KR100886674B1 - 챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법 및 장치 - Google Patents

챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법 및 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100886674B1
KR100886674B1 KR1020050070755A KR20050070755A KR100886674B1 KR 100886674 B1 KR100886674 B1 KR 100886674B1 KR 1020050070755 A KR1020050070755 A KR 1020050070755A KR 20050070755 A KR20050070755 A KR 20050070755A KR 100886674 B1 KR100886674 B1 KR 100886674B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chamber
floating seal
providing
bellows
chamber door
Prior art date
Application number
KR1020050070755A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20060092851A (ko
Inventor
빌리 씨. 륭
데이비드 이. 버크스트레서
시니치 쿠리타
Original Assignee
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US11/145,018 external-priority patent/US8206075B2/en
Application filed by 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 filed Critical 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Publication of KR20060092851A publication Critical patent/KR20060092851A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100886674B1 publication Critical patent/KR100886674B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Diaphragms And Bellows (AREA)
  • Sealing Devices (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Mechanical Sealing (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

챔버의 챔버 벽으로부터 밀폐면을 격리시키는 단계 및 상기 밀폐면과 상기 챔버 벽 사이의 챔버를 밀폐시키는 단계를 포함하는 방법이 제공된다. 편향성 있는 챔버 벽, 밀폐면을 제공하는 고정 부분, 및 상기 챔버 벽 부분과 상기 고정 부분에 부착되는 가요성 벨로우즈를 포함하는 장치가 제공된다. 개구를 구비한 챔버 벽, 상기 개구를 밀폐시키도록 배치되는 도어, 상기 챔버 벽으로부터 격리되며 상기 개구에 인접한 밀폐면, 및 상기 밀폐면과 상기 챔버 벽 사이에 밀폐부를 포함하는 챔버를 포함하는 시스템이 또한 제공된다.

Description

챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법 및 장치 {METHODS AND APPARATUS FOR PROVIDING A FLOATING SEAL FOR CHAMBER DOORS}
도 1a는 본 발명의 일부 실시예에 따른 가요성 벨로우즈를 이용하는 플로팅 밀폐부(floating seal)의 일 예를 구비한 챔버 개구의 단면도.
도 1b는 도 1a의 챔버 개구의 사시도.
도 2는 본 발명의 일부 실시예에 따른 성형 고무 벨로우즈를 이용하는 플로팅 밀폐부의 일 예를 도시한 사시도.
도 3은 본 발명의 일부 실시예에 따른 플로팅 밀폐부의 일 부분의 일 예를 도시한 분해도.
도 4는 본 발명의 일부 실시예에 따른 가요성 금속 벨로우즈를 이용하는 플로팅 밀폐부의 일 예를 도시한 사시도.
도 5는 본 발명의 일부 실시예에 따른 플로팅 밀폐부의 일 부분의 일 예를 도시한 사시도.
도 6a는 도 4의 챔버 개구의 사시도.
도 6b는 도 6a의 원으로 둘러싸인 부분의 상세도.
도 6c는 도 6a의 원으로 둘러싸인 부분의 라인 C-C를 따른 단면도.
도 6d는 본 발명의 일부 실시예를 따른 가요성 벨로우즈의 일 부분을 도시한 사시도.
※ 도면의 주요 부분에 대한 도면 부호의 설명 ※
100 : 플로팅 밀폐 장치 102 : 챔버 도어
104 : 밀폐면 106 : 간극
108 : 챔버 바디/벽 110 : 가요성 벨로우즈
112 : 챔버 도어 개구 G : 챔버 바디와 밀폐면 사이의 간극의 크기
U : 챔버 내부의 두께 T : 챔버 바디의 두께
H : 챔버 도어 개구의 높이
본 발명은 발명의 명칭이 "챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법 및 장치(Methods And Apparatus For Providing A Floating Seal For Chamber Doors)"이고 2004년 8월 2일에 출원된 미국 가출원 제 60/598,039 호를 우선권으로 주장하며 상기 미국 가출원은 모든 목적을 위해 본 출원 전체가 참조된다.
본 출원은 발명의 명칭이 "챔버 밀폐용 방법 및 장치(Methods And Apparatus For Sealing A Chamber)"이고 2005년 6월 2일에 출원된 미국 특허 출원 제 11/145,018 호를 우선권으로 주장하며 상기 미국 특허 출원의 일부 계속 출원이며 2004년 6월 2일에 출원된 미국 가출원 제 60/576,906 호 및 2004년 7월 12일에 출원된 미국 가출원 제 60/587,114 호 모두를 우선권으로 주장하며 상기 미국 가출원 들은 모든 목적을 위해 본 출원 전체가 참조된다.
