CN104697726A - 工件检漏装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种工件检漏装置，包括集气箱、第一充气装置、排气装置、抽真空装置、第二充气装置、查漏仪以及氦气回收装置，集气箱为可封闭的，用于容纳待测工件及收集待测工件泄漏的示漏气体；集气箱的内部设置有快速接头，快速接头通过管道分别与设置在集气箱的外部的第一充气装置、排气装置、抽真空装置、第二充气装置以及氦气回收装置连通，查漏仪设置在集气箱的外部，查漏仪的吸枪可延伸至集气箱的内部。本发明的工件检漏装置，结构简单、制造维护成本低、自动化程度高、抗干扰能力强、检漏精度高。

Description

工件检漏装置

技术领域

本发明涉及空调器生产技术领域，特别是涉及一种用于对空调器制冷系统的工件进行检漏的工件检漏装置。

背景技术

空调器是压力驱动下的制冷剂循环产品，必须保证整个制冷剂的循环系统严格密封无泄漏。而空调器的生产包含多道加工、连接工序，因而需要对各道加工工序生产的制冷剂系统的连接工件实施可靠的检漏。

目前的工件检漏，普遍采用真空箱式检漏或常压开放吸枪检漏方法。然而，采用真空箱式检漏，设备投入大、结构复杂，且设备的维护成本较高，而且在“充示漏气体”工序后，需人工将工件搬到真空箱，自动化程度较低；采用常压开放吸枪检漏，由于抗干扰能力差，所以检漏精度低。

