CN106383012A - 一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法，由氦质谱检漏仪专用吸枪和氦质谱检漏仪组成。通过控制吸枪的流量，连接到氦质谱检漏仪分子泵的中检口，利用空气中稳定的氦气浓度替代正压漏孔，对吸枪进行定标，从而实现没有正压漏孔的情况下进行定标，避免利用正压漏孔定标时的误差，准确方便，节省检漏仪使用维护成本，提高检漏仪的使用效率。

Description

一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法
技术领域
本发明涉及氦质谱检漏仪吸枪控制方法领域，具体是一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法。
背景技术
随着检漏技术的发展，氦质谱检漏仪得到了全面的应用，由于氦质谱检漏检测精度高，受环境等因素影响小，以及对检测工件与工作人员不造成任何的伤害，没有什么危险性，近年来在国内密封性检测市场得到了全面的推广，在多数行业渐渐代替了传统的水检、压降法检测、卤素法检测等。氦质谱检漏仪检漏方法总结起来大致分为三种：喷氦法、背压法与吸枪法，工件类型及检漏的要求不一样，检漏方法也不尽相同。对于一些压力容器，压力管道及管路等通常使用吸枪法进行检漏，而在检漏之前，首先需要用氦标准漏孔校准检漏仪，在氦质谱仪使用过程中，大多仪器现阶段配有负压标准漏孔而没有正压标准漏孔，配备一个正压漏孔价格也是比较昂贵的，如英福康的TL4-6型正压可调型标准漏孔，市场价约1.5-2万元人民币，且漏孔存在衰减，一年需要进行校准和维护，又产生了一笔校准和维护费用，大大提高了检漏仪使用成本，其次在使用正压漏孔进行标定时，吸枪枪口不能将漏孔漏出的氦气100%的吸入到吸枪内部，即标准漏孔的漏率始终要大于仪器定标时的漏率，而且定标操作时吸枪口与漏孔的角度和距离，对漏率的大小有很大的关系，会导致检漏时的漏率误差更大。
发明内容 本发明的目的是提供一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法，以在没有正压标准漏孔的情况下进行吸枪定标，大大降低氦质谱检漏仪的使用成本，并提高氦质谱检漏仪的使用效率。
为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为：
一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法，其特征在于：将氦质谱检漏仪用吸枪连接在氦质谱检漏仪的检漏口上，并将吸枪放置在无氦气污染的空气环境中，定标时空气中的氦气通过吸枪枪口进入氦质谱检漏仪中，通过氦质谱检漏仪程序控制氦质谱检漏仪内部阀门开启，使氦气进入氦质谱检漏仪中分子泵中检口，氦气逆扩散进入氦质谱检漏仪的质谱系统，被电离、接收和放大，此时的氦离子流采样为标漏信号，然后将吸枪枪口用密封垫堵住，稳定后采样为本底信号，空气定标即完成。
所述的一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法，其特征在于：所述氦质谱检漏仪为逆扩散型，氦质谱检漏仪中机械泵采用油泵，作为分子泵的前级真空泵，分子泵采用复合型分子泵。
所述的一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法，其特征在于：所述氦质谱检漏仪用吸枪具有DN25接口，吸枪枪口带有精密过滤器可过滤粉尘颗粒。
本发明采用空气定标后再用正压漏孔验证1.0E-5Pa.m3/s，1.0E-6Pa.m3/s，5.0E-7Pa.m3/s，漏率误差在±10%以内。
本发明采用用空气进行定标吸枪检漏，检漏精度达到吸枪检漏的要求，检测范围在1.0E-3Pa.m3/s~1.0E-8Pa.m3/s之间，满足大部分吸枪检漏的范围要求。
本发明采用空气中稳定的氦气浓度进行定标，克服了利用正压漏孔定标时操作带来的误差，检漏精度和准确性上达到吸枪检漏的要求，节省了正压漏孔的使用，大大节省了检漏仪使用和维护成本，提升氦质谱检漏仪在吸枪法检漏上的应用。
附图说明
图1为本发明原理示意图。
具体实施方式
一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法，将氦质谱检漏仪用吸枪连接在氦质谱检漏仪的检漏口上，并将吸枪放置在无氦气污染的空气环境中，定标时空气中的氦气通过吸枪枪口进入氦质谱检漏仪中，通过氦质谱检漏仪程序控制氦质谱检漏仪内部阀门开启，使氦气进入氦质谱检漏仪中分子泵中检口，氦气逆扩散进入氦质谱检漏仪的质谱系统，被电离、接收和放大，此时的氦离子流采样为标漏信号，然后将吸枪枪口用密封垫堵住，稳定后采样为本底信号，空气定标即完成。
氦质谱检漏仪为逆扩散型，氦质谱检漏仪中机械泵采用油泵，作为分子泵的前级真空泵，抽速为0.5L/S，分子泵采用复合型分子泵，抽速为30-50L/S。氦质谱检漏仪用吸枪具有DN25接口，吸枪枪口带有精密过滤器可过滤粉尘颗粒，过滤精度5微米，流量为2.0 ml/s。
如图1所示，将氦质谱检漏仪专用吸枪1连接在氦质谱检漏仪检漏口2上，通过中检阀门4进入分子泵7的中检口，前级泵6通过阀门5连接分子泵的排气口。
吸枪定标时，吸枪1放置在空气中，接在检漏口2上，前级泵6通过预抽阀3，对吸枪进行抽空，当压力达到时，中检阀门4打开，空气中的氦气进入分子泵7中检口，大部分气体通过分子泵7，经过阀门5，被前级泵6抽空排出，一部分气体逆扩散进入质谱室8，被检测到，此时稳定的氦离子信号为标漏信号，
将吸枪1的枪口用密封垫堵住，此时分子泵6通过中检阀门4，对吸枪1进行抽空，枪口压力下降，吸枪中的氦气浓度降低，待氦离子信号稳定即为本底信号。这样氦质谱检漏仪就可实现用空气进行吸枪定标。

Claims (3)

1.一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法，其特征在于：将氦质谱检漏仪用吸枪连接在氦质谱检漏仪的检漏口上，并将吸枪放置在无氦气污染的空气环境中，定标时空气中的氦气通过吸枪枪口进入氦质谱检漏仪中，通过氦质谱检漏仪程序控制氦质谱检漏仪内部阀门开启，使氦气进入氦质谱检漏仪中分子泵中检口，氦气逆扩散进入氦质谱检漏仪的质谱系统，被电离、接收和放大，此时的氦离子流采样为标漏信号，然后将吸枪枪口用密封垫堵住，稳定后采样为本底信号，空气定标即完成。
2.根据权利要求1所述的一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法，其特征在于：所述氦质谱检漏仪为逆扩散型，氦质谱检漏仪中机械泵采用油泵，作为分子泵的前级真空泵，分子泵采用复合型分子泵。
3.根据权利要求1所述的一种利用空气进行的氦质谱检漏仪吸枪定标检漏方法，其特征在于：所述氦质谱检漏仪用吸枪具有DN25接口，吸枪枪口带有精密过滤器可过滤粉尘颗粒。
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