CN103925385B - 一种真空阀门和可切换流导真空阀门 - Google Patents

Abstract

一种真空阀门，包括阀体和阀芯，阀芯内设有与阀体内第一流导通道导通的第二流导通道，第二流导通道的进口处的通导面积小于第一流导通道的通导面积，以使第一流导通道中气流进入第二流导通道时产生所需程度的压强差。一种可切换流导真空阀门，包括阀芯、阀体和切换装置，切换装置控制阀芯处于关闭第一流导通道的第一位置或处于打开第一流导通道的第二位置，阀芯处于第二位置时，阀芯内的第二流导通道的进口处的通道面积小于靠近第二流导通道的进口的第一流导通道的通导面积，以使第一流导通道中气流由第二流导通道的进口进入第二流导通道时产生所需程度的压强差，从而扩大采用该真空阀门的常规检漏仪的检漏量程，实现测大漏功能。

Description

一种真空阀门和可切换流导真空阀门

技术领域

本发明涉及气体泄漏检测领域，具体地，涉及一种用于氦质谱检漏仪的一种真空阀门和可切换流导真空阀门。

背景技术

氦质谱检漏仪是一种常规的分析仪器设备，在国内外均广泛应用，如应用于电力、电子、化工、制冷、航空航天等行业。氦质谱检漏仪是用氦气作为示漏气体，以气体分析检测氦气而进行检漏的质谱仪，是真空检漏技术中应用最普遍的检漏仪器。

随着市场发展的需求，氦质谱检漏仪不仅需要向高灵敏度方向发展，而且需要向低量级全量程方面发展，而目前国内生产的普通氦质谱检漏仪普遍存在检漏范围小的缺点，导致其应用范围较窄，尤其在对大漏率容器进行检漏时，由于检漏口的压强值达不到所要求的数值，从而导致无法实现测大漏的功能。

为了解决上述问题，现有技术如中国专利CN103189724A公开的一种超高灵敏度氦质谱检漏仪，包括离子源、质谱室、分子泵、机械泵、放大器和电控系统，所述分子泵通过抽气口与质谱室连接，所述分子泵在上、中、下部位设三个气口，所述的上进气口通过上管路中电磁阀连通检漏口，构成微漏气流通路。所述的中进气口通过上管路中电磁阀连通检漏口，构成中漏气流通路。所述的下出气口通过下管路中一个电磁阀与机械泵连接，构成大漏气流通路。所述微漏气流通路、所述中漏气流通路以及所述大漏气流通路实现了氦质谱检漏仪全量程检漏，尤其是所述大漏气流通路实现检漏仪的测大漏功能。

又如中国专利CN2549462Y公开了一种宽量程氦质谱检漏仪，由质谱室、分子泵、机械泵、微漏气流通路检漏阀、中漏气流通路检漏阀、大漏气流通路检漏阀、真空阀及电子控制系统组成，所述分子泵有两个抽气口，上抽气口与微漏气流通路的检漏阀相连，下抽气口与中漏气流通路的检漏阀相连，下抽气口与中漏气流通路的检漏阀相连，大漏气流通路的检漏阀与微漏气流通路的检漏阀旁通或大漏气流通路的检漏阀与中漏气流通路的检漏阀旁通。同样，该现有技术也是通过大漏气流通路实现检漏仪测大漏的功能。

在实际中，上述现有技术的氦质谱检漏仪之所以扩大了检漏范围，尤其是扩大了低量级量程的检漏范围，主要是采用了专用分子泵(如德国普发检漏仪专用分子泵)，通过提高专用分子泵的前级耐压，从而使得检漏口压强提高，最终扩大低量级检漏范围，实现测大漏的功能。然而，上述现有技术中采用的专用分子泵价格昂贵，采用该专用分子泵的氦质谱检漏仪的性价比低，不易于在低量级量程领域推广应用。

发明内容

为此，本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术中氦质谱检漏仪采用专用分子泵，价格昂贵，不易于在低量级量程领域推广的问题，从而提供一种能够应用在普通氦质谱检漏仪，提高普通氦质谱检漏仪检漏口压强，从而扩大普通氦质谱检漏仪在低量级量程领域应用，替代专用分子泵以实现普通氦质谱检漏仪测大漏功能、成本较低且易于在低量级量程领域推广应用的的真空阀门。

进一步提供一种既可以实现普通氦质谱检漏仪测大漏功能，又可以实现普通氦质谱检漏仪常规检漏功能的可切换流导真空阀门。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：

一种真空阀门，适于安装在检漏仪的检漏口处，其特征在于，包括阀体，包括第一进气口、第一出气口以及连通于所述第一进气口和所述第一出气口之间的第一流导通道，所述第一出气口与所述检漏仪的检漏口密封连通；阀芯，密封地设置于所述第一流导通道内，所述阀芯设有与所述第一流导通道导通的第二流导通道，所述第二流导通道的进口处的通导面积小于靠近所述第二流导通道的进口的所述第一流导通道的通导面积，以使所述第一流导通道中气流由所述第二流导通道的进口进入所述第二流导通道时产生所需程度的压强差。

所述第二流导通道的进口处的通道面积与靠近所述第二流导通道的进口处的所述第一流导通道面积的比值为1/2000—1/2800。

所述第二流导通道的进口处的通道面积与靠近所述第二流导通道的进口处的所述第一流导通道面积的比值为1/2400。

所述第二流导通道为内径一致的圆形通道，所述圆形通道任一位置的截面内径≤1mm。

所述阀芯包括密封地设置在所述第一流导通道内的密封单元以及密封地插设于所述密封单元的毛细管，所述毛细管两端具有开口以形成与两侧的所述第一流导通道导通的所述第二流导通道。

