DE1962619C3 - Verfahren zur herstellung einer metalldichtung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung einer Metalldichtung, bei der die abzudichtenden Teile unter Vakuum während einer bestimmten Haltezeit mit einer Kraft und bei einer Temperatur, bei denen zwischen den Berührungsflächen molekulare Diffusion auftritt, gegeneinander gepreßt werden. Ein solches Verfahren ist aus der britischen Patentschrift 7 24 909 bekannt.

Die bekannte Metalldichtung stellt einen Stopfen zum Verschließen von öffnungen oder zum dichten Abschließen von Rohren od. dgl. dar. Et ist damit von vornherein nur ein einmaliges Abdichten möglich, ohne daß eine »arbeitende« Dichtpaarung zur Verfugung stünde, also eine in einer Armatur zum wiederholten öffnen und Schließen geeignete Dichtpaarung.

Bei der vorliegenden Erfindung geht es um eine Metalldichtung, die auch bei häufigem öffnen und Schließen sowohl im Überdruckbereich als auch im Vakuumbereich zuverlässig dicht bleibt.

Dabei ist das bevorzugte Anwendungsgebiet für die angestrebte Dichtung die Kernphysik, Halbleiterphysik, die Vakuumtechnik und die Weltraumfahrt sowie die Elektronik und die Schwachstromtechnik.

Auf den genannten Gebieten werden zur Zeit herkömmliche Dichtungen verwendet, hei denen auf den abzudichtenden Teilen durch Eindrehungen, Ansätze od. dgl. Dichtflächen gebildet werden, wobei Dichtscheiben oder Dichteinlagen zwischengelegt sein können, die gewöhnlich aus einem weicheren Werkstoff als die abzudichtenden Teile selbst bestehen.

Soweit eine weichere Dichteinlage Verwendung findet oder eines der abzudichtenden Teile aus einem Werkstoff mit niedrigerer Streckgrenze, z. B. aus Gold, Kupfer, Nickel, Weicheisen oder Aluminium, besteht, können die wirksamen Dichtflächen beim Anpressen plastisch verformt werden, wodurch Unebenheiten. Kratzer, Risse und andere Oberflächenfehler ausgeglichen bzw. aufgefüllt werden. Nachteilig ist hitrrbei jedoch, daß die Dichtung nach jeder Demontage erneuert werden muß, daß hohe Ansprüche an die Bearbeitungsgüte der Dichtflächen gestellt werden müssen und auch daß die Werkstoffe der dichtenden Flächen ineinander diffundieren können, wenn die komplette Dichtung zum Zwecke der Entgasung erhitzt wird, wodurch die Lösung der Dichtverbindung

erschwert und die Lebensdauer herabgesetzt wird.

Bekannte Diffusionsdichtungen erreichen zwar eine gute Dichtwirkung, eignen sich jedoch nur, wie die eingangs beschriebene Ausbildung, für den statischen Betrieb, in dem eine Lösung der Dichtung nicht oder nur selten erforderlich ist.

Ähnliches gilt für eine bekannte Dichtung, bei der zwischen kegelige oder planparallele Dichtflächen eine Dichtzwischenlage aus flachem oder rundem Draht eingelegt wird, welcher sich beim Zusammenpressen verformt und zum Fließen gebracht wird, wobei seine Oxydhaut zerquetscht wird. Die dabei auftretende lokale Kaltpreßschweißung der blanken Metallflächen trägt zwar zur Erhöhung der Dichtheit der Verbindung bei, begrenzt aber die Anwendung auf einen Schließzyklus.

Soweit die Dichturigspaarungen in rotationssymmetrischen Formen ausgeführt sind, kann eine Änderung der gegenseitigen Lage der Paarungselemente im Laufe des Betriebs sich dadurch nachteilig auswirken, daß die Dichtheit nachläßt bzw. zur Aufrechterhaltung einer erforderlichen Abdichtungswirkung die Dichtkraft erhöht werden muß.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, unter Vermeidung der beschriebenen Nachteile aufzuzeigen, wie eine Metalldichtung geschaffen werden kann, die eine zuverlässige und sichere Abdichtung im Bereich von hohen Drücken oder hohem Vakuum gewährleistet, für eine Vielzahl von Arbeitszyklen geeignet ist und dabei im Laufe des Betriebs nichts von ihrer Dichtungswirkung einbüßt.