본 발명은 일반적으로, 평면 패널 디스플레이 및/또는 전자 소자 제조 챔버 및 상기 챔버의 도어를 밀폐시키기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.
다수의 전자 소자 제조 공정에 있어서, 진공 프로세스 챔버는 여러가지의 화학적 또는 물리적 공정을 수행하기 위해서 널리 이용된다. 예를들어, 진공 프로세스 챔버는 화학 기상 증착 또는 물리 기상 증착과 같은 증착 공정; 포토레지스트 재료 또는 스핀 온 글라스(spin-on glass) 재료를 위한 스핀 코팅 공정; 및 여러가지의 다른 제조 공정에서 널리 이용된다. 또한, 외부 입자로부터의 오염에 대해서 보호하기 위해, 이송 챔버는 진공 상태에서 작동될 수도 있다. 통상적인 챔버는 도어 개구 둘레의 챔버의 벽 상의 밀폐면과 접촉하는 도어 내의 O형 링 또는 유사한 밀폐 부재에 의지하는 도어를 이용하여 밀폐된다. 누출을 방지하기 위해서 도어는 밀폐되는 각각의 시간에 확실히 밀폐되야만 한다. 따라서, 챔버의 도어를 확실히 밀폐시키기 위한 방법 및 장치가 바람직하다.
일 측면에 있어서, 본 발명은 챔버의 챔버 벽으로부터 밀폐면을 격리시키는 단계 및 밀폐면과 챔버 벽 사이의 챔버를 밀폐시키는 단계를 포함하는 방법을 제공한다.
다른 측면에 있어서, 본 발명은 편향성 있는 챔버 벽 부분, 밀폐면을 제공하는 고정 부분, 및 챔버 벽 부분과 고정 부분에 부착되는 가요성 벨로우즈를 포함하는 장치를 제공한다.
부가적인 측면에 있어서, 본 발명은 개구를 구비하는 챔버 벽, 개구를 밀폐시키도록 배치되는 도어, 챔버 벽으로부터 격리되며 개구에 인접한 밀폐면, 및 밀폐면과 챔버 벽 사이의 밀폐부를 포함하는 챔버를 포함하는 시스템을 제공한다.
또 다른 측면에 있어서, 본 발명은 제 1 플랜지 부분, 제 2 플랜지 부분, 및 제 1 및 제 2 플랜지 부분에 부착되는 가요성 부분을 포함하는 가요성 벨로우즈를 포함하는 교체 가능 부품을 제공한다.
본 발명의 다른 특징 및 측면은 다음의 예시적인 실시예의 상세한 설명, 첨부된 청구항, 및 첨부 도면에 의해 보다 충분히 명백해질 것이다.
본 발명은 챔버(예를들어, 프로세싱 챔버, 이송 챔버, 로드록(loadlock), 등)를 밀폐시키기 위한 개선된 방법 및 장치와 기밀(氣密)의 밀폐부를 필요로 하는 다른 장치를 제공한다. 고정 플로팅 밀폐면을 제공함으로써, 본 발명은 밀폐면이 도어 밀폐 부재에 대해 이동하는 것을 방지한다. 이는 도어 밀폐 부재의 마모 및 마멸을 방지하며 오염되는 입자들의 발생을 방지한다. 따라서, 기계적으로 격리되는 밀폐면(예를들어, 챔버 개구를 둘러싸는 밀폐면)을 제공함으로써, 본 발명은 챔버 벽이 상당히 편향될 때 조차 폐쇄시 챔버 도어가 일관성 있게 밀폐되도록 한다. 여러 실시예에 있어서, 밀폐면은 챔버 벽에 대해 "플로팅되며" 따라서, 챔버 벽이 진공 압력 변화 또는 열 팽창/수축 때문에 편향되기 때문에 이동하지 않는다.
따라서, 본 발명의 방법 및 장치는 밀폐면이 도어 밀폐 부재에 대해 이동하는 것을 방지하며, 입자의 발생을 방지하며, 밀폐 부재의 마모 및 마멸을 방지하며, 그리고 적합한 밀폐 수행을 하기 위한 방법을 제공한다.
