CN2549462Y - 一种宽量程氦质谱检漏仪 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种宽量程氦质谱检漏仪，它由质谱室1、分子泵13、机械泵6、微漏气流通路检漏阀9、中漏气流通路检漏阀5、大漏气流通路检漏阀12、真空计8、4及电子控制系统组成，其特征在于分子泵13有两个抽气口2、3，上抽气口2与微漏气流通路的检漏阀9相连，下抽气口3与中漏气流通路的检漏阀5相连，大漏气流通路的检漏阀12与微漏气流通路的检漏阀9旁通或大漏气流通路的检漏阀12与中漏气流通路的检漏阀5旁通。其中所述的电子控制系统由电源模块，离子源供电模块，发射电流稳定模块，数据采集及灯丝保护模块，离子流放大模块，量程转换模块，显示报警模块组成。

Description

一种宽量程氦质谱检漏仪
本发明涉及一种宽量程氦质谱检漏仪，属于分析仪器领域。主要适用于有较高密封度要求的物体的检漏。
现有的氦质谱检漏仪国内外都有生产。国内所生产的氦质谱检漏仪的不足点之一就是检漏范围太小。
本实用新型的目的就是通过其结构的变化，以及电气系统方面的改变，提供一套设计合理，功能完善，适合于较大量程范围检漏的宽量程检漏仪。
根据所述目的，一种宽量程氦质谱检漏仪，由质谱室1、分子泵13、机械泵6、微漏气流通路检漏阀9、中漏气流通路检漏阀5、大漏气流通路检漏阀12、真空计8、4及电子控制系统组成，其特征在于分子泵13有两个抽气口2、3，上抽气口2与微漏气流通路的检漏阀9相连，下抽气口3与中漏气流通路的检漏阀5相连，大漏气流通路的检漏阀12与微漏气流通路的检漏阀9旁通或大漏气流通路的检漏阀12与中漏气流通路的检漏阀5旁通。其中所述的电子控制系统由电源模块，离子源供电模块，发射电流稳定模块，数据采集及灯丝保护模块，离子流放大模块，量程转换模块，显示报警模块组成。电源模块给发射电流稳定模块、数据采集及灯丝保护模块、离子流放大模块、量程转换模块及显示报警模块供给电源，离子流放大模块与量程转换模块连接，同时把经过离子流放大模块放大了的离子流送给显示模块进行显示。其中所述的离子流放大模块被封装在金属盒子里，并通过安装在金属盒子上的接口与电源模块、离子源供电模块、发射电流稳定模块、数据采集及灯丝保护模块、量程转换模块及显示报警模块电路相连。
与现有技术相比，本实用新型具有如下优点：
1.该检漏仪包括与分子泵上口相连的微漏气流通路检漏阀和与分子泵下口相连的中漏气流通路检漏阀。
2.该检漏仪包括与分子泵上口相连的微漏气流通路检漏阀与分子泵下口相连的中漏气流通路检漏阀，和被称为大漏气流通路检漏阀的分流式检漏阀。
3.该检漏仪包括与分子泵上口相连的微漏气流通路检漏阀，与分子泵下口相连的中漏气流通路检漏阀，和被称为大漏气流通路检漏阀的分流式检漏阀，它是微漏气流通路检漏阀的旁通阀和/或中漏气流通路检漏阀的旁通阀。
4.电路模块化，一方面提高了系统抗干扰的能力，另一方面提高了整个系统的可维修性。
5.离子流放大模块用金属盒封装，由安装在该金属盒上的接口与外部电路连接。
现结合附图对本实用新型作进一步说明。
图1为本实用新型所提出的氦质谱检漏仪的结构示意图。
由图1所示，本实用新型宽量程氦质谱检漏仪由质谱室1、分子泵13、机械泵6、微漏气流通路检漏阀9、中漏气流通路检漏阀5、大漏气流通路检漏阀12、真空计8、4及电子控制系统组成。其特征在于分子泵13有两个抽气口2、3，上抽气口2与微漏气流通路的检漏阀9相连，下抽气口3与中漏气流通路的检漏阀5相连，大漏气流通路的检漏阀12与微漏气流通路的检漏阀9旁通或大漏气流通路的检漏阀12与中漏气流通路的检漏阀5旁通。其中所述的电子控制系统由电源模块，离子源供电模块，发射电流稳定模块，数据采集及灯丝保护模块，离子流放大模块，量程转换模块，显示报警模块组成。电源模块给发射电流稳定模块、数据采集及灯丝保护模块、离子流放大模块、量程转换模块及显示报警模块供给电源，离子流放大模块与量程转换模块连接，同时把经过离子流放大模块放大了的离子流送给显示模块进行显示。其中所述的离子流放大模块被封装在金属盒子里，并通过安装在金属盒子上的接口与电源模块、离子源供电模块、发射电流稳定模块、数据采集及灯丝保护模块、量程转换模块及显示报警模块电路相连。
本实用新型的实施过程如下：
先把被检工件安装在检漏口11，然后打开预抽阀7、机械泵6开始对检漏口11所装工件14抽气，当检漏口真空计8所测的压力以及抽气时间满足微漏气流通路检漏阀9打开的条件时，则打开微漏气流通路检漏阀9，而中漏气流通路检漏阀5和大漏气流通路检漏阀12关闭；当检漏口真空计8所测的压力以及抽气时间达到中漏气流通路检漏阀5打开的条件时，则打开中漏气流通路检漏阀5，而微漏气流通路检漏阀9与大漏气流通路检漏阀12关闭；当检漏口真空计8所测的压力以及抽气时间达到大漏气流通路检漏阀12打开的条件时，则打开大漏气流通路检漏阀12，而微漏气流通路检漏9和中漏气流通路检漏阀5关闭，检漏完成后，打开放气阀10，取下工件14。
质谱室1包含离子源和前级放大器，离子源电离所漏进的及其本底的氦分子，使之形成He离子，前级放大器则放大氦离子流，根据其大小折算成漏率的大小，从而判断被检工件的密封情况。
电子控制系统由下列模块组成：电源模块，离子源供电模块，发射电流稳定模块，数据采集及灯丝保护模块，离子流放大模块，量程转换模块，显示报警模块。电源模块给发射电流稳定模块、数据采集及灯丝保护模块、离子流放大模块、量程转换模块及显示报警模块供给电源。离子源供电模块为离子源提供电源，发射电流稳定模块是通过调节加在离子源灯丝上的电压大小来稳定热电子在电离电压作用下进入电离盒形成的发射电流。数据采集及灯丝保护模块是对杂散离子流进行放大、比较，从而判断质谱室真空的好坏，发出保护灯丝的命令；离子流放大模块被封装在金属盒内，它与量程转换模块共同完成离子流放大，放大的离子流被送至显示报警模块；显示报警模块对本身的显示器件具有自测试功能，同时它与离子流放大模块、量程转换模块在借助于标准漏孔计的前提下共同实现离子流校准成实际漏率的过程，并且当实际漏率大于设定漏率时发出报警信号。检漏口真空计测量检漏口压力的大小，由电子控制系统或PLC控制器根据检漏口压力对预抽阀7、微漏气流通路检漏阀9、中漏气流通路检漏阀5、大漏气流通路检漏阀12、放气阀10进行控制。

