分析仪器，在电力行业、航天行业、核工业等广泛运用，是真空检漏技术中常用的最普遍的检漏仪器。现市场上氦质谱检漏仪的分子泵的前级泵抽速不高，最大抽速约在4l/s,在对大容积工件检测时进入检漏压力的时间长，即检漏前的抽空时间过长，造成检漏节拍时间长、耗时，难以满足快速检漏节拍的需求。
发明内容 本发明的目的是提供一种能够辅助抽空的氦质谱检漏，以弥补现有技术的缺陷。
为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为：
一种能够辅助抽空的氦质谱检漏仪，其特征在于：包括质谱室、分子泵、前级泵、辅助抽空泵、第一至第六电磁阀、辅助抽空电磁阀、检漏口，所述质谱室的出气口通过管路与分子泵的进气口连接，分子泵的排气口通过管路与前级泵的进气口连接，第二电磁阀安装在分子泵、前级泵之间的管路上，第二电磁阀与前级泵进气口之间还通过旁路管路与第一电磁阀的一端连接，第二电磁阀与分子泵排气口之间还通过旁路管路连接有真空规管，所述分子泵的中检口通过管路与第三电磁阀的一端连接，分子泵的精检口通过管路与第四电磁阀的一端连接，所述第一电磁阀的另一端通过公共管路分别与第三电磁阀、第四电磁阀的另一端连接，其中公共管路与第三电磁阀连接处还通过旁路管路与第五电磁阀的一端连接，公共管路与第四电磁阀连接处还通过旁路管路与第六电磁阀的一端连接，第六电磁阀的另一端通过螺纹连接标准漏孔，标准漏孔用于对仪器进行漏率标定，所述检漏口通过管路旁路连接在公共管路与第四电磁阀连接处，所述辅助真空泵的进气口与辅助抽空电磁阀一端连接，辅助抽空电磁阀另一端旁路连接在检漏口向公共管路、第四电磁阀连接处的管路上。
所述的一种能够辅助抽空的氦质谱检漏仪，其特征在于：所述检漏口向公共管路、第四电磁阀连接处的管路上还旁路连接有真空计。
本发明的工作原理为：
在氦质谱检漏仪中增加辅助抽空阀、大抽速辅助抽空泵。氦质谱检漏仪通过增加大抽速的辅助抽空泵，缩短氦质谱检漏仪进入检漏压力的抽空时间，从而缩短氦质谱检漏仪对大容器检测时的检测时间，提高工作节拍。
本发明是一种能够辅助抽空的氦质谱检漏仪，能够实现氦质谱检漏仪检大容积工件时，快速进入检漏状态，缩短仪器在检漏时的抽空时间，提高氦质谱检漏仪的检漏节拍。
附图说明
图1为本发明结构原理图。
具体实施方式
如图1所示，一种能够辅助抽空的氦质谱检漏仪，包括质谱室4、分子泵3、前级泵2、辅助抽空泵1、第一至第六电磁阀6、7、8、9、10、辅助抽空电磁阀5、检漏口15，质谱室4的出气口通过管路与分子泵3的进气口连接，分子泵3的排气口通过管路与前级泵2的进气口连接，第二电磁阀7安装在分子泵3、前级泵2之间的管路上，第二电磁阀7与前级泵2进气口之间还通过旁路管路与第一电磁阀6的一端连接，第二电磁阀7与分子泵3排气口之间还通过旁路管路连接有真空规管14，分子泵3的中检口通过管路与第三电磁阀8的一端连接，分子泵3的精检口通过管路与第四电磁阀9的一端连接，第一电磁阀6的另一端通过公共管路分别与第三电磁阀8、第四电磁阀9的另一端连接，其中公共管路与第三电磁阀8连接处还通过旁路管路与第五电磁阀10的一端连接，公共管路与第四电磁阀9连接处还通过旁路管路与第六电磁阀11的一端连接，第六电磁阀11的另一端通过螺纹连接标准漏孔12，标准漏孔12用于对仪器进行漏率标定，检漏口15通过管路旁路连接在公共管路与第四电磁阀9连接处，辅助真空泵1的进气口与辅助抽空电磁阀5一端连接，辅助抽空电磁阀5另一端旁路连接在检漏口15向公共管路、第四电磁阀9连接处的管路上。检漏口15向公共管路、第四电磁阀9连接处的管路上还旁路连接有真空计13。
仪器上电，前级泵2、辅助抽空泵1工作，第二电磁阀7打开，待真空规管14达到要求的压力时，分子泵3启动，分子泵3完成预定转速后，质谱室4中器件上电，仪器进入待机状态。在检漏口15连接被检工件，开始检漏。仪器按下开始键，打开辅助抽空电磁阀5，辅助抽空泵1对被检工件进行抽空，待真空计13达到设定压力时（如：10000Pa,5000Pa,2000Pa)，开启第一电磁阀6，待真空计13压力值达到1500Pa时，开启第二电磁阀7，同时关闭辅助抽空电磁阀5，这时可以完成对工件粗检，待真空计压力值13达到200Pa时，关闭第一电磁阀6，开启第三电磁阀8，这时可以完成对工件中检，待真空计13压力值达到40Pa时，关闭第三电磁阀8，开启第四电磁阀9，这时可以完成对工件精检。

Claims (2)

1.一种能够辅助抽空的氦质谱检漏仪，其特征在于：包括质谱室、分子泵、前级泵、辅助抽空泵、第一至第六电磁阀、辅助抽空电磁阀、检漏口，所述质谱室的出气口通过管路与分子泵的进气口连接，分子泵的排气口通过管路与前级泵的进气口连接，第二电磁阀安装在分子泵、前级泵之间的管路上，第二电磁阀与前级泵进气口之间还通过旁路管路与第一电磁阀的一端连接，第二电磁阀与分子泵排气口之间还通过旁路管路连接有真空规管，所述分子泵的中检口通过管路与第三电磁阀的一端连接，分子泵的精检口通过管路与第四电磁阀的一端连接，所述第一电磁阀的另一端通过公共管路分别与第三电磁阀、第四电磁阀的另一端连接，其中公共管路与第三电磁阀连接处还通过旁路管路与第五电磁阀的一端连接，公共管路与第四电磁阀连接处还通过旁路管路与第六电磁阀的一端连接，第六电磁阀的另一端通过螺纹连接标准漏孔，标准漏孔用于对仪器进行漏率标定，所述检漏口通过管路旁路连接在公共管路与第四电磁阀连接处，所述辅助真空泵的进气口与辅助抽空电磁阀一端连接，辅助抽空电磁阀另一端旁路连接在检漏口向公共管路、第四电磁阀连接处的管路上。
2.根据权利要求1所述的一种能够辅助抽空的氦质谱检漏仪，其特征在于：所述检漏口向公共管路、第四电磁阀连接处的管路上还旁路连接有真空计。
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