CN206609571U - 一种真空镀膜腔体检漏系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种真空镀膜腔体检漏系统，包括：被检真空腔体、检漏装置、电控系统，被检真空腔体下侧连接有检漏装置，电控系统连接控制检漏装置，所述被检真空腔体侧壁上装有破空装置I和真空检测元件I，所述检漏装置包括高真空泵、前级泵组I、前级泵组II、真空检测元件、破空装置、氦质谱检漏仪、喷氦系统，高真空泵通过法兰盘直接安装在被检真空腔体的侧壁上，前级泵组I、前级泵组II通过真空管道串联，后通过高真空蝶阀I与高真空泵串联；本实用新型采用自动控制系统，对电气元器件具有一键操作功能；本实用新型具有检漏灵敏度高，能够精确定位漏孔位置并可定量评判漏点大小等优点。同时，本实用新型具有结构简单，易操作的优点。

Description

一种真空镀膜腔体检漏系统

技术领域

本实用新型涉及真空腔体检漏技术领域，具体为一种真空镀膜腔体检漏系统。

背景技术

玻璃改性工艺用真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的玻璃镀膜。镀膜玻璃生产线真空装备是镀膜玻璃生产线中关键设备之一，镀膜段高本底真空和腔体的低漏率是生产优质镀膜玻璃的前提和保证。因此，所加工的真空镀膜腔体不仅要求快速的抽空，而且要求本底真空＜8×10^-6mbar，腔体漏率＜1×10^-7mbar.l/s，为保证本底真空及漏率，真空腔体必须采用气密性焊接方式，对焊缝质量要求极为严格，只有达到以上关键性工艺技术，才能最终保证镀膜玻璃膜层的均匀性和稳定性。

传统的检漏方法主要有加压检漏法和真空检漏法。加压检漏法在被检容器内充入一定压力的卤素气体，当容器上存在漏孔时，气体便从漏孔中逸出，检漏时，用探头在外部寻找漏孔。该方法存在检漏灵敏度低和不能精确定位的问题。真空检漏法是将被检容器内部抽空后，再把试验物质施于容器外表可疑位置。如有漏孔，试验物质便通过漏孔进入容器，通过一些方法或仪器指示出来，从而可判断出漏孔的位置和大小。玻璃镀膜腔体制造厂家一般利用扩散泵进行抽真空检漏，但该方法存在本底真空度低和高污染的问题，并且对更微小的漏孔难以检漏。

发明内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种真空镀膜腔体检漏系统，以解决上述背景技术中的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种真空镀膜腔体检漏系统，包括：被检真空腔体、检漏装置、电控系统，被检真空腔体下侧连接有检漏装置，电控系统连接控制检漏装置，所述被检真空腔体侧壁上装有破空装置I和真空检测元件I，所述检漏装置包括高真空泵、前级泵组I、前级泵组II、高真空蝶阀I、高真空蝶阀II、真空检测元件、破空装置、氦质谱检漏仪、喷氦系统，高真空泵通过法兰盘直接安装在被检真空腔体的侧壁上，前级泵组I、前级泵组II通过真空管道串联，后通过高真空蝶阀I与高真空泵串联；在高真空蝶阀I与前级泵组I之间的主真空管道上，通过三通管道与被检真空腔体之间设有一支路真空管道，所述主真空管道和支路真空管道在适当位置通过波纹管连接，所述支路真空管道与被检真空腔体通过高真空蝶阀II连接；高真空蝶阀I与前级泵组I之间的真空管道上安装有真空检测元件II和破空装置II，并且预留检漏口阀门，氦质谱检漏仪通过检漏口阀门连接到真空泵抽系统中；所述高真空泵、前级泵组I、前级泵组II、高真空蝶阀I、高真空蝶阀II、真空检测元件I、真空检测元件II通过电缆与电控系统连接。

所述前级泵组I为罗茨泵，前级泵组II为旋片泵或螺杆泵。

所述高真空泵为涡轮分子泵。

所述高真空泵的排气口通过手动角阀以及波纹管连接到主抽气管路中。

所述高真空泵为水冷泵，且在循环冷却管路上需串联水流量开关。

所述破空装置I通过气动角阀I连接到被检真空腔体和真空管道上,破空装置II通过气动角阀II连接到被检真空腔体和真空管道上，所述气动角阀I、气动角阀II通过电缆与电控系统连接。

