KR101353019B1 - 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 복수 개의 프로세스 챔버 및 로드 락 챔버를 트랜스퍼 챔버에 각각 연결시키도록 개방부를 구비하는 카세트 챔버에 이동 가능하게 삽입되고, 개방부에 대향되는 프로세스 챔버, 로드 락 챔버 또는 트랜스퍼 챔버를 개폐하는 밸브 플레이트와, 밸브 플레이트를 개방부에 대향되게 이동시키고, 밸브 플레이트를 개방부 측으로 전진 또는 후진시키도록 액추에이터에 출몰 가능하게 설치되는 샤프트와, 밸브 플레이트가 개방부에 밀착된 상태에서 밸브 플레이트로부터 샤프트를 분리시킬 수 있도록 밸브 플레이트와 샤프트를 연결하는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치 {VACUUM PROCESSING APPARATUS HAVING SLIT VALVE}
본 발명은 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 슬릿밸브의 폭을 최소화하고, 슬릿밸브의 교체작업을 용이하게 행할 수 있으며, 밸브 플레이트와 샤프트 사이의 간섭을 방지할 수 있는 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치에 관한 것이다.
통상적으로 반도체, LCD, OLED, SOLAR 등의 기판을 처리하는 상당수의 공정은 고진공 분위기에서 공정이 이루어지는 소정의 공정, 예를 들면 박막증착 , 식각 등의 공정 등이 진행될 수 있도록 밀폐된 챔버가 구비된다.
또한 이러한 챔버를 통하여 기판 수율을 높이기 위해서는 챔버 내부가 오염되지 않도록 유지하는 것이 매우 중요하다.
챔버는 고진공 상태에서 소정의 기판 공정이 수행되는 프로세스 챔버(Process chamber, PM)와, 기판 가공을 위한 웨이퍼를 로드 또는 언로드 하는 로드락 챔버(Load lock chamber, LM)와, 그리고 프로세스 챔버와 로드 락 챔버 사이에 설치되어 기판을 이송하는 트랜스퍼 챔버(Transfer chamber, TM) 등으로 되어 있다.
한편, 상술한 각 챔버들 사이에는 기판을 통과시키기 위한 통로 역할을 하는 카세트 챔버가 설치되어 있고, 이 카세트 챔버에는 카세트 챔버를 개폐하는 슬릿밸브가 설치되어 있어서 카세트 챔버의 개폐가 이루어지도록 되어 있다.
이러한 슬릿밸브는 실질적으로 챔버 간의 통로를 이루는 카세트 챔버를 개폐하는 것으로 카세트 챔버와 동일한 형상 및 개구부 보다 큰 크기의 플레이트로 이루어진 밸브 플레이트와, 공압에 의해 작동되며 밸브 플레이트 측에 연결되는 샤프트를 동작시켜서 밸브플레이트를 승강시키는 액추에이터 등을 포함하는 형태로 이루어져 있다.
또한, 밸브 플레이트에는 카세트 챔버를 실링하기 위해서 카세트 챔버와의 접촉 부위에 오링이 구비되고, 이 밸브 플레이트를 이용하여 카세트 챔버를 폐쇄할 경우 밸브 플레이트가 챔버 측으로 가압되면서 오링이 압축되어 카세트 챔버가 밀폐되는 것이다.
본 발명의 배경기술은 대한민국 등록특허공보 제10-1171990호(2012년 8월 7일 공고, 발명의 명칭 : 챔버간 역압 방지수단을 구비하는 진공 처리장치)에 개시되어 있다.
일반적인 진공 처리장치는, 액추에이터의 구동에 의해 출몰되는 샤프트가 카세트 챔버를 개폐하는 밸브 플레이트에 삽입되어 결합되므로 프로세스 챔버, 로드 락 챔버 및 카세트 챔버 중 어느 하나의 챔버에 대향되는 개방부에 밸브 플레이트가 밀착되어 진공압이 제공되고 있는 상태에서 슬릿밸브를 교체할 수 없는 문제점이 있다.
또한, 일반적인 진공 처리장치는, 슬릿밸브의 교체작업을 행할 때에 처리공정을 중단하고 챔버 내부에 대기압을 제공한 후에 슬릿밸브의 교체작업을 진행해야 하므로 슬릿밸브의 교체작업 후에 프로세스 챔버를 정상화시키는데 소요되는 시간이 길고, 파트 및 챔버 내부의 쉴드 교체 등으로 인한 비용이 발생되며, 슬릿밸브 교체작업 중에는 트랜스퍼 챔버 및 프로세스 챔버가 벤트되어야 하므로 생산설비를 사용할 수 없는 문제점이 있다.
따라서 이를 개선할 필요성이 요청된다.
