DE1962745U

DE1962745U - Flanschdichtung fuer ultrahochvakuum.

Info

Publication number: DE1962745U
Application number: DEL44431U
Authority: DE
Original assignee: E Leybolds Nachfolger AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1967-04-06
Filing date: 1967-04-06
Publication date: 1967-06-22

Description

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E. LEYBOLD 'S NACHPOLGER KG Köln-Bayental

Flanschdichtung für ültrahoehvakuura

Die Erfindung betrifft eine Flanschdichtung für Ültrahoehvakuura, bei der in in Symmetrie zur Trennebene angeordneten Ausnehmungen der beiden Flanschteile ein ringförmiges Halteelement angeordnet ist, an dessen innerem Umfang ein leicht verformbarer Metalldichtungsring, vorzugsweise aus Edelmetall, anliegt.

Es sind Flanschdichtungen für Ültrahochvakuum bekannt, die in Symmetrie zur Trennebene keilförmige Halteflächen aufweisen. In diese keilförmigen Halteflächen wird beim Zusammenpressen der beiden Flanschteile eine massive Kupferdichtung eingequetscht, wodurch die Dichtigkeit der Flanschverbindung herbeigeführt und das seitliche Verschieben der Flansehe verhindert werden soll. Ferner sind Flanschdichtungen erhältlich, die -nach dem Scherprinzip auf den einander zugewandten Flanschflächen eine schneidenähnliche Erhöhung aufweisen, die beim Zusammenpressen der beiden Flänschteile in eine massive Kupferseheibe eindrücken und auf diese Weise die Dichtigkeit der Flanschverbindung herbeiführen. Die bekannten Anordnungen sind nur zum Teil gegen seitliche Verschiebungen gesichert. In jedem Falle handelt es sich um sehr breite, kompakte Dichtungen beziehungsweise Dichtungsringe mit erheblichem Materialbedarf.

Die Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, diese Nachteile zu; umgehen und eine Flanschverbindung zu schaffen, die ein seitliches .Versehieben der Flanschteile ausschließt- und außerdem nur die Verwendung eines dünnen Metalldichtungsringes erfordert, wodurch die Kosten bei einer Verwendung von beispielsweise Edelmetallen wie Gold usw, erheblieh .gesenkt werden. Erfirtdungsgemäß wird dazu vorgeschlagen, daß der Durchmesser und die/Breite «des Stützringes so gewählt sind, daß gegenüber den Ausnehmungen in den Flanschteilen ein Verförmungsspalt gebildet wird, und daß die Ausnehmungen derart gestaltet sind, daß sich an dem Ver-formungsspalt im Bereich der

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Trennebene zwei symmetrische Keilflächert anschließen, wodurch zur Aufnahme des ausgeformten Materials aus-der Metalldichtung ein an den Verformungsspalt anschließender Ringspalt mit trapezförmigem Querschnitt gebildet-wird. Die .,vorgeschlagene Anordnung mit den in der Trennebene befindlichen Verformungsspalten und den an diese anschließenden symmetrischen,: trapezförmigen Keilflächen gewährt beim Einpressen des verformbaren Metalldichtungsringes in die genannten Spalte einen optimalen Schutz gegen eine seitliche Verschiebung der Flanschteile und damit, gegen ein ündichtwerden der Flanschverbindung, denn der verformbare Metalldichtungsring wird beim Zusammenpressen der beiden Flanschteile nicht nur in den Ringspalt mit trapezförmigem Querschnitt₃ sondern auch in den zwischen den Flanschteilen und dem Stützring verbleibenden Verformungsspalt eingepreßt. Der Stützring aber" 1st sehr genau an die gegenüberliegende Wand der Ausnehmungen in beiden Flanschteilen angepaßt.

Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, den Metalldichtungsring mit . dem Stützring zu einer Montageeinheit zu verbinden,, Der Metalldichtungsring kann zweckmäßig aus Gold bestehen, jedoch sind auch solche Metaridichtungsringe verwendbar, die aus einem edelmetallplattierten., leicht verformbaren Grundwerkstoff bestehen. In einer zweckmäßigen Ausführungsform der Erfindung sind die beiden Keilflächen des Ringspaltes mit trapezförmigem Querschnitt derart angeordnet, daß der Schnittpunkt der beiden Querschnittsgeraden nach der Seite des Stützringes liegt.

