KR20210044215A

KR20210044215A - 적어도 2개의 챔버와 적어도 하나의 이송 밸브를 갖는 배열체

Info

Publication number: KR20210044215A
Application number: KR1020217004083A
Authority: KR
Inventors: 도미닉 게히터; 올리버 메어
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2018-08-17
Filing date: 2019-07-09
Publication date: 2021-04-22
Also published as: US11486503B2; CN112567158A; US20210293339A1; CN112567158B; WO2020035219A1

Abstract

본 발명은 적어도 2개의 챔버 (1, 2) 와 적어도 하나의 이송 밸브 (3) 를 갖는 배열체에 관한 것이며, 상기 이송 밸브 (3) 의 밸브 하우징 내부공간 (9) 은 각각 하나의 분리벽 (12, 13) 에 의해 상기 챔버들 (1, 2) 의 챔버 내부공간들 (4, 5) 각각으로부터 분리되고, 상기 분리벽들 (12, 13) 각각 안에는, 물체들 및/또는 유체들을 관통하여 안내하기 위한 이송 개구부 (14, 15) 가 형성되고, 상기 분리벽들 (12, 13) 각각 안에, 상기 각각의 이송 개구부 (14, 15) 에 대해 추가적으로 각각 하나의 추가 개구부 (16, 17) 가 배열되고, 상기 각각의 추가 개구부 (16, 17) 는 각각 상기 배열체의 스위칭 밸브 (18, 19) 에 의해 폐쇄 가능하고, 상기 각각의 스위칭 밸브 (18, 19) 의 개방된 상태에서 상기 밸브 하우징 내부공간 (9) 을 각각 직접적으로 유체 전도적으로, 상기 각각의 분리벽 (12, 13) 에 인접하는 상기 챔버 내부공간 (4, 5) 과 연결한다.

Description

적어도 2개의 챔버와 적어도 하나의 이송 밸브를 갖는 배열체

본 발명은 적어도 2개의 챔버와 적어도 하나의 이송 밸브를 갖는 배열체에 관한 것이며, 상기 챔버들은 각각 하나의 챔버 내부공간 (chamber interior) 과, 상기 챔버 내부공간을 에워싸는 각각 하나의 챔버 하우징 (chamber housing) 을 구비하고, 상기 이송 밸브는 밸브 하우징 내부공간 (valve housing interior) 을 갖는 적어도 하나의 이송 밸브 하우징 (transfer valve housing) 과, 2개의 이송 밸브 폐쇄부재들을 구비하고, 상기 밸브 하우징 내부공간은 각각 하나의 분리벽에 의해 상기 챔버 내부공간들 각각으로부터 분리되고, 상기 분리벽들 각각 안에 이송 개구부 (transfer opening) 가 형성되고, 물체들 및/또는 유체들 (fluids) 은 상기 이송 밸브의 상기 이송 밸브 폐쇄부재들의 개방위치에서는 상기 챔버 내부공간들 중 하나로부터 상기 이송 개구부들과 상기 밸브 하우징 내부공간을 관통하여 상기 챔버 내부공간들 중 다른 것 안으로 운반 가능하고, 상기 이송 밸브 폐쇄부재들 각각은 상기 이송 밸브 폐쇄부재들 각각의 폐쇄위치에서는 상기 이송 개구부들 중 하나를 폐쇄한다.

그 사이에 접속된 이송 밸브들을 갖는 챔버들의 이러한 배열체들은 그 자체가 알려져 있다. 그것들은 자주 저압 또는 진공 기술에서 이용된다. 상기 챔버들은 공정 챔버들뿐만 아니라 이송 챔버들일 수도 있다. 이송 밸브들은 이송 개구부들을 폐쇄하는 것을 가능하게 한다. 이송 밸브의 이송 밸브 폐쇄부재들이 개방위치에 있으면, 물체들 및/또는 유체들은 상기 이송 개구부를 관통하여 각각의 챔버 안으로 운반되고, 상기 챔버 밖으로 꺼내질 수 있다. 동종 선행기술이 EP 2 876 341 B1 에 나타나 있다. 거기에는, 어떻게 챔버 내부공간들이 그리고 각각의 이송 밸브의 밸브 하우징 내부공간도 펌프 아웃되는지 (pumped out), 즉 저압 또는 진공 하에 놓여지는지 그리고 어떻게 이 챔버 내부공간들과 상기 밸브 하우징 내부공간이 다시 급기되고 그리고 이로써 압력하에 놓여지는지도 기술되어 있다. EP 2 876 342 B1 에서는, 밸브 하우징 내부공간을 펌프 아웃하기 위해 그리고 급기하기 위해서도 자신의 석션 펌프들 (suction pumps) 과 유입 밸브들을 이송 밸브에 제공하지 않는 것이 이미 제안된다. EP 2 876 341 B1 에서는 오히려, 챔버 내부공간뿐만 아니라 밸브 하우징 내부공간도 이 하나의 석션 펌프를 가지고 펌프 아웃할 수 있기 위해, 분기된 라인이 챔버의 석션 펌프들 중 하나로부터 이송 밸브 쪽으로 안내된다.

EP 2 876 341 B1 에서는 특히 그것의 특허청구항 1 항에서는, 어떻게 밸브 하우징 내부공간에 대한 챔버 내부공간들 중 하나 안의 과압이 이송 개구부를 해제하기 위한 개방 과정을 도입하기 위해 이송 밸브 폐쇄부재를 각각의 밸브 시트 (valve seat) 로부터 들어내기 위해 사용될 수 있는지가 기술되어 있다. 챔버 내부공간과 밸브 하우징 내부공간 사이의 필요한 압력 차이를 제공하기 위해, EP 2 8876 341 B1 에서는 챔버의 석션 펌프와 이송 밸브 하우징 사이의 또는 밸브 하우징 내부공간 사이의 연결 라인이 이용된다.