所述密封单元包括阀芯体，通过密封结构密封设置在所述第一流导通道内，所述阀芯体中部成型有与两侧的所述第一流导通道导通的第一安装腔；

弹性胶垫，挤压地设置在所述第一安装腔内，所述弹性胶垫中部成型有供所述毛细管插入并通过弹性压缩方式与所述毛细管形成密封的第一插孔。

所述毛细管的内径为0.5mm。

所述阀芯体还成型有与所述第一安装腔连通的第二安装腔，所述第二安装腔与所述第一流导通道连通；所述密封单元还包括通过螺纹结构旋紧在所述第二安装腔并抵在所述弹性胶垫上以固定所述弹性胶垫的胶垫锁紧头，所述胶垫锁紧头中部留有与所述第一插孔相对应且能够容许所述毛细管密封穿过的第二插孔。

所述密封结构包括沿所述第一流导通道内壁向内凸出成型的第一挡壁、成型在所述阀芯体上与所述第一挡壁贴合的第二挡壁以及设置在所述第一挡壁和所述第二挡壁的两贴合面之间，用于密封两贴合面的第一密封件。

一种可切换流导真空阀门，适于安装在检漏仪的检漏口处，包括阀体，包括第一进气口、第一出气口以及连通于所述第一进气口和所述第一出气口之间的第一流导通道，所述第一出气口密封连通于检漏仪的检漏口；阀芯，可移动地设置于所述第一流导通道内，所述阀芯具有将所述第一流导通道关闭的第一位置以及通过移动而将所述第一流导通道打开的第二位置，所述阀芯设置有在其处于所述第一位置时与两侧的所述第一流导通道相互导通的第二流导通道，所述第二流导通道的进口处的通道面积小于靠近所述第二流导通道的进口的所述第一流导通道的通导面积，以使所述第一流导通道中气流由所述第二流导通道的进口进入所述第二流导通道时产生所需程度的压强差；切换装置，连接所述阀芯并控制所述阀芯在所述第一位置与所述第二位置间移动切换。

所述第二流导通道的进口处的通道面积与靠近所述第二流导通道的进口处的所述第一流导通道面积的比值为1/2000—1/2800。

所述第二流导通道的进口处的通道面积与靠近所述第二流导通道的进口处的所述第一流导通道面积的比值为1/2400。

所述第二流导通道为内径一致的圆形通道，所述圆形通道任一位置的截面内径≤1mm。

所述阀芯包括在其处于所述第一位置时与所述第一流导通道密封连接的密封单元以及密封插设于所述密封单元的毛细管，所述毛细管两端具有开口以形成与两侧的所述第一流导通道导通的所述第二流导通道。

所述密封单元包括阀芯体，通过密封结构密封设置在所述第一流导通道内，所述阀芯体成型有与两侧的所述第一流导通道导通的第一安装腔；弹性胶垫，挤压地设置在所述第一安装腔内，所述弹性胶垫中部成型有供所述毛细管插入并通过弹性压缩方式与所述毛细管形成密封的第一插孔。

所述毛细管的内径为0.5mm。

所述密封结构包括沿所述第一流导通道内壁向内凸出成型的第一挡壁、成型在所述阀芯体上与所述第一挡壁贴合的第二挡壁以及设置在所述第一挡壁和所述第二挡壁的两贴合面之间，用于密封两贴合面的第一密封件。

所述第一流导通道为圆形通道，所述第一挡壁和所述第二挡壁为相互配合的环形挡壁，所述第一密封件为部分嵌入到所述第一挡壁的贴合面或所述第二挡壁的贴合面内的第一密封圈。

所述阀芯体还成型有与所述第一安装腔连通的第二安装腔，所述第二安装腔与所述第一流导通道连通；所述密封单元还包括通过螺纹结构旋进所述第二安装腔并抵在所述弹性胶垫上以固定所述弹性胶垫的胶垫锁紧头，所述胶垫锁紧头中部留有与所述第一插孔相对应且能够容许所述毛细管密封穿过的第二插孔。

所述第一进气口的中心轴线与所述第一出气口的中心轴线平行或重合；所述阀体还包括其一侧开设的用于所述阀芯安装且开口朝向与所述第一进气口中心轴线垂直的安装口，所述阀芯通过所述安装口安装于所述阀体且所述阀芯的中心轴线与所述第一进气口的中心轴线垂直；所述安装口处设置有通过第二密封件密封封堵所述安装口的阀体堵头；所述切换装置设置在所述阀体的与所述安装口相对的一侧。

所述安装口为圆形口，所述第二密封件为密封圈。

所述切换装置为电磁阀。

本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

1、本发明的真空阀门，适于安装在检漏仪的检漏口处，包括阀体，包括第一进气口、第一出气口以及连通于所述第一进气口和所述第一出气口之间的第一流导通道，所述第一出气口与所述检漏仪的检漏口密封连通；阀芯，密封地设置于所述第一流导通道内，所述阀芯设有与所述第一流导通道导通的第二流导通道，本发明利用了小孔差分真空原理，利用节流孔或节流管道来实现压强的过渡，具体是，通过使所述第二流导通道的进口处的通导面积小于靠近所述第二流导通道的进口的所述第一流导通道的通导面积，以使得所述第一流导通道中气流由所述第二流导通道的进口进入所述第二流导通道时产生所需程度的压强差，从而提高检漏口压强的功能，实现大漏率的检测。另外，本发明的真空阀门成本低，装配方便，采用本发明的检漏仪与现有技术中配备专用分子泵的检漏仪相比，极大地降低了成本，提高了经济效益。

