JP6120915B2 - 真空システム - Google Patents
真空システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6120915B2 JP6120915B2 JP2015142350A JP2015142350A JP6120915B2 JP 6120915 B2 JP6120915 B2 JP 6120915B2 JP 2015142350 A JP2015142350 A JP 2015142350A JP 2015142350 A JP2015142350 A JP 2015142350A JP 6120915 B2 JP6120915 B2 JP 6120915B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inlet
- seal
- outlet
- seals
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 23
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 18
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 17
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 claims description 17
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 14
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 13
- 229920002449 FKM Polymers 0.000 claims description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 6
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 3
- 101100321442 Arabidopsis thaliana ZHD1 gene Proteins 0.000 claims description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 4
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 101100321457 Arabidopsis thaliana ZHD8 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/08—Sealings
- F04D29/083—Sealings especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
- F04D29/522—Casings; Connections of working fluid for axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
Description
23,23a,23b 真空ポンプ
25 レシーバー
27 第一のポンプ段
29 第二のポンプ段
31 第三のポンプ段
33 インレット
35 アウトレット
37 アウトレット
39 アウトレット開口部
41 インレット開口部
43 アウトレット部分
45 インレット部分
47 第一のシール
49 第二のシール
51 容積
51a,52b 容積
53 吸引部
55 吸引開口部
57 収容部
59 収容部
61 集約チャネル
63 切断エッジ
65 隆起部
67 領域
69 アール
71 端部領域
73 端部領域
Claims (18)
- 少なくとも一つの真空ポンプ(23,23a,23b)と少なくとも一つのレシーバー(25)を有する真空システムであって、その際、アウトレット(37)内に設けられるアウトレット開口部(39)が、インレット(33)内に設けられるインレット開口部(41)と合わせられており、および、アウトレット開口部(39)の周りを周回して推移するアウトレット(34)の部分(43)が、インレット開口部(41)の周りを周回して推移するインレット(33)の部分(45)と向かい合っており、および、インレット部分(45)とアウトレット部分(43)の間に、インレット開口部(41)の周りを周回して推移する第一のシール(47)が、そして第一のシール(47)の半径方向外側に、インレット開口部(41)の周りを周回して推移する第二のシール(49)が設けられているよう、レシーバー(25)のアウトレット(37)が、真空ポンプ(23,23a,23b)のインレット(33)と、解除可能に接続されている、または接続可能であり、その際、両方のシール(47,49)の間に取り囲まれる少なくとも一つの容積(51,51a,51b)の真空引きの為に、少なくとも一つの吸引部(53)が設けられている真空システムにおいて、
第一のシール(47)が、軟質金属材料から形成されている、またはエラストマーからなるフラットシールとして形成されており、
インレット(33)が、インレット部分(45)が取り囲む少なくとも二つのインレット開口部(41)を有し、少なくとも二つのインレット開口部(41)の其々の周りに、各一つの第一のシール(47)を設けられており、および、
第二のシール(49)が、少なくとも二つの第一のシール(47)の半径方向外側で、少なくとも二つの第一のシール(47)の周りを周回するよう推移することを特徴とする真空システム。 - 金属材料が、HB35よりも低いブリネル硬さを有し、HB30よりも低いブリネル硬さ、HB25よりも低いブリネル硬さ、又は最高HB20のブリネル硬さを有することを特徴とする請求項1に記載の真空システム。
- 金属材料が、アルミニウム合金であることを特徴とする請求項1または2に記載の真空システム。
- 第一のシール(47)が、金属材料から成り、フラットシールとして形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の真空システム。
- エラストマーが、PTFE,FKMまたはバイトンであることを特徴とする請求項1に記載の真空システム。
- 第一のシール(47)が、最高2mmの高さ、0.03から1.5mmの間の高さ、0.05から1mmの間の高さ、または0.05から0.5mmの間の高さを有することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の真空システム。
- 第一のシール(47)が、インレット部分(45)とアウトレット部分(43)の間において0.05mmから0.5mm、又は0.05mmから0.1mmだけ、押しつぶされていることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の真空システム。
- 第二のシール(49)がエラストマーから成り、そしてOリングの形式で形成されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の真空システム。
- 吸引部(53)が、インレット部分(45)内に設けられる少なくとも一つの吸引開口部(55)を有し、及び/又は吸引部(53)が、アウトレット開口部(43)内に設けられた少なくとも一つの吸引開口部(55)を有することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の真空システム。
- インレット部分(45)及び/又はアウトレット部分に、インレット開口部(41)又はアウトレット開口部(43)の周りを周回するよう推移する、第一のシール(47)の為の収容部(57)が設けられていることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の真空システム。