본 발명의 발명자는 챔버와 챔버의 주변 환경(예를들어, 인접한 챔버 및/또는 챔버 외부의 대기압) 사이에서 챔버 압력 및 온도차를 야기하는 챔버 벽의 편향 때문에, O형 링 또는 유사한 밀폐 부재로만 양호한 밀폐부를 일관성 있게 생산할 수 없음을 언급해왔다. 발명자는 또한, 통상적인 챔버 도어 내의 밀폐부로서 이용되는 밀폐 부재들은, 챔버 벽이 압력하에서 그리고/또는 열 팽창 때문에 편향되기 때문에 밀폐면의 이동에 의해 마모되는 것을 관찰해왔다. 이러한 마모는 오염 입자의 발생, 밀폐 부재의 마멸을 초래하여 결국 밀폐 성능을 저하시킨다. 이는 다른 공정을 통한 챔버 사이클 때문에 초과 시간이 증가되는 문제점이 있으며 밀폐 부재는 마멸에 의해 품질이 더 저하된다. 특히, 이러한 문제점들은 빈번한 "펌핑 다운" (감압) 및 벤팅(venting) (재-가압)을 필요로 하는 로드록과 같은 챔버 내에서 심각하다.
게다가, 대형 "적층(stacked)" 챔버(예를들어, 이중 로드록 및 삼중 로드록)와 같은 공동 벽을 공유하는 다양한 챔버를 갖춘 공구 디자인에 있어서, 상이한 챔버는 동시에 상이한 압력하에 있을 수 있으며 챔버 벽의 편향은 한 챔버에서 다른 챔버로 누적될 수 있다. 이러한 상황은 도어 밀폐 부재에 대해 밀폐면의 상당한 이동을 야기할 수 있다.
본 발명의 몇몇 실시예에 있어서, 밀폐면은 챔버 벽이 편향될 때 밀폐면을 도어 밀폐 부재에 대해 고정 상태로 유지하게 하는 가요성 벨로우즈에 의해 지지될 수 있다. 가요성 벨로우즈는 챔버 벽과 밀폐면 사이의 간극을 밀폐시킬 수도 있다. 몇몇 실시예에 있어서, 벨로우즈는 밀폐면 및 가요성 시트 또는 플레이트 모두에 부착되는 성형 고무 벨로우즈를 포함할 수 있다. 가요성 시트는 최소 편향이 발생되는 챔버 벽에 장착될 수 있거나 챔버 벽이 편향될 때 이동되지 않는 챔버 내의(또는 챔버 외부) 강성 지지 부재에 장착될 수 있다.
대안적인 또는 부가적인 실시예에 있어서, 챔버 벽과 밀폐면 사이 간극의 크기는 챔버의 가능한 가장 큰 편향량을 수용하도록 선택될 수 있다. 예를들어, 어플라이드 머티어리얼즈, 인코포레이티드(Applied Materials, Inc.)에 의해 제조된 AKT-25KA형 이송 챔버에 있어서, 도어 개구의 중앙에서 챔버의 편향량은 대략 4 ㎜ 일 수 있으며, 본 발명에 따라서, 상기 편향을 수용하기 위한 간극은 대략 8 ㎜일 수 있다. 또한, 벨로우즈의 크기 및 탄성은 챔버의 가능한 가장 큰 편향량을 수용하도록 선택된다.
일부 실시예에 있어서, 챔버 개구(예를들어, 도어 개구) 위와 아래의 밀폐면은 챔버 벽 편향으로부터 격리될 수 있다. 그러한 플로팅 밀폐부 실시예에 있어서, 챔버 도어 개구의 측면에서 밀폐면의 임의의 편향은 중요하지 않을 수 있다. 도 1a는 단면도이며, 도 1b는 부분 사시도이며, 각각 본 발명에 따른 플로팅 밀폐 장치(100)를 도시하고 있다. 챔버 도어(102)는 챔버 바디(108)로부터 간극(106)에 의해 분리되는 고정된 밀폐면(104)과 접촉한다. 간극(106)은 가요성 벨로우즈(110)에 의해 밀폐된다.