Ausgehend von einem Verfahren der eingangs beschriebenen Art wird zur Lösung dieser Aufgabe erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß die abzudichtenoen Teile wiederholt voneinander abgerissen und wieder gegeneinander gepreßt werden bis auf beiden Berührungsflächen eine Dichtschicht aus feinverteiltem Metall sich gebildet ha.

Es kann dabei zweckmäßig sein, wenn die Dichtschicht aus feinverteiltem Metall aus einer zwischen die abzudichtenden Teile gelegten Metallscheibe aus weicherem Metall herausgerissen wird.

Eine auf diese Weise erhaltene Dichtung befriedigt nicht nur höchste Ansprüche an die Dichtungswirkung, sondern behält diese auch während einer langen Lebensdauer bei, da sie sich im Betrieb immer wieder erneuert.

Die Erfindung wird nachfolgend durch die Beschrei-Dung von Ausführungsbeispielen an Hand der Zeichnungen weiter erläutert. Es zeigt

F i g. 1 das Gefüge der metallenen Dichtschicht eines Dichtelements nach der Erfindung im Längsschnitt (im vergrößerten Maßstab),

Fig.2 den teilweisen Schnitt eine- Absperrvorrichtung mit einer zwischengelegten metallischen Dichtungsscheibe zwischen den abzudichtenden Flächen,

Fig. 3 die Einzelheit III aus Fig. 2 (vergrößert gezeichnet),

Fig.4 den teilweisen Schnitt einer Absperrvorrichtung mit Dichtüberzug auf den abzudichtenden Teilen.

Nach dem vorgeschlagenen Verfahren wird auf den Berührungsflächen der abzudichtenden Teile eine metallene Dichlschicht erzeugt, welche zum Beispiel eine fein verteilte körnige Struktur mit verschiedenen Korngrößen und -formen hat, wobei die Körner miteinander und mit dem Grundmetall durch molekulare Diffusionskräfte gebunden sind.

Die Dichtschicht kennzeichnet sich vor allem durch

eine struklurbedingte veränderliche Streckgrenze, die auf der Schichtoberfläche am niedrigsten ist und mit der Tiefe ansteigt, um in der Übergangszone zum Grundmetall ihren maximalen Wen zu erreichen.

Vom Werkstoff des Dichtungselement*, auf das die Dichtschicht aufgetragen wird, ist zu fordern, daß seine Streckgrenze etwa der maximalen Streckgrenze des Werkstoffes, aus dem die Dichtschicht besieht, ent spricht oder darüber liegt. Die Schichtdicke des Dichtüberzuges wird in Abhängigkeit von seiner Streckgrenze und vom Dichtungsdruck gewählt.

Wie eingangs ausgeführt, ist es an sich bekannt, sowohl die Kakpreß- als auch die Diffusionsschweißung zum Abdichten von unlösbaren Verbindungen anzuwenden. Bei den sich dabei ergebenden schwer trennbaren Verbindungen kann die Vereinigung der beiden gleichartigen oder ungleichartigen Metallstücke zu einem Ganzen so vollkommen sein, uaä der Versuch, ihrer Trennung zum Bruch führ!, und an jedem getrennten Metallstück die Teilchen des Gegenstückmetalls angelötet oder angeschweißt haften bleiben. Diese Erscheinung betrachtet man als störend, da sie die wiederholte Verwendung der Dichtungseleniente erschwert.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Kaltpreß- oder die Diffusionsschweißung zur Bildung und Formgebung einer metallenen Dichtschicht auf den abzudichtenden !-"lachen ausgenutzt. Hierzu bringt man die Diehtungselemente, deren Flächen vorher durch Spülung mit organischen Lösungsmitteln oder mit destilliertem Wasser, oder durch chemische b/.w. elektrolytische Ätzung oder auf ähnliche Weise gereinigt wurden, in einen Vakuumraum und erhitzt zwecks weiterer Reinigung bis zu einer Temperatur, bei der die Zersetzung der Oxyde auf den Metalloberflächen stattfindet.

Die so vorbereiteten Dichtelemente preßt man mit den Berührungsflächen zusammen, läßt sie unter Druck eine Pausenzeit stehen und führt sie darauf auseinander, bis die Flächen voneinander vollständig getrennt sind. Die Preßkraft richtet sich dabei nach der Werkstoffari, der Größe und der Tem pe rat ¹Ji^- dieser Flächen. Diese Schließung und Trennung der Dichtungseleniente wiederholt man solange, bis auf ihren Berührungsflächen eine feinverteilte metallene Dichtschicht gebildet ist. Der ganze Vorgang kann auch durch Trennung eines Dichtlingselements von einer Dichtungs/wischenlage durchgeführt werden.