- 収容部(57)内に、インレット開口部(41)またはアウトレット開口部(43)の周りを周回するよう推移する切断エッジ(63)が形成されていること、及び/又は収容部(57)が深さが増すとともに先細となっていることを特徴とする請求項10に記載の真空システム。
- インレット部分(45)とアウトレット部分(43)が集まった際に、これらの間に配置された第一のシール(47)の、インレット開口部の周りを周回して推移する少なくとも一つのエッジが押しつぶされるよう、インレット部分(45)及び/又はアウトレット部分(43)が形成されていることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の真空システム。
- 両方のシール(47、49)が互いに一体に形成されており、金属製のフラットシールの形式で、又はエラストマーフラットシールの形式で形成されていることを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の真空システム。
- 真空ポンプ(23,23a,23b)のハウジングがアルミニウムから形成されており、及び/又は、
レシーバー(25)のハウジングがアルミニウムから形成されていることを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の真空システム。 - 少なくとも二つの第一のシール(47)が互いに一体に形成されていることを特徴とする請求項1から14のいずれか一項に記載の真空システム。
- レシーバー(25)のアウトレット(37)と、真空ポンプ(23,23a,23b)のインレット(33)の間の接続のシールの為のダブルシールであって、その際、接続の際に、アウトレット(37)内に設けられたアウトレット開口部(39)が、インレット(33)内に設けられたインレット開口部(41)に合わせられており、そして、アウトレット開口部(39)の周りを周回するよう推移するアウトレット(37)の部分(43)が、インレット開口部(41)の周りを周回するよう推移するインレット(33)の部分(45)と向かい合っており、その際、ダブルシールが、第一のシール(47)および第二のシール(49)を有し、これらは、第二のシール(49)が、第一のシール(47)の半径方向外側でインレット開口部(41)の周りを周回するよう推移し、そして両方のシール(47,49)が、少なくとも一つの吸引部(53)を介して真空引き可能である少なくとも一つの容積(51a,51b)を取り囲むよう、インレット部分(45)とアウトレット部分(43)の間に配置されている、または配置可能であるダブルシールにおいて、
両方のシール(47,49)が互いに一体に形成されており、
インレット(33)が、インレット部分(45)が取り囲む少なくとも二つのインレット開口部(41)を有し、少なくとも二つのインレット開口部(41)の其々の周りに、各一つの第一のシール(47)を設けられており、および、
第二のシール(49)が、少なくとも二つの第一のシール(47)の半径方向外側で、少なくとも二つの第一のシール(47)の周りを周回するよう推移することを特徴とするダブルシール。 - 一体に形成された両方のシール(47,49)が、金属製のフラットシールとして、またはエラストマーフラットシールとして形成されていることを特徴とする請求項16に記載のダブルシール。
- 少なくとも二つのアウトレット開口部(39)を有するレシーバー(25)のアウトレット(37)と、少なくとも二つのインレット開口部(41)を有する真空ポンプ(23b)のインレット(33)の間の接続のシールの為のシール装置であって、その際、接続の際に、各一つのアウトレット開口部(39)が、各一つのインレット開口部(41)に合わせられており、そしてアウトレット開口部(39)の周りを周回するよう推移するアウトレット(37)の部分(43)が、インレット開口部(41)の周りを周回するよう推移するインレット(33)の部分(45)と向かい合っており、その際、シール装置が、少なくとも二つのシール(47)を有し、これらがインレット部分(45)とアウトレット部分(43)の間に、各一つのシール(47)が各一つのインレット開口部(41)の周りを周回するよう推移するよう配置されている、または配置可能であるシール装置において、少なくとも二つのシール(47)が、互いに一体に形成されており、
インレット(33)が、インレット部分(45)が取り囲む少なくとも二つのインレット開口部(41)を有し、少なくとも二つのインレット開口部(41)の其々の周りに、各一つの第一のシール(47)を設けられており、および、
第二のシール(49)が、少なくとも二つの第一のシール(47)の半径方向外側で、少なくとも二つの第一のシール(47)の周りを周回するよう推移することを特徴とするシール装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102014110078.6 | 2014-07-17 | ||
DE102014110078.6A DE102014110078A1 (de) | 2014-07-17 | 2014-07-17 | Vakuumsystem |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016023805A JP2016023805A (ja) | 2016-02-08 |
JP6120915B2 true JP6120915B2 (ja) | 2017-04-26 |
Family
ID=53498868
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015142350A Active JP6120915B2 (ja) | 2014-07-17 | 2015-07-16 | 真空システム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2975268B1 (ja) |
JP (1) | JP6120915B2 (ja) |
DE (1) | DE102014110078A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3135917B1 (de) * | 2015-08-24 | 2020-10-07 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
EP3318763B1 (de) * | 2016-11-04 | 2020-07-01 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumdichtung, doppeldichtung, vakuumsystem und vakuumpumpe |
EP3327293B1 (de) * | 2016-11-23 | 2019-11-06 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe mit mehreren einlässen |
EP3296571B1 (de) * | 2017-07-21 | 2021-11-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
GB2590664A (en) * | 2019-12-23 | 2021-07-07 | Edwards S R O | Sealing between a cover plate and the pumping chamber or a multiple stage pump |
GB2592375A (en) * | 2020-02-25 | 2021-09-01 | Edwards Vacuum Llc | Flange for a vacuum apparatus |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3144035A (en) * | 1963-02-01 | 1964-08-11 | Nat Res Corp | High vacuum system |
