CN202903434U - 一种检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种检测装置，包括腔体（10），压力检测件（20），主管路阀门（30），氦质谱检漏仪装置(40)，腔体抽空装置(50)，微水仪装置(60)，六氟化硫气源(70)，氦气气源(80)，和氮气气源(90)及其分管路。采用本实用新型，可有效提高抽真空效率，减少人为疏忽导致产品质量问题。亦可有效提高六氟化硫全密封全绝缘充气柜生产的一个最重要的工序，即六氟化硫充注的生产效率及整个产品的质量。

Description

一种检测装置

技术领域

本实用新型涉及一种检测装置，尤其涉及一种氦气检漏和微水仪检测装置。 

背景技术

目前的六氟化硫全密封全绝缘充气柜的生产大部分都是采用传统的肥皂水检漏或六氟化硫检漏仪检漏，抽真空效率都较低。肥皂水检漏法由人肉眼判断，易因人为疏忽漏判漏点造成产品质量问题。而六氟化硫检漏仪检测精度低，同样易因为操作失误或者人为疏忽导致出现产品质量问题。 

现有技术下，六氟化硫全密封全绝缘充气柜生产过程的四个重要步骤：抽真空，检漏，充注六氟化硫，测微水含量。期间某一步骤结束后，需人工连接器件进行下一步骤，生产效率不高，且检漏方法和设备相对原始，检测精度不高。 

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种检测装置。可提高抽真空效率，减少人为疏忽导致产品质量问题。同时，亦可有效提高六氟化硫全密封全绝缘充气柜的生产效率。 

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种检测装置100，所述检测装置100包括腔体10，压力检测件20，主管路阀门30，氦质谱检漏仪装置40，腔体抽空装置50，微水仪装置60，六氟化硫气源70，氦气气源80，和氮气气源90及其分管路；所述腔体(10)的外壳部连接三个支路，其一支路通过第一管路(11)连接第二真空计(23)，其二支路通过第二管路（12）分别接入第三阀门（33）和氦质谱检漏仪装置（40），其三支路通过第三管路（13）连接第一阀门（31）后再分三条支路，为第四管路（14），第五管路（15）和第六管路（16），所述第四管路（14）连接第一真空计(22)，所述第五管路(15)连接第二阀门(32)后再分两条支路，为第七管路(17)和第八管路(18)，所述第七管路(17)连接气压表（21） 后,接入被检测物(200)内，所述第八管路(18)连接第十阀门(34)后再分四个支路，分别接入微水仪装置(60)，六氟化硫气源(70)，氦气气源(80)，和氮气气源(90)四个组件，所述第六管路(16)在其终端接入腔体抽空装置(50)。 

其中，所述氦质谱检漏仪装置（40）包括第四阀门（41），氦质谱检漏仪本体（42），和前级泵（43），所述第四阀门（41）是电磁气动高真空挡板角阀，其一端连接所述第二管路（12），另一端依次连接氦质谱检漏仪（42）和前级泵（43）。 

其中，所述腔体抽空装置（50）包括第五阀门(51)和主抽泵组(52)，所述第五阀门(51)其一端连接所述第六管路(16)，另一端连接所述主抽泵组(52)。 

其中，所述微水仪装置(60)包括第六阀门(61)和微水仪本体(62)，所述第六阀门(61)，其一端连接所述第八管路(18)，另一端连接微水仪本体(62)。 

其中，所述六氟化硫气源(70)包括第七阀门(71)和六氟化硫储气罐(72)，所述第七阀门(71)其一端连接第八管路(18)，另一端连接六氟化硫储气罐(72); 

所述氦气气源(80)包括第八阀门(81)和氦气储气罐(82)，所述第八阀门(81)其一端连接第八管路(18)，另一端连接氦气储气罐(82); 

所述氮气气源(90)包括第九阀门(91)和氮气储气罐（92），所述第九阀门（91）其一端连接第八管路(18)，另一端连接氮气储气罐(92)。 

本实用新型将六氟化硫全密封全绝缘充气柜的生产即六氟化硫充注，和氦质谱仪检漏仪及微水测量仪结合到一个系统，整个过程由电控装置控制，系统自动完成被测物工件的抽真空、氦气检漏、充注六氟化硫、测微水含量的全部过程，大大提高了生产效率，也有效的提高了产品质量。 