In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen . Flanschdichtung schematisch dargestellt. Es zeigen

Fig. 1 einenAusschnitt einer Flanschverbindung mit symmetri- ^; sehen Keilflachen,

Fig. 2 einen Ausschnitt;einer Flanschverbindung mit nach der Seite des Stützringes liegenden Qüerschhittsgeraden,

Fig. 3 einen Schnitt durch den Stützring mit eingepaßtem · Metalldichtungsring, - :" :-~''^;] :'" -

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In Figur 1 ist die erfindüngs/gemäße Plansöldichtung.mit zusammengepreßten Planschteilen i, 2 .dargestellt·. In Symmetrie zur Trennebene sind in beiden Planschteilen 1, 2 Ausnehmungen 3, ^ angeordnet, in die ein Stützring 5.eingefügt ist₉ der im Durchmesser und in der Breite so ausgelegt ist_s daß gegenüber den Ausnehmungen 3» 4 in den Pianschteilen I, 2 ein Verformungsspalt 6 gebildet wird. Der am inneren Umfang des Stützringes 5 angeordnete Metalldichtungsring 7 ist in der Zeichnung in zusammengepreßter Form dargestellt, wobei' die Masse' des Dichtungsringes 7 den:durch die in den Flanscht eilen.-.¹⁷I, 2 angeordneten symmetrischen, trapezförmigen Keilflächen 8, 9. gebildeten Ringspalt sowie den Verformungsspalt 6 zumindest teilweise ausfüllt- und gegen den Stützring 5 drückt, Dieser Stützring 5: ist- an die gegenüberliegende Seite der Ausnehmungen 3, 4 in den Planschteilen I₉ 2 sehr genau .angepaßt* ". ." "'""'" \^: "■'.:■- ; ■-.... ■ \/ - : -- - -. ■"'

Figur 2 zeigt eine ähnliche Ausführungsform, bei der lediglich die Anordnung der symmetrischen trapezförmigen Keilflächen 8, 9 derart verändert worden ist, daß der Schnittpunkt der. beiden Querschnittsgeraden dieser Keilflächen 8, 9 nach der Seite des Stützringes liegt, _: - "■-■"."""/- ■".■";^; /- ' :^:;^:"." . ".-■-.

Figur 3 zeigt einen Schnitt durch den S^ützring-5, an dessen innerem Umfang der Metallälehtungsring 7 so angeordnet ist, daß beide Bauteile zu einer MOntageeinheit verbunden sind.

Claims

RÄ.187 602^-6,4.67 ■■! 5058

1. Flanschdichtung für .Ultrahochvakuum, bei der in in Symmetrie zur Trennebene angeordneten Ausnehmungen der beiden Planschteile ein ringförmiges Halteelement angeordnet Ist, an dessen innerem

, Umfang ein leicht verformbarer - MetalldiGhtungsring, vorzugsweise aus Edelmetall,"anliegt _% da du r c h g e■ k e η η ζ e i c h η et, daß der Durchmesser und die Breite des Stützringes (5);so gewählt sind, daß gegenüber den Ausnehmungen (3, k) in den Planschteilen (l, 2) ein Verformungsspalt (6) gebildet wird,, und daß die Ausnehmungen (3, 4) derart gestaltet sind, daß sich an den Verformungsspalt (6) im Bereich der Trennebene zwei symmetrisehe Keilflächen (8, 9) anschließen, wodurch zur Aufnahme des ausgeformten Materials aus dem Metalldichtungsring (7) ein an den Verformungsspalt (6) anschließender Ringspalt mit trapezförmigem Quersehnltt gebildet wird.

2, Flanschdichtung nach^: Anspruch 1, dad u r c h g e kennzeich net , daß der Metalldicht'ungsring (7) mit dem Stützring (5) zu einer Montageeinheit verbunden ist.

3> Planschdichtung nach den Ansprüchen 1 oder 2 , da d u r c h g e k en η ζ eich net , daß der Metalldichtungsring (7) aus Gold besteht. ;

k. Planschdichtung nach Anspruch 1 j da du r c h g e k e η η ze ic h η e t ,daß der Metalldichtungsring (7) aus einem edelmetallplattierten, leicht verformbaren Grundwerk-, stoff besteht, , ;V V: ^;

5· Planschdichtung nach Anspruch. 1, da durch ge k en η ζ e I c h η e t , daß die beiden Kellflächen (8, 9) des Ringspalts mit trapezförmigem Querschnitt derart angeordnet sind, daß ;der Schnitt^^punkt der. beiden Querschnittsgeraden nach der "Seite des Stützrings (5): liegt. ."";