실무에서 이 연결 라인은, 상응하는 드라이브들을 이용해 이송 밸브를 개방할 수 있기 위해, 챔버 내부공간들과 밸브 하우징 내부공간 사이의 압력 차이들을 보상하기 위해서도 사용된다.

실무는 EP 2 876 341 B1 에 기술된 기술이 특히 챔버들과, 보다 큰 내부공간들을 갖는 이송 밸브 하우징들에 있어서 너무 긴 스위칭 시간들을 초래하고 또는 부분적으로 완전히 그것의 실현성 한계들에 부딪친다는 것을 나타냈다.

본 발명의 목적은 이 문제를 해결하기 위한 개선을 제안하는 것이다.

본 발명은 이를 위해 동종 선행기술로부터 시작하여, 분리벽들 각각 안에, 각각의 이송 개구부에 대해 추가적으로 각각 하나의 추가 개구부 (additional opening) 가 배열되고, 상기 각각의 추가 개구부는 각각 배열체의 스위칭 밸브 (switching valve) 에 의해 폐쇄 가능하고, 상기 각각의 스위칭 밸브의 개방된 상태에서 밸브 하우징 내부공간을 각각 직접적으로 유체 전도적으로, 상기 각각의 분리벽에 인접하는 챔버 내부공간과 연결하는 것을 제공한다.

다른 말로 하자면, 본 발명에 따르면, 상기 각각의 챔버 내부공간을 상기 밸브 하우징 내부공간으로부터 분리하는 분리벽들 바로 안에, 이송 개구부에 대해 추가적으로 각각 하나의 추가 개구부를 제공하는 것이 제공된다. 이 추가 개구부는 그러면 간단한 방식으로 상응하여 큰 개방 지름 또는 상응하여 큰 개방 면적을 가질 수 있고, 따라서 유체들, 특히 가스들이 비교적 큰 양으로 비교적 빨리 관통 운반될 수 있다. 이를 통해, 매우 재빨리 상기 각각의 챔버 내부공간과 상기 밸브 하우징 내부공간 사이의 압력보상이 가능해질 수 있다. 상기 챔버 내부공간에 연결된 석션 펌프를 통한 상기 밸브 하우징 내부공간의 펌프 아웃도 매우 재빨리 진행될 수 있다. 상기 각각의 분리벽 안의 상기 추가 개구부들을 통해, 각각의 석션 펌프와 이송 밸브 하우징 사이의 또는 밸브 하우징 내부공간 사이의 라인들 (lines) 또는 도관들이 완전히 생략될 수 있고, 따라서 선행기술에서 이 라인들 및 상기 라인들의 최대로 가능한 라인 횡단면들에 의해 초래된, 너무 높은 스위칭 시간들과 관련된 그리고 챔버 내부공간들의 그리고 밸브 하우징 내부공간들의 보다 큰 부피들에 있어서의 기술적 한계들과도 관련된 문제들도 제거된다.

그러므로 본 발명에 있어서, 다른 말로 하자면, 개방된 스위칭 밸브에 있어서 상기 밸브 하우징 내부공간은 오로지 그리고 직접적으로 상기 추가 개구부를 통하여 상기 각각의 챔버 내부공간과 연결되고, 따라서 관 라인들이 이와 관련하여 완전히 생략될 수 있는 것이 제공된다.

완벽을 기하기 위해, 다른 것이 제시되지 않는 한, ‘하나의’와 같은 부정관사는 ‘적어도 하나의’로서, 즉 하나 또는 다수로서 읽힐 수 있다는 것에 주의하도록 한다. 2개의, 3개의 등등과 같은 양 표시에게 마찬가지로 적용된다. 즉, 상기 배열체의 언급된 부품들은 각각 언급된 수량에 있어서 여러 번 존재할 수 있다.

각각 챔버 내부공간들 중 하나를 밸브 하우징 내부공간으로부터 분리하는 상기 각각의 분리벽은 오로지 상기 각각의 챔버 하우징의 부분영역으로, 하지만 오로지 상기 각각의 이송 밸브 하우징의 부분영역으로 구성될 수 있다. 하지만 상기 분리벽은 다수의 벽들로도 구성될 수 있다. 이렇게, 예컨대 상기 분리벽이 상기 각각의 챔버 하우징의 그리고 상기 이송 밸브 하우징의 서로 밀착하는 부분영역들로 구성되는 가능성이 있다. 다른 말로 하자면, 이 경우들에서 상기 분리벽은 2개의 서로 밀착하는 벽들에 의해, 즉 한편으로는 상기 챔버 하우징의 벽에 의해 그리고 다른 한편으로는 상기 이송 밸브 하우징의 벽에 의해 형성된다. 그러므로, 일반적으로 말해서, 상기 각각의 분리벽이 상기 각각의 챔버 하우징의 부분영역으로 또는 상기 이송 밸브 하우징의 부분영역으로 또는 상기 각각의 챔버 하우징의 그리고 상기 이송 밸브 하우징의 서로 밀착하는 부분영역들로 형성되는 것이 제공될 수 있다.