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 

图1是本实用新型的结构示意图。 

图2是本实用新型的主管路阀门示意图。 

图3是本实用新型图的电控原理图。 

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。 

参阅图1和图2，为本实用新型提供的一种检测装置100，所述检测装置100用于检测被测物工件200是否存在渗漏。所述被测物工件200为一密封壳体工件。 

所述检测装置100包括腔体10、压力检测件20、主管路阀门30、氦质谱检漏仪装置40、腔体抽空装置50、微水仪装置60、六氟化硫气源70、氦气气源80、氮气气源90及其各分管路。所述被测物工件200完全置于腔体10内部。 

所述腔体10的外壳部连接三个支路，其一支路通过第一管路11连接第二真空计23，其二支路通过第二管路12分别接入第三阀门33和氦质谱检漏仪装置40，其三支路通过第三管路13连接第一阀门31后再分三条支路，分别为第四管路14，第五管路15和第六管路16，所述第四管路14连接第一真空计22，所述第五管路15连接第二阀门32后再分两条支路，分别为第七管路17和第八管路18，所述第七管路17连接气压表21后,接入被检测物工件200内，所述第八管路18连接第十阀门34后再分四个支路，分别接入微水仪装置60，六氟化硫气源70，氦气气源80，和氮气气源90四个组件，所述第六管路16在其终端接入腔体抽空装置50。 

所述压力检测件20包括气压表21，第一真空计22和第二真空计23。所述气压表21连接于所述第七管路17上，用于测试被测物工件200内的压强。所述第一真空计22连接于所述第四管路14上，用于检测被测物工件200内的真空度。所述第二真空计23通过第一管路11连接与腔体10外壳部，用于检测腔体10的真空度。 

所述主管路阀门30为电磁气动挡板角阀，包括第一阀门31，第二阀门32，第三阀门33。所述第一阀门31连接于第三管路13上，所述第二阀门32连接于第五管路15上，所述第三阀门33连接于第二管路12上，用于向腔体10注入 空气以平衡被测物工件200内外压差。 

所述氦质谱检漏仪装置40包括第四阀门41，氦质谱检漏仪本体42，和前级泵43。所述第四阀门41是电磁气动高真空挡板角阀，其一端连接所述第二管路12，另一端依次连接氦质谱检漏仪42和前级泵43。所述氦质谱检漏仪42为LDS2010型号。所述前级泵43的型号为GLD-N136，用于抽空氦质谱检漏仪42及其第二管路12。 

所述腔体抽空装置50包括第五阀门51和主抽泵组52。所述第五阀门51为电磁气动高真空挡板角阀，其一端连接所述第六管路16，另一端连接所述主抽泵组52。所述主抽泵组52为TRIVAC-D40C型号，用于腔体10和被测物工件200的抽真空。 

所述微水仪装置60包括第六阀门61和微水仪本体62。所述第六阀门61为电磁气动高真空挡板角阀，其一端连接所述第八管路18，另一端连接微水仪本体62。所述微水仪本体62为WL-III型号， 

参数为 

1.测量范围：-80℃-+20℃， 

2.测量精度：±2℃（-80℃—-50℃）;±1℃（-49℃—+20℃）。 

3.测量时间：小于3分钟/点 

4.采样流量：300ml/min±20% 

5.显示方式：液晶显示器、全中文界面、带背光。 

6.电源：交直两用，充电电池可连续工作8小时。 

7．检验方式：开机自校功能 

8.整机尺寸：250mm*100mm*300mm(长*宽*高) 