所述真空检测元件I为复合电离规，可检测真空度范围5x10^-9～1000mbar；所述真空检测元件I通过手动角阀与被检真空腔体连接。

所述真空检测元件II为标准皮拉尼规，可检测真空度范围5x10^-4～1000mbar；所述真空检测元件II通过KF型法兰接口与主真空管道连接。

与已公开技术相比，本实用新型存在以下优点：本实用新型采用自动控制系统，对电气元器件具有一键操作功能；本实用新型具有检漏灵敏度高，能够精确定位漏孔位置并可定量评判漏点大小等优点。同时，本实用新型具有结构简单，易操作的优点。

附图说明

图1为本实用新型的检漏系统结构示意图。

图2为本实用新型的检漏方法流程示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的技术手段、创作特征、工作流程、使用方法达成目的与功效易于明白了解，下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1、图2所示，一种真空镀膜腔体检漏系统，包括：被检真空腔体1、检漏装置、电控系统，被检真空腔体1下侧连接有检漏装置，电控系统连接控制检漏装置，所述被检真空腔体1侧壁上装有破空装置I2和真空检测元件I3，所述检漏装置包括高真空泵4、前级泵组I11、前级泵组II12、高真空蝶阀I7、高真空蝶阀II14、真空检测元件II8、破空装置II9、氦质谱检漏仪15、喷氦系统16，高真空泵4通过法兰盘直接安装在被检真空腔体1的侧壁上，前级泵组I11、前级泵组II12通过真空管道串联，后通过高真空蝶阀I7与高真空泵4串联；在高真空蝶阀I7与前级泵组I11之间的主真空管道上，通过三通管道与被检真空腔体1之间设有一支路真空管道，所述主真空管道和支路真空管道在适当位置通过波纹管连接，所述支路真空管道与被检真空腔体1通过高真空蝶阀II14连接；高真空蝶阀I7与前级泵组I11之间的真空管道上安装有真空检测元件II8和破空装置II9，并且预留检漏口阀门13，氦质谱检漏仪15通过检漏口阀门13连接到真空泵抽系统中；所述高真空泵4、前级泵组I11、前级泵组II12、高真空蝶阀I7、高真空蝶阀II14、真空检测元件I3、真空检测元件II8通过电缆与电控系统17连接。

具体的，所述前级泵组I11为罗茨泵，前级泵组II12为旋片泵或螺杆泵。

具体的，所述高真空泵4为涡轮分子泵，根据工艺要求可多台并联使用。

具体的，所述高真空泵4的排气口通过手动角阀501以及波纹管连接到主抽气管路中。

具体的，所述高真空泵4为水冷泵，且在循环冷却管路上需串联水流量开关6。

具体的，所述破空装置I2通过气动角阀I101连接到被检真空腔体1和真空管道上,破空装置II9通过气动角阀II102连接到被检真空腔体1和真空管道上，所述气动角阀I101、气动角阀II102通过电缆与电控系统17连接。

具体的，所述真空检测元件I3为复合电离规，可检测真空度范围5x10^-9～1000mbar；所述真空检测元件I3通过手动角阀502与被检真空腔体1连接。

具体的，所述真空检测元件II8为标准皮拉尼规，可检测真空度范围5x10^-4～1000mbar；所述真空检测元件II8通过KF型法兰接口与主真空管道连接。

实施例1

一种真空镀膜腔体检漏系统，包括：被检真空腔体1、检漏装置、电控系统，被检真空腔体1下侧连接有检漏装置，电控系统连接控制检漏装置，所述被检真空腔体1侧壁上装有破空装置I2和真空检测元件I3，所述检漏装置包括高真空泵4、前级泵组I11、前级泵组II12、高真空蝶阀I7、真空检测元件II8、破空装置II9、氦质谱检漏仪15、喷氦系统16以及电控系统17，高真空泵4通过法兰盘直接安装在被检真空腔体1的侧壁上，前级泵组I11、前级泵组II 12通过真空管道串联，后通过高真空蝶阀I7与高真空泵4串联；高真空蝶阀I7与前级泵11之间的真空管道上安装有真空检测元件II8和破空装置II9，并且预留检漏口阀门13，氦质谱检漏仪15通过检漏口阀门13连接到真空泵抽系统中；其中，高真空泵4、前级泵组I11、前级泵组II 12、高真空蝶阀I7、真空检测元件I3、真空检测元件II 8等通过电缆与电控系统17连接。