본 발명은 슬릿밸브의 교체작업을 행할 때에 트랜스퍼 챔버와 프로세스 챔버의 진공을 유지하면서 슬릿밸브를 교체할 수 있어서 다른 프로세스 챔버는 생산작업을 행할 수 있는 있는 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은, 복수 개의 프로세스 챔버 및 로드 락 챔버를 트랜스퍼 챔버에 각각 연결시키도록 개방부를 구비하는 카세트 챔버에 이동 가능하게 삽입되고, 상기 개방부에 대향되는 상기 프로세스 챔버, 상기 로드 락 챔버 또는 상기 트랜스퍼 챔버를 개폐하는 밸브 플레이트; 상기 밸브 플레이트를 상기 개방부에 대향되게 이동시키고, 상기 밸브 플레이트를 상기 개방부 측으로 전진 또는 후진시키도록 액추에이터에 출몰 가능하게 설치되는 샤프트; 및 상기 밸브 플레이트가 상기 개방부에 밀착된 상태에서 상기 밸브 플레이트로부터 상기 샤프트를 분리시킬 수 있도록 상기 밸브 플레이트와 상기 샤프트를 연결하는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 카세트 챔버는, 상기 개방부가 양측면에 형성되고, 상기 밸브 플레이트가 삽입되는 안착홈부를 구비하며, 상면이 개방되는 블록본체; 및 상기 블록본체의 상면에 착탈 가능하게 설치되는 상면커버를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 개방부는, 상기 블록본체의 일측면에 형성되고, 상기 트랜스퍼 챔버에 대향되게 배치되는 제1개방부; 및 상기 블록본체의 타측면에 형성되고, 상기 프로세스 챔버 또는 상기 로드 락 챔버에 대향되게 배치되는 제2개방부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 밸브 플레이트는, 상기 제1개방부 측에 배치되고, 상기 샤프트가 결합되는 제1돌출부가 형성되는 제1플레이트; 및 상기 제2개방부 측에 배치되고, 상기 샤프트가 결합되는 제2돌출부가 형성되는 제2플레이트를 포함하고; 상기 제1돌출부와 상기 제2돌출부는 교호로 배치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 연결부는, 상기 제1돌출부 또는 상기 제2돌출부 배면에서 내측 방향으로 오목하게 형성되고, 상기 샤프트가 삽입되도록 저면이 개방되는 장착홈부; 체결부재가 결합될 수 있도록 상기 샤프트의 상면에 형성되는 체결홀부; 및 상기 장착홈부 내측으로 삽입되는 상기 체결부재가 상기 체결홀부에 결합될 수 있도록 상기 장착홈부로부터 상기 밸브 플레이트의 상면까지 관통되어 이루어지는 관통홀부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 샤프트가 상기 장착홈부로부터 분리될 때에 상기 샤프트와 상기 장착홈부가 간섭되는 것을 방지하는 간섭방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 간섭방지부는, 상기 장착홈부의 상면이 상측으로 경사지게 형성되어 이루어지는 제1경사면, 또는 상기 샤프트의 상단이 하측으로 경사지게 형성되어 이루어지는 제2경사면을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 프로세스 챔버에 클리닝가스가 공급되는 동안에는 상기 제1플레이트 및 상기 제2플레이트에 의해 상기 제1개방부 및 상기 제2개방부가 폐쇄되고, 상기 프로세스 챔버와 상기 카세트 챔버 사이에 설치되는 제1단속밸브, 및 상기 트랜스퍼 챔버와 상기 카세트 챔버 사이에 설치되는 제2단속밸브가 폐쇄되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 샤프트는, 상기 제1플레이트의 중앙부에 연결되도록 상기 제1돌출부에 결합되는 제1샤프트; 및 상기 제1샤프트를 중심으로 대칭을 이루도록 상기 제2플레이트의 양단부에 형성되는 상기 제2돌출부에 결합되는 제2샤프트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치는, 샤프트가 밸브 플레이트의 배면 방향으로 이동되면서 분리될 수 있도록 샤프트와 밸브 플레이트를 연결시키는 연결부가 구비되므로 밸브 플레이트가 카세트 챔버에 밀착되어 프로세스 챔버, 트랜스퍼 챔버 또는 로드 락 챔버에 대향되는 카세트 챔버에 밀착된 상태에서 진공압을 해제하지 않고 샤프트와 밸브 플레이트를 분리시킬 수 있어 진공압을 해제하지 않은 상태에서 슬릿밸브의 교체작업을 행할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치는, 연결부에 작용에 의해 밸브 플레이트가 카세트 챔버에 밀착된 상태에서 샤프트와 밸브 플레이트를 분리하여 슬릿밸브의 교체작업을 행할 수 있어 다른 프로세스 챔버에서 처리공정이 이루어짐으로써 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치는, 프로세스 챔버를 벤트하지 않고 슬릿밸브를 교체할 수 있으므로 슬릿밸브의 교체작업이 종료된 후에 해당 프로세스 챔버를 바로 사용할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치가 설치되는 멀티형 챔버가 도시된 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치가 도시된 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리장치의 슬릿밸브가 도시된 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리장치의 슬릿밸브가 도시된 단면 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리장치의 카세트 챔버와 밸브 플레이트의 연결구조가 도시된 단면 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리장치의 슬릿밸브가 도시된 작동 상태도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리장치의 밸브 플레이트와 샤프트의 연결구조가 도시된 단면 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리장치의 샤프트 장착구조가 도시된 단면 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치의 제어방법이 도시된 순서도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치의 일 실시예를 설명한다.
이러한 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.
또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다.
그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치가 설치되는 멀티형 챔버가 도시된 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치가 도시된 구성도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리장치의 슬릿밸브가 도시된 사시도이다.
또한, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리장치의 슬릿밸브가 도시된 단면 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리장치의 카세트 챔버와 밸브 플레이트의 연결구조가 도시된 단면 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리장치의 슬릿밸브가 도시된 작동 상태도이다.
또한, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리장치의 밸브 플레이트와 샤프트의 연결구조가 도시된 단면 사시도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 처리장치의 샤프트 장착구조가 도시된 단면 사시도이다.
도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치는, 복수 개의 프로세스 챔버(12) 및 로드 락 챔버(16)를 트랜스퍼 챔버(14)에 각각 연결시키도록 개방부(32a, 32b)를 구비하는 카세트 챔버(30)에 이동 가능하게 삽입되고, 개방부(32a, 32b)에 대향되는 프로세스 챔버(12)의 개구부(12a), 로드 락 챔버(16)의 개구부 또는 트랜스퍼 챔버(14)의 개구부(14a)를 개폐하는 밸브 플레이트(50)와, 밸브 플레이트(50)를 개방부(32a, 32b)에 대향되게 이동시키고, 밸브 플레이트(50)를 개방부(32a, 32b) 측으로 전진 또는 후진시키도록 액추에이터(70)에 출몰 가능하게 설치되는 샤프트(60)와, 밸브 플레이트(50)가 개방부(32a, 32b)에 밀착된 상태에서 밸브 플레이트(50)로부터 샤프트(60)를 분리시킬 수 있도록 밸브 플레이트(50)와 샤프트(60)를 연결하는 연결부(80)를 포함한다.