바람직한 변형들은, 상기 각각의 스위칭 밸브가 적어도 일부 영역에서 상기 각각의 분리벽 안에 배열되는 것을 제공한다. 이는 특히 바람직하게는 상기 각각의 스위칭 밸브 폐쇄부재에 적용된다. 그러므로 바람직하게는, 상기 각각의 추가 개구부를 폐쇄하기 위한 상기 각각의 스위칭 밸브의 상기 스위칭 밸브 폐쇄부재가 적어도 일부 영역에서 또는 완전히 상기 각각의 분리벽 안에 배열되는 것이 제공된다. 상기 스위칭 밸브 폐쇄부재를 움직이기 위한 상기 스위칭 밸브의 밸브 드라이브는 상기 각각의 분리벽의 외부에도 배열될 수 있다. 바람직하게는, 상기 각각의 스위칭 밸브의 상기 스위칭 밸브 폐쇄부재 또는 하나의 스위칭 밸브 폐쇄부재가 상기 각각의 추가 개구부를 폐쇄하기 위해 눌려질 수 있는, 상기 각각의 스위칭 밸브의 밸브 시트가 상기 분리벽에 또는 상기 분리벽 안에 배열되는 것도 제공된다.

가능한 한 빠른 압력보상을 가능하게 함, 그리고 가능한 한 재빠른 펌프 아웃을 가능하게 함, 그리고 보다 큰 챔버 부피들에 있어서 상응하는 이송 밸브들의 적용 가능성도 가능하게 함의 의미에서, 유리하게는, 상기 각각의 추가 개구부가 상기 각각의 스위칭 밸브의 개방된 상태에서 적어도 100mm (밀리미터) 의 개방 지름을 갖는 것이 제공된다. 특히 바람직하게는, 상기 추가 개구부들은 이때 원형 개방 횡단면을 갖는다. 면적으로서 표현되어, 유리하게는, 상기 각각의 추가 개구부가 상기 각각의 스위칭 밸브의 개방된 상태에서 적어도 7850㎟ (제곱밀리미터) 의 개방 면적을 갖는 것이 제공된다. 물론 상기 추가 개구부가 강제적으로 원형 개방 횡단면을 가질 필요는 없다. 다른 지오메트리들도 가능하다.

상기 이송 밸브의 개방 시간 및/또는 폐쇄 시간은 본 발명에 있어서 유리하게는 7초보다 작거나 또는 같고, 바람직하게는 5초보다 작거나 또는 같다. 상기 각각의 스위칭 밸브의 개방 시간 및/또는 폐쇄 시간은 본 발명에 있어서 유리하게는 2초보다 작거나 또는 같고, 바람직하게는 1초보다 작거나 또는 같다. 여기서, 상기 개방 시간은 각각 상기 각각의 폐쇄부재가 완전한 폐쇄위치로부터 완전한 개방위치로 필요로 하는 시간이다. 상기 폐쇄 시간은 상기 각각의 폐쇄부재가 상기 완전한 개방위치로부터 상기 완전히 폐쇄된 위치로 필요로 하는 시간이다. 본 발명의 바람직한 변형들은 상기 이송 밸브 폐쇄부재들이 폐쇄판들로서 설계되는 것을 제공한다. 상기 스위칭 밸브 폐쇄부재들도 바람직한 구현형태들에서, 바람직하게는 각각, 폐쇄판으로서 형성된다.

본 발명에 따른 배열체들은 바람직한 변형들에서 각각 상기 각각의 챔버 내부공간 밖으로 유체를 펌프 아웃하기 위한, 바람직하게는 직접적으로, 상기 각각의 챔버에 연결된 적어도 하나의 석션 펌프를 구비한다. 바람직하게는, 상기 배열체가 각각 상기 각각의 챔버 내부공간 안으로 유체를 유입시키기 위한, 바람직하게는 직접적으로, 상기 각각의 챔버에 연결된 적어도 하나의 유입 밸브를 구비하는 것도 제공된다. 상기 챔버들은 공정 챔버들뿐만 아니라 이송 챔버들일 수도 있다.

본 발명에 따른 배열체가 지금까지는 2개의 챔버와 그 사이에 배열된 하나의 이송 밸브를 갖는 상기 배열체의 최소 배열체에서 기술되었을지라도, 도입부에서 언급된 EP 2 876 341 B1 에서 예시적으로 도 7 내지 도 9 에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 배열체가 차례차례로 또는 별 모양으로 또는 그와 같이 배열된 다수의 챔버와, 각각 그 사이에 배열된 이송 밸브들로도 구성될 수 있다는 것에 주의하도록 한다. 그러므로, 청구항들에서는, 본 발명의 구현에 있어서 상응하여 증가될 수 있는 가장 작은 유닛이 기술된다. 상기 챔버들은 바람직하게는 저압 또는 진공 챔버들이고, 챔버 내부공간에서 상응하는 공정을 실행할 수 있기 위해, 상기 챔버들의 챔버 내부공간에서는 각각의 석션 펌프를 이용해 상응하는 저압 또는 이른바 진공이 발생될 수 있다. 여기서 일반적으로, 챔버 내부공간에서 0.001 mBar(밀리바) 또는 0.1 Pa(파스칼) 보다 작은 또는 같은 압력들을 갖는 작동상태들이 달성되면 진공 또는 진공기술이라 부른다. 진공 챔버들 그리고 상응하는 이송 밸브들은 진공기술에서 이 압력범위들을 위해 그리고/또는 주변에 대한 또는 대기압력에 대한 압력 차이들을 위해 설계된다. 하지만 그 밖의 설계에서, 정상압력 미만의 1 Bar 의 압력부터도 이미 진공기술이라 부를 수 있다.