在该实施例中，前级泵组I11、前级泵组II 12为罗茨泵和旋片泵的组合，或者罗茨泵和螺杆泵的组合，通过真空泵的合理匹配，达到提高抽真空的效率。高真空泵4采用涡轮分子泵，且根据工艺要求可多台并联使用。高真空泵4的排气口通过手动角阀501以及波纹管连接到主抽气管路中，方便连接的同时，可根据工艺需要通过手动角阀501及时隔离开某台分子泵。高真空泵4为水冷泵，且在循环冷却管路上需串联水流量开关6，用以实时监测分子泵冷却水流量，防止意外断水对分子泵的损坏。破空装置I2、破空装置II9通过气动角阀I101、气动角阀II102分别连接到被检真空腔体1和主真空管道上，所述气动角阀I101、气动角阀II102通过电缆与电控系统17连接。安装在被检真空腔体1上的真空检测元件I3为复合电离规，可检测真空度范围5x10^-9～1000mbar，并通过手动角阀502与被检真空腔体1连接。安装在主真空管道上的真空检测元件II8为标准皮拉尼规，可检测真空度范围5x10^-4～1000mbar，并通过KF型法兰接口与主真空管道直接连接。主真空管道在适当位置可设置波纹管连接，以减小真空泵工作时的震动对整个系统的影响。

进行真空检漏时，S101首先检查电气接线及各管路连接，确保各电气元器件接线正确以及硬件管路连接正确；S102接通柜外电源，闭合柜内断路器；S103开启循环冷却水系统；S104在电控显示屏上依次按下旋片泵或螺杆泵和罗茨泵启动按钮；S105打开分子泵4管路手动角阀，至最大开度；打开主真空管道气动蝶阀7；S106待被检真空腔体1真空度达到8x10^-2mbar时，在电控显示屏上按下分子泵4启动按钮；S107待被检真空腔体1真空度达到5x10^-5mbar时，开启检漏仪15，待自检完成后，打开检漏口阀门13，此时可对被检真空腔体1利用喷氦系统16进行检漏操作。待S108检漏完成后，S109关闭分子泵4；S110等待15～20分钟，待分子泵4停止之后关闭主真空管道气动蝶阀I7；S111在电控显示屏上依次关闭罗茨泵和旋片泵或螺杆泵；S112依次打开主真空管道气动角阀I101和腔体气动角阀II102，进行破空；S113断开循环冷却水；S114断开柜内断路器，断开柜外电源，完成真空镀膜腔体的检漏。

该实施例具有本底真空度高，检漏精度高，能够检出更微小的漏点，且定位精确，适应性强。

实施例2

一种真空镀膜腔体检漏系统，包括：被检真空腔体1、检漏装置、电控系统，被检真空腔体1下侧连接有检漏装置，电控系统连接控制检漏装置，所述被检真空腔体1侧壁上装有破空装置I2和真空检测元件I3，所述检漏装置包括罗茨泵、旋片泵或螺杆泵、高真空蝶阀II14、真空检测元件II8、破空装置II9、氦质谱检漏仪15、喷氦系统16以及电控系统17，罗茨泵、旋片泵或螺杆泵通过真空管道串联，后通过高真空蝶阀II14与被检真空腔体1连接；高真空蝶阀II14与罗茨泵之间的真空管道上安装有真空检测元件II8和破空装置II9，破空装置I2、破空装置I 9通过气动角阀I101、气动角阀II102分别连接到被检真空腔体1和真空管道上，所述气动角阀I101、气动角阀II102通过电缆与电控系统17连接。安装在被检真空腔体1上的真空检测元件I3为复合电离规，可检测真空度范围5x10^-9～1000mbar，并通过手动角阀502与被检真空腔体1连接。安装在真空管道上的真空检测元件II8为标准皮拉尼规，可检测真空度范围5x10^-4～1000mbar，并通过KF型法兰接口与主真空管道直接连接。真空管道预留检漏口阀门13，氦质谱检漏仪15通过检漏口阀门13连接到真空泵抽系统中。真空管道在适当位置可设置波纹管连接，以减小真空泵工作时的震动对整个系统的影响。其中，罗茨泵、旋片泵或螺杆泵、高真空蝶阀II14、真空检测元件I3、真空检测元件II8等通过电缆与电控系统17连接。

