DE2416808B2 - Vakuumdichtung - Google Patents

Vakuumdichtung

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DE2416808B2
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Germany
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ring
sealing ring
centering
vacuum seal
vacuum
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DE19742416808
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Manfred 5354 Weilerswist Witzke
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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Leybold Heraeus GmbH
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/02Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F16J15/08Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with exclusively metal packing
    • F16J15/0881Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with exclusively metal packing the sealing effect being obtained by plastic deformation of the packing
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L23/00Flanged joints
    • F16L23/16Flanged joints characterised by the sealing means
    • F16L23/18Flanged joints characterised by the sealing means the sealing means being rings

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuum-Dichtung, bestehend aus einem Metalldichtring und einem weiteren, dem Metalldichtring anliegenden Zentrierring.
Aus dem DT-GM 17 62 330 und aus der DT-AS 12 85 810 sind Vakuumdichtungen mit Metalldichtringen und Zentrierringen bekannt, bei denen entweder der Dichtring und der Zentrierring einstückig ausgebildet oder fest miteinander verbunden sind (DT-AS). Weiterhin ist aus der DT-PS 12 91 582 ein Dichtungselement für Vakuum-Flanschverbindungen bekannt, bei dem der Zentrierring im Bereich des Dichtringes als Ringschneide ausgebildet ist, die während des Zusammenpressens der Flanschverbindungen in den Dichtring eindringt. Alle diese vorbekannten Vakuumdichtungen mit Metalldichtringen und Zentrierringen können entweder nur einmal oder allenfalls einige Male verwendet werden, da das den Dichtring bildende Metall den Vorteil von Elastomer-Dichtungen, nämlich den der plastischen Verformbarkeit, nicht aufweist. Im Ultrahochvakuumbereich sind jedoch Metalldichtungen unerläßlich, da Elastomer-Dichtungen für diesen Vakuumbereich nicht mehr geeignet sind. Nach jeder allzu starken Verformung; muß deshalb eine neue Vakuumdichtung verwendet werden. Da die Dichtringe häufig aus kostspieligen Materialien (Kupfer, Indium, Gold od. dgl.) bestehen, ist der Aufwand für Metall-Vakuumdichtungen relativ groß, und zwar deshalb, weil nicht nur der Metalldichtring, sondern auch der Zentrierring jedesmal mitausgewechselt werden muß.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vakuum-Dichtung mit einem Metalldichtring und einem weiteren dem Metalldichtring anliegenden Zentrierring zu schaffen, bei der der für das Auswechseln des Dichtringes notwendige Aufwand wesentlich reduziert ist.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der dem Dichtring lose anliegende Zentrierring als Federring mit einem Radialspalt ausgebildet ist. Bei dieser Vakuum-Dichtung ist der Zentrierring von dem Dichtring auch nach dem Gebrauch in einfacher Weise lösbar, so daß nach jeder allzu starken Deformierung lediglich der Dichtring ausgewechselt zu werden braucht. Der Zentrierring kann beliebig oft wiederverwendet werden. AHein dieser Vorteil hat bei der Verwendung von Metalldichtungen eine Materialersparnis von weit über 50% zur Folge. Ein weiterer Vorteil besteht noch darin, daß bei weniger hohen Anforderungen an das Vakuum an die Stelle des Metalldichtringes auch ein Elastomer-Dichtring eingesetzt werden kann.
Zweckmäßig umfaßt der Zentrierring den Dichtring von außen. Dadurch werden unnötige Spaltbildungen, die noch längere Zeit das Vakuum verschlechtern, im zu evakuierenden Raum vermieden.