상응하는 배열체를 작동시키기 위한 바람직한 방법은, 상기 밸브 하우징 내부공간 밖으로 유체를 펌프 아웃하기 위해 상기 추가 개구부들 중 하나는 여기에 할당된 스위칭 밸브를 이용해 개방된 상태로 되고, 유체가 상기 밸브 하우징 내부공간 밖으로 상기 추가 개구부와 상기 각각의 챔버 내부공간을 관통하여, 상기 각각의 챔버에 연결된 석션 펌프에 의해 펌프 아웃되는 것을 제공한다. 그러므로, 다른 말로 하자면, 본 발명에 따르면 개방된 추가 개구부에 있어서 상기 밸브 하우징 내부공간은 상기 추가 개구부와 상기 챔버를 관통하여, 상기 챔버에 할당된 석션 펌프에 의해 펌프 아웃된다. 이를 통해, 상기 밸브 하우징 내부공간을 위한 별도의 석션 펌프와, 이를 위해 필수적인 센서장치가 생략될 수 있다. 그럼에도 불구하고, 상기 밸브 하우징 내부공간과 상기 챔버 내부공간 사이의 상기 분리벽 안에서의 상기 추가 개구부의 본 발명에 따른 배열을 근거로, 보다 큰 부피들에 있어서도 상응하여 재빠른 펌프 아웃이 가능하다.

하지만 상기 추가 개구부는 바람직한 방법들에 있어서, 상기 챔버 내부공간과 상기 밸브 하우징 내부공간 사이에서 매우 재빨리 그리고 완전히 압력보상을 초래하기 위해 사용될 수도 있다. 이렇게, 본 발명에 따른 배열체를 작동시키기 위한 바람직한 방법들은, 상기 챔버 내부공간들 중 하나와 상기 밸브 하우징 내부공간 사이에서 압력보상하기 위해, 그 사이에 또는 상기 각각의 분리벽 안에 배열된 상기 추가 개구부가 상기 추가 개구부에 할당된 스위칭 밸브를 이용해 개방된 상태로 되는 것을 제공한다. 여기서도, 상기 분리벽 안의 상기 추가 개구부를 통해 챔버 내부공간과 밸브 하우징 내부공간 사이의 매우 직접적인 연결이 가능해지고, 따라서 이 압력보상이 매우 재빨리 그리고 완벽히 진행될 수 있다.

본 발명의 바람직한 변형들의 그 밖의 특징들과 상세내용들은 예시적으로 그리고 도식화되어 다음의 그림 설명에서 설명된다.

도 1 내지 도 3 은 제 1 실시예에서 본 발명에 따른 배열체를 통한 도식화된 세로방향 단면들을 나타내고,
도 4 내지 도 7 은 각각 도 1 내지 도 3 에 따른 이 제 1 실시예의 마찬가지로 본 발명에 따른 변화 형태를 나타낸다.

도 1 내지 도 3 에는 각각 챔버 (1) 와, 챔버 (2) 와, 그 사이에 배열된 이송 밸브 (3) 로 이루어진 본 발명에 따른 배열체의 제 1 실시예를 통한 단면도가 도시된다. 챔버 (1) 의 챔버 하우징 (6) 은 챔버 내부공간 (4) 을 에워싼다. 챔버 (2) 의 챔버 하우징 (7) 은 챔버 내부공간 (5) 을 에워싼다. 이송 밸브 하우징 (8) 은 밸브 하우징 내부공간 (9) 을 에워싸고, 상기 밸브 하우징 내부공간에는 이송 밸브 (3) 의 이송 밸브 폐쇄부재들 (10, 11) 이 위치한다. 이송 밸브 폐쇄부재들 (10, 11) 은 각각의 분리벽 (12, 13) 안에 배열된 이송 개구부들 (14, 15) 을 폐쇄하기 위해 또는 해제하기 위해 사용된다. 도 1 내지 도 3 에서는, 이송 밸브 폐쇄부재들 (10, 11) 과 세로방향 드라이브 (29) 와 가로방향 드라이브 (30) 가 단지 매우 도식화되어 도시된다. 이 부품들과 관련하여, 그 자체가 알려져 있는 L밸브에 관한 것일 수 있다. 가로방향 드라이브 (30) 는 도 1 에 도시된 바와 같이, 이송 개구부들 (14, 15) 을 폐쇄하기 위한 이송 밸브 폐쇄부재들 (10, 11) 을 이송 밸브 하우징 (8) 의 각각 여기에 특별히 도시되지 않은 밸브 시트들에 밀어붙이기 위해 그리고 이송 밸브 폐쇄부재들 (10, 11) 을 상기 이송 밸브 하우징의 상기 각각의 밸브 시트로부터 들어내기 위해 (따라서 도 2 에 도시된 중간위치에 도달한다) 사용된다. 이 중간위치에서, 이송 밸브 폐쇄부재들 (10, 11) 은 상기 각각의 밸브 시트로부터 이미 들어내져 있고, 하지만 아직 이송 개구부들 (14, 15) 과 일치해 있다. 도 2 에 따른 이 중간위치와 도 3 에 도시된 최대 개방위치 사이에서, 이송 밸브 폐쇄부재들 (10, 11) 과 가로방향 드라이브 (30) 는 세로방향 드라이브 (29) 를 이용해 전후로 조절 가능하다. 이를 위해, 따로 기술될 필요가 없는, 하지만 여기에서 이용될 수 있는 여러 가지 변형들이 선행기술에 있다. 도 3 에 따른 위치에서, 어쨌든 이송 밸브 폐쇄부재들 (10, 11) 의 개방위치에 도달한다. 이 개방위치에서, 물체들 및/또는 유체들은 챔버 내부공간들 (4, 5) 중 하나로부터 이송 개구부 (14, 15) 와 밸브 하우징 내부공간 (9) 을 관통하여 챔버 내부공간들 (4, 5) 중 각각 다른 것 안으로 이송될 수 있다. 이와 반대로, 도 1 에 따른 폐쇄위치에서는, 이송 밸브 폐쇄부재들 (10, 11) 은 각각 필수적인 압축강도로 이송 개구부들 (14, 15) 을 폐쇄한다.