进行真空检漏时，首先检查电气接线及各管路连接，确保各电气元器件接线正确以及硬件管路连接正确；接通柜外电源，闭合柜内断路器；如真空泵需水冷，则开启循环冷却水系统，并在冷却管路上安装水流量开关6；在电控显示屏上依次按下旋片泵或螺杆泵和罗茨泵启动按钮；打开真空管道气动蝶阀II14，对被检真空腔体1进行抽真空；待腔体真空度稳定之后，开启检漏仪15；待自检完成后，打开检漏口阀门13，此时可对被检真空腔体1利用喷氦系统16进行检漏操作。待检漏完成后，关闭真空管道气动蝶阀II14；在电控显示屏上依次关闭罗茨泵和旋片泵或螺杆泵；依次打开真空管道气动角阀I101、气动角阀II102，进行破空；断开循环冷却水；断开柜内断路器，断开柜外电源，完成真空镀膜腔体的检漏。

该实施例结构简单，操作方便，能够检出一般性的漏点，灵敏度较高。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征及本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种真空镀膜腔体检漏系统，包括：被检真空腔体、检漏装置、电控系统，其特征在于：被检真空腔体下侧连接有检漏装置，电控系统连接控制检漏装置，所述被检真空腔体侧壁上装有破空装置I和真空检测元件I，所述检漏装置包括高真空泵、前级泵组I、前级泵组II、高真空蝶阀I、高真空蝶阀II、真空检测元件、破空装置、氦质谱检漏仪、喷氦系统，高真空泵通过法兰盘直接安装在被检真空腔体的侧壁上，前级泵组I、前级泵组II通过真空管道串联，后通过高真空蝶阀I与高真空泵串联；在高真空蝶阀I与前级泵组I之间的主真空管道上，通过三通管道与被检真空腔体之间设有一支路真空管道，所述主真空管道和支路真空管道在适当位置通过波纹管连接，所述支路真空管道与被检真空腔体通过高真空蝶阀II连接；高真空蝶阀I与前级泵组I之间的真空管道上安装有真空检测元件II和破空装置II，并且预留检漏口阀门，氦质谱检漏仪通过检漏口阀门连接到真空泵抽系统中；所述高真空泵、前级泵组I、前级泵组II、高真空蝶阀I、高真空蝶阀II、真空检测元件I、真空检测元件II通过电缆与电控系统连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔体检漏系统，其特征在于：所述前级泵组I为罗茨泵，前级泵组II为旋片泵或螺杆泵；所述高真空泵为涡轮分子泵。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔体检漏系统，其特征在于：所述高真空泵的排气口通过手动角阀以及波纹管连接到主抽气管路中。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔体检漏系统，其特征在于：所述高真空泵为水冷泵，且在循环冷却管路上需串联水流量开关。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔体检漏系统，其特征在于：所述破空装置I通过气动角阀I连接到被检真空腔体和真空管道上,破空装置II通过气动角阀II连接到被检真空腔体和真空管道上，所述气动角阀I、气动角阀II通过电缆与电控系统连接。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔体检漏系统，其特征在于：所述真空检测元件I为复合电离规，可检测真空度范围5x10^-9～1000mbar；所述真空检测元件I通过手动角阀与被检真空腔体连接。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔体检漏系统，其特征在于：所述真空检测元件II为标准皮拉尼规，可检测真空度范围5x10^-4～1000mbar；所述真空检测元件II通过KF型法兰接口与主真空管道连接。