所述六氟化硫气源70包括第七阀门71和六氟化硫储气罐72。所述第七阀门71为电磁气动高真空挡板角阀，其一端连接第八管路18，另一端连接六氟化硫储气罐72。 

所述氦气气源80包括第八阀门81和氦气储气罐82。所述第八阀门81为电磁气动高真空挡板角阀，其一端连接第八管路18，另一端连接氦气储气罐82。 

所述氮气气源90包括第九阀门91和氮气储气罐92。所述第九阀门91为电磁气动高真空挡板角阀，其一端连接第八管路18，另一端连接氮气储气罐92。 

参见图3，本实用新型电控装置为可编程控制器（PLC），其输入端与第一 真空计22，气压表21，步进机连接，其输出端与声光报警灯、打印机相连接。触摸屏、腔体抽空装置50的第五阀门51、氦质谱检漏仪40的第四阀门41、微水仪装置60的第六阀门61，主管路阀门30及腔体门，均与可编程控制器双向连接。PLC内写入有一程序，用于控制所述腔体抽空装置50的第五阀门51、所述氦质谱检漏仪40的第四阀门41、所述微水仪装置60的第六阀门61，所述主管路阀门30及所述腔体门的通断。 

相应的，本实用新型的系统工作原理如下： 

1、抽真空检大漏、测湿度 

将被测物工件200置于腔体10中，被测物工件200外壳部与管路17连接，关闭腔体门。 

腔体门关好后，打开阀门第二32、第五阀门51、第一阀门31和主抽泵组52对所述腔体10和所述被测物工件200抽真空，并同时监测所述腔体10和所述被测物工件200的真空值，并保证腔体10和被测物工件200压力差不超过0.02Mpa，即|第一真空计22值-第二真空计23值|≤0.02MPa。若第一真空计22值减去第二真空计23值大于0.02MPa，则PLC控制关闭第二阀门32第一单位时间（如一分钟），然后打开第二阀门32比较，若仍大于0.02MPa，则继续PLC控制关闭第二阀门32第一单位时间（如一分钟），再打开第二阀门32比较。如此循环直至，第一真空计22值减去第二真空计23值小于等于0.02MPa；若第一真空计23值减去第二真空计22值大于0.02MPa则采用类似方法通过PLC控制第一阀门31来达到第二真空计23值减去第一真空计22小于等于0.02MPa的目的。 

当第二真空计23示数为第一设定值（如60Pa），第一真空计22示数为第二设定值（如10000Pa)时，关闭第二阀门32，第五阀门51，第一阀门31保持压力第二单位时间（如150秒），测量第一真空计22和第二真空计23值的变化，如第一真空计22回升值不超过第三设定值（如1000Pa）,则说明被测物工件200内湿度合格，否则进入真空干燥程序；如第二真空计23真空值变化不超过第四设定值（如100Pa），说明被测物工件200无大漏，否则说明被测物工件200有大漏，系统自动给出声光报警，并自动结束检测，打印检测结果。如果被测物工件200无大漏，继续抽真空检微漏。其中所述第一设定值小于所述第二设定值。 

2、真空干燥 

如果被测物工件200内湿度不合格，则将被测物工件200真空保压第三单位时间（如30～300分钟），进行真空干燥。达到干燥度要求后，再进入微漏检测程序。若不能达到干燥度要求，则进入氮气干燥程序，即打开第十阀门34，第九阀门91，打开氮气气源92，进行干燥，完毕后关闭所述第十阀门34，所述第九阀门91，所述氮气气源92，而后打开第五阀门51和主抽泵组52，重复几次以将被测物工件200内水分带出。 

3、检微漏 

若被测物工件200内无大漏，当被测物工件200和腔体10的真空值都达到要求，即第一真空计22值为第五设定值（如绝压60Pa），第二真空计23值为第六设定值（如绝压10000Pa），打开氦气气源82，第八阀门81、第九阀门91对被测物工件200内充入氦气，所述氦气气源压力为第七设定值（如30000Pa）。模拟被测物工件200工作环境进入检微漏程序，即打开前级泵43、氦质谱检漏仪42和第四阀门41。如果氦质谱检漏仪42检漏值小于漏率值即第八设定值，则为被测物工件200合格，没有微漏，系统给出提示可进行被测物工件200抽真空，即打开主抽泵组52和第五阀门51、第二阀门32将检漏合格的工件抽真空至第一真空计22示数为第九设定值（如1000Pa）。反之，如果氦质谱检漏仪42检漏值大于设定漏率值即第八设定值，则被测物工件200不合格，系统将声光报警，并打印微漏检测不合格，然后打开第三阀门33向腔体10内充入大气，同时打开第八阀门81、第十阀门34向被测物工件200内内充入氦气至气压表21示数为第十设定值（如绝压130000Pa）,其中，此过程也需通过控制第三阀门33来保持被测物工件200内外压差不大于0.02Mpa。然后中止检测程序，将被测物工件200从腔体10内移出，切换到吸枪检漏模式，对可疑点如接头、焊缝进行检测，以确定漏点。 