여기에서 도식화되어 도시된 상기 L밸브 대신에, 이송 밸브 (3) 는 폐쇄부재들이 단지 선형으로 서로 반대 방향들에서 개방위치와 폐쇄위치 사이에서 전후로 움직여지는 펜듈럼 밸브, 이른바 Monovat, 로서도 설계될 수 있고, 하지만 그 자체가 알려져 있는 다른 밸브 형태들로도 설계될 수 있다.

챔버들 (1, 2) 각각에 각각 하나의 석션 펌프 (25 또는 26) 와 각각 하나의 유입 밸브 (27 또는 28) 가 할당된다. 물론 챔버당 더 많은 석션 펌프들과 더 많은 유입 밸브들이 있을 수도 있다. 석션 펌프 (25) 는 어쨌든 유체, 특히 가스를 챔버 (1) 의 챔버 내부공간 (4) 밖으로 펌핑 (pumping) 하기 위해 사용된다. 석션 펌프 (26) 는 상응하는 유체 또는 특히 가스를 챔버 (2) 의 챔버 내부공간 (5) 밖으로 펌핑하기 위해 사용된다. 이 펌핑 과정을 통해, 상응하는 저압 또는 상응하는 진공이 챔버 내부공간들 (4 및/또는 5) 안에 발생될 수 있다. 각각의 챔버 내부공간 (4, 5) 과 주변 사이에서 또는 상응하여 연결된 다른 압력공간들 또는 압력레벨 사이에서 급기하기 위해 또는 압력보상하기 위해, 그 자체가 알려져 있는 바와 같이, 유입 밸브들 (27, 28) 이 제공된다. 상기 유입 밸브들이 개방되면 유체가 각각의 챔버 내부공간 (4, 5) 안으로 침투할 수 있다.

모든 실시예에서, 본 발명에 따른 배열체는 상기 배열체의 최소 구성에 있어서 도시되고, 상기 최소 구성은 그야말로 2개의 챔버 (1, 2) 와 그 사이에 배열된 하나의 이송 밸브 (3) 로 구성된다. 하지만, 도입부에서 이미 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 배열체들은 서로 연결된 또는 차례차례로 배열된 다수의 챔버와, 각각 2개의 챔버 사이에 배열된 이송 밸브들을 구비할 수 있다. 이는 도 1 내지 도 3 에 그 밖의 이송 개구부들 (31) 을 통해 그리고 그 밖의 추가 개구부들 (32) 을 통해서도 도시되고, 그 밖의 챔버들을 그 뒤에 또는 그 앞에 배열하기 위해, 상기 그 밖의 추가 개구부들에, 각각 상응하는, 여기에서 더 이상 도시되지 않은 각각 하나의 이송 밸브 (3) 가 연결될 수 있다.

도 1 내지 도 3 에 따른 제 1 실시예에서, 이송 개구부 (14) 는 분리벽 (12) 을 관통하고, 따라서 이송 개구부 (14) 를 통해, 상응하여 개방된 이송 밸브 (3) 에 있어서 챔버 (1) 의 챔버 내부공간 (4) 은 이송 밸브 하우징 (8) 안의 밸브 하우징 내부공간 (9) 과 연결된다. 상응하여 개방된 이송 밸브 (3) 에 있어서 챔버 (2) 의 챔버 내부공간 (5) 을 이송 밸브 하우징 (8) 의 밸브 하우징 내부공간 (9) 과 연결하는 이송 개구부 (15) 에게 마찬가지로 적용된다. 그러므로 분리벽 (12) 은 챔버 내부공간 (4) 과 밸브 하우징 내부공간 (9) 사이에 배열된다. 분리벽 (13) 은 밸브 하우징 내부공간 (9) 으로부터 챔버 내부공간 (5) 을 분리한다. 제 1 실시예에서, 이 분리벽들 (12, 13) 은 각각의 챔버 하우징 (6 또는 7) 의 그리고 이송 밸브 하우징 (8) 의 서로 밀착하는 부분영역들로 형성된다. 다른 말로 하자면, 각각의 분리벽 (12 또는 13) 은 이 예에서 각각의 챔버 하우징 (6 또는 7) 의 그리고 이송 밸브 하우징 (8) 의 서로 밀착하는 벽 영역들로 구성된다.

본 발명에 따르면 이제, 분리벽들 (12 또는 13) 각각 안에, 각각의 이송 개구부 (14 또는 15) 에 대해 추가적으로 각각 하나의 추가 개구부 (16 또는 17) 가 배열되고, 각각의 추가 개구부 (16 또는 17) 는 각각 상기 배열체의 스위칭 밸브 (18 또는 19) 에 의해 폐쇄 가능하고, 각각의 스위칭 밸브 (18 또는 19) 의 개방된 상태에서 밸브 하우징 내부공간 (9) 을 각각 직접적으로 유체 전도적으로, 상기 각각의 분리벽 (12 또는 13) 에 인접하는 챔버 내부공간 (4 또는 5) 과 연결하는 것이 제공된다. 유리하게는, 각각의 추가 개구부 (16 또는 17) 의 개방 지름 (24) 은 개방된 상태에서 적어도 100mm 에 달한다. 개방된 상태에서 각각의 추가 개구부 (16, 17) 의 면적과 관련하여, 유리하게는 적어도 7850㎟ 의 개방 면적 또는 횡단면 면적이 제공된다. 각각의 추가 개구부 (16 또는 17) 는 원형 구멍으로서 설계될 수 있고 또는 원칙적으로 다른 지오메트리도 구비할 수 있다.

