JP5902740B2 - 真空システム - Google Patents
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Description
2 真空接続部
3 真空接続部
4 真空接続部
5 真空接続部
6 エラストマシール
7 ギャップシール
8 吸引通路
9 吸引開口
10 エラストマシール
11 吸引開口
12 ハウジングインサート
13 中間ステップ
14 羽根車
15 羽根車
16 羽根車
17 中間吸引部
18 貫通孔
19 収集通路への接続通路
Claims (14)
- 真空ポンプと受容部の間に解離可能な結合部が設けられ、この結合部をシールするために、大気側に向かって少なくとも1つのエラストマシールが設けられ、真空側の方向に少なくとも1つのギャップシールが設けられている、少なくとも1つの真空ポンプと少なくとも1つの受容部、即ちチャンバを有する真空システムにおいて、
エラストマシール(6)が、Oリングとして形成され、ギャップシール(7)が、受容部の面に押し付けられるポンプハウジングの面として形成され、受容部が加熱された時にエラストマシールによって発生されるガスの影響を回避するために、エラストマシール(6)とギャップシール(7)の間に、少なくとも1つの吸引通路(8)及び/又は少なくとも1つの吸引開口(9,11,17)が設けられていること、を特徴とする真空システム。 - 前記少なくとも1つの吸引通路(8)内に、貫通孔(18)と接続した複数の吸引開口(17)が設けられていること、を特徴とする請求項1に記載の真空システム。
- 吸引通路(8)が、ターニング加工部及び/又はフライス加工部として形成されていること、を特徴とする請求項1又は2に記載の真空システム。
- 吸引通路(8)が、真空引きするための1つ又は複数の出口(9,17)を備えること、を特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の真空システム。
- エラストマシール(6)及びギャップシール(7)内に、前記少なくとも1つの受容部の1つ又は複数の真空接続部(2)が配置されていること、を特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の真空システム。
- 複数の真空接続部(2,3,4,5)が、異なった圧力レベルにあること、を特徴とする請求項5に記載の真空システム。
- エラストマシール(6)とギャップシール(7)の間の吸引部が、これらシール(6,7)内又は外の真空接続部(3)内に通じていること、を特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の真空システム。
- エラストマシール(6)及びギャップシール(7)外に、少なくとも1つの別の真空接続部(3,4)が配置されていること、を特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の真空システム。
- 真空接続部(2,3,4,5)が、1つ又は複数の平面内に配置されていること、を特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の真空システム。
- エラストマシール(6)及びギャップシール(7)が、真空システムのフランジ、アドオン部品及び/又はビルトイン部品内に配置されていること、を特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の真空システム。
- 吸引部が、真空システムのハウジング内又は外に配置されていること、を特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の真空システム。
- エラストマシール(6)及びギャップシール(7)が、超高真空接続部(UHVポート)をシールするために設けられていること、を特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の真空システム。
- 吸引通路(8)及び/又は吸引開口(9,11,17)を吸引するために、付加的な真空ポンプが設けられていること、を特徴とする請求項1に記載の真空システム。
- フランジが、特殊鋼又はアルミニウムから構成されていること、を特徴とする請求項10に記載の真空システム。
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