发明内容

基于此，有必要针对现有技术的缺陷和不足，提供一种结构简单、设备制造维护成本低、自动化程度高、抗干扰能力强、检漏精度高的工件检漏装置。

为实现本发明目的而提供的工件检漏装置，包括集气箱、第一充气装置、排气装置、抽真空装置、第二充气装置、查漏仪以及氦气回收装置；

所述集气箱为可封闭的，用于容纳待测工件及收集所述待测工件泄漏的示漏气体；

所述集气箱的内部设置有快速接头，所述快速接头通过管道分别与设置在所述集气箱的外部的所述第一充气装置、排气装置、抽真空装置、第二充气装置以及氦气回收装置连通；

所述查漏仪设置在所述集气箱的外部，所述查漏仪的吸枪可延伸至所述集气箱的内部。

在其中一个实施例中，所述集气箱的内部还设置有扰流风机，所述扰流风机用于对所述集气箱的内部的气体进行吹扫，平衡所述集气箱的内部的氦气分压。

在其中一个实施例中，所述第一充气装置包括第一压力计、第一电磁阀以及空气高压罐；

所述空气高压罐通过所述管道的第一子管道与所述快速接头连通；

所述第一压力计和第一电磁阀依次设置在所述第一子管道上，并位于所述空气高压罐和所述快速接头之间；

当所述第一电磁阀处于开启状态时，所述空气高压罐通过所述快速接头向所述待测工件中充入空气。

在其中一个实施例中，所述第一充气装置还包括第一压力继电器和高压空气管；

所述高压空气管通过第一子管道与所述空气高压罐连通；

所述第一压力继电器设置在所述高压空气管上。

在其中一个实施例中，所述排气装置包括第二电磁阀和空气低压罐；

所述空气低压罐通过所述管道的第二子管道与所述快速接头连通，所述第二电磁阀设置在所述第二子管道上，并位于所述空气低压罐和所述快速接头之间；

当所述第二电磁阀处于开启状态时，所述待测工件中的高压空气依次通过所述快速接头、所述第二子管道、所述空气低压罐排出。

在其中一个实施例中，所述排气装置还包括第一消音器，所述第一消音器设置在所述第二子管道的末端。

在其中一个实施例中，所述抽真空装置包括第二压力继电器、第三电磁阀以及第一机械泵；

所述第一机械泵通过所述管道的第三子管道与所述快速接头连通，所述第二压力继电器和所述第三电磁阀依次设置在所述第三子管道上，并位于所述第一机械泵和所述快速接头之间。

在其中一个实施例中，所述抽真空装置还包括第二消音器，所述第二消音器设置在所述第三子管道的末端。

在其中一个实施例中，所述第二充气装置包括第四电磁阀、第二压力计以及氦气高压罐；

所述氦气高压罐通过所述管道的第四子管道与所述快速接头连通；

所述第四电磁阀设置在所述第四子管道上，并位于所述氦气高压罐和所述快速接头之间；

所述第二压力计设置在所述氦气高压罐上，用来检测所述氦气高压罐中的氦气压力；

当所述第四电磁阀处于开启状态时，所述氦气高压罐通过所述快速接头向所述待测工件中充入氦气。

在其中一个实施例中，所述第二充气装置还包括油过滤器、压缩机、第五电磁阀以及氦气瓶组；

所述第四子管道的末端与所述氦气瓶组连接；

所述油过滤器、压缩机、第五电磁阀依次设置在所述氦气高压罐和所述氦气瓶组之间的所述第四子管道上；

所述油过滤器的出口设置有氦气检测仪。

在其中一个实施例中，所述氦气回收装置包括第六电磁阀、氦气低压罐、第三压力计、第三压力继电器以及第二机械泵；

所述氦气低压罐和第二机械泵依次通过所述管道的第五子管道与所述快速接头连通；

所述第三压力计设置在所述氦气低压罐上，用来检测所述氦气低压罐中的氦气压力；

所述第六电磁阀和第三压力继电器设置在所述第五子管道上，所述第六电磁阀位于所述氦气低压罐和所述快速接头之间，所述第三压力继电器位于所述氦气低压罐和第二机械泵之间。

在其中一个实施例中，所述氦气回收装置还包括第七电磁阀、第八电磁阀以及第六管道；

所述第六管道的一端与所述压缩机和第五电磁阀之间的所述第四子管道连通，另一端与所述氦气低压罐和第三压力继电器之间的所述第五子管道连通；

所述第七电磁阀设置在所述第六管道上；

所述第八电磁阀设置在所述第五子管道的末端；

所述第五子管道的末端与所述压缩机和第五电磁阀之间的所述第四子管道连通。

在其中一个实施例中，所述空气高压罐中的空气压力为4.0-4.2Mpa，所述高压空气管中的空气压力为4.2-4.5Mpa。

在其中一个实施例中，所述氦气高压罐中的氦气压力为4.0-4.2Mpa，浓度为5%-60%；所述氦气瓶组中的氦气压力为4.2-4.5Mpa，浓度为20%-70%。

本发明的有益效果：本发明提供的工件检漏装置，首先，通过设置第一充气装置和排气装置，对集气箱内的待测工件进行检大漏；然后，通过设置抽真空装置，对集气箱内的待测工件进行抽真空；接着，通过设置第二充气装置和查漏仪，向集气箱内的待测工件充示漏气体，静置后再进行检漏；最后，通过设置氦气回收装置对示漏气体进行回收，循环利用，降低成本，且结构简单，设备生产和维护成本低。工作时，将待测工件置于集气箱的内部，并使待测工件与快速接头对接，当集气箱的门阀关闭后，集气箱形成一个密闭腔室，依次对集气箱内的待测工件进行检大漏、抽真空、充示漏气体、静置、检漏、示漏气体回收工序,抗干扰能力强，检测精度高、自动化程度高。本发明提供的工件检漏装置，结构简单、设备制造和维护成本低、自动化程度高、抗干扰能力强、检漏精度高。

附图说明

为了使本发明的工件检漏装置的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合具体附图及具体实施例，对本发明工件检漏装置进行进一步详细说明。

图1为本发明的工件检漏装置的一个实施例的结构图；

图2为图1所示的工件检漏装置的具体结构示意图；

图3为通过标准漏孔（漏率：2.58E-5Pam3s-1）向待测工件内充4.2MPa浓度50%混合氦气，静置3分钟后，未开启内置扰流风机，查出的漏率分布示意图；

图4为通过标准漏孔（漏率：2.58E-5Pam3s-1）向待测工件内充4.2MPa浓度50%混合氦气，静置3分钟后，开启内置扰流风机，查出的漏率分布示意图；

图5为通过标准漏孔（漏率：2.58E-5Pam3s-1）向待测工件内充4.2MPa浓度50%混合氦气，静置一定时间（横坐标），开启内置扰流风机，扰流3-60s，查出的漏率（纵坐标）随静置时间（横坐标）的分布示意图；