2、本发明的真空阀门，其阀芯包括密封地设置在所述第一流导通道内的密封单元以及密封地插设于所述密封单元的毛细管，所述毛细管两端具有开口以形成与两侧的所述第一流导通道导通的所述第二流导通道，采用毛细管作为第二流导通道，解决了阀芯成型内径小于1mm的流导通道的加工困难问题，而且毛细管价格低，购买方便，有利于本发明真空阀门的批量生产。

3、本发明的真空阀门，其密封单元用于保证气流经过所述第二流导通道时不会发生泄漏，在本发明中，其密封单元包括通过密封结构密封设置在所述第一流导通道内的阀芯体，密封结构的设置保证了阀芯体与第一流导通道间的密封，所述阀芯体中部成型有与两侧的所述第一流导通道导通的第一安装腔；密封单元还包括挤压地设置在所述第一安装腔内的弹性胶垫，通过挤压弹性胶垫将弹性胶垫置于第一安装腔中，弹性胶垫在弹性恢复力的作用下，与第一安装腔间形成密封，弹性胶垫中部成型有供所述毛细管插入并通过弹性压缩方式与所述毛细管形成密封的第一插孔，本发明采用阀芯体和弹性胶垫避免了气流由第一流导通道经过第二流导通道时发生泄漏。

4、本发明的真空阀门，其通过在第二安装腔中设置胶垫锁紧头并将胶垫锁紧头旋紧地抵在弹性胶垫上，从而实现弹性胶垫的固定，胶垫锁紧头的设置提高了本发明真空阀门的可靠性，以及延长了真空阀门的使用寿命。

5、本发明的可切换流导真空阀门，其阀芯可移动地设置于所述第一流导通道内，所述阀芯具有将第一流导通道关闭的第一位置和通过移动而将第一流导通道打开的第二位置，所述阀芯设置有在其处于所述第一位置时与两侧的所述第一流导通道相互导通的如上述的第二流导通道，本发明的可切换流导真空阀门还包括用于连接并控制所述阀芯在所述第一位置与所述第二位置间移动切换的切换装置，本发明的可切换流导真空阀门应用于常规检漏仪时，通过切换装置控制，使阀芯处于第二位置时，真空阀门处于大流导状态，不影响被检负载的抽速，保持常规检漏仪的功能，从而可以实现常规检漏；通过切换装置控制，使阀芯处于第一位置时，真空阀门处于小流导状态，使得被检负载内与检漏仪内部检漏口处形成差分状态，两端实现大的压强差，从而扩大原有常规检漏仪的量程，提高检漏仪检漏口的耐压功能，实现大漏率的检测。另外，本发明的可切换真空阀门，体积小、重量轻、结构紧凑、装配方便。

6、本发明的可切换流导真空阀门，其阀芯包括在其处于所述第一位置时与所述第一流导通道密封连接的密封单元以及密封地插设于所述密封单元的毛细管，所述毛细管两端具有开口以形成与两侧的所述第一流导通道导通的所述第二流导通道，采用毛细管作为第二流导通道，解决了阀芯成型内径小于1mm的流导通道的加工困难问题，而且毛细管价格低，购买方便，有利于本发明可切换流导真空阀门的批量生产。

7、本发明的可切换流导真空阀门，密封单元用于保证阀芯处于第一位置时，气流由第一流导通道经过所述第二流导通道时不会发生泄漏，在本发明中，其密封单元包括通过密封结构密封设置在所述第一流导通道内的阀芯体，密封结构的设置保证了阀芯体与第一流导通道间的密封，所述阀芯体中部成型有与两侧的所述第一流导通道导通的第一安装腔；密封单元还包括挤压地设置在所述第一安装腔内的弹性胶垫，通过挤压弹性胶垫将弹性胶垫置于第一安装腔中，弹性胶垫在弹性恢复力的作用下，与第一安装腔间形成密封，弹性胶垫中部成型有供所述毛细管插入并通过弹性压缩方式与所述毛细管形成密封的第一插孔，本发明采用阀芯体和弹性胶垫避免了气流由第一流导通道经过第二流导通道时发生泄漏。

8、本发明的可切换流导真空阀门，所述密封结构包括沿所述第一流导通道内壁向内凸出成型的第一挡壁、成型在所述阀芯体上与所述第一挡壁贴合的第二挡壁以及设置在所述第一挡壁和所述第二挡壁的两贴合面之间，用于密封两贴合面的第一密封件，该密封结构结构简单，密封效果好，并且便于装配。

9、本发明的可切换流导真空阀门，所述第一进气口的中心轴线与所述第一出气口的中心轴线平行或重合，所述阀体还包括其一侧开设的用于所述阀芯安装且开口朝向与所述第一进气口中心轴线垂直的安装口，所述阀芯通过所述安装口安装于所述阀体且所述阀芯的中心轴线与所述第一进气口的中心轴线垂直，所述安装口处设置有通过第二密封件密封封堵所述安装口的阀体堵头，所述切换装置设置在所述阀体的与所述安装口相对的一侧，通过该种设置使得本发明的可切换流导真空阀门节省了沿第一进气口和第一出气口中心轴向方向占据的空间，而且该种设置下真空阀门的各部件布局合理。