트랜스퍼 챔버(14)에는 다수 개의 개구부(14a)가 형성되고, 각각의 개구부(14a)에는 복수 개의 프로세스 챔버(12)와 로드 락 챔버(16)가 연결되도록 각각의 챔버 사이에는 카세트 챔버(30)가 설치된다.
카세트 챔버(30)에는 슬릿밸브(100)가 설치되어 개구부(12a, 14a)를 개폐할 수 있도록 하며, 본 실시예의 슬릿밸브(100)는 트랜스퍼 챔버(14)의 개구부(14a)와 프로세스 챔버(12)의 개구부(12a) 또는 로드 락 챔버(16)의 개구부를 동시에 개폐하므로 챔버들 사이의 압력 차이에 의해 챔버에 공급되는 가스가 유실되거나 진공압이 유실되는 것을 방지하게 된다.
본 실시예에서는 카세트 챔버(30)를 기준으로 이와 이웃하는 챔버들 중에서 어느 한 챔버에는 벤트공정이 이루어지고 다른 챔버에서는 진공공정이 이루어지는 경우에, 카세트 챔버(30)를 벤트공정이 이루어지는 챔버와 동일한 압력 상태, 즉 정압 상태를 유지하도록 하는 카세트 챔버(30) 정압 유도부가 구비된다.
따라서 카세트 챔버(30) 내부에 대기압이 제공되면 카세트 챔버(30) 내부에 형성되는 대기압에 의해 진공 상태를 유지하고 있는 챔버 측으로 밸브 플레이트(50)를 가압하게 되므로 벤트공정이 이루어지는 챔버와 진공상태를 유지하고 있는 챔버 사이에 압력 차이로 인한 인터리크 발생을 방지하게 된다.
도 2에는 프로세스 챔버(12)와 트랜스퍼 챔버(14) 사이에 설치된 카세트 챔버의 정압 유도부를 도시하였으나, 본 발명에서는 카세트 챔버 정압 유도부가 프로세스 챔버(12)와 트랜스퍼 챔버(14) 사이의 카세트 챔버(30)에 구비된 것에 한정되는 것이 아니라 로드 락 챔버(16)와 트랜스퍼 챔버(14) 사이의 마련된 카세트 챔버(30)에도 동일하게 적용될 수 있다.
본 실시예에 따른 챔버간 역압 방지수단을 구비한 진공 처리장치는, 서로 이웃하는 챔버, 예를 들어 트랜스퍼 챔버(14)와 프로세스 챔버(12) 사이를 구획하면서 기판의 이송되는 통로를 개폐하는 슬릿밸브(100)의 동작 공간을 제공하는 카세트 챔버(30)와, 트랜스퍼 챔버(14) 또는 프로세스 챔버(12) 중에서 벤트공정이 이루어지는 어느 한 챔버와 카세트 챔버(30)가 동일 압력을 이루도록 하는 카세트 챔버 정압 유도부와, 각 챔버의 벤트공정을 감지하는 벤팅 감지부(160)와, 벤팅 감지부(160)로부터 전기적 신호를 받아 카세트 챔버 정압 유도부의 동작을 제어하는 제어부(180)를 포함한다.
카세트 챔버(30)는 내부가 비어 있는 밀폐된 직육면체 형상으로 이루어지고, 트랜스퍼 챔버(14) 측과 프로세스 챔버(12) 측에 설치되는 방향으로 서로 마주보는 면에 각각 기판이 출입되는 통로 역할을 하는 개방부(32a, 32b)가 형성된다.
카세트 챔버(30) 내부에는 각 개구부(12a, 14a)를 개폐할 수 있도록 공압에 의해 승강 작동되는 슬릿밸브(100)가 설치된다.
이때, 슬릿밸브(100)는 카세트 챔버(30)의 양측에 마련된 각 개방부(32a, 32b)의 개폐를 나누어서 담당하도록 개방부(32a, 32b) 형상의 판으로 이루어진 두 개의 밸브 플레이트(50), 즉 제1플레이트(52) 및 제2플레이트(54)가 수직 자세로 서로 마주보도록 배치된다.
제1플레이트(52) 및 제2플레이트(54)는 액추에이터(70)로부터 출몰되는 샤프트(60)와 연결되어, 샤프트(60)의 승강 동작에 따라 제1플레이트(52) 및 제2플레이트(54)가 동시에 승강하는 듀얼 실링 방식으로 이루어진다.
그리고 제1플레이트(52) 및 제2플레이트(54)에는 카세트 챔버(30)의 개방부(32a, 32b)를 실링하기 위해서 각 개방부(32a, 32b)와의 접촉 부위에 오링(140)이 각각 설치된다.
카세트 챔버 정압 유도부는 프로세스 챔버(12)와 카세트 챔버(30) 사이에 가스의 흐름이 가능하도록 프로세스 챔버(12)와 카세트 챔버(30)를 서로 연결하는 제1바이패스라인(171)과, 트랜스퍼 챔버(14)와 카세트 챔버(30) 사이에 가스의 흐름이 가능하도록 트랜스퍼 챔버(14)와 카세트 챔버(30)를 서로 연결하는 제2바이패스라인(172)과, 제1바이패스라인(171) 및 제2바이패스라인(172) 상에 각각 설치되어 제어부(180)의 제어 신호에 의해 이들이 배속된 제1바이패스라인(171) 및 제2바이패스라인(172)의 가스의 흐름을 단속하는 제1단속밸브(173) 및 제2단속밸브(174)를 포함한다.
한편, 각 챔버에는 공정 중에 진공 상태를 형성하기 위해서 각 챔버의 일측에 연결된 진공라인(193)에는 진공펌프(194)가 각각 설치되며, 진공라인(193)에서 진공펌프(194)의 전단에는 진공라인(193)을 개폐하는 밸브가 설치된다.
또한, 각 챔버의 또 다른 일측에는 챔버 내부를 대기압 상태로 전환하기 위해 챔버 내부로 벤트가스를 주입하는 벤트라인(191)이 각각 마련되며, 벤트라인(191)에는 각 챔버로 벤트가스의 유입을 단속하기 위해 개폐 기능을 갖는 벤트밸브(192)가 각각 설치된다.