Claims (3)

1.一种宽量程氦质谱检漏仪，由质谱室(1)、分子泵(13)、机械泵(6)、微漏气流通路检漏阀(9)、中漏气流通路检漏阀(5)、大漏气流通路检漏阀(12)、真空计(8)(4)及电子控制系统组成，其特征在于分子泵(13)有两个抽气口(2)(3)，上抽气口(2)与微漏气流通路的检漏阀(9)相连，下抽气口(3)与中漏气流通路的检漏阀(5)相连，大漏气流通路的检漏阀(12)与微漏气流通路的检漏阀(9)旁通或大漏气流通路的检漏阀(12)与中漏气流通路的检漏阀(5)旁通。
2.根据权利要求1所述的一种宽量程氦质谱检漏仪，其中所述的电子控制系统由电源模块，离子源供电模块，发射电流稳定模块，数据采集及灯丝保护模块，离子流放大模块，量程转换模块，显示报警模块组成。电源模块给发射电流稳定模块、数据采集及灯丝保护模块、离子流放大模块、量程转换模块及显示报警模块供给电源，离子流放大模块与量程转换模块连接，同时把经过离子流放大模块放大了的离子流送给显示模块进行显示。
3.根据权利要求2所述的一种宽量程氦质谱检漏仪，其中所述的离子流放大模块被封装在金属盒子里，并通过安装在金属盒子上的接口与电源模块、量程转换模块及显示报警模块电路相连。
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