其中，集气箱100、第一充气装置200、排气装置300、抽真空装置400、第二充气装置500、查漏仪600、氦气回收装置700、快速接头110、扰流风机120、待测工件130、第一子管道10、第一压力计210、第一电磁阀220、空气高压罐230、第一压力继电器240、高压空气管250、第二子管道20、第二电磁阀310、空气低压罐320、第三子管道30、第二压力继电器410、第三电磁阀420、第一机械泵430、消音器440、第四子管道40、第四电磁阀510、氦气高压罐520、第二压力计530、油过滤器540、压缩机550、第五电磁阀560、氦气瓶组570、吸枪610、第五子管道50、第六电磁阀710、氦气低压罐720、第三压力计730第三压力计730、第三压力继电器740、第二机械泵750、第七电磁阀760、第八电磁阀770、第六管道60。

具体实施方式

本发明提供的工件检漏装置的实施例，如图1至图5所示。

本发明提供的工件检漏装置的一个实施例，如图1所示，包括集气箱100、第一充气装置200、排气装置300、抽真空装置400、第二充气装置500、查漏仪600以及氦气回收装置700；集气箱100为可封闭的，用于容纳待测工件130及收集所述待测工件130泄漏的示漏气体，集气箱100的内部设置有快速接头110，快速接头110通过管道分别与设置在集气箱100的外部的第一充气装置200、排气装置300、抽真空装置400、第二充气装置500以及氦气回收装置700连通，查漏仪600设置在集气箱100的外部，查漏仪600的吸枪610可延伸至集气箱100的内部。工作时，将待测工件130置于集气箱100的内部，并使待测工件130与快速接头110对接，当集气箱100的门阀关闭后，集气箱100形成一个密闭腔室。

本发明提供的工件检漏装置，首先，通过设置第一充气装置和排气装置，对集气箱内的待测工件进行检大漏；然后，通过设置抽真空装置，对集气箱内的待测工件进行抽真空；接着，通过设置第二充气装置和查漏仪，向集气箱内的待测工件充示漏气体，静置后再进行检漏；最后，通过设置氦气回收装置对示漏气体进行回收，循环利用，降低成本。传统的真空箱式检漏，需要在真空（50Pa以下）环境中进行，工序多、容器密闭性要求高，配套设备多，需要配备多级真空泵，设备结构复杂、制造和维护成本高，而且在“充示漏气体”工序后，需人工将工件搬到真空箱，自动化程度较低。常压开放吸枪检漏，在常压环境中进行，不需要密闭性容器，但抗干扰能力差，检漏精度低。而本发明提供的工件检漏装置在使用时，将待测工件置于集气箱的内部，并使待测工件与快速接头对接，当集气箱的门阀关闭后，集气箱形成一个密闭腔室，依次对集气箱内的待测工件进行检大漏、抽真空、充示漏气体、静置、检漏、示漏气体回收工序,结构简单，设备生产和维护成本低，抗干扰能力强，检漏精度高，自动化程度高。

作为一种可实施方式，参加图1至图2，集气箱100的内部还设置有扰流风机120，扰流风机120，用于对集气箱100的内部的气体进行吹扫，平衡集气箱100的内部的氦气分压。通过在集气箱的内部设置扰流风机，在向集气箱内的待测工件充示漏气，静置后进行检漏前开启扰流风机，可提高氦气分压的均匀度，从而降低检漏静置时间，提升检漏效率。