여기서, 벤트가스는 일반적으로 반응성이 낮은 질소(N2)를 사용한다.
한편, 본 실시예에서는 프로세스 챔버(12)와 트랜스퍼 챔버(14)의 벤트공정 시에 각 챔버의 벤트공정 여부를 감지하는 벤팅 감지부(160)가 설치된다.
벤팅 감지부(160)는 각 챔버의 벤트밸브(192) 측에 설치되어 벤트밸브(192)의 개방상태 및 폐쇄상태로 개폐 동작하기 위한 전기적 신호를 감지하는 벤트밸브 감지센서를 포함한다.
제어부(180)는 각 챔버에 마련된 벤트밸브 감지센서와 제1단속밸브(173) 및 제2단속밸브(174)와 전기적으로 연결된다.
일반적인 상황에서는 트랜스퍼 챔버(14)와 카세트 챔버(30) 사이의 제2단속밸브(174)는 개방상태를 유지하고, 프로세스 챔버(12)와 카세트 챔버(30) 사이의 제1단속밸브(173)는 폐쇄상태를 유지한다.
제어부(180)는 각 프로세스 챔버(12) 또는 로드 락 챔버(16)의 벤트밸브 감지센서로부터 벤트밸브(192)가 오픈 상태의 신호를 받는 경우에 벤트밸브(192)가 배속된 프로세스 챔버(12) 또는 로드 락 챔버(16)에서 벤트공정이 진행되는 것으로 판단하여 해당 챔버와 카세트 챔버(30)에 연결된 제1바이패스라인(171) 상에 설치된 제1단속밸브(173)는 개방되고, 제2단속밸브(174)는 폐쇄상태로 동작되도록 제어한다.
그리고 슬릿밸브(100)가 개방동작을 행할 때에는 트랜스퍼 챔버(14)와 프로세스 챔버(12)가 동일 압력임이 확인된 상태이기 때문에 해당 프로세스 챔버(12) 또는 로드 락 챔버(16)와 카세트 챔버(30)에 연결된 제1바이패스라인(171) 상에 설치된 제1단속밸브(173)는 폐쇄되고, 제2단속밸브(174)는 개방되도록 제어한다.
따라서 벤트공정이 이루어져 대기압이 제공되는 챔버와, 카세트 챔버(30)는 동일한 압력상태가 유지되므로 진공압이 제공되고 있는 챔버 측으로 밸브 플레이트(50)가 가압되는 상태를 이루게 되어 진공압이 제공되고 있는 챔버와 밸브 플레이트(50) 사이로 가스 또는 진공압이 유실되는 것을 방지할 수 있게 된다.
카세트 챔버(30)는, 개방부(32a, 32b)가 양측면에 형성되고, 밸브 플레이트(50)가 삽입되는 안착홈부(34)를 구비하며, 상면이 개방되는 블록본체(32)와, 블록본체(32)의 상면에 착탈 가능하게 설치되는 상면커버(36)를 포함한다.
블록본체(32)는 상면이 개방되고, 블록본체(32)의 상면에 상면커버(36)가 착탈 가능하게 결합되므로 액추에이터(70)의 파손 또는 밸브의 벨로우즈 리크 등의 문제가 발생되어 슬릿밸브(100) 교체작업을 행하는 경우에 작업자는 상면커버(36)를 블록본체(32)로부터 분리시킨 후에 연결부(80)를 조작하여 샤프트(60)와 밸브 플레이트(50)를 분리시킬 수 있게 된다.
이후에, 작업자는 밸브 플레이트(50)로부터 샤프트(60) 및 액추에이터(70)를 분리시켜 교체작업을 행할 수 있게 되고, 이때, 밸브 플레이트(50)는 프로세스 챔버(12) 내부에 형성되는 진공압에 의해 개방부(32a, 32b)에 밀착된 상태를 유지하게 된다.
이때, 양쪽의 밸브 플레이트(50)가 뒤로 밀리는 것을 방지하기 위해 특정 기구물을 밸브 플레이트(50) 사이에 삽입할 수 있다.
따라서 슬릿밸브(100)를 교체하는 프로세스 챔버(12)를 제외한 나머지 프로세스 챔버(12)에서 공정이 진행되는 동안에 샤프트(60) 및 액추에이터(70)를 밸브 플레이트(50)로부터 분리하여 해당 카세트 챔버(30)의 슬릿밸브(100) 교체작업을 행할 수 있게 된다.
이때, 제1단속밸브(173)와 제2단속밸브(174)는 폐쇄되어야 한다.
개방부(32a, 32b)는, 블록본체(32)의 일측면에 형성되고, 트랜스퍼 챔버(14)의 개구부(14a)에 대향되게 배치되는 제1개방부(32a)와, 블록본체(32)의 타측면에 형성되고, 프로세스 챔버(12)의 개구부(12a) 또는 로드 락 챔버(16)의 개구부에 대향되게 배치되는 제2개방부(32b)를 포함한다.
따라서 프로세스 챔버(12)와 트랜스퍼 챔버(14) 사이에 설치되는 카세트 챔버(30) 내부에 카세트 챔버(30)가 설치되면 제1개방부(32a)는 트랜스퍼 챔버(14)의 개구부(14a)에 대향되게 배치되고, 제2개방부(32b)는 프로세스 챔버(12)의 개구부(12a)에 대향되게 배치되므로 트랜스퍼 챔버(14)와 프로세스 챔버(12)가 카세트 챔버(30)에 의해 서로 통하도록 연결된다.
밸브 플레이트(50)는, 제1개방부(32a) 측에 배치되고, 샤프트(60)가 결합되는 제1돌출부(52a)가 형성되는 제1플레이트(52)와, 제2개방부(32b) 측에 배치되고, 샤프트(60)가 결합되는 제2돌출부(54a)가 형성되는 제2플레이트(54)를 포함하고, 제1돌출부(52a)와 제2돌출부(54a)는 교호로 배치된다.