10、本发明的可切换流导真空阀门，所述切换装置为电磁阀，电磁阀实现了本发明真空阀门的自动控制，而且控制可靠，有利于提高检漏仪的测量精度。

附图说明

为了使本发明的内容更容易被清楚的理解，下面根据本发明的具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中

图1是本发明的真空阀门的结构示意图；

图2是本发明的真空阀门的阀芯体的结构示意图；

图3是本发明的真空阀门的弹性胶垫的结构示意图；

图4是本发明的真空阀门的胶垫锁紧头的结构示意图；

图5是本发明的可切换流导真空阀门的结构示意图；

图6是本发明的可切换流导真空阀门处于小流导状态的结构示意图；

图7是本发明的可切换流导真空阀门处于大流导状态的结构示意图；

图8是本发明的可切换流导真空阀门的阀芯体的结构示意图；

图9是本发明的可切换流导真空阀门的阀体的结构示意图。

图中附图标记表示为：

1-阀体、11-第一进气口、12-第一出气口、13-第一流导通道、131-第一挡壁、14-安装口；

2-第二密封件；

3-阀体堵头；

4-第一密封件；

5-阀芯体、51-第一安装腔、52-第二安装腔、53-第二挡壁；

6-胶垫锁紧头、61-第二插孔；

7-毛细管；

8-弹性胶垫、81-第一插孔；

9-切换装置。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

实施例1

如图1所示，本实施例提供一种真空阀门，其适于安装在检漏仪的检漏口处，在本实施例中，所述检漏仪是指氦质谱检漏仪，但是并不限于氦质谱检漏仪，凡是适用本发明的所述真空阀门的检漏仪均包含在本发明的保护范围内。所述真空阀门包括阀体1和阀芯。其中所述阀体1包括第一进气口11、第一出气口12以及连通于所述第一进气口11和所述第一出气口12之间的第一流导通道13，所述第一出气口12与所述检漏仪的检漏口密封连通，所述第一出气口12与所述氦质谱检漏仪的检漏口密封连通的方式有很多，在本实施例中，所述第一出气口12与所述检漏仪的检漏口是通过法兰连接的方式实现密封连通。阀体1的所述第一流导通道13可以是直通的流导通道，为了适应特定的检测场合，所述第一流导通道也可以是曲折的流导通道，在本实施例中，所述第一流导通道13采用直通的流导通道。阀芯，密封地设置于所述第一流导通道13内，所述阀芯设有与所述第一流导通道13导通的第二流导通道，需要说明的是，所述阀芯可以设置于所述第一流导通道13的中部，此时所述阀芯与两侧的所述第一流导通道13导通，所述阀芯也可以设置于所述第一流导通道13的所述第一进气口11处，所述阀芯下方与所述第一流导通道13导通，在本实施例中，所述阀芯优选地安装在所述第一流导通道13的内部，所述阀芯与两侧的所述第一流导通道13导通。

如图1所示，为了实现采用本实施例的常规氦质谱检漏仪能够实现检漏口高压强、测大漏的功能，本实施例的所述真空阀门采用了小孔差分真空原理，利用了节流孔或节流管道来实现压强的过渡，具体地，所述第二流导通道的进口处的通导面积小于靠近所述第二流导通道的进口的所述第一流导通道13的通导面积，需要解释的是，此处的“小于”是指所述第一流导通道13的气流由所述第二流导通道的进口进入所述第二流导通道时能够产生常规检漏仪所需程度的气流压强差，从而提高检漏口压强，实现大漏率的检测。

进一步地，在本实施例中，所述第二流导通道的进口处的通道面积与靠近所述第二流导通道的进口处的所述第一流导通道13的通道面积的比值为1/2000—1/2800)。

再进一步地，所述第二流导通道的进口处的通道面积与靠近所述第二流导通道的进口处的所述第一流导通道13的通道面积的比值优选为1/2400。

本实施例中，所述第二流导通道的形状可以为多种规则形状或不规则形状，如方形通道、圆形通道或者五边形通道等，所述第二流导通道沿轴向的横截面积的尺寸也可以一致或者不一致，在本实施例中，所述第二流导通道优选为内径一致的圆形通道，且所述圆形通道任一位置的截面内径≤1mm。

在本实施例中，如图1所示，所述阀芯包括密封地设置在所述第一流导通道13内的密封单元以及密封地插设于所述密封单元的毛细管7，所述毛细管7两端具有开口以形成与两侧的所述第一流导通道13导通的所述第二流导通道。采用所述毛细管7作为所述第二流导通道，解决了阀芯成型内径小于1mm的流导通道的加工困难问题，而且所述毛细管价格低，购买方便，有利于本实施例的真空阀门的批量生产。

进一步地，为了防止气流由所述第一流导通道13进入所述第二流导通道时从所述阀芯周围泄漏，在本实施例中，如图1和图2所示，所述密封单元包括通过密封结构密封设置在所述第一流导通道13内的阀芯体5，所述阀芯体5中部成型有与两侧的所述第一流导通道13导通的第一安装腔51，所述密封结构的设置保证了所述阀芯体5与所述第一流导通道13间的密封，避免了气流的泄漏。如图1和图3所示，所述密封单元还包括挤压地设置在所述第一安装腔51内的弹性胶垫8，通过挤压所述弹性胶垫8将所述弹性胶垫8置于所述第一安装腔51中，所述弹性胶垫8在弹性恢复力的作用下，与所述第一安装腔51间形成密封，所述弹性胶垫8中部成型有供所述毛细管7插入并通过弹性压缩方式与所述毛细管7形成密封的第一插孔81。