下面，参见图2，对本发明提供的工件检漏装置的各个组成部分的具体结构进行说明：

上述管道包括第一子管道10、第二子管道20、第三子管道30、第四子管道40以及第五子管道50。

作为一种可实施方式，第一充气装置200包括第一压力计210、第一电磁阀220和空气高压罐230，空气高压罐230通过第一子管道10与快速接头110连通，第一压力计210和第一电磁阀220依次设置在第一子管道10上，并位于空气高压罐230和快速接头110之间。当第一电磁阀220处于开启状态时，空气高压罐230通过快速接头110向待测工件130中充入空气。第一压力计210，用于在充气结束后，检测第一子管道10的压降。具体实现过程为：充气结束后，关闭第一电磁阀220，并在第一预设时间（依据待测工件130容积大小取值）内进行保压，一般为10—15s，通过检测第一压力计210在保压期间的压降值△P1，来判断检大漏是否合格。若△P1大于预设压降值，则判断检大漏不合格，启动报警指示。

进一步地，第一充气装置200还包括第一压力继电器240和高压空气管250，高压空气管250通过第一子管道10与空气高压罐230连通，第一压力继电器240控制高压空气管250的开启或关闭，第一压力继电器240可设置在高压空气管250上，也可设置在高压空气管250与空气高压罐230之间的第一子管道10上（参见图2）。空气高压罐230中的空气压力范围为4.0-4.2Mpa，高压空气管250中的空气压力为4.2-4.5Mpa。当空气高压罐230中的空气压力降低后，例如，压力降低到4.0Mpa，第一压力继电器240得电开启，并延时自动关闭，在第一压力继电器240开启时，高压空气管250与空气高压罐230连通，向空气高压罐230补充空气，加压到4.2Mpa，以更好的符合检漏要求。

作为一种可实施方式，排气装置300包括第二电磁阀310和空气低压罐320，空气低压罐320通过第二子管道20与快速接头110连通，第二电磁阀310设置在第二子管道20上，并位于空气低压罐320和快速接头110之间。在充气、保压结束后，第二电磁阀310开启并延时关闭，当第二电磁阀310处于开启状态时，待测工件130中的高压空气依次通过快速接头110、第二子管道20、空气低压罐320排出。

作为一种可实施方式，抽真空装置400包括第二压力继电器410、第三电磁阀420以及第一机械泵430，第一机械泵430通过第三子管道30与快速接头110连通，第二压力继电器410和第三电磁阀420依次设置在第三子管道30上，并位于第一机械泵430和快速接头110之间。在排气结束后，第二压力继电器410、第三电磁阀420以及第一机械泵430同时得电开启，进行抽真空。当第二压力继电器410检测第三子管道30达到预设真空度后（由于第三子管道30通过快速接头110与待测工件130连通，故第三子管道30中的真空度与待测工件130中的真空度相同），第二压力继电器410、第三电磁阀420以及第一机械泵430将延时自动关闭，结束抽真空工序。

较佳地，作为一种可实施方式，本发明的工件检漏装置还包括消音器440，消音器440设置在第二子管道20和/或第三子管道30的末端。这样，在排气工序中，空气低压罐320排出的空气沿着第二子管道20到达消音器440，经过消音器440去噪后排出。或者，在抽真空工序中，经过第一机械泵430抽出的空气沿着第三子管道30到达消音器440，经过消音器440去噪后排出。

优选地，第二子管道20的末端和第三子管道30的末端连接，消音器440设置在第二子管道20和第三子管道30的末端连接处。

作为一种可实施方式，第二充气装置500包括第四电磁阀510、氦气高压罐520以及第二压力计530，氦气高压罐520通过第四子管道40与快速接头110连通，第四电磁阀510设置在第四子管道40上，并位于氦气高压罐520和快速接头110之间，第二压力计530设置在氦气高压罐520上，用来检测氦气高压罐520中的氦气压力；当第四电磁阀510处于开启状态时，氦气高压罐520通过快速接头110向待测工件中充入氦气。

进一步地，第二充气装置500还包括油过滤器540、压缩机550、第五电磁阀560以及氦气瓶组570，第四子管道40的末端与氦气瓶组570连接，油过滤器540、压缩机550、第五电磁阀560依次设置在氦气高压罐520和氦气瓶组570之间的第四子管道40上，油过滤器540的出口设置有氦气检测仪，氦气检测仪用于检测充入的氦气浓度。