도 1a 및 도 1b에 도시된 특정 실시예인 플로팅 밀폐 장치(100)와 관련하여, 몇몇 실시예에 있어서, 본 발명 개개의 특징 및 구성은 도시된 바와 같이 서로에 대해 비례적으로 구성될 수 있다. 몇몇 실시예에 있어서, 특징 및 구성은 도시된 것과는 매우 다르게 비례적으로 구성될 수 있다. 예를들어, 전술된 AKT-25KA형 이송 챔버에 있어서, 챔버 도어 개구(112)의 높이(H)는 대략 127 ㎜일 수 있으며; 그리고 챔버 도어 개구(112)(및/또는 편향 간극(106))의 폭(W)은 대략 1524 ㎜일 수 있다. 상기 장치(100)에 있어서, 본 발명의 하나 이상의 실시예에 있어서, 챔버 바디(108)와 밀폐면(104) 사이의 간극(106)의 크기(G)는 대략 8 ㎜일 수 있으며; 챔버 도어 개구(112)와 간극(106) 사이의 거리(D)는 대략 25 ㎜일 수 있다. 도어(102) 근처의 챔버 바디(108)의 두께(T)는 대략 50 ㎜일 수 있으며 챔버 내부(예를들어, 치수 U에서)는 대략 113 ㎜일 수 있다.
두 개의 간극(106)의 누적된 크기(예를들어, 치수 G의 두배)가 선택될 수 있어서 두 개의 간극(106)은 서로 챔버 바디/벽(108)의 가능한 최대의 편향량을 공동으로 수용할 수 있다.
도 2에는, 본 발명에 따른 플로팅 밀폐 장치(100)의 전술된 실시예를 보다 상세하게 도시한 사시도가 제공된다. 펌핑 및 벤팅 중에, 가요성 시트/플레이트(202)에 부착되는 밀폐면(104)은 챔버 벽(108)이 편향될 때 조차, 도어 밀폐 부재(204)에 대해 여전히 고정된 상태이다. 따라서, 본 발명은 밀폐 부재 마모 및 오염 입자의 발생을 방지하거나 감소시킨다.
도 3에는, 일부 절개 분해 사시도가 제공되며 전술된 실시예(100)의 상단부를 보다 상세하게 도시하며, (밀폐면(104)이 장착된)가요성 시트/플레이트(202)와 챔버 바디(108) 사이의 간극(106)을 밀폐시키는데 이용될 수 있는 성형 고무 벨로우즈(110)의 예를 도시한다. 도시된 실시예에 있어서, 장착 프레임(mounting frame)(304)은 벨로우즈(110)의 한 플랜지 에지(306)를 챔버 바디(108)에 클램핑(또는 고정)시키는데 이용되며 밀폐면(104)은 벨로우즈(110)의 다른 플랜지 에지(308)를 가요성 시트/플레이트(302)에 클램핑(또는 고정)시키는데 이용된다. 전술된 예의 AKT-25KA 이송 챔버를 이용하는 경우에, 가요성 벨로우즈(110)의 가요성 부분(310)(예를들어, 챔버 바디(108) 및 밀폐면(104)에 벨로우즈(110)를 클램핑하기 위한 플랜지 부분(306, 308)을 포함하지 않는 부분)은 챔버 바디(108)와 밀폐면(104)/가요성 시트/플레이트(302) 사이의 간극(106) 내에 정합되도록 치수가 정해질 수 있으며 따라서 높이는 대략 9 ㎜일 수 있다(벨로우즈(110)의 길이를 따라서 형성되는 (도시되지 않은)접촉 비드를 포함). 예를들어, 상기 벨로우즈(110)의 두께는 대략 2.3 ㎜일 수 있다.
일부 실시예에 있어서, 벨로우즈(110)는 플루오르화 탄소 (FKM) 고무 화합물과 같은 임의의 적합한 재료로 제조될 수 있다. 이와 달리, 몇몇 실시예에 있어서, 부틸 (IIR), 에틸렌 프로필렌 (EPDM), 플루오르실리콘 (FVMQ), 하이드린 (CO/ECO), 네오프렌 (CR), 니트릴 (NBR), 실리콘 (VMQ), 스티렌 부타디엔 (SBR), 또는 이와 같은 화합물이 이용될 수 있다. 고무 화합물로 제조된 벨로우즈는 교체하기 쉬우며, 밀폐면(및/또는 가요성 시트/플레이트) 및 챔버 벽 사이의 간극을 밀폐시키는 수단을 제조하기 쉽도록 상대적으로 저 비용, 저 유지비로 제공된다.
일부 실시예에 있어서, 가요성 벨로우즈는 가요성 컨벌루션(convolution)의 얇은 금속 시트를 이용하여 실행될 수 있다. 예를들어, 스테인레스 강과 같은 임 의의 적합한 금속이 이용될 수 있다. 접혀진 얇은 금속으로 형성된 가요성 벨로우즈는 고무 화합물 보다 더 많은 내구성 및 신뢰성이 있을 수 있어서 처리 챔버와 이송 챔버 사이의 밀폐부와 같이 유지하기 어려운 적용부 또는 접근하기 어려운 위치에 이용하기에 적합할 수 있다. 고무 화합물 벨로우즈를 갖는 전술된 실시예에서처럼, 가요성 금속 벨로우즈는 밀폐면의 이동 없이 챔버 벽의 임의의 편향을 완화시킨다.
금속 벨로우즈(400)를 이용하는 본 발명의 일 실시예는 도 4에 도시된다. 도 4는 밀폐면(104)이 고정 상태를 유지하도록 챔버의 외부에 강성 구조물(402)에 장착되고 가요성 부분(404)이 챔버 벽(108)에 장착되며 벽(108)이 편향되기 때문에 가요성 부분이 편향될 것임을 도시하는 절개 사시도이다. 금속 벨로우즈(400)는 고정 밀폐면(104)과 가요성 부분(404) 사이의 슬릿(slit) 또는 간극(106)에 가요성 밀폐부를 야기하도록 고정 밀폐면(104)과 가요성 부분(404) 사이에 배치된다. 몇몇 실시예에 있어서, 슬릿/간극 크기는 챔버 벽의 가능한 가장 큰 예상 편향량을 수용하도록 선택될 수 있다.
도 5에는, 가요성 벨로우즈(400), 고정 밀폐면 부분(104), 및 가요성 부분(404)의 절개 사시도가 제공된다. 도 5는 도 4를 90 도 회전시킨 도면이다. 부분(104, 404)의 일부분만이 벨로우즈(400)를 설명하도록 도시된다. 몇몇 실시예에 있어서, 완전한 가요성 플로팅 밀폐부는 전체 챔버 개구(112)(도 4)의 프레임을 형성할 수 있다.
도 6a 내지 도 6d에는, 가요성 금속 벨로우즈(400)의 일 실시예의 구성이 상 세하게 도시되어 있다. 도 6a는 도 4의 챔버 개구(112)의 사시도이다. 도 6b는 도 6a의 원으로 둘러싸인 부분(604)의 상세도이다. 도 6c는 도 6a의 원으로 둘러싸인 부분(604)내의 라인 C-C를 따른 단면도이다. 도 6d는 가요성 벨로우즈(400)의 일부분의 분해 사시도이다.
도 6a에는, 도시된 실시예에서, 챔버 도어 개구(112) 위와 아래의 밀폐면(104)은 챔버 벽(108)으로부터 격리되어 있지만 측면(602)은 격리되어 있지 않다. 전술된 바와 같이, 몇몇 실시예에 있어서, 챔버 도어 개구(112)의 서로의 측면(602) 상의 편향은 중요하지 않다. 도 6b 및 도 6d에 도시된 바와 같이, 코너 블록(606) 또는 콘(cones)은 단일-부품 가요성 금속 벨로우즈(400)를 형성하도록 스테인레스 강과 같은 접혀진 얇은 금속 시트(608) 단부 모두에 부착(예를들어, 용접)될 수 있다. 일 실시예의 상기 단일-부품 가요성 금속 벨로우즈(400)는 대략 1550 ㎜의 길이, 8 ㎜의 높이, 12 ㎜의 깊이를 가질 수 있으며, 대략 0.15 ㎜ 두께의 금속 시트로 형성된다. 벨로우즈(400)의 에지(610)는 도 6c에 도시된 바와 같이 챔버 벽(108) 및 밀폐면(104)에 용접될 수 있다. 도 6c에 도시된 바와 같이, 일부 실시예에 있어서, 그루브(612)는 편향 간극 어느 한 측면을 따라 밀폐면(104) 및 챔버 벽(108) 내에서 밀링될 수 있어 가요성 금속 벨로우즈(400)를 용접하기에 적절한 두께의 에지(614, 616)를 제공한다. 예를들어, 몇몇 실시예에 있어서, 그루브(612)는 대략 4 ㎜의 깊이 및 2 ㎜의 폭을 가질 수 있다.
또한, 고무 화합물 벨로우즈를 갖춘 가요성 금속 벨로우즈(400)의 크기 및 탄성은 챔버의 가능한 가장 큰 편향량을 수용하도록 선택될 수 있다.