블록본체(32)의 바닥면에는 하측으로 오목하게 안착홈부(34)가 형성되고, 안착홈부(34)에는 제1플레이트(52) 및 제2플레이트(54)가 출몰 가능하게 삽입된다.
안착홈부(34)의 저면에는 샤프트(60)가 삽입되는 삽입홀부(34a)가 형성되므로 액추에이터(70)로부터 출몰되는 샤프트(60)는 삽입홀부(34a)를 통해 카세트 챔버(30) 내부로 삽입되면서 밸브 플레이트(50)를 상승시키게 된다.
액추에이터(70)는, 복수 개의 샤프트(60)가 출몰 가능하게 삽입되고, 샤프트(60)를 가압하여 출몰시키는 실린더(74)가 설치되는 케이스(72)와, 실린더(74)의 로드(74a)에 연결되고 복수 개의 샤프트(60)가 유동 가능하게 안착되도록 회전홈부(74c)가 형성되어 케이스(72)에 승강 가능하게 설치되는 슬라이딩블록(74b)과, 회전홈부(74c)에 유동 가능하게 안착되고, 샤프트(60)의 하단에 회전 가능하게 설치되는 편심캠부재(76)를 포함한다.
실린더(74)로부터 로드(74a)가 돌출되면 로드(74a)의 상승운동에 의해 슬라이딩블록(74b)이 상승하면서 복수 개의 샤프트(60)를 상승시키고, 샤프트(60)의 상승이 완료된 후에도 슬라이딩블록(74b)의 상승이 지속되면 편심캠부재(76)가 회전홈부(74c) 내부에서 유동되면서 샤프트(60)의 상단을 개방부(32a, 32b) 측으로 전진시키게 된다.
따라서 샤프트(60)의 상단에 설치되는 밸브 플레이트(50)는 개방부(32a, 32b) 측으로 전진하면서 프로세스 챔버(12)의 개구부(12a) 또는 트랜스퍼 챔버(14)의 개구부(14a)에 대향되는 개방부(32a, 32b)에 밀착되면서 각각의 개구부(12a, 14a)를 폐쇄하게 된다.
연결부(80)는, 제1돌출부(52a) 또는 제2돌출부(54a) 배면에서 내측 방향으로 오목하게 형성되고, 샤프트(60)가 삽입되도록 저면이 개방되는 장착홈부(82)와, 체결부재가 결합될 수 있도록 샤프트(60)의 상면에 형성되는 체결홀부(84)와, 장착홈부(82) 내측으로 삽입되는 체결부재가 체결홀부(84)에 결합될 수 있도록 장착홈부(82)로부터 밸브 플레이트(50)의 상면까지 관통되어 이루어지는 관통홀부(86)를 포함한다.
제1플레이트(52)의 배면에는 제1플레이트(52)의 중앙부가 제2플레이트(54) 측으로 돌출되어 이루어지는 제1돌출부(52a)가 형성되고, 제2플레이트(54)의 배면에는 제2플레이트(54)의 양측부로부터 제1플레이트(52) 측으로 돌출되는 한 쌍의 제2돌출부(54a)가 형성된다.
제1플레이트(52) 및 제2플레이트(54)가 안착홈부(34) 내부로 삽입되면 제1돌출부(52a)와 제2돌출부(54a)는 서로 교호로 배치되면서 제1플레이트(52)와 제2플레이트(54)가 서로 밀착되게 배치되므로 샤프트(60) 설치에 요구되는 밸브 플레이트(50)의 두께를 제공함과 동시에 제1플레이트(52) 및 제2플레이트(54)가 서로 밀착된 한 쌍의 밸브 플레이트(50)의 두께를 줄일 수 있게 된다.
따라서 제1플레이트(52) 및 제2플레이트(54)의 수납에 요구되는 공간이 축소되고, 카세트 챔버(30)의 폭을 축소시킬 수 있게 된다.
상기한 바와 같이 제1플레이트(52)와 제2플레이트(54)의 수납에 요구되는 공간이 축소되므로 하나의 밸브 플레이트(50)를 구비하는 종래의 슬릿밸브(100)가 설치되는 카세트 챔버(30)에 본 실시예에 따른 슬릿밸브(100)를 설치할 수 있게 된다.
액추에이터(70)로부터 돌출되는 샤프트(60)는 제1돌출부(52a)에 연결되는 제1샤프트(62)와 제2돌출부(54a)에 연결되는 제2샤프트(64)를 포함하고, 제1샤프트(62)는 제1돌출부(52a)에 형성되는 장착홈부(82)에 삽입되고, 제2샤프트(64)는 제2돌출부(54a)에 형성되는 장착홈부(82)에 삽입된다.
장착홈부(82)의 상면에는 밸브 플레이트(50)의 상면까지 연장되는 관통홀부(86)가 형성되고, 관통홀부(86)에 대향되도록 샤프트(60)의 상면에는 체결홀부(84)가 형성된다.
따라서 장착홈부(82)에 샤프트(60)를 삽입한 상태에서 밸브 플레이트(50)의 상면으로부터 관통홀부(86)를 통해 체결부재를 삽입하면 샤프트(60)의 상면에 형성되는 체결홀부(84)에 체결부재를 결합할 수 있게 된다.
프로세스 챔버(12)에 진공압이 제공되고 있는 상태에서 액추에이터(70) 또는 샤프트(60) 등의 슬릿밸브(100)의 부품에 파손이 발견되면 작업자는 프로세스 챔버(12)의 진공압을 해제하지 않는 상태에서 체결부재를 체결홀부(84) 및 관통홀부(86)로부터 분리시키고, 액추에이터(70) 내부로 샤프트(60)가 삽입되도록 액추에이터(70)를 구동시켜 샤프트(60)와 밸브 플레이트(50)를 분리시킨다.