在本实施例中，所述毛细管7的内径优选为0.5mm。

另外，为了使得所述弹性胶垫8固定可靠，如图1和图4所示，所述密封单元还包括通过螺纹结构旋紧在所述第二安装腔52并抵在所述弹性胶垫8上以固定所述弹性胶垫8不动。所述第二安装腔52成型于所述阀芯体5并与所述第一安装腔51连通。为了实现所述毛细管7的装配，所述胶垫锁紧头6中部留有与所述第一插孔81相对应且能够容许所述毛细管7密封穿过的第二插孔61。

为了实现所述阀芯与所述第一流导通道13的良好密封，在本实施例中，如图1所示，所述密封结构包括沿所述第一流导通道13内壁向内凸出成型的第一挡壁131、成型在所述阀芯体5上与所述第一挡壁131贴合的第二挡壁53以及设置在所述第一挡壁131和所述第二挡壁53的两贴合面之间，用于密封两贴合面的第一密封件4。在本实施例中，所述第一密封件4优选为密封圈。

以下根据附图说明本实施例的真空阀门的工作原理：

如图1所示，气流被检负载由所述第一进气口11进入所述所述真空阀门的第一流导通道13内，气流沿所述第一流导通道13流动至所述第二流导通道时，由于第二流导通道的通导面积远小于所述第一流导通道13靠近所述第二流导通道处的通导面积，所以气流进入所述第二流导通道时产生较大的压强差，从而第二流导通道两侧的所述第一流导通道13内的气压差很大，从而使得所述氦质谱检漏仪的检漏口处的气流压强高，实现所述检漏仪的测大漏功能。

实施例2

如图5-7所示，本实施例提供一种可切换流导真空阀门，适于安装在检漏仪的检漏口处，在本实施例中，所述检漏仪是指氦质谱检漏仪，但是并不限于氦质谱检漏仪，凡是适用本发明的所述可切换流导真空阀门的检漏仪均包含在本发明的保护范围内。如图5所示，所述可切换流导真空阀门包括阀体1、阀芯和切换装置。其中，如图6所示，所述阀体1包括第一进气口11、第一出气口12以及连通于所述第一进气口11和所述第一出气口12之间的第一流导通道13，所述第一出气口12与所述检漏仪的检漏口密封连通，所述第一出气口12与所述氦质谱检漏仪的检漏口密封连通的方式有很多，在本实施例中，所述第一出气口12与所述检漏仪的检漏口是通过法兰连接的方式实现密封连通。阀芯，可移动地设置于所述第一流导通道13内，所述阀芯具有将所述第一流导通道13关闭的第一位置以及通过移动而将所述第一流导通道13打开的第二位置，所述阀芯设置有在其处于所述第一位置时与两侧的所述第一流导通道13相互导通的第二流导通道。

如图6所示，为了实现采用本实施例的常规氦质谱检漏仪能够实现检漏口高压强、测大漏的功能，本实施例的所述真空阀门采用了小孔差分真空原理，利用了节流孔或节流管道来实现压强的过渡，具体地，所述第二流导通道的进口处的通导面积小于靠近所述第二流导通道的进口的所述第一流导通道13的通导面积，需要解释的是，此处的“小于”是指所述第一流导通道13的气流由所述第二流导通道的进口进入所述第二流导通道时能够产生常规检漏仪所需程度的气流压强差，从而提高检漏口压强，实现大漏率的检测。

切换装置9，连接所述阀芯并控制所述阀芯在所述第一位置与所述第二位置间移动切换。所述切换装置9可以为电动切换装置，也可以为手动切换装置，在本实施例中，所述切换装置9为电动切换装置，具体地，所述切换装置9为电磁阀。

本实施例的可切换流导真空阀门应用于常规检漏仪时，通过所述切换装置9控制，使所述阀芯处于第二位置时，所述可切换真空阀门处于大流导状态，不影响被检负载的抽速，保持常规检漏仪的功能，从而可以实现常规检漏；通过切换装置控制，使阀芯处于第一位置时，真空阀门处于小流导状态，使得被检负载内与检漏仪内部检漏口处形成差分状态，两端实现大的压强差，从而扩大原有常规检漏仪的量程，提高检漏仪检漏口的耐压功能，实现大漏率的检测。

进一步地，在本实施例中，所述第二流导通道的进口处的通道面积与靠近所述第二流导通道的进口处的所述第一流导通道13的通道面积的比值为1/2000—1/2800。

再进一步地，所述第二流导通道的进口处的通道面积与靠近所述第二流导通道的进口处的所述第一流导通道13的通道面积的比值优选为1/2400。

本实施例中，所述第二流导通道的形状可以为多种规则形状或不规则形状，如方形通道、圆形通道或者五边形通道等，所述第二流导通道沿轴向的横截面积的尺寸也可以一致或者不一致，在本实施例中，所述第二流导通道优选为内径一致的圆形通道，且所述圆形通道任一位置的截面内径≤1mm。

在本实施例中，如图6所示，所述阀芯包括在其处于所述第一位置时与所述第一流导通道13密封连接的密封单元以及密封插设于所述密封单元的毛细管7，所述毛细管7两端具有开口以形成与两侧的所述第一流导通道13导通的所述第二流导通道。采用所述毛细管7作为所述第二流导通道，解决了阀芯成型内径小于1mm的流导通道的加工困难问题，而且所述毛细管价格低，购买方便，有利于本实施例的真空阀门的批量生产。