Bei der ersten Schließung der Dichtungseleniente mit der oben angegebenen Anpreßkraft und Temperatur werden während der Pausenzeit die feinsten Rauhigkeitsspitzen und Unebenheiten auf ihren Stoßflächen plastisch verformt, wobei auch die Hautschicht, beispielsweise die Oxydhaut, zerquetscht wird. Dadurch, daß die Anpreßkraft von wenigen kleinen Berührungsstellen aufgenommen wird, stellen sich die Verhaltnisse ein, unter denen es zur lokalen Kaltpreßschweißung oder Diffusionsschweißung kommt. Bei der Trennung der Dichtungsclemente bleiben an ihren Berührungsflächen wie erwähnt angelötete oder angeschweißte Teilchen des Gegenstücks haften. Diese Teilchen haben eine unregelmäßige Form und ihre Größe liegt etwa zwischen ! μιη und 1 mm.

Es ist am günstigsten, die Anpreßkraft, die Temperatur und die Pausenzeit unter Berücksichtigung der Werkstoffart, der Beschaffenheit und der Behandlungsart der genannten Fläcnen so zu wählen, daß die haften bleibenden Gegenstückteilchen die Größe 1 μιη bis 100 μπι haben.

Die Werkstoffübertragung von der einen Fläche auf die andere im Vakuum vollzieht sich, wenn die beiden Berührungsflächen von gleichem Metall gebildet sind, symmetrisch. Bei wiederholten Schließungen und Trennungen erfolgt aber die Schweißung wegen den kleinen natürlichen Versetzungen der Berührungsflächen gegeneinander an immer neuen Stellen.

Hinige Werkstoffteilchen können dabei auch mehrere Male von einer Fläche auf die andere übertragen werden. Die Oberflächenschicht der Berührungsflächen der beiden Dichtungselemente wird locker und die abgerissenen Teilchen werden durchgemischt. Es werden immer neue Stellen dieser Flächen in den Vorgang einbezogen, bis die Berührungsflächen der beiden Dichtungselemente von einer dünnen (10 bis 400 μιη) chemisch homogen feinverteilten (Korngröße von 1 μηι bis 100 μηι) Metallschicht bedeckt sind. Die Struktur einer solchen Schicht ist in Fig. 1 gezeigt. Sie läßt sich als eine Metallschicht 1 aus feinen Metallkörnern 2, die miteinander und mit den darunter liegenden Grundmetallschichten 3 des Dichtungselements durch Molekularkräfte gebunden sind, auffassen.

Gleichzeitig mit der Bildung der oben beschriebenen feinkörnigen Metallschicht 1 kommt es auch /ur Verdichtung (Kaltverfestigung) des unter den Berührungsflächen liegenden Grundmetalls der Dichuingselemente durch Verformung. Durch die Verfestigung werden die Festigkeitseigenschalten des Metalls wesentlich geändert. Seine Härte wird höher Gesteigert wird auch die mit der Härte in bekannter Be/iehung stehende Streckgrenze.

Es ist zu sehen, daß die durch wiederholte Schließung und Trennung der Berührungsflächen der Dichtungseleinente entstehende relativ dünne (10 bis 400 um) feinkörnige Metallschicht auf wesentlich dickeren Grundmetallschichten mit erhöhter Härte b/.w. Streckgrenze liegt. Die Dicke dieser Grundmetallschicht kann je nach der Gestaltung der Dichtungseleniente. dem gewählten Werkstoff und der Temperatur bis 1 mm betragen.

Die auf den Berührungsflächen der Dichtungselemente im Vakuum erzeugte feinkörnige Metallschicht hat keine Oxydhaut oder sonstige Verunreinigungen und ist von feinkörniger Struktur. We^;l die einzelnen Volimeiallkörner dieser Schicht relativ schwach miteinander gebunden sind (die Berührungsfläche /wischen den Nachbarkörnern kann wesentlich kleiner seir. als die Gesamtfläche dieser Körner) genügen schon relativ kleine Kräfte, um sie gegeneinander zu verschieben, die alten Verbindungen zu brechen und neue Verbindungen herzustellen. Eine solche Schicht ist in ihrem Verhalten einer Sandschicht ähnlich, in der die einzelnen Sandkörner durch Klebstoff verbunden sind und dadurch sich leicht verschieben lassen, ohne daß die Homogenität der Schicht dadurch gestört wird.