스위칭 밸브들 (18, 19) 은 여기에서 단지 매우 도식화되어 도시된다. 스위칭 밸브들 (18, 19) 의 실현시, 또다시 적합한, 선행기술에 그 자체가 알려져 있는 밸브 타입들이 이용될 수 있다. 스위칭 밸브들 (18, 19) 도 L밸브들, 펜듈럼 밸브들, Monovat 또는 그와 같은 것일 수 있다. 바람직한 실시변형들에서, 도 1 내지 도 3 에 도시된 바와 같이, 각각의 스위칭 밸브 (18 또는 19) 가 적어도 일부 영역에서 각각의 분리벽 (12 또는 13) 안에 배열되는 것이 제공된다. 도 1 내지 도 3 에 따른 여기에 도시된 실시예에서, 특히 상기 각각의 스위칭 밸브의 스위칭 밸브 폐쇄부재들 (20, 21) 은 폐쇄위치에서 각각의 분리벽 (12, 13) 안에 위치한다. 스위칭 밸브 폐쇄부재들 (20, 21) 을 움직하기 위한 드라이브들은 여기에서도 실현된 바와 같이 적어도 일부 영역에서 각각의 분리벽 (12, 13) 의 외부에 배열될 수 있다. 어쨌든, 각각의 스위칭 밸브 (18, 19) 의 각각의 스위칭 밸브 폐쇄부재 (20, 21) 가 각각의 추가 개구부들 (16, 17) 을 폐쇄하기 위해 눌려질 수 있는, 각각의 스위칭 밸브 (18, 19) 의 밸브 시트들 (22, 23) 이 각각의 분리벽 (12 또는 13) 에 또는 상기 각각의 분리벽 안에 배열되면 유리하다. 이 또한 도 1 내지 도 3 에 따른 이 실시예에서 그러하다. 이송 밸브 폐쇄부재들 (10, 11) 처럼 유리하게는 스위칭 밸브 폐쇄부재들 (20, 21) 도 각각 폐쇄판으로서 형성된다.

도 1 에서 스위칭 밸브들 (18, 19) 의 스위칭 밸브 폐쇄부재들 (20, 21) 은 각각 상기 스위칭 밸브들의 폐쇄위치에 있고, 상기 폐쇄위치에서 상기 스위칭 밸브 폐쇄부재들은 각각의 추가 개구부 (16, 17) 를 각각 상응하여 압력 기밀식으로 (pressure-tight) 폐쇄한다. 도 3 에 따른 상황에게 마찬가지로 적용된다. 도 2 에서는 이와 반대로 스위칭 밸브 (18) 의 스위칭 밸브 폐쇄부재 (20) 는 상기 스위칭 밸브의 개방위치에 있고, 따라서 추가 개구부 (16) 는 챔버 (1) 의 챔버 내부공간 (4) 을 이송 밸브 하우징 (8) 의 밸브 하우징 내부공간 (9) 과 연결한다. 다른 스위칭 밸브 (19) 는 그것의 폐쇄위치에 있고, 따라서 스위칭 밸브 폐쇄부재 (21) 는 챔버 (1) 의 챔버 내부공간 (5) 과 이송 밸브 하우징 (8) 의 밸브 하우징 내부공간 (9) 사이의 추가 개구부 (17) 를 여전히 압력 기밀식으로 폐쇄한다. 개방된 추가 개구부 (16) 를 관통하여, 예컨대 챔버 (1) 의 석션 펌프 (25) 를 이용해 유체, 특히 가스가 밸브 하우징 내부공간 (9) 밖으로 추가 개구부 (16) 와 챔버 내부공간 (4) 을 관통하여 흡인될 수 있다. 바로 분리벽 (12) 안에서의 추가 개구부 (16) 의 배열을 통해, 선행기술에 존재하는 라인들을 통한 시간 손실 및 압력 손실이 생기지 않으면서, 매우 재빠른 펌프 아웃과 비교적 큰 부피들의 펌프 아웃이 가능하다. 밸브 하우징 내부공간 (9) 의 펌프 아웃은, 상응하여 폐쇄된 추가 개구부 (16) 와 상응하여 개방된 추가 개구부 (17) 에 있어서 석션 펌프 (26) 를 이용해서도 챔버 (2) 의 챔버 내부공간 (5) 과 추가 개구부 (17) 를 통하여 수행될 수 있다.

추가적으로, 추가 개구부들 (16, 17) 은, 유입 밸브들 (27, 28) 을 통한 챔버 내부공간들 (4 및/또는 5) 의 플러딩 (flooding) 시 매우 재빨리 각각의 챔버 내부공간 (4 또는 5) 과 밸브 하우징 내부공간 (9) 사이의 압력보상을 생성하기 위해서도 또는 이 부피들 사이의 잔여 압력 차이들을 보상하기 위해서도 사용될 수 있다.

도 1 내지 도 3 에서는, 스위칭 밸브들 (18, 19) 이 이 제 1 실시예에서 각각의 분리벽 (12 또는 13) 의 벽 섹션 안에 배열되고, 상기 벽 섹션은 각각 이송 밸브 하우징 (8) 의 부분인 것을 잘 볼 수 있다.

이하, 이제 본 발명에 따른 배열체들을 묘사하기 위한 변형들 또는 대안들이 예시적으로 기술된다. 도 4 내지 도 7 의 다음의 설명들은 도 1 내지 도 3 에 따른 지금까지 기술된 이 제 1 실시예에 대한 차이들에 집중한다. 모든 다른 상세내용과 작동방식들은 다시 따로 기술되지 않는다. 이와 관련하여 제 1 실시예의 상기 설명들을 참조하도록 한다.