进一步地，为了防止所述阀芯处于第一位置时，气流由所述第一流导通道13进入所述第二流导通道时从所述阀芯周围泄漏，在本实施例中，如图6所示，所述密封单元包括通过密封结构密封设置在所述第一流导通道13内的阀芯体5，如图8所示，所述阀芯体5中部成型有与两侧的所述第一流导通道13导通的第一安装腔51，所述密封结构的设置保证了所述阀芯体5与所述第一流导通道13间的密封，避免了气流的泄漏。如图6所示，所述密封单元还包括挤压地设置在所述第一安装腔51内的弹性胶垫8，通过挤压所述弹性胶垫8将所述弹性胶垫8置于所述第一安装腔51中，所述弹性胶垫8在弹性恢复力的作用下，与所述第一安装腔51间形成密封，所述弹性胶垫8中部成型有供所述毛细管7插入并通过弹性压缩方式与所述毛细管7形成密封的第一插孔81。

在本实施例中，所述毛细管7的内径优选为0.5mm。

另外，为了使得所述弹性胶垫8固定可靠，如图6所示，所述密封单元还包括通过螺纹结构旋紧在所述第二安装腔52并抵在所述弹性胶垫8上以固定所述弹性胶垫8不动。所述第二安装腔52成型于所述阀芯体5并与所述第一安装腔51连通。为了实现所述毛细管7的装配，所述胶垫锁紧头6中部留有与所述第一插孔81相对应且能够容许所述毛细管7密封穿过的第二插孔61。

为了实现所述阀芯与所述第一流导通道13的良好密封，在本实施例中，如图6所示，所述密封结构包括沿所述第一流导通道13内壁向内凸出成型的第一挡壁131、成型在所述阀芯体5上与所述第一挡壁131贴合的第二挡壁53以及设置在所述第一挡壁131和所述第二挡壁53的两贴合面之间，用于密封两贴合面的第一密封件4。

具体地，在本实施例中，所述第一流导通道13为圆形通道，所述第一挡壁131和所述第二挡壁53为相互配合的环形挡壁，所述第一密封件4为部分嵌入到所述第一挡壁131的贴合面或所述第二挡壁53的贴合面内的密封圈。

另外，为了使得所述弹性胶垫8固定可靠，如图6所示，所述密封单元还包括通过螺纹结构旋紧在所述第二安装腔52并抵在所述弹性胶垫8上以固定所述弹性胶垫8不动。所述第二安装腔52成型于所述阀芯体5并与所述第一安装腔51连通。为了实现所述毛细管7的装配，所述胶垫锁紧头6中部留有与所述第一插孔81相对应且能够容许所述毛细管7密封穿过的第二插孔61。在本实施例中，如图3和图4所示，所述弹性胶垫8、所述胶垫锁紧头6的结构同实施例1中所述弹性胶垫8、所述胶垫锁紧头6的结构相同。

所述第一进气口11的中心轴线与所述第一出气口12的中心轴线平行或重合，在本实施例中，如图6和图7所示，所述第一进气口11的中心轴线与所述第一出气口12的中心轴线重合。在本实施例中，所述阀芯为水平安装方式，所谓水平安装方式是指，所述阀芯的阀芯体5轴向延伸方向垂直于所述第一进气口11和所述第一出气口12的中心轴线，如图6和图7所示，所述第一进气口11和第一出气口12为相对应的上下开口，所述阀芯体5水平设置。为了实现所述阀芯的安装，在本实施例中，如图6、图7和图9所示，所述阀体1还包括其一侧开设的用于所述阀芯安装且开口朝向与所述第一进气口11中心轴线垂直的安装口14，所述阀芯通过所述安装口14安装于所述阀体1且所述阀芯的中心轴线与所述第一进气口11的中心轴线垂直；另外，所述安装口14处设置有通过第二密封件2密封封堵所述安装口14的阀体堵头3。通过所述阀芯水平安装的布置方式，方便了所述切换装置的布置，在本实施例中，所述切换装置9设置在所述阀体1的与所述安装口14相对的一侧。所述阀芯水平安装的布置方式节省了本发明的可切换流导真空阀门沿水平方向占据的空间，使真空阀门整体上更紧凑。当然，本发明并不限于阀芯采用水平安装的布置方式，在其他实施例中，所述阀芯也可以采用竖直安装的布置方式，所谓竖直安装布置方式是指，所述阀芯体5的轴向延伸方向与所述第一进气口11和所述第一出气口12的中心轴线方向重合或平行，例如，所述第一进气口11和所述第一出气口12为相对的上下开口，所述第一流导通道13为连通所述第一进气口11和所述第一出气口12的直通通道，所述阀芯体5竖直安装在所述第一流导通道13内，在该中设置下，所述切换装置9设置在所述阀体1的一侧，所述切换装置9控制所述阀芯体5沿所述第一流导通道13上下移动，从而控制所述阀芯处于第一位置或第二位置。