Mit der Entstehung der beschriebenen Oberflächenschicht verschwindet die ursprüngliche Beschaffenheit der Berührungsflächen und sie bekommen ein feinkörniges Aussehen.

Durch ihre vorzüglichen Fesiigkeitseigenschafien. insbesondere durch die niedrige Streckgrenze und das hohe gegenseitige Haftvermögen tier Körner und durch ihre geringe Gasdurchlässigkeit im zusammengepreßten Zustand eignet sich die feinkörnige Metallschicht /ur Abdichtung des Stoßes von lösbaren Verbindungen in Absperrvorrichtungen.

Fig. 2 und 3 illustriert als Beispie! die Herstellung

einer metallenen Dichtschicht auf einer Kupferdichtung, die als Dichtungszwischenlagc bei beheizten Höchstvakuumveniilen verwendet wird, und auf einem mit dieser zusammenwirkenden Dichtungselement aus Stahl.

Zu sehen sind als abzudichtende Teile die ringförmigen Dichtansätze 4, 5 am Ventilsitz 6 und am Verschlußkörper 7 und eine zwischengelegle scheibenförmige Flachdichtung 8. Der Ventilsitz 6 und das Verschlußstück 7 sind beispielsweise aus nichtrostendem Stahl hergestellt. Die Dichtung 8 wird in diesem Falle aus technisch oder chemisch reinem Kupfer gefertigt. Für die Höchstvakuumventile eignen sich als Dichtungswerkstoffe am besten Vakuum- oder sauerstoffreines Kupfer.

Die Dichtung 8 wird in der üblichen Weise bearbeitet.

Die genaue Zentrierung des Verschlußstückes 7 gegenüber dem Ventilsitz 6 und der Dichtung 8 wird dadurch erreicht, daß die Passung zwischen Außendurchmesser des Verschlußstücks 7 und Innendurchmesser des Ventilsitzes 6 alu Gleitsitz ausgeführt ist.

Für die Befestigung der Dichtung 8 im Ventilsitz 6 ist der Außendurchmesser der Dichtung 8 oder der Innendurchmesser des Ringansatzes maßgebend, der mit dem Innendurchmesser des Sitzes 6 einen Bewegungssitz bildet. Soll die Dichtung 8 am Verschlußstück des Ventils befestigt werden, so ist der Innendurchmesser der Dichtung maßgebend, der mit dem Ai'ßendurchmesser des Verschlußstücks einen Bewegungssitz bilden soll.

Die relativ weiche Dichtung 8 wird schon während der ersten Einspannung zwischen den aufeinandergedrückten abzudichtenden Flächen 4 und 5. des Sitzes 6 und des Verschlußstücks 7 verforiül nnd auf ihren Berührungsflächen entstehen Ringnuten 9 (Fi g. 3). Die Tiefe dieser Ringnuten hängt von dem Preßdruck ρ und der ursprünglichen Stärke der Dichtung 8 ab.

Bei der Prägung der Dichtnuten 9 dehnt sich die Dichtung 8 in Radialrichtung nach außen aus und spannt sich von selbst im Sitz ein.

Eine auf dem Verschlußstück befestigte Dichtung verhält sich unter diesen Bedingungen genauso, nur dehnt sie sich nach innen aus, wodurch ein Haftsitz zwischen ihr und dem Verschlußstück des Ventils erreicht wird.

Die gegenseitige Zentrierung von Verschlußstück, Sitz 6 und Dichtung 8 in der oben beschriebenen Weise ist erforderlich, damit der Dichtansatz 5 des Verschlußstücks 7 bei den nachfolgenden Schließungen der Teile immer genau in die von ihm bei der ersten Schließung ausgeprägte Ringnut 9 der Dichtung 8 trifft.

Durch die mehreren aufeinanderfolgenden Schließungen und Trennungen der Teile im Vakuum bei entsprechend gewählter Temperatur zwischen Zimmertemperatur und 300 bis 400⁰C kommt auf den Berührungsflächen des Dichtansatzes 5 und der Ringnut 9 eine.metallenc Dichtschicht in der oben beschriebenen Weise zustande. Sie wird durch fcinvcrlciltc Kupfcrkörncr gebildet.