이때, 액추에이터(70)의 구동에 의해 샤프트(60)가 장착홈부(82) 외측으로 수평이동된 후에 하강하여 액추에이터(70)의 내부로 삽입되는데, 장착홈부(82)는 배면과 저면이 개방된 구조이므로 해당 카세트 챔버(30)와 슬릿밸브(100)를 분리시키기 위해 샤프트(60)의 후진운동을 행한 후에 하강운동을 행할 때에 샤프트(60)가 밸브 플레이트(50)와 간섭되지 않고 분리될 수 있게 된다.
이후에, 슬릿밸브(100)의 수리가 완료되면 작업자는 액추에이터(70)를 카세트 챔버(30)에 결합한 후에 액추에이터(70)로부터 샤프트(60)가 돌출되도록 액추에이터(70)를 구동시키면 샤프트(60)가 액추에이터(70) 외측으로 돌출된 후에 개방부(32a, 32b) 측으로 전진하면서 장착홈부(82) 내측으로 삽입된다.
샤프트(60)가 장착홈부(82) 내측으로 삽입되면 체결부재를 관통홀부(86)에 삽입하여 체결홀부(84)에 체결부재를 결합함으로써, 샤프트(60)와 밸브 플레이트(50)를 결합할 수 있게 된다.
샤프트(60)는, 제1플레이트(52)의 중앙부에 연결되도록 제1돌출부(52a)에 결합되는 제1샤프트(62)와, 제1샤프트(62)를 중심으로 대칭을 이루도록 제2플레이트(54)의 양단부에 형성되는 제2돌출부(54a)에 결합되는 제2샤프트(64)를 포함한다.
하나의 액추에이터(70)로부터 1개의 제1샤프트(62)와 2개의 제2샤프트(64)가 출몰 가능하게 설치되고, 액추에이터(70)로부터 돌출되는 제1샤프트(62)는 제1개방부(32a) 측으로 수평이동되고, 액추에이터(70)로부터 돌출되는 제2샤프트(64)는 제2개방부(32b) 측으로 수평이동되면서 제1플레이트(52) 및 제2플레이트(54)를 각각 제1개방부(32a) 및 제2개방부(32b)에 밀착시키게 된다.
제1샤프트(62)와 제2샤프트(64)는 교호로 배치되므로 서로 간섭되는 것을 방지할 수 있고, 제1샤프트(62) 및 제2샤프트(64)의 작동에 요구되는 공간이 감소되는 효과가 나타나게 된다.
또한, 본 실시예는 샤프트(60)가 장착홈부(82)로부터 분리될 때에 샤프트(60)와 장착홈부(82)가 간섭되는 것을 방지하는 간섭방지부(90)를 더 포함한다.
장착홈부(82)의 상면 및 샤프트(60)의 상면은 평면 형상으로 형성되어 서로 밀착되므로 장착홈부(82)의 상면 및 샤프트(60)의 상면에는 모서리가 형성된다.
샤프트(60)가 장착홈부(82)로부터 분리될 때에는 편심캠부재(76)의 작동에 의해 샤프트(60)의 상단이 곡선을 그리며 후진하게 되는데, 이때, 간섭방지부(90)의 작용에 의해 샤프트(60)의 모서리와 장착홈부(82)의 모서리가 서로 간섭되는 것을 방지하게 된다.
간섭방지부(90)는, 장착홈부(82)의 상면이 상측으로 경사지게 형성되어 이루어지는 제1경사면(92), 또는 샤프트(60)의 상단이 하측으로 경사지게 형성되어 이루어지는 제2경사면(94)을 포함한다.
제1경사면(92)은 장착홈부(82)의 상면 외측 단부가 상측으로 경사지게 모따기된 모양으로 형성되어 이루어지고, 제2경사면(94)은 샤프트(60)의 단부가 하측으로 경사지게 모따기된 모양으로 형성된다.
제1경사면(92)과 제2경사면(94)은 서로 동일하거나 유사한 각도로 경사지게 형성되므로 샤프트(60)가 장착홈부(82) 외측으로 분리될 때에 샤프트(60)의 모서리와 장착홈부(82)의 모서리가 서로 간섭되는 것을 방지할 수 있게 된다.
또한, 본 실시예의 카세트 챔버(30)에는 프로세스 챔버(12)에 클리닝가스가 공급되는 동안 카세트 챔버(30) 내부의 압력변화를 감지하는 압력감지센서가 설치된다.
CL2 가스 등을 이용해서 프로세스 챔버(12)의 클리닝공정이 진행되는 동안에 카세트 챔버(30) 내부의 압력변화를 감지할 수 있고, 프로세스 챔버(12)의 클리닝공정이 진행되는 동안 카세트 챔버(30) 내부의 압력이 변화되면 밸브 플레이트(50) 또는 단속밸브(173, 174)를 통해 클리닝가스가 카세트 챔버(30) 측으로 유실된 것으로 판단한다.
프로세스 챔버(12)의 클리닝 공정 중에는 단속밸브(173,174) 모두 폐쇄상태로 전환하여 클리닝가스가 트랜스퍼 챔버(14)로 유입 되는 것을 이중으로 차단시켜 준다.
프로세스 챔버(12)의 클리닝 공정이 완료되면 프로세스 챔버(12) 측의 단속 밸브(173)를 먼저 개방 하여 카세트 챔버(30)에 잔존할 수 있는 클리닝가스를 프로세스 챔버(12)에 설치되는 진공라인(193)을 통해 배출시켜줌으로써 클리닝가스가 트랜스퍼 챔버(14)로 유입되는 것을 방지할 수 있게 된다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치의 제어방법을 살펴보면 다음과 같다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿밸브(100)를 구비하는 진공 처리장치의 제어방법이 도시된 순서도이다.