氦气高压罐520中的氦气浓度为5%-60%，氦气瓶组570中的氦气浓度为20%-70%。当氦气检测仪检测到氦气浓度低于氦气浓度预设下线值后（例如10%），氦气高压罐520自动连通大气进行排气，之后压缩机550、第五电磁阀560开启，氦气瓶组570向氦气高压罐520充氦气，确保氦气浓度达标。

传统氦检普遍使用高纯氦（浓度为80%-100%），而氦气为战略物资，成本高采购困难。本发明提供的工件检漏装置采取混合氦气（浓度为5%-60%）对工件示漏，可减少氦气用量，使用低品质氦气，降低成本。

本发明提供的工件检漏装置在使用时，通过第二充气装置500在向待测工件130内充入氦气后，静置一段时间，然后开启扰流风机120进行扰流，扰流结束后，通过查漏仪600控制集气箱100内部的吸枪610对待测工件130进行吸枪检漏，根据查漏仪600的检测值可判断待测工件130的整体漏率是否符合质量要求。

作为一种可实施方式，本发明提供的工件检漏装置还包括报警装置，报警装置分别与查漏仪600、第二压力继电器410以及第一压力计210连接，当第一压力计210在保压期间的压降值△P1大于预设压降值时，报警装置报警和/或提示检大漏不合格；当第二压力继电器410检测第三子管道30未达到预设真空度后，报警装置报警和/或提示抽真空不合格；当查漏仪600的检测值超过预设的检测值范围后，报警装置报警和/或提示检漏不合格。

作为一种可实施方式，氦气回收装置700包括第六电磁阀710、氦气低压罐720、第三压力计730、第三压力继电器740以及第二机械泵750，氦气低压罐720和第二机械泵750依次通过第五子管道50与快速接头110连通，第三压力计730设置在氦气低压罐720上，第六电磁阀710和第三压力继电器740设置在第五子管道50上，第六电磁阀710位于氦气低压罐720和快速接头110之间，第三压力继电器740位于氦气低压罐720和第二机械泵750之间。

吸枪检漏结束后，第六电磁阀710和第三压力计730开启，待测工件130中的氦气沿第五子管道流向氦气低压罐720。当第三压力计730检测到氦气低压罐720的压力下降到预设压力下限时，第三压力继电器740和第二机械泵750启动，将待测工件130及氦气低压罐720中的氦气回收到负压。

优选地，氦气回收装置700还包括第七电磁阀760、第八电磁阀770以及第六管道60，第六管道60的一端与压缩机550和第五电磁阀560之间的第四子管道40连通，另一端与氦气低压罐720和第三压力继电器740之间的第五子管道50连通，第七电磁阀760设置在第六管道60上，第八电磁阀770设置在第五子管道50的末端，第五子管道50的末端与压缩机550和第五电磁阀560之间的第四子管道40连通。

氦气高压罐520中的氦气压力范围为4.0-4.2Mpa，氦气瓶组570中的氦气压力为4.2-4.5Mpa。第二压力计530设置在氦气高压罐520上，检测氦气高压罐520中的氦气压力。当第二压力计530检测到氦气高压罐520中的氦气压力下降到预设值后，第七电磁阀760、第八电磁阀770开启，压缩机550启动，将待测工件130中的高压氦气通过氦气低压罐720、第六管道60、压缩机550压入氦气高压罐520中，或者通过第三压力继电器740、第二机械泵750，沿第五子管道50的末端流入第四子管道40，由压缩机550压入氦气高压罐520中。在流水线生产过程中，为多工件同步检漏，且公用储气罐，所以工作压差持续存在。氦气回收结束后，将工件从集气箱中退出，检漏结束。