도 4 에 따른 변형에서, 제 1 실시예에 대한 차이는, 스위칭 밸브들 (18, 19) 이 각각의 분리벽 (12 또는 13) 의 부분영역 안에 배열되고, 상기 부분영역은 각각 챔버 하우징 (6 또는 7) 에 할당될 수 있다는 데에 있다. 상응하여, 이 실시예에서 그 밖의 스위칭 밸브들 (33) 도 도시되고, 상기 그 밖의 스위칭 밸브들을 가지고 그 밖의 추가 개구부들 (32) 이 개방 및 폐쇄될 수 있다. 도 4 에서 그러므로 각각의 스위칭 밸브 (18, 19) 의 각각의 폐쇄부재 (20, 21) 를 위한 밸브 시트들 (22, 23) 은 각각의 챔버 하우징 (6, 7) 의 상응하는 부분영역 안에 그리고 이로써 각각의 분리벽 (12, 13) 안에 배열된다.

도 5 에서 스위칭 밸브들 (18, 19) 은 챔버 하우징들 (6 또는 7) 의 각각의 벽 섹션들과 이송 밸브 하우징 (8) 사이에 배열된다. 스위칭 밸브들 (18, 19) 은 이 실시변형에서 각각 자신의 하우징을 가지며, 따라서 스위칭 밸브 폐쇄부재들 (20, 21) 을 위한 밸브 시트들 (22, 23) 은 도 5 에 따른 이 실시예에서 각각의 스위칭 밸브 (18, 19) 의 자신의 하우징의 부분이다. 또다시 여기에서도 도시된 그 밖의 스위칭 밸브들 (33) 에게 마찬가지로 적용된다.

도 6 에 따른 변형에 있어서, 도 1 내지 도 3 에 따른 제 1 실시예에 대한 차이는, 여기에서는 각각의 분리벽 (12 또는 13) 이 단지 그리고 오로지 각각 이송 밸브 하우징 (8) 의 벽 섹션으로 구성된다는 데에 있다. 상응하여, 스위칭 밸브들 (18, 19) 도, 분리벽 (12 또는 13) 을 형성하는 이송 밸브 하우징 (8) 의 각각의 벽 섹션 안에 배열된다. 챔버 하우징들 (6, 7) 은 이 실시예에서, 각각의 분리벽 (12 또는 13) 의 부분영역을 형성하는 벽 섹션들을 구비하지 않는다. 챔버 하우징들 (6, 7) 의 도시된 벽 영역들은 상응하여 직접적으로 이송 밸브 하우징 (8) 과 연결된다.

도 7 에 따른 변형에서는 이와 반대로, 이송 밸브 하우징 (8) 이 분리벽들 (12, 13) 의 영역에서 자신의 벽 섹션들을 구비하지 않는다. 여기서, 분리벽들 (12, 13) 은 오로지 각각의 챔버 하우징 (6, 7) 의 상응하는 벽 섹션들에 의해 형성된다. 상응하여, 스위칭 밸브들 (18, 19) 은 그리고 추가 개구부들 (16, 17) 도, 게다가 이송 개구부들 (14, 15) 도 상기 각각 분리벽 (12 또는 13) 을 형성하는 챔버 하우징 (6, 7) 의 벽 섹션 안에 배열된다. 여기서도 상응하여 또다시 그 밖의 스위칭 밸브들 (33) 이 도시된다.

1 : 챔버 2 : 챔버
3 : 이송 밸브 4 : 챔버 내부공간
5 : 챔버 내부공간 6 : 챔버 하우징
7 : 챔버 하우징 8 : 이송 밸브 하우징
9 : 밸브 하우징 내부공간 10 : 이송 밸브 폐쇄부재
11 : 이송 밸브 폐쇄부재 12 : 분리벽
13 : 분리벽 14 : 이송 개구부
15 : 이송 개구부 16 : 추가 개구부
17 : 추가 개구부 18 : 스위칭 밸브
19 : 스위칭 밸브 20 : 스위칭 밸브 폐쇄부재
21 : 스위칭 밸브 폐쇄부재 22 : 밸브 시트
23 : 밸브 시트 24 : 개방 지름
25 : 석션 펌프 26 : 석션 펌프
27 : 유입 밸브 28 : 유입 밸브
29 : 세로방향 드라이브 30 : 가로방향 드라이브
31 : 그 밖의 이송 밸브 32 : 그 밖의 이송 밸브
33 : 그 밖의 스위칭 밸브