Durch die oben beschriebene mehrmalige Zusammcnprcssung der Dichtung 8 /wischen den Dichtansät-/en 4, 5, wird die /wischen den Ansätzen 4, 5 liegende Mittelschicht 10 der Dichtung 8 verdichtet. Dadurch steigt ihre F.lastizitälsgrcn/.c bis auf die Werte für verdichtetes und verfestigtes Kupfer. Die Streckgrenze erreicht beispielsweise 34 bis 38 kp/mm². Die Dichtschicht 1 behält dabei ihre Fähigkeit, sich unter der Wirkung der Preßdrücke etwa ab 5 kp/mm² elastisch zu verformen.

Da die zur plastischen Verformung der Dichtschicht t erforderlichen Drücke von etwa 5 bis 20 kp/mm² wesentlich unterhalb der Elastizitätsgrenze der ganzen Dichtung 8 (sie liegt bei 34 bis 38 kp/mm²) oder jedenfalls der Mittelschicht 10, die die Anpreßkraft P aufnimmt, liegen, kann ein auf diese Weise vorbereitetes Ventilverschlußstück unter normalen Betriebsbedingungen durchaus einwandfrei funktionieren.

ίο Die aus der Dichtung 8 gebildete Dichtschicht 1 auf den Berührungsflächen des Dichtungsansatzes 5 und der Ringnut 9 der Dichtung 8 sorgt für die Abdichtung der »arbeitenden« Dichtungspaarung des Ventils.

Bei Entfernung der Dichtung 8 kann man sehen, daß ihre Ringnutsohle, die den feststehenden Ansatz 4 berührt, keine Dichtschicht t besitzt. Sie ist normalerweise glänzend und gibt die Gestaltung der entsprechenden Ansatzfläche genau wieder. Dagegen sieht die Sohle der anderen Nut, die mit dem die Arbeitszyklen ausführenden Ansatz 5 zusammenwirkt, matt aus oder sie hat feine Rauhigkeitsspitzen und gibt das Oberflächenrelief des betreffenden Ansatzes wieder.

Die ursprüngliche Beschaffenheit der Berührungsflächen von !Dichtung 8 und Dichtungsansatz ist selbstverständlich ausschlaggebend für die erreichbare Dichtheit bzw. Leckrate der kompletten Baugruppe. Sie spielt eine besonders große Rolle bei den nicht »arbeitenden« Dichtflächen, die nur auf die herkömmliche Weise durch Pressung dichten und bei denen es auf Grund der nicht zerstörten oberflächigen Oxydhäute nicht zu einer Bindung zwischen Kupfer und Stahl durch molekulare Diffusionükräfte kommt. Diese Flächen dürfen keine querverlaufenden Risse oder Kratzer und bei Höchstvakuumgeräten auch keine querverlaufenden Anschliffe haben. Die ursprüngliche Bearbeitungsgüte der Oberfläche der Dichtungsansätze muß bei Höehstvakuumventilen besonders hoch sein.

Erfindungsgemäß ausgeführte Versuchsmuster wurden in einem Temperaturbereich von + 600bis -196^rC untersucht. Der notwendige Dichtungsdruck beträgt im Bereich der niedrigen Temperaturen (etwa beim Stickstoffsiedepunkt von -196°C) etwa 16 bis 20 kp/ mm². Er nimmt bei höheren Temperaturen ab und beträgt beispielsweise bei 600°C nur noch etwa 2 bis 3 kp/mm². Dabei bleibt die bei -196°C erreichte Dichtheit etwa bis 500°C erhalten. Das ist dadurch zu erklären, daß die linearen Ausdehnungszahlen von nichtrostendem Stahl und Kupfer im Temperaturbereich — 196° C etwa gleich sind, wobei der geringe Unterschied zwischen ihnen durch die Elastizität dei Dichuchicht ausgeglichen wird.