本发明的工件检漏装置，在集气箱内对待测工件进行检大漏、抽空、充示漏气体、静置、检漏、回收示漏气体，避免了传统的检漏工序中在“充示漏气体”工序后人工将工件搬到真空箱的工序，结构简单，设备生产及维护成本低，自动化程度较高。且在将待测工件置于集气箱的内部，使待测工件与快速接头对接后，关闭集气箱的门阀，集气箱形成一个密闭腔室，抗干扰性好。

参见图3，图3为通过标准漏孔（漏率：2.58E-5Pam3s-1）向待测工件内充4.2MPa浓度50%混合氦气，静置3分钟后，未开启内置扰流风机，查出的漏率分布示意图。

参见图4，图4为通过标准漏孔（漏率：2.58E-5Pam3s-1）向待测工件内充4.2MPa浓度50%混合氦气，静置3分钟后，开启内置扰流风机，查出的漏率分布示意图。

参见图5，图5为通过标准漏孔（漏率：2.58E-5Pam3s-1）向待测工件内充4.2MPa浓度50%混合氦气，静置一定时间（横坐标），开启内置扰流风机，扰流3-60s，查出的漏率（纵坐标）随静置时间（横坐标）的分布示意图。

通过实验证实，本发明提供的工件检漏装置在使用时，在向待测工件内充入氦气后，静置2-10分钟，然后开启集气箱内置的扰流风机进行扰流，扰流时间为3-60秒，可大大提高氦气分压的均匀度，降低检漏静置时间，提高检漏精度，提升检漏效率。

作为一种可实施方式，在第四电磁阀510和氦气高压罐520之间的第四子管道40上设置一标准漏孔和压力计，主要实现氦气浓度和压力的检测，用于查漏仪精度的校准。具体校准方法：保证压力计示值压力在4.0-4.2MPa范围，然后将查漏仪600吸枪610对准标准漏孔，如正常报警说明查漏仪检出能力、氦气浓度、压力在正常范围，如检不出则要查原因并排除。

本发明提供的工件检漏装置，工作时，将待测工件置于集气箱的内部，并使待测工件与快速接头对接，当集气箱的门阀关闭后，集气箱形成一个密闭腔室，依次对集气箱内的待测工件进行检大漏、抽真空、充示漏气体、静置、检漏、示漏气体回收工序,结构简单，设备生产机维护成本低，抗干扰能力强，检漏精度高，自动化程度高。通过在集气箱的内部设置扰流风机，在向集气箱内的待测工件充示漏气体，静置后进行检漏前开启扰流风机，可提高氦气分压的均匀度，从而降低本发明提供的工件检漏装置在使用时检漏静置时间，提升检漏效率。本发明提供的工件检漏装置，结构简单、制造维护成本低、自动化程度高、检漏精度高、速度快、抗干扰能力强。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (14)

1.一种工件检漏装置，其特征在于，包括集气箱、第一充气装置、排气装置、抽真空装置、第二充气装置、查漏仪以及氦气回收装置；

所述集气箱为可封闭的，用于容纳待测工件及收集所述待测工件泄漏的示漏气体；

所述集气箱的内部设置有快速接头，所述快速接头通过管道分别与设置在所述集气箱的外部的所述第一充气装置、排气装置、抽真空装置、第二充气装置以及氦气回收装置连通；

所述查漏仪设置在所述集气箱的外部，所述查漏仪的吸枪可延伸至所述集气箱的内部。

2.根据权利要求1所述的工件检漏装置，其特征在于，所述集气箱的内部还设置有扰流风机，所述扰流风机用于对所述集气箱的内部的气体进行吹扫，平衡所述集气箱的内部的氦气分压。