도 1 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿밸브(100)를 구비하는 진공 처리장치의 제어방법은, 카세트 챔버(30)에 의해 프로세스 챔버(12)와 연결되는 트랜스퍼 챔버(14)에 진공압을 유지하고, 프로세스 챔버(12)와 카세트 챔버(30) 사이에 설치되는 제1단속밸브(173)를 폐쇄하고, 트랜스퍼 챔버(14)와 카세트 챔버(30) 사이의 설치되는 제2단속밸브(174)를 개방하여 프로세스 챔버(12)에 수납되는 기판의 처리공정을 진행하는 단계(S10)와, 프로세스 챔버(12)에서 벤트공정 개시신호가 입력되는지 판단하는 단계(S20)와, 프로세스 챔버(12)의 벤트공정 개시신호가 입력되면 제1단속밸브(173)가 개방되고, 제2단속밸브(174)가 폐쇄상태인지 판단하는 단계(S30)와, 제1단속밸브(173)가 개방되고, 제2단속밸브(174)가 폐쇄상태로 판단되면 프로세스 챔버(12)에 벤트가스를 주입하는 단계(S40)와, 프로세스 챔버(12), 트랜스퍼 챔버(14) 및 카세트 챔버(30)에 진공압이 제공되면 제1단속밸브(173)를 폐쇄하고, 제2단속밸브(174)를 개방하는 단계(S50)와, 제1단속밸브(173)가 폐쇄되고, 제2단속밸브(174)가 개방되면 프로세스 챔버(12)의 처리공정 진행 횟수가 설정치 이상인지 판단하는 단계(S60)와, 프로세스 챔버(12)의 처리공정 횟수가 설정치 이상이면 프로세스 챔버(12)에 클리닝가스를 공급하여 클리닝공정을 진행하는 단계(S70)와, 프로세스 챔버(12)에 클리닝공정이 진행되면 제1단속밸브(173)를 폐쇄하고, 제2단속밸브(174)를 폐쇄하는 단계(S80)와, 클리닝공정이 종료되면 제1단속밸브(173)를 개방하고, 제2단속밸브(174)를 폐쇄하여 클리닝가스를 배출하는 단계(S90)를 포함한다.
프로세스 챔버(12)가 다수 구비된 멀티 챔버에서는 주기적으로 클리닝가스가 주입되는 클리닝공정을 수행하게 된다.
이때, 외부로부터 프로세스 챔버(12)로 클리닝가스 주입이 감지되면 클리닝가스에 의한 트랜스퍼 챔버(14)의 오염을 방지하기 위해 제1단속밸브(173)와 제2단속밸브(174)를 폐쇄하여 클리닝가스가 트랜스퍼 챔버(14)를 오염시키는 것을 이중으로 차단시키게 된다.
클리닝공정이 완료된 후에는 카세트 챔버(30)에 잔존할 수 있는 클리닝가스에 의한 트랜스퍼 챔버(14)의 오염을 방지하기 위해 제1단속밸브(173)를 먼저 개방하고, 프로세스 챔버의 진공라인(193)에 구비되는 진공펌프(194)를 구동시켜 클리닝가스를 배출시킨다.
이로써, 카세트 챔버(30)로부터 클리닝가스의 배출이 완료되고, 프로세스 챔버(12)에 정상적인 공정이 진행될 수 있는 공정 대기상태가 되며, 해당 프로세스 챔버(12)의 슬릿밸브(100)가 오픈 될 때에 제1단속밸브(173)는 폐쇄되고, 제2단속밸브(174)는 개방상태로 전환된다.
여기서, 클리닝가스를 배출하는 단계(S90)는, 프로세스 챔버(12)에 설치되는 진공라인(193)에 구비되는 진공펌프(194)를 통해 프로세스 챔버(12)와 카세트 챔버(30)에 잔존하는 클리닝가스를 제거하게 된다.
또한, 제1단속밸브(173)를 폐쇄하고, 제2단속밸브(174)를 폐쇄하는 단계(S80)가 진행된 후에 카세트 챔버(30) 내부의 압력이 설정치 이상으로 상승되면 오작동 신호를 출력하여 카세트 챔버(30)와 프로세스 챔버(12) 사이에 설치되는 플레이트(54)에서 클리닝가스가 유실됨을 알리게 되며, 카세트 챔버(30)내부에 설치되는 압력감지센서에 의해 카세트 챔버(30) 내부의 압력변화를 감지할 수 있다.
참고로, 프로세스 챔버(12)에서 기판의 처리공정이 진행되는 중에 제2단속밸브(174)는 항상 개방상태를 유지하고, 제1단속밸브(173)는 항상 폐쇄상태를 유지하도록 제어된다.
로드 락 챔버(16)의 경우에는 외부로부터 기판이 유입되거나 또는 공정이 완료된 기판을 외부로 반출하는 경우에 벤트공정이 이루어지게 된다.
이때, 로드 락 챔버(16)와 트랜스퍼 챔버(14) 사이의 카세트 챔버(30)의 정압을 유지하기 위한 구성 및 방법은 상술한 트랜스퍼 챔버(14)와 프로세스 챔버(12) 사이의 카세트 챔버(30)의 정압을 유지하기 위한 구성 및 방법과 동일하게 적용된다.
이로써, 슬릿밸브의 교체작업을 진행할 때에 프로세스 챔버 및 트랜스퍼 챔버, 또는 로드 락 챔버 및 트랜스퍼 챔버의 진공상태를 유지하면서 슬릿밸브를 용이하게 교체할 수 있고, 밸브 플레이트와 샤프트 사이의 간섭을 방지할 수 있는 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치를 제공할 수 있게 된다.
본 발명은 도면에 도시되는 일 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
또한, 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치를 예로 들어 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치가 아닌 다른 제품에도 본 발명의 진공 처리장치가 사용될 수 있다.