进一步地，在本实施例中，所述安装口14为圆形口，所述第二密封件2为密封圈。

根据以上所描述的结构，以下根据附图来说明本实施例的切换流导真空阀门的工作过程：

如图6所示，所述电磁阀未通电时，所述阀芯处于关闭所述第一流导通道13的第二位置，即所述真空阀门处于大流导状态，气流(被检负载)经所述第一进气口11进入所述第一流导通道13内，气流沿所述第一流导通道13移动至所述第二流导通道开口处，此时，由于所述阀芯处于所述第二位置，所述阀芯不影响所述气流沿所述第一流导通道13流动，因此，所述气流沿所述第一流导通道13流动至所述第一出气口12处，继而由所述第一出气口12流动至常规检漏仪的检漏口处，此时，所述常规检漏仪继续保持常规检漏状态。

如图7所示，所述电磁阀通电，所述阀芯移动至打开所述第一流导通道13的第二位置处，即所述真空阀门处于小流导状态，气流(被检负载)经所述第一进气口11进入所述第一流导通道13内，气流沿所述第一流导通道13移动至所述第二流导通道开口处，然后，气流由通导面积较大的第一流导通道进入通导面积很小的所述第二流导通道，由于所述第一流导通道13靠近所述第二流导通道进口处的通导面积远远大于所述第二流导通道的通导面积，故气流由所述第一流导通道13进入所述第二流导通道时产生大的压强差，变为高压强的气流由所述第一出气口12进入常规检漏仪的检漏口，从而实现常规检漏仪测大漏功能。

进一步，根据以上所描述的结构，以下根据附图来说明本实施例的切换流导真空阀门的装配过程：

a.先将可切换流导真空阀门的零部件备好，再准备所需的标准件(此处标准件主要是用来固定的紧固件等)。

b.清洗各零部件以满足真空卫生标准要求。

c.装配：(分为四步)

第一步：检查所述阀体1、电磁阀芯(阀芯、电磁阀)等零部件的密封面是否符合要求，检查密封圈是否完好。

第二步：先装配电磁阀芯，将所述阀芯、胶垫锁紧头6、毛细管7、弹性胶垫8依次装配好，适当调整所述胶垫锁紧头6位置，以便让弹性胶垫8抱紧毛细管7.

第三步：将装好的电磁阀芯与电磁阀芯的壳体配合，而后插入所述阀体1中，用标准件螺钉固定好所述电磁阀，然后将阀体堵头3、第二密封件2(密封圈)依次装入所述阀体1中，并紧固所述阀体堵头3。以上所有操作都要保证所述电磁阀、所述阀体堵头分别与所述阀体的真空密封性。

第四步：观测本实施例的可切换流导真空阀门的开断状态，电磁阀未通电时，所述真空阀门状态见图6，此时所述阀体处于大流导状态，此视为真空阀门的常态；当电磁阀通电时，所述真空阀门状态见图7，此时所述阀体处于小流导状态。

完成上述工作后，一切符合要求，一套备用的检漏仪用可切换流导真空阀门完工。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (22)

1.一种真空阀门，适于安装在检漏仪的检漏口处，其特征在于，包括

阀体(1)，包括第一进气口(11)、第一出气口(12)以及连通于所述第一进气口(11)和所述第一出气口(12)之间的第一流导通道(13)，所述第一出气口(12)与所述检漏仪的检漏口密封连通；

阀芯，密封地设置于所述第一流导通道(13)内，所述阀芯设有与所述第一流导通道(13)导通的第二流导通道，所述第二流导通道的进口处的通导面积小于靠近所述第二流导通道的进口的所述第一流导通道(13)的通导面积，以使所述第一流导通道(13)中气流由所述第二流导通道的进口进入所述第二流导通道时产生所需程度的压强差。

2.根据权利要求1所述的真空阀门，其特征在于：所述第二流导通道的进口处的通道面积与靠近所述第二流导通道的进口处的所述第一流导通道(13)的通道面积的比值为1/2000—1/2800。

3.根据权利要求2所述的真空阀门，其特征在于：所述第二流导通道的进口处的通道面积与靠近所述第二流导通道的进口处的所述第一流导通道(13)的通道面积的比值为1/2400。

4.根据权利要求3所述的真空阀门，其特征在于：所述第二流导通道为内径一致的圆形通道，所述圆形通道任一位置的截面内径≤1mm。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的真空阀门，其特征在于：所述阀芯包括密封地设置在所述第一流导通道(13)内的密封单元以及密封地插设于所述密封单元的毛细管(7)，所述毛细管(7)两端具有开口以形成与两侧的所述第一流导通道(13)导通的所述第二流导通道。

6.根据权利要求5所述的真空阀门，其特征在于：所述密封单元包括

阀芯体(5)，通过密封结构密封设置在所述第一流导通道(13)内，所述阀芯体(5)中部成型有与两侧的所述第一流导通道(13)导通的第一安装腔(51)；

弹性胶垫(8)，挤压地设置在所述第一安装腔(51)内，所述弹性胶垫(8)中部成型有供所述毛细管(7)插入并通过弹性压缩方式与所述毛细管(7)形成密封的第一插孔(81)。

7.根据权利要求6所述的真空阀门，其特征在于：所述毛细管(7)的内径为0.5mm。

8.根据权利要求6或7所述的真空阀门，其特征在于：

所述阀芯体(5)还成型有与所述第一安装腔(51)连通的第二安装腔(52)，所述第二安装腔(52)与所述第一流导通道(13)连通；

所述密封单元还包括通过螺纹结构旋紧在所述第二安装腔(52)并抵在所述弹性胶垫(8)上以固定所述弹性胶垫(8)的胶垫锁紧头(6)，所述胶垫锁紧头(6)中部留有与所述第一插孔(81)相对应且能够容许所述毛细管(7)密封穿过的第二插孔(61)。

