JP4258806B2 - 真空調圧用バルブ - Google Patents
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Description
L 軸線
1A,1B,1C 主弁
2A,2B,2C 補助弁
5 主弁操作部
7 真空チャンバ
8 真空ポンプ
10 主弁ハウジング
11 第1メインポート
11a 連通開口
12 第2メインポート
13 流路
14 主弁座
15 主弁部材
16 主弁孔
20 主弁シャフト
23 復帰ばね
31 隔壁
32 主ピストン
37 主受圧室
38 主パイロットポート
42 補助弁操作部
47 第1バイパスポート
48 第2バイパスポート
49 バイパス流路
50 補助弁座
51 補助弁部材
52 補助弁シャフト
56 第1接続孔
57 第2接続孔
62 補助ピストン
67 補助受圧室
68 補助パイロットポート
70 シリンダカバー
71 復帰ばね
80 主弁開度調節機構
90 補助弁開度調節機構
82,92 調節軸
83,93 調節軸駆動機構
84,94 開度調節用モーター
84a,94a 出力軸
85,95 変換機構
85a,95a 螺子棒
85b,95b ナット部材
88,98 センサー
100,110 操作用モーター
100a,110a 出力軸
101,111 変換機構
101a,111a 螺子棒
101b,111b ナット部材
119 中継部材
120 ガイドピン
Claims (5)
- 大形の主弁と、この主弁に取り付けられた小形のバイパス用補助弁とで構成され、
上記主弁は、軸線方向に延びる主弁孔を内部に備えた主弁ハウジングと、この主弁ハウジングに設けられて真空チャンバ及び真空ポンプに接続される第1メインポート及び第2メインポートと、主弁孔の軸線方向端に位置する上記第1メインポートが該主弁孔と連通する連通開口の回りに形成された主弁座と、上記主弁孔内において上記主弁座を開閉する主弁部材と、この主弁部材から上記主弁孔内をその軸線方向に延びる主弁シャフトと、該主弁シャフトを介して上記主弁部材を開閉操作する主弁操作部とを有し、
上記補助弁は、上記主弁ハウジングの外側面に取り付けられていて、主弁孔の軸線方向に延びる補助弁孔を内部に備えた補助弁ハウジングと、補助弁ハウジングの側面に開口し、上記主弁ハウジングを貫通する第1接続孔を通じて上記第1メインポートに連通する第1バイパスポート、及び同側面に開口し、上記主弁ハウジングを貫通する第2接続孔を通じて主弁孔内に連通する第2バイパスポートと、第1バイパスポート及び第2バイパスポートとを補助弁孔を介して結ぶことにより形成される上記主弁座を迂回するバイパス流路と、このバイパス流路中に設けられた開口面積が上記主弁座より小さい補助弁座と、この補助弁座を開閉する補助弁部材と、この補助弁部材から延びる補助弁シャフトと、この補助弁シャフトを介して上記補助弁部材を開閉操作する補助弁操作部とを有し、
上記主弁操作部及び補助弁操作部が、上記主弁シャフト及び補助弁シャフトの先端に取り付けられた主ピストン及び補助ピストンと、この主ピストン及び補助ピストンに上記主弁部材及び補助弁部材が開放する方向の流体圧を作用させる主受圧室及び補助受圧室と、この主受圧室及び補助受圧室にパイロット流体を供給するための主パイロットポート及び補助パイロットポートとを有し、また、上記主弁及び補助弁がそれぞれ、上記主弁部材及び補助弁部材を上記主弁座及び補助弁座の閉鎖方向に向けて付勢する復帰ばねを備えている、
ことを特徴とする真空調圧用バルブ。 - 上記復帰ばねが、上記主弁操作部においては、上記主弁孔と主受圧室とを区画する隔壁と上記主弁部材との間に設けられ、上記補助弁操作部においては、上記補助ピストンと該補助ピストンの背面側を覆うシリンダカバーとの間に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の真空調圧用バルブ。
- 上記主弁操作部及び補助弁操作部の少なくとも一方が、主弁開度調節機構又は補助弁開度調節機構をさらに有しており、この主弁開度調節機構又は補助弁開度調節機構は、上記主ピストン又は補助ピストンの背面に先端が当接する調節軸と、この調節軸を任意の位置まで無段階に前後進駆動可能な調節軸駆動機構とを有していて、該調節軸駆動機構で上記調節軸を変位させて主ピストン又は補助ピストンの動作位置を規定することにより、上記主弁部材又は補助弁部材の開度を設定可能に構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の真空調圧用バルブ。
- 上記調節軸駆動機構が、電動式の開度調節用モーターと、このモーターの出力軸の正逆回転運動を往復直進運動に変換する変換機構とを有し、該変換機構が、上記開度調節用モーターの出力軸に連結されて回転する螺子棒と、この螺子棒に非回転の状態で該螺子棒の軸線方向には変位自在なるように螺着されたナット部材とからなっていて、このナット部材に上記調節軸の基端部が連結され、該調節軸の先端は自由端となって、上記主ピストン又は補助ピストンに接離自在に当接していることを特徴とする請求項3に記載の真空調圧用バルブ。
- 上記主弁開度調節機構及び補助弁開度調節機構が、上記調節軸の変位量を測定可能なセンサーを有し、このセンサーからの検出信号に基づいて上記駆動機構で調節軸を位置制御するように構成されていることを特徴とする請求項3又は4に記載の真空調圧用バルブ。
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