JPS4946677B1 (ja) * | 1970-12-25 | 1974-12-11 | ||
DE2416808B2 (de) * | 1974-04-06 | 1977-11-03 | Leybold-Heraeus GmbH & Co KG, 5000 Köln | Vakuumdichtung |
FR2409406A1 (fr) * | 1977-11-22 | 1979-06-15 | Air Liquide | Procede de realisation des etancheites interne et de sortie d'arbre d'une pompe et pompe mettant en oeuvre ce procede |
JPS5517705A (en) * | 1978-07-20 | 1980-02-07 | Tokyo Inst Of Technol | Gasket for super high-vacuum |
DE2851566C2 (de) * | 1978-11-29 | 1982-09-02 | Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Dichtelement für Flanschverbindungen |
DE3830470A1 (de) * | 1988-09-08 | 1990-03-15 | Mtu Friedrichshafen Gmbh | Dichtungseinrichtung zwischen welle und gehaeuse einer stroemungsmaschine mit mindestens einem laufrad |
DE9304435U1 (ja) * | 1993-03-24 | 1993-06-09 | Leybold Ag, 6450 Hanau, De | |
JP4498661B2 (ja) * | 2001-07-11 | 2010-07-07 | 株式会社バックス・エスイーブイ | 真空装置用金属製ガスケット及びその製造方法 |
DE102005059208A1 (de) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumgehäuse |
DE102005063265A1 (de) * | 2005-12-30 | 2007-07-12 | Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. | Hochdruck- und Vakuumdichtungssystem |
DE102006020710A1 (de) * | 2006-05-04 | 2007-11-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe mit Gehäuse |
DE102007010068A1 (de) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh | Vakuumpumpe oder Vakuumapparatur mit Vakuumpumpe |
GB2504329A (en) * | 2012-07-26 | 2014-01-29 | Edwards Ltd | Ultra high vacuum pump seal arrangement |
-
2014
- 2014-07-17 DE DE102014110078.6A patent/DE102014110078A1/de active Pending
-
2015
- 2015-06-30 EP EP15174432.3A patent/EP2975268B1/de active Active
- 2015-07-16 JP JP2015142350A patent/JP6120915B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2975268A3 (de) | 2016-05-11 |
JP2016023805A (ja) | 2016-02-08 |
DE102014110078A1 (de) | 2016-01-21 |
EP2975268A2 (de) | 2016-01-20 |
EP2975268B1 (de) | 2020-03-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6120915B2 (ja) | 真空システム | |
JP6084962B2 (ja) | 真空ポンプ | |
US20130011245A1 (en) | Axial shaft seal for a turbomachine | |
US9303655B2 (en) | Seal for a high-pressure turbomachine | |
JP6469112B2 (ja) | 腔に収容されるチューブのための端部嵌合構造及びチューブを腔内に設置する方法 | |
US10670025B2 (en) | Centrifugal compressor | |
JP2019523882A5 (ja) | ||
US20140369809A1 (en) | Turbomolecular pump | |
EP3168479A1 (en) | Rotary machine | |
JP2018523776A (ja) | 長手方向シール部材および環状シール部材を備える真空ポンプ | |
CN202954972U (zh) | 一种涡旋式压缩机的轴向密封机构 | |
JP2014122574A (ja) | ロータリー圧縮機 | |
CN209053784U (zh) | 一种涡旋压缩机的防抽真空装置 | |
US9995309B2 (en) | Vacuum system | |
JP2005139935A (ja) | スクロール圧縮機 | |
CN109162919A (zh) | 一种涡旋压缩机的防抽真空装置 | |
JP5979935B2 (ja) | ポンプ | |
CN106438301A (zh) | 一种新型双腔压电泵 | |
CN107002696B (zh) | 具有密封通道的压缩机 | |
JP2009052434A (ja) | 遠心圧縮機 | |
JP2011236823A (ja) | スクリュー圧縮機 | |
JP5618722B2 (ja) | シール部材および管継手および取水用配管 | |
JP2017190732A5 (ja) | ||
TW201943963A (zh) | 乾式真空泵 | |
JP2018080831A (ja) | 真空シール、ダブルシール、真空システム及び真空ポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160526 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160601 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20160809 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161014 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170301 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170328 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6120915 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |