KR100940300B1 - 평판표시소자 제조장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 실링 플레이트에 작용하는 응력 분배를 위해 보강부를 형성하여 압력차에 의해 실링 플레이트의 가장자리가 이탈되어 기밀이 누설되는 것을 방지하는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
즉, 본 발명은 평판표시소자 제조장치에 있어서, 일측 또는 양측에 개구부가 형성되는 챔버; 상기 개구부를 개폐하도록 실링 플레이트가 구비되는 게이트 밸브; 를 포함하며, 상기 실링 플레이트에는, 상기 챔버 밀폐시 내외부 압력차에 의한 변형을 방지하여 리크 발생을 방지하는 보강부가 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
평판표시소자 제조장치, 챔버, 개구부, 게이트 밸브, 실링 플레이트(Sealing plate), 보강부, 기밀 누설, 리크(Leak)

Description

평판표시소자 제조장치{FLAT PANEL DISPLAY MANUFACTURING MACHINE}
도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치를 도시한 측단면도이다.
도 2는 상기 평판표시소자 제조장치의 일측에 게이트 밸브를 구비되는 상태를 도시한 부분 확대도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 일측에 게이트 밸브를 구비되는 상태를 도시한 부분 확대도 및 실링 플레이트의 사시도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 일측에 게이트 밸브를 구비되는 상태를 도시한 부분 확대도 및 실링 플레이트의 사시도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 일측에 실링 플레이트가 구비된 상태를 도시한 정면도이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 일측에 실링 플레이트가 구비된 상태를 도시한 정면도이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
110, 210, 310: 챔버 112, 212, 312: 개구부
120, 220, 320: 실링 플레이트 122, 222, 322: 보강부
O: 기밀유지부재
본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 실링 플레이트에 작용하는 응력 분배를 위해 보강부를 형성하여 압력차에 의해 실링 플레이트의 가장자리가 이탈되어 기밀이 누설되는 것을 방지하는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시소자 제조장치는 내부에 LCD, PDP, OLED 등과 같은 평판표시소자 기판을 반입시켜 플라즈마 가스등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하며 상기 평판표시소자 제조장치는 일반적으로 로드락(Load lock) 챔버, 반송 챔버 및 한 개 이상의 공정 챔버로 구성된다.
여기서, 상기 로드락 챔버와 반송 챔버 및 공정 챔버의 사이에는 기판 이송통로인 개구부가 형성되고 상기 개구부를 개폐하는 게이트 밸브가 구비되며, 상기 게이트 밸브는 특정 궤적을 따라 구동하는데 그 중 하나는 타원 궤적을 따라 개구부를 개폐하거나 수직 이동한 후 수평 이동하는 궤적을 따라 상기 개구부를 개폐하는 방식을 채택하고 있다.
이와 같은 종래의 평판표시소자 제조장치의 챔버(10)에는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 기판(도면에 미도시)이 내부로 반입 또는 반출될 수 있도록 일측면에 개구부(12)가 형성되고 상기 개구부(12)를 구동력에 의해 개폐하는 게이트 밸브 (30)로 이루어진다.
상기 게이트 밸브(30)는 상기 챔버(10)의 개구부(12)를 개폐하되 상기 개구부(12)의 밀폐시 기밀을 유지하는 기밀유지부재(O)가 접촉면 가장자리에 구비되는 실링 플레이트(20)와, 상기 실링 플레이트(20)의 후면 여러 지점에 연결되는 연결바(32)와, 상기 연결바(32)의 하단에 구비되어 이 실링 플레이트(20)를 이동시킬 수 있도록 구동력을 제공하는 구동부(34)로 이루어진다.
이때, 상기 챔버(10) 내부를 진공 형성하는 진공 형성 장치(도면에 미도시)의 작동시 상기 챔버(10) 내부가 저압 상태로 변화됨에 따라 외부와의 압력차에 의해 개별 부품인 상기 실링 플레이트(20)의 모서리를 제외한 중심 부분이 개구부(12)로 흡입되어 챔버(10) 방향으로 치우침에 따라 가장자리에서 상기 챔버(10)와의 접촉 면적이 감소하는 현상이 발생된다.
결국, 상기 실링 플레이트(20)의 중심 부분이 개구부(12)로 치우치면서 상대적으로 모서리 부분이 들뜨게 되며 접촉면 가장자리를 따라 구비되는 기밀유지부재(O) 또한 챔버(10)에서 이격되므로 리크(Leak) 현상이 발생되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 실링 플레이트에 작용하는 응력 분배를 위해 보강부를 형성하여 압력차에 의해 실링 플레이트의 가장자리가 들떠 기밀이 누설되는 것을 방지할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 평판표시소자 제조장치에 있어서, 일측 또는 양측에 개구부가 형성되는 챔버; 상기 개구부를 개폐하도록 실링 플레이트가 구비되는 게이트 밸브; 를 포함하며, 상기 실링 플레이트에는, 상기 챔버 밀폐시 내외부 압력차에 의한 변형을 방지하여 리크 발생을 방지하는 보강부가 구비됨으로써, 상기 실링 플레이트가 챔버 내외의 압력차로 인해 상기 챔버와의 접촉 면적의 감소하여 기밀이 누수되는 것을 방지하므로 바람직하다.
이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치를 첨부도면을 참조하여 실시 예들을 들어 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치는 도면에는 도시하지 않았지만 내부가 중공 형성되며 그 일 측벽 또는 양 측벽에 형성되어 기판이 반입/반출되는 개구부(112)가 게이트 밸브(도면에 미도시)에 의해 개폐되는 챔버(110)이다.
여기서, 상기 챔버(110)는 게이트 밸브에 의해 개폐 가능한 로드락 챔버와 반송 챔버 및 공정 챔버에 모두 적용할 수 있다.
더욱이, 상기 챔버(110)의 개구부(112)를 개폐하는 실링 플레이트(120)는 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 챔버(110)와 접하지 않는 후면에 연결바(132)가 연결되어 구동부(도면에 미도시)의 동력을 전달하며 상기 개구부(112)의 면적보다 더 넓은 면적을 갖으면서 적정 두께의 판상 형상으로 형성된다.
여기서, 상기 실링 플레이트(120)는 상기 챔버(110)의 밀폐시 이 챔버(110) 내외부 압력차에 의한 변형을 방지하여 리크 발생을 차단하도록 보강부(122)가 형성된다.
즉, 상기 보강부(122)는 상기 실링 플레이트(120)에 단차 형성되도록 일체 형성되거나 접촉 면에 오링(O-ring)이나 개스킷(gasket) 등이 개재된 상태로 결합하여 단차 형성되되 본 실시 예에서는 일체로 형성되는 것에 대해서 예시한다.
그리고 상기 보강부(122)는 상기 개구부(112)를 밀폐시킬 수 있도록 이 개구부(112) 둘레인 챔버(110)와 접하는 접촉면인 상기 실링 플레이트(120)의 가장자리가 돌출되도록 형성되며, 일체형 블럭을 음각 또는 양각 형성하는 것이다.
그리고 돌출된 상기 보강부(122)에는 이 가장자리를 따라 기밀유지부재(O)가 삽입되는 홈이 형성되며, 상기 챔(110)의 개구부(112)와 접촉하는 접촉면에 형성된다.
그리고 도면에는 도시하지 않았지만 상기 챔버의 개구부에 접하되 이 챔버와 접촉되는 면에 기밀유지부재가 구비되는 실링 플레이트와 상기 실링 플레이트의 후면에 결합되며 게이트 밸브의 연결바가 연결되는 서포트 플레이트(Support plate)의 구비가 가능하다.
이 경우에는 상기 서포트 플레이트의 내외측면 중 상기 챔버와 접촉하는 내측 접촉면 또는 외측 이면 중 어느 한 면에 보강부가 구비되어 챔버 내외부의 압력차가 발생할 경우 상기 실링 플레이트를 후방에서 가압하여도 보강부가 형성된 서포트 플레이트가 실링 플레이트를 가압하므로 이 실링 플레이트의 가장자리가 들뜨 는 현상을 방지할 수 있다.
그러므로 본 발명의 평판표시소자 제조장치에서 챔버에 형성된 개구부를 개폐하도록 구비되는 실링 플레이트는 상기 챔버(110)의 개구부(112)를 밀폐시킬 수 있도록 접촉면 가장자리에 보강부(122)를 형성하여 이 챔버(110) 방향으로의 흡입력을 중심부로 집중시키지 않고 분배시킴에 따라 상기 챔버(110)의 내외 압력차에 의해 상대적으로 기밀유지부재(O)가 구비된 가장자리가 들떠 기밀이 누설되는 것을 방지한다.
결국, 상기 실링 플레이트(120)는 기존의 그것보다 두께 감소가 가능하며, 상기 게이트 밸브의 가압력의 감소 효과도 얻을 수 있다.
그리고 상기 실링 플레이트의 다른 실시 예로는 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이 보강부(122)가 상기 챔버(110) 개구부(112)의 내부에 수용되도록 상기 개구부(112)의 형성 면적보다 작게 형성되며, 일체형 블럭을 음각 또는 양각 형성하는 것이다.
이때, 상기 보강부(122)는 상기 개구부(112)의 면적보다 작으면서 높이가 동일하거나 자제 비용 절감을 위해 중심부분을 함몰시킬 수 있다. 또한, 상기 챔버(110)와의 접촉면인 실링 플레이트(120)의 가장자리에 보강부(122)를 형성하지 않고 접촉되지 않는 중심 부분에 형성하므로 상기 보강부(122)의 형상은 대향되는 "ㄷ" 형상 또는 모서리마다 부분적으로 형성되어 대향되는 "ㄴ" 절곡 형상 등으로 구비가 가능하다.
그리고 상기 챔버(110)와의 접촉면인 상기 실링 플레이트(120)의 가장자리를 따라 기밀유지부재(O)가 삽입되는 홈이 형성된다.
그리고 상기 보강부(122)는 본 실시 예에서 상기 실링 플레이트(120)에 일체형으로 형성되는 것으로 예시하였으나 이에 한정하지 않고 결합형으로도 구비할 수 있다.
그리고 상기 실링 플레이트의 또 다른 실시 예로는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 개구부(212)가 형성된 챔버(210)와 접촉되지 않는 이면에 보강부(222)가 형성된 것으로, 상기 보강부(222)가 외측인 이면 가장자리에 돌출된다.
여기서도 상기 보강부(222)를 일체형 또는 결합형으로 형성시키며, 일체형 블럭을 음각 또는 양각 형성하는 것이다.
그리고 상기 실링 플레이트의 또 다른 실시 예로는 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 개구부(312)가 형성된 챔버(310)와 접촉되지 않는 이면에 보강부(322)가 형성되는 것으로, 상기 보강부(322)가 실링 플레이트(320)의 이면 가장자리에 형성되거나 상기 개구부(312)의 면적보다 작은 상태로 중심부에 형성된 것이다.
그러나 상기 실링 플레이트(320) 제작시 자재 비용 절감을 위해 이 실링 플레이트(320)의 가장자리에 보강부(322)를 형성하되 모서리부마다 부분적으로 형성한다.
그리고 상기 보강부(322)를 개구부(312)의 면적보다 작게 형성할 경우에도 일체형으로 형성하지 않고 모서리부마다 부분적으로 형성시켜 자재 비용을 절감할 수 있다.
여기서도 상기 보강부(322)를 일체형 또는 결합형으로 형성시키며, 일체형 블럭을 음각 또는 양각 형성하는 것이다.
그리고 도면에는 도시하지 않았지만 또 다른 실시 예로 일정 간격을 갖으면서 돌출되도록 다수개의 보강부를 수직 방향 또는 수평 방향으로 배열하거나 이를 조합한 격자형으로도 구비가 가능하다.
이와 같이 본 발명의 평판표시소자 제조장치는 실링 플레이트에 작용하는 응력 분배를 위해 보강부를 형성하여 압력차에 의해 실링 플레이트의 가장자리가 이탈되어 기밀이 누설되는 것을 방지하는 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 평판표시소자 제조장치에 있어서,
    일측 또는 양측에 개구부가 형성되는 챔버;
    상기 개구부를 개폐하도록 실링 플레이트가 구비되는 게이트 밸브; 를 포함하며,
    상기 실링 플레이트에는,
    상기 챔버 밀폐시 내외부 압력차에 의한 변형을 방지하여 리크(Leak) 발생을 방지하는 보강부가 구비되되,
    상기 보강부는,
    상기 챔버에 접촉되는 상기 실링 플레이트의 접촉면 가장자리 또는 이면 가장자리에 단차 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 평판표시소자 제조장치에 있어서,
    일측 또는 양측에 개구부가 형성되는 챔버;
    상기 개구부를 개폐하도록 실링 플레이트가 구비되는 게이트 밸브; 를 포함하며,
    상기 실링 플레이트에는,
    상기 챔버 밀폐시 내외부 압력차에 의한 변형을 방지하여 리크(Leak) 발생을 방지하는 보강부가 구비되며,
    상기 보강부는,
    상기 챔버 외벽에 대향되면서 접촉되지 않는 상기 실링 플레이트의 중심 부분 또는 이면에 상기 개구부 면적보다 작게 상기 실링 플레이트에 단차 형태로 형성되며, 가장자리를 따라 일체로 형성되거나 가장자리 중 각각의 모서리에 개별적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  5. 삭제
  6. 제 1항 또는 제 4항에 있어서, 상기 보강부는,
    음각 또는 양각 중 선택되는 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  7. 제 1항 또는 제 4항에 있어서,
    상기 실링 플레이트의 이면에 형성된 상기 보강부는,
    상기 보강부 각각의 모서리에 개별적으로 설치되도록 절곡 형상인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
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