3.根据权利要求1或2所述的工件检漏装置，其特征在于，所述第一充气装置包括第一压力计、第一电磁阀以及空气高压罐；

所述空气高压罐通过所述管道的第一子管道与所述快速接头连通；

所述第一压力计和第一电磁阀依次设置在所述第一子管道上，并位于所述空气高压罐和所述快速接头之间；

当所述第一电磁阀处于开启状态时，所述空气高压罐通过所述快速接头向所述待测工件中充入空气。

4.根据权利要求3所述的工件检漏装置，其特征在于，所述第一充气装置还包括第一压力继电器和高压空气管；

所述高压空气管通过所述管道的第一子管道与所述空气高压罐连通；

所述第一压力继电器设置在所述高压空气管上。

5.根据权利要求1或2所述的工件检漏装置，其特征在于，所述排气装置包括第二电磁阀和空气低压罐；

所述空气低压罐通过所述管道的第二子管道与所述快速接头连通，所述第二电磁阀设置在所述第二子管道上，并位于所述空气低压罐和所述快速接头之间；

当所述第二电磁阀处于开启状态时，所述待测工件中的高压空气依次通过所述快速接头、所述第二子管道、所述空气低压罐排出。

6.根据权利要求5所述的工件检漏装置，其特征在于，所述排气装置还包括第一消音器；

所述第一消音器设置在所述第二子管道的末端。

7.根据权利要求1或2所述的工件检漏装置，其特征在于，所述抽真空装置包括第二压力继电器、第三电磁阀以及第一机械泵；

所述第一机械泵通过所述管道的第三子管道与所述快速接头连通，所述第二压力继电器和所述第三电磁阀依次设置在所述第三子管道上，并位于所述第一机械泵和所述快速接头之间。

8.根据权利要求7所述的工件检漏装置，其特征在于，所述抽真空装置还包括第二消音器；

所述第二消音器设置在所述第三子管道的末端。

9.根据权利要求1或2所述的工件检漏装置，其特征在于，所述第二充气装置包括第四电磁阀、第二压力计以及氦气高压罐；

所述氦气高压罐通过所述管道的第四子管道与所述快速接头连通；

所述第四电磁阀设置在所述第四子管道上，并位于所述氦气高压罐和所述快速接头之间；

所述第二压力计设置在所述氦气高压罐上，用来检测所述氦气高压罐中的氦气压力；

当所述第四电磁阀处于开启状态时，所述氦气高压罐通过所述快速接头向所述待测工件中充入氦气。

10.根据权利要求9所述的工件检漏装置，其特征在于，所述第二充气装置还包括油过滤器、压缩机、第五电磁阀以及氦气瓶组；

所述第四子管道的末端与所述氦气瓶组连接；

所述油过滤器、压缩机、第五电磁阀依次设置在所述氦气高压罐和所述氦气瓶组之间的所述第四子管道上；

所述油过滤器的出口设置有氦气检测仪。

11.根据权利要求10所述的工件检漏装置，其特征在于，所述氦气回收装置包括第六电磁阀、氦气低压罐、第三压力计、第三压力继电器以及第二机械泵；

所述氦气低压罐和第二机械泵依次通过所述管道的第五子管道与所述快速接头连通；

所述第三压力计设置在所述氦气低压罐上，用来检测所述氦气低压罐中的氦气压力；

所述第六电磁阀和第三压力继电器设置在所述第五子管道上，所述第六电磁阀位于所述氦气低压罐和所述快速接头之间，所述第三压力继电器位于所述氦气低压罐和第二机械泵之间。

12.根据权利要求11所述的工件检漏装置，其特征在于，所述氦气回收装置还包括第七电磁阀、第八电磁阀以及第六管道；

所述第六管道的一端与所述压缩机和第五电磁阀之间的所述第四子管道连通，另一端与所述氦气低压罐和第三压力继电器之间的所述第五子管道连通；

所述第七电磁阀设置在所述第六管道上；

所述第八电磁阀设置在所述第五子管道的末端；

所述第五子管道的末端与所述压缩机和第五电磁阀之间的所述第四子管道连通。

13.根据权利要求4所述的工件检漏装置，其特征在于，所述空气高压罐中的空气压力为4.0-4.2Mpa，所述高压空气管中的空气压力为4.2-4.5Mpa。

14.根据权利要求10至12任一项所述的工件检漏装置，其特征在于，所述氦气高压罐中的氦气压力为4.0-4.2Mpa，浓度为5%-60%；所述氦气瓶组中的氦气压力为4.2-4.5Mpa，浓度为20%-70%。