Claims

적어도 2개의 챔버 (1, 2) 와 적어도 하나의 이송 밸브 (3) 를 갖는 배열체로서,
챔버들 (1, 2) 은 각각 하나의 챔버 내부공간 (4, 5) 과, 상기 챔버 내부공간 (4, 5) 을 에워싸는 각각 하나의 챔버 하우징 (6, 7) 을 구비하고, 상기 이송 밸브 (3) 는 밸브 하우징 내부공간 (9) 을 갖는 적어도 하나의 이송 밸브 하우징 (8) 과, 2개의 이송 밸브 폐쇄부재들 (10, 11) 을 구비하고,
상기 밸브 하우징 내부공간 (9) 은 각각 하나의 분리벽 (12, 13) 에 의해 상기 챔버 내부공간들 (4, 5) 각각으로부터 분리되고, 분리벽들 (12, 13) 각각 안에 이송 개구부 (14, 15) 가 형성되고,
물체들 및/또는 유체들은 상기 이송 밸브 (3) 의 상기 이송 밸브 폐쇄부재들 (10, 11) 의 개방위치에서는 상기 챔버 내부공간들 (4, 5) 중 하나로부터 상기 이송 개구부들 (14, 15) 과 상기 밸브 하우징 내부공간 (9) 을 관통하여 상기 챔버 내부공간들 (4, 5) 중 다른 것 안으로 운반 가능하고, 상기 이송 밸브 폐쇄부재들 (10, 11) 각각은 상기 이송 밸브 폐쇄부재들 각각의 폐쇄위치에서 상기 이송 개구부들 (14, 15) 중 하나를 폐쇄하고,
상기 분리벽들 (12, 13) 각각 안에, 각각의 상기 이송 개구부 (14, 15) 에 대해 추가적으로 각각 하나의 추가 개구부 (16, 17) 가 배열되고,
각각의 상기 추가 개구부 (16, 17) 는 각각 상기 배열체의 스위칭 밸브 (18, 19) 에 의해 폐쇄 가능하고, 각각의 상기 스위칭 밸브 (18, 19) 의 개방된 상태에서 상기 밸브 하우징 내부공간 (9) 을 각각 직접적으로 유체 전도적으로, 각각의 상기 분리벽 (12, 13) 에 인접하는 상기 챔버 내부공간 (4, 5) 과 연결하는 것을 특징으로 하는, 적어도 2개의 챔버와 적어도 하나의 이송 밸브를 갖는 배열체.
제 1 항에 있어서,
각각의 상기 분리벽 (12, 13) 은 각각의 상기 챔버 하우징 (6, 7) 의 부분영역으로 또는 상기 이송 밸브 하우징 (8) 의 부분영역으로 또는 상기 각각의 챔버 하우징 (6, 7) 의 그리고 상기 이송 밸브 하우징 (8) 의 서로 밀착하는 부분영역들로 형성되는 것을 특징으로 하는, 적어도 2개의 챔버와 적어도 하나의 이송 밸브를 갖는 배열체.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 각각의 스위칭 밸브 (18, 19) 는, 특히 상기 각각의 추가 개구부 (16, 17) 를 폐쇄하기 위한 상기 각각의 스위칭 밸브 (18, 19) 의 스위칭 밸브 폐쇄부재 (20, 21) 는, 적어도 일부 영역에서 상기 각각의 분리벽 (12, 13) 안에 배열되는 것을 특징으로 하는, 적어도 2개의 챔버와 적어도 하나의 이송 밸브를 갖는 배열체.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 각각의 스위칭 밸브 (18, 19) 의 상기 스위칭 밸브 폐쇄부재 또는 하나의 스위칭 밸브 폐쇄부재 (20, 21) 가 각각의 상기 추가 개구부 (16, 17) 를 폐쇄하기 위해 눌려질 수 있는, 상기 각각의 스위칭 밸브 (18, 19) 의 밸브 시트 (valve seat, 22, 23) 는 상기 각각의 분리벽 (12, 13) 에 또는 상기 각각의 분리벽 안에 배열되는 것을 특징으로 하는, 적어도 2개의 챔버와 적어도 하나의 이송 밸브를 갖는 배열체.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 각각의 추가 개구부 (16, 17) 는 상기 각각의 스위칭 밸브 (18, 19) 의 개방된 상태에서 적어도 100mm 의 개방 지름 (24) 및/또는 적어도 7850㎟ 의 개방 면적을 갖는 것을 특징으로 하는, 적어도 2개의 챔버와 적어도 하나의 이송 밸브를 갖는 배열체.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 이송 밸브 (3) 의 개방 시간 및/또는 폐쇄 시간은 7초보다 작거나 또는 같고, 바람직하게는 5초보다 작거나 또는 같은 것을 특징으로 하는, 적어도 2개의 챔버와 적어도 하나의 이송 밸브를 갖는 배열체.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 각각의 스위칭 밸브 (18, 19) 의 개방 시간 및/또는 폐쇄 시간은 2초보다 작거나 또는 같고, 바람직하게는 1초보다 작거나 또는 같은 것을 특징으로 하는, 적어도 2개의 챔버와 적어도 하나의 이송 밸브를 갖는 배열체.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 이송 밸브 폐쇄부재들 (10, 11) 및/또는 상기 스위칭 밸브 폐쇄부재 또는 스위칭 밸브 폐쇄부재들 (20, 21) 은, 바람직하게는 각각, 폐쇄판으로서 형성되는 것을 특징으로 하는, 적어도 2개의 챔버와 적어도 하나의 이송 밸브를 갖는 배열체.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 배열체는 개별적으로 상기 각각의 챔버 내부공간 (4, 5) 밖으로 유체를 펌프 아웃 (pump out) 하기 위한, 바람직하게는 직접적으로, 상기 각각의 챔버 (1, 2) 에 연결된 적어도 하나의 석션 펌프 (suction pump, 25, 26) 및/또는 개별적으로 상기 각각의 챔버 내부공간 (4, 5) 안으로 유체를 유입시키기 위한, 바람하게는 직접적으로, 상기 각각의 챔버 (1, 2) 에 연결된 적어도 하나의 유입 밸브 (27, 28) 를 구비하는 것을 특징으로 하는, 적어도 2개의 챔버와 적어도 하나의 이송 밸브를 갖는 배열체.
제 9 항에 따른 배열체를 작동시키기 위한 방법으로서,
상기 밸브 하우징 내부공간 (9) 밖으로 유체를 펌프 아웃하기 위해 추가 개구부들 (16, 17) 중 하나는 상기 추가 개구부들 중 하나에 할당된 상기 스위칭 밸브 (18, 19) 를 이용해 개방된 상태로 되고, 유체는 상기 밸브 하우징 내부공간 (9) 밖으로 상기 추가 개구부 (16, 17) 와 상기 각각의 챔버 내부공간 (4, 5) 을 관통하여, 상기 각각의 챔버 (1, 2) 에 연결된 상기 석션 펌프 (25, 26) 에 의해 펌프 아웃되고 그리고/또는 상기 챔버 내부공간들 (4, 5) 중 하나와 상기 밸브 하우징 내부공간 (9) 사이에서 압력보상하기 위해, 그 사이에 배열된 상기 추가 개구부 (16, 17) 는 상기 추가 개구부에 할당된 상기 스위칭 밸브 (18, 19) 를 이용해 개방된 상태로 되는 것을 특징으로 하는, 배열체를 작동시키기 위한 방법.