Es ist ein Vorteil der angegebenen Dichtung, daß di( Dichtschicht bei der oben beschriebenen Ausführungs art auf beiden Berührungsflächen der trennbarei Dichtungselemente (des Dichtungsansatzes und de Dichtung) gleichzeitig gebildet wird. Bei günstige Gestaltung der Dichtungsbaugruppe wird dadurch eim Wiederherstellbarkeit der Dichtschicht und die Erhal tung ihrer Eigenschaften im laufenden Betrieb erziel Die Versuchsergebnisse und die Betriebserfahrung mi Versuchskonstruktionen von beheizten Höchstvakuum ventilen mit Durchgangsöffnungen zwischen 6 bi 200 mm zeigen, daß die Lebensdauer einer Ventildicr tung mit der erfindungsgemäß hergestellten Dichi schicht bei einer Temperatur von T= 20°C über 400 bis 5000 Betätigungsspielen liegt.

Ein weiterer Vorzug der erfindungsgemäßer. Diel tung liegt in der Reproduzierbarkeit der gegenseitige

Lage vom Sitz und Verschlußstück im laufenden Betrieb über eine lange Zeit.

Diese Reproduzierbarkeit hängt von der gegenseitigen Versetzung von Verschlußstück und Sitz in Axialrichtung ab, welche vorliegend nach 3000 Bctäti- s gungsspielen bei einer Temperatur von 7"= 20" C unter 0,05 bis 0,1 mm liegt.

Bei der zweiten Ausführungsvariante der Erfindung (Fig.4) wird der Sitz 6 gegen das Verschlußstück 7 alleine durch die mit einer Dichtschicht 1 in der oben beschriebenen Weise versehenen Ansätze 4, 5 abgedichtet. Die Beständigkeit der Dichtschicht, deren Werkstoff sich von dem Werkstoff der Dichtansätze unterscheidet, wird dabei durch Durchmischung und gegenseitige Übertragung der Werkstoff teilchen von einer Berührungsfläche auf die andere und umgekehrt gewährleistet.

Die oben angegebenen Beispiele beziehen sich auf die Anwendung der Erfindung bei Ventilen. Sie kann jedoch auch Anwendung finden bei anderen lösbaren Verbindüngen von Vakuumgeräten, bei denen das unter Vakuumdruck stehende Betriebsmittel gegen Außendruck abzudichten ist.

Bei der Abdichtung von großen lösbaren Flanschverbindungen ist es manchmal wegen der störenden Wirkung der Außenluft umständlich oder unmöglich.

den Dichtüberzug unmittelbar auf die Dichtungselemente der Verbindung aufzubringen. Man geht deshalb so vor, daß man die Dichtung getrennt im Vakuum nach dem angegebenen Verfahren mit dem Dichtüberzug versieht, wobei eine der Ventildichtung ähnliche Vorrichtung zu Hilfe genommen wird.

Eine auf diese Weise vorbereitete Dichtung eignet sich für die mehrmalige Verwendung in lösbaren Verbindungen, während die üblichen Dichtungen (ohne Dichtüberzug) bei jeder Demontage ausgewechselt werden sollen.

Lassen sich aber die Teile der lösbaren Verbindung im Vakuum unterbringen, so werden nicht nur die Dichtung, sondern auch die anderen Dichtungselemente mit der Dichtschicht versehen.

Die vorliegende Erfindung ermöglicht also, eine Dichtschicht aus Metall auf die Berührungsflächen von lösbaren Verbindungen und auf die abzudichtenden Flächen von Absperrvorrichtungen aufzubringen. Diese Dichtschicht kennzeichnet sich durch hohe Dichtheit und Lebensdauer, volle Wiederherstellbarkei; der Struktur und der Eigenschaften bei mehrmaliger Verwendung, niedrige erforderliche Dichtungspressung, hohe mechanische bzw. Verschleißfestigkeit sowie durch hohe thermische und chemische Beständigkeit in einem weiten Temperaturbereich.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen 709 617/122

Claims (2)

Patentansprüche:

1. Verfahren zur Herstellung einer Metalldichtung, bei der die abzudichtenden Teile unter Vakuum während einer bestimmten Haltezeit mit einer Kraft und bei einer Temperatur, bei denen zwischen den Berührungsflächen molekulare Diffusion auftritt, gegeneinander gepreßt werden, dadurch gekennzeichnet, daß die abzudichtenden Teile (5, 8; 5, 4) wiederholt voneinander abgerissen und wieder gegeneinander gepreßt werden, bis auf beiden Berührungsflächen eine Dichtschicht (1) aus feinverteiltem Metall sich gebildet hat.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtschicht ?us feinverteiltem Metall aus einer zwischen die abzudichtenden Teile (4, 5) gelegten Metallscheibe (8) aus weicherem Metall herausgerissen wird.