4、六氟化硫（六氟化硫）充注 

被测物工件200抽真空至第一真空计22示数为第九设定值（如1000Pa）后，系统自动打开第三阀门33对腔体10充入大气，同时打开第七阀门71、第十阀门34向被测物工件200内充注六氟化硫至第十一设定值（如0.12MPa），其中，此过程需通过第三阀门33来保持被测物工件200内外压差不大于0.02MPa。 

5、测微水 

打开第十阀门34、第六阀门61和微水仪本体62测量被测物工件200的微水含量，若检测值小于第十二设定值则合格，反之，则不合格。打开罐门，取出被测物工件200，检测完成。若不合格则需重复至第一步骤，即抽真空检大漏，测湿度步骤。 

本实用新型将六氟化硫全密封全绝缘充气柜的生产即六氟化硫充注，和氦气检漏及测微水结合到一个系统。整个过程由PLC控制，将被测物工件200置于腔体10内，接入系统后，按下启动按钮，系统将发出指令将腔体门闭合，自动完成对被测物工件200的抽真空、检漏、充六氟化硫、测微水含量的全部过程，大大提高了生产效率，同时也有效的提高了产品质量。 

以上所揭露的仅为本实用新型一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。 

Claims (5)

1.一种检测装置，其特征在于，包括腔体（10）、压力检测件（20）、主管路阀门（30）、氦质谱检漏仪装置(40)、腔体抽空装置(50)、微水仪装置(60)、六氟化硫气源(70)、氦气气源(80)、和氮气气源(90)及其各分管路; 

所述腔体(10)的外壳部连接三个支路，其一支路通过第一管路(11)连接第二真空计(23)，其二支路通过第二管路（12）分别接入第三阀门（33）和氦质谱检漏仪装置（40），其三支路通过第三管路（13）连接第一阀门（31）后再分三条支路，为第四管路（14），第五管路（15）和第六管路（16），所述第四管路（14）连接第一真空计(22)，所述第五管路(15)连接第二阀门(32)后再分两条支路，为第七管路(17)和第八管路(18)，所述第七管路(17)连接气压表（21）后,接入被检测物(200)内，所述第八管路(18)连接第十阀门(34)后再分四个支路，分别接入微水仪装置(60)，六氟化硫气源(70)，氦气气源(80)，和氮气气源(90)四个组件，所述第六管路(16)在其终端接入腔体抽空装置(50)。 

2.如权利要求1所述一种检测装置，其特征在于，所述氦质谱检漏仪装置（40）包括第四阀门（41），氦质谱检漏仪本体（42），和前级泵（43），所述第四阀门（41）是电磁气动高真空挡板角阀，其一端连接所述第二管路（12），另一端依次连接氦质谱检漏仪（42）和前级泵（43）。 

3.如权利要求1所述一种检测装置，其特征在于，所述腔体抽空装置（50）包括第五阀门(51)和主抽泵组(52)，所述第五阀门(51)其一端连接所述第六管路(16)，另一端连接所述主抽泵组(52)。 

4.如权利要求1所述一种检测装置，其特征在于，所述微水仪装置(60)包括第六阀门(61)和微水仪本体(62)，所述第六阀门(61)，其一端连接所述第八管路(18)，另一端连接微水仪本体(62)。 

5.如权利要求1所述一种检测装置，其特征在于，所述六氟化硫气源(70)包括第七阀门(71)和六氟化硫储气罐(72)，所述第七阀门(71)其一端连接第八管 路(18)，另一端连接六氟化硫储气罐(72); 

所述氦气气源(80)包括第八阀门(81)和氦气储气罐(82)，所述第八阀门(81)其一端连接第八管路(18)，另一端连接氦气储气罐(82); 

所述氮气气源(90)包括第九阀门(91)和氮气储气罐（92），所述第九阀门（91）其一端连接第八管路(18)，另一端连接氮气储气罐(92)。 

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