Dichtring und Zentrierring können aus z. B. Aluminium bestehen. Darüber hinaus besteht im Rahmen der Erfindung auch die Möglichkeit, den Zentrierring aus billigem Material (Aluminium, Kunststoff) herzustellen und lediglich für den Dichtungsring hochwertige Materialien (Kupfer, Silber, Gold od. dgl.) zu verwenden. Auch diese Maßnahmen haben eine Verringerung des Aufwandes bei der Verwendung von Metalldichtungen zur Folge.
Nachstehend ist die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigt
F i g. 1 eine Vakuum-Dichtung nach der Erfindung in Draufsicht,
F i g. 2 einen Schnitt durch eine Dichtung nach F i g. 1, Fig.3 einen Schnitt durch eine Dichtung nach der Erfindung mit Innenzentrierung,
Fig.4 einen Schnitt durch eine Dichtung nach der Erfindung mit aus mehreren Metallen bestehendem Dichtring und
F i g. 5 eine Dichtung nach der Erfindung unter Verwendung von Überwurfflanschen.
Bei der Vakuum-Dichtung nach F i g. 1 ist der Dichtring mit 1 bezeichnet. Er wird vom Zentrierring 2 umfaßt, der bei 3 einen Radialspalt aufweist und derart ausgebildet ist, daß er dem Dichtungsring 1 federnd von außen anliegt. Die am äußeren Rand des Zentrierringes 2 befindliche Zentriernase ist mit 4 bezeichnet.
Die F i g. 2 bis 5 zeigen jeweils ein Flanschpaar 5, 6, zwischen denen sich eine Vakuum-Dichtung nach der Erfindung befindet. Nur jeweils eine Seite des Flanschpaares 5,6 ist dargestellt.
Beim Ausführungsbeispiel nach F i g. 2 ist eine Vakuum-Dichtung nach F i g. 1 zwischen den Flanschen 5 und 6 angeordnet. Die Zentriernasen 4 des Zentrierringes 2 umfassen die Flansche 5 und 6 von außen. Die Innenseite des Zentrierringes 2 weist eine konkave Form auf. Der Dichtring t hat im Querschnitt die Form eines Quadrates, das bezüglich der vom Dichtring gebildeten Ebene auf der Spitze steht. Dadurch liegt der Dichtring den Flanschen 5 und 6 und der Innenseite des Zentrierringes jeweils mit einer Kante an.
Beim Ausführungsbeispiel nach F i g. 3 liegt der Zentrierring 2 innerhalb des Dichtringes 1. Die Zentriernasen 4 liegen dabei den Innenseiten der Flanschen 5 und 6 an.
Die Flanschen 5 und 6 zusammenpressende Mittel sind in den F i g. 2 und 3 der Übersichtlichkeit wegen nicht dargestellt. Bei den Ausführungsbeispielen nach F i g. 4 und 5 bestehen diese aus den Bolzen 7 und den Muttern 8. Gleichzeitig erfolgt dadurch die Zentrierung. Dazu weisen die Zentrierringe 2 die öffnung 9 für die Bolzen 7 auf.
Beim Ausführungsbeispiel nach F i g. 4 weist der Dichtring 1 im Bereich seiner dem Flansch anliegenden Dichtkanten je eine Ringnut 10 auf, in die jeweils ein Golddraht1 1 eingelegt ist.
Beim Ausführungsbeispiel nach Fig.5 sind Überwurfflansche verwendet, die mit Hilfe der Klemmringe 12 und 13 an den Rohrenden 14 und 15 gehaltert sind. Der Dichtring 1 wird mit Hilfe des Ringes 2 derart zentriert, daß er zwischen den Rohrenden 14 und 15
liegt. derziehen des Zentrierringes 2 kann der Dichtring 1 von 1st bei allen dargestellten Ausführungsbeiüpielen der dem Zemrierring gelöst und durch einen neuen Dichtring 1 infolge zu starker Deformierung unbrauch- Dichtring ersetzt werden. Bei der in F i g. 3 dargestellbar geworden, dann ist es lediglich notwendig, diesen ten, innen zentrierten Ausführung muß der Zentrierring Dichtring 1 auszuwechseln. Durch einfaches Auseinan- 5 2 entsprechend zusammengedrückt werden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

Patentansprüche:
1. Vakuum-Dichtung, bestehend aus einem Metalldichtring und einem weiteren, dem Metalldichtring anliegenden Zentrierring, dadurch gekennzeichnet, daß der dem Metalldichtring lose anliegende Zentrierring (2) als Federring mit einem Radialspait (3) ausgebildet ist.
2. Vakuum-Dichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Zentrierring (2) den Dichtring (1) vorzugsweise von außen umfaßt.
3. Vakuum-Dichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Zentrierring (2) aus Aluminium oder Kunststoff besteht.
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