9.根据权利要求8所述的真空阀门，其特征在于：所述密封结构包括沿所述第一流导通道(13)内壁向内凸出成型的第一挡壁(131)、成型在所述阀芯体(5)上与所述第一挡壁(131)贴合的第二挡壁(53)以及设置在所述第一挡壁(131)和所述第二挡壁(53)的两贴合面之间，用于密封两贴合面的第一密封件(4)。

10.一种可切换流导真空阀门，适于安装在检漏仪的检漏口处，其特征在于，包括

阀体(1)，包括第一进气口(11)、第一出气口(12)以及连通于所述第一进气口(11)和所述第一出气口(12)之间的第一流导通道(13)，所述第一出气口(12)密封连通于检漏仪的检漏口；

阀芯，可移动地设置于所述第一流导通道(13)内，所述阀芯具有将所述第一流导通道(13)关闭的第一位置以及通过移动而将所述第一流导通道(13)打开的第二位置，所述阀芯设置有在其处于所述第一位置时与两侧的所述第一流导通道(13)相互导通的第二流导通道，所述第二流导通道的进口处的通道面积小于靠近所述第二流导通道的进口的所述第一流导通道(13)的通导面积，以使所述第一流导通道(13)中气流由所述第二流导通道的进口进入所述第二流导通道时产生所需程度的压强差；

切换装置(9)，连接所述阀芯并控制所述阀芯在所述第一位置与所述第二位置间移动切换。

11.根据权利要求10所述的可切换流导真空阀门，其特征在于：所述第二流导通道的进口处的通道面积与靠近所述第二流导通道的进口处的所述第一流导通道(13)的通道面积的比值为1/2000—1/2800。

12.根据权利要求11所述的可切换流导真空阀门，其特征在于：所述第二流导通道的进口处的通道面积与靠近所述第二流导通道的进口处的所述第一流导通道(13)的通道面积的比值为1/2400。

13.根据权利要求12所述的可切换流导真空阀门，其特征在于：所述第二流导通道为内径一致的圆形通道，所述圆形通道任一位置的截面内径≤1mm。

14.根据权利要求13所述的可切换流导真空阀门，其特征在于：所述阀芯包括在其处于所述第一位置时与所述第一流导通道(13)密封连接的密封单元以及密封插设于所述密封单元的毛细管(7)，所述毛细管(7)两端具有开口以形成与两侧的所述第一流导通道(13)导通的所述第二流导通道。

15.根据权利要求14所述的可切换流导真空阀门，其特征在于：所述密封单元包括

阀芯体(5)，通过密封结构密封设置在所述第一流导通道(13)内，所述阀芯体(5)成型有与两侧的所述第一流导通道(13)导通的第一安装腔(51)；

弹性胶垫(8)，挤压地设置在所述第一安装腔(51)内，所述弹性胶垫(8)中部成型有供所述毛细管(7)插入并通过弹性压缩方式与所述毛细管(7)形成密封的第一插孔(81)。

16.根据权利要求15所述的可切换流导真空阀门，其特征在于：所述毛细管(7)的内径为0.5mm。

17.根据权利要求16所述的可切换流导真空阀门，其特征在于：所述密封结构包括沿所述第一流导通道(13)内壁向内凸出成型的第一挡壁(131)、成型在所述阀芯体(5)上与所述第一挡壁(131)贴合的第二挡壁(53)以及设置在所述第一挡壁(131)和所述第二挡壁(53)的两贴合面之间，用于密封两贴合面的第一密封件(4)。

18.根据权利要求17所述的可切换流导真空阀门，其特征在于：所述第一流导通道(13)为圆形通道，所述第一挡壁(131)和所述第二挡壁(53)为相互配合的环形挡壁，所述第一密封件(4)为部分嵌入到所述第一挡壁(131)的贴合面或所述第二挡壁(53)的贴合面内的第一密封圈。

19.根据权利要求15-18中任一项所述的可切换流导真空阀门，其特征在于：

所述阀芯体(5)还成型有与所述第一安装腔(51)连通的第二安装腔(52)，所述第二安装腔(52)与所述第一流导通道(13)连通；

所述密封单元还包括通过螺纹结构旋进所述第二安装腔(52)并抵在所述弹性胶垫(8)上以固定所述弹性胶垫(8)的胶垫锁紧头(6)，所述胶垫锁紧头(6)中部留有与所述第一插孔(81)相对应且能够容许所述毛细管(7)密封穿过的第二插孔(61)。

20.根据权利要求19所述的可切换流导真空阀门，其特征在于：

所述第一进气口(11)的中心轴线与所述第一出气口(12)的中心轴线平行或重合；

所述阀体(1)还包括其一侧开设的用于所述阀芯安装且开口朝向与所述第一进气口(11)中心轴线垂直的安装口(14)，所述阀芯通过所述安装口(14)安装于所述阀体(1)且所述阀芯的中心轴线与所述第一进气口(11)的中心轴线垂直；

所述安装口(14)处设置有通过第二密封件(2)密封封堵所述安装口(14)的阀体堵头(3)；

所述切换装置(9)设置在所述阀体(1)的与所述安装口(14)相对的一侧。

21.根据权利要求20所述的可切换流导真空阀门，其特征在于：所述安装口(14)为圆形口，所述第二密封件(2)为密封圈。

22.根据权利要求10-18中任一项所述的可切换流导真空阀门，其特征在于：所述切换装置(9)为电磁阀。