따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
12 : 프로세스 챔버 14 : 트랜스퍼 챔버
16 : 로드 락 챔버 30 : 카세트 챔버
32 : 블록본체 32a : 제1개방부
32b : 제2개방부 34 : 안착홈부
34a : 삽입홀부 36 : 상면커버
50 : 밸브 플레이트 52 : 제1플레이트
52a : 제1돌출부 54 : 제2플레이트
54a : 제2돌출부 60 : 샤프트
62 : 제1샤프트 64 : 제2샤프트
70 : 액추에이터 72 : 케이스
72a : 걸림패널 72b : 탄성부재
74 : 실린더 74a : 로드
74b : 슬라이딩블록 74c : 회전홈부
76 : 편심캠부재 80 : 연결부
82 : 장착홈부 86 : 관통홀부
90 : 간섭방지부 92 : 제1경사면
94 : 제2경사면 100 : 슬릿밸브
160 : 벤팅 감지부 171 : 제1바이패스라인
172 : 제2바이패스라인 173 : 제1단속밸브
174 : 제2단속밸브 180 : 제어부
191 : 벤트라인 192 : 벨트밸브
193 : 진공라인 194 : 진공펌프

Claims (9)

  1. 복수 개의 프로세스 챔버 및 로드 락 챔버를 트랜스퍼 챔버에 각각 연결시키도록 개방부를 구비하는 카세트 챔버에 이동 가능하게 삽입되고, 상기 개방부에 대향되는 상기 프로세스 챔버, 상기 로드 락 챔버 또는 상기 트랜스퍼 챔버를 개폐하는 밸브 플레이트;
    상기 밸브 플레이트를 상기 개방부에 대향되게 이동시키고, 상기 밸브 플레이트를 상기 개방부 측으로 전진 또는 후진시키도록 액추에이터에 출몰 가능하게 설치되는 샤프트; 및
    상기 밸브 플레이트가 상기 개방부에 밀착된 상태에서 상기 밸브 플레이트로부터 상기 샤프트를 분리시킬 수 있도록 상기 밸브 플레이트와 상기 샤프트를 연결하는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 카세트 챔버는,
    상기 개방부가 양측면에 형성되고, 상기 밸브 플레이트가 삽입되는 안착홈부를 구비하며, 상면이 개방되는 블록본체; 및
    상기 블록본체의 상면에 착탈 가능하게 설치되는 상면커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 개방부는,
    상기 블록본체의 일측면에 형성되고, 상기 트랜스퍼 챔버에 대향되게 배치되는 제1개방부; 및
    상기 블록본체의 타측면에 형성되고, 상기 프로세스 챔버 또는 상기 로드 락 챔버에 대향되게 배치되는 제2개방부를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 밸브 플레이트는,
    상기 제1개방부 측에 배치되고, 상기 샤프트가 결합되는 제1돌출부가 형성되는 제1플레이트; 및
    상기 제2개방부 측에 배치되고, 상기 샤프트가 결합되는 제2돌출부가 형성되는 제2플레이트를 포함하고;
    상기 제1돌출부와 상기 제2돌출부는 교호로 배치되는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 연결부는,
    상기 제1돌출부 또는 상기 제2돌출부 배면에서 내측 방향으로 오목하게 형성되고, 상기 샤프트가 삽입되도록 저면이 개방되는 장착홈부;
    체결부재가 결합될 수 있도록 상기 샤프트의 상면에 형성되는 체결홀부; 및
    상기 장착홈부 내측으로 삽입되는 상기 체결부재가 상기 체결홀부에 결합될 수 있도록 상기 장착홈부로부터 상기 밸브 플레이트의 상면까지 관통되어 이루어지는 관통홀부를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 샤프트가 상기 장착홈부로부터 분리될 때에 상기 샤프트와 상기 장착홈부가 간섭되는 것을 방지하는 간섭방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 간섭방지부는,
    상기 장착홈부의 상면이 상측으로 경사지게 형성되어 이루어지는 제1경사면, 또는 상기 샤프트의 상단이 하측으로 경사지게 형성되어 이루어지는 제2경사면을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 프로세스 챔버에 클리닝가스가 공급되는 동안에는 상기 제1플레이트 및 상기 제2플레이트에 의해 상기 제1개방부 및 상기 제2개방부가 폐쇄되고, 상기 프로세스 챔버와 상기 카세트 챔버 사이에 설치되는 제1단속밸브, 및 상기 트랜스퍼 챔버와 상기 카세트 챔버 사이에 설치되는 제2단속밸브가 폐쇄되는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치.
  9. 제4항에 있어서, 상기 샤프트는,
    상기 제1플레이트의 중앙부에 연결되도록 상기 제1돌출부에 결합되는 제1샤프트; 및
    상기 제1샤프트를 중심으로 대칭을 이루도록 상기 제2플레이트의 양단부에 형성되는 상기 제2돌출부에 결합되는 제2샤프트를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브를 구비하는 진공 처리장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020035219A1 (de) * 2018-08-17 2020-02-20 Vat Holding Ag Anordnung mit zumindest zwei kammern und zumindest einem transferventil

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040055587A (ko) * 2002-12-16 2004-06-26 에스엠시 가부시키가이샤 게이트 밸브
US7422653B2 (en) 2004-07-13 2008-09-09 Applied Materials, Inc. Single-sided inflatable vertical slit valve
KR101128877B1 (ko) 2010-12-03 2012-03-26 위순임 기판처리시스템의 게이트밸브장치
KR101293590B1 (ko) 2011-12-16 2013-08-13 주식회사 뉴파워 프라즈마 양방향 게이트 밸브 및 이를 구비한 기판 처리 시스템

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040055587A (ko) * 2002-12-16 2004-06-26 에스엠시 가부시키가이샤 게이트 밸브
US7422653B2 (en) 2004-07-13 2008-09-09 Applied Materials, Inc. Single-sided inflatable vertical slit valve
KR101128877B1 (ko) 2010-12-03 2012-03-26 위순임 기판처리시스템의 게이트밸브장치
KR101293590B1 (ko) 2011-12-16 2013-08-13 주식회사 뉴파워 프라즈마 양방향 게이트 밸브 및 이를 구비한 기판 처리 시스템

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020035219A1 (de) * 2018-08-17 2020-02-20 Vat Holding Ag Anordnung mit zumindest zwei kammern und zumindest einem transferventil
US11486503B2 (en) 2018-08-17 2022-11-01 Vat Holding Ag Assembly having at least two chambers and at least one transfer valve

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