본 발명은 몇몇의 기재된 실시예에 관하여 소정의 특정성 및 몇몇의 길이로 설명하였지만, 이러한 임의의 특정성 또는 실시예 또는 임의의 특정 실시예로 제한되서는 안되며, 종래 기술의 관점에서 청구항의 가능한 가장 넓은 범위의 해석을 제공하고 이에 따라서 본 발명의 의도되는 범위를 효과적으로 포함하기 위해서 다음의 청구항을 참조하여 해석될 것이다.
고정 플로팅 밀폐면을 제공함으로써 밀폐면이 도어 밀폐 부재에 대해 이동을 방지하며, 도어 밀폐 부재의 마모 및 마멸, 오염되는 입자들의 발생을 방지한다. 따라서, 기계적으로 격리되는 밀폐면을 제공함으로써 챔버 벽이 상당한 편향을 갖더라도 챔버 도어가 일관성 있게 밀폐되도록 한다.

Claims (35)

  1. 청구항 1은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    밀폐면과 챔버 벽 사이에 상기 챔버 벽의 가장 큰 예상 편향량을 수용하기에 충분한 크기의 간극을 형성함에 의해 상기 챔버의 챔버 벽으로부터 상기 밀폐면을 격리시키는 단계; 및
    상기 밀폐면과 상기 챔버 벽 사이의 상기 챔버를 밀폐시키는 단계를 포함하는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 1 항에 있어서,
    상기 간극을 형성하는 단계가 상기 간극을 챔버 개구의 폭(W) 치수에 따르도록 형성하는 단계를 포함하는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법.
  5. 청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 1 항에 있어서,
    상기 밀폐면을 격리시키는 단계가 챔버 개구 둘레의 밀폐면을 격리시키는 단계를 포함하는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법.
  6. 청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 5 항에 있어서,
    상기 챔버 개구 둘레의 밀폐면을 격리시키는 단계가 상기 챔버 개구에 인접한 상기 챔버 벽에 간극을 형성하는 단계를 포함하는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법.
  7. 청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 6 항에 있어서,
    상기 간극을 형성하는 단계는 상기 챔버 개구 위에 제 1 수평 간극을 형성하는 단계 및 상기 챔버 개구 아래에 제 2 수평 간극을 형성하는 단계를 포함하며,
    상기 제 1 및 제 2 간극은 상기 챔버 벽의 가장 큰 예상 편향량을 수용하고 상기 챔버 개구의 폭에 이르기에 충분한 크기로 형성되는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법.
  8. 청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 7 항에 있어서,
    상기 챔버를 밀폐시키는 단계가 상기 밀폐면 및 상기 챔버 벽 사이의 상기 간극을 밀폐시키는 가요성 벨로우즈를 이용하는 단계를 포함하는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법.
  9. 청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 1 항에 있어서,
    상기 챔버를 밀폐시키는 단계가 상기 밀폐면 및 상기 챔버 벽 사이에 상기 챔버를 밀폐시키는 벨로우즈를 이용하는 단계를 포함하는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법.
  10. 청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 9 항에 있어서,
    상기 벨로우즈를 이용하는 단계가 성형 화합물로 형성된 벨로우즈를 이용하는 단계를 포함하는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법.
  11. 청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 10 항에 있어서,
    상기 벨로우즈를 이용하는 단계가 가요성 금속 벨로우즈를 이용하는 단계를 포함하는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법.
  12. 청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 11 항에 있어서,
    상기 가요성 금속 벨로우즈를 이용하는 단계는 상기 챔버 벽의 예상 편향 방향으로 가요적인 금속 벨로우즈를 이용하는 단계를 포함하는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법.
  13. 편향에 따르는 챔버 벽 부분;
    밀폐면을 제공하는 고정 부분; 및
    상기 챔버 벽 부분과 상기 고정 부분에 부착되는 가요성 벨로우즈를 포함하는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 가요성 벨로우즈가 성형 화합물이며 상기 챔버 벽 부분과 상기 고정 부분 사이의 간극을 밀폐시키는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 장치.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 가요성 벨로우즈가 단일-부품 금속 컨벌루션이며 상기 챔버 벽 부분과 상기 고정 부분 사이의 간극을 밀폐시키는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 장치.
  16. 개구를 구비하는 챔버 벽을 포함하는 챔버;
    상기 개구를 밀폐시키도록 배치되는 도어;
    밀폐면으로서, 이 밀폐면과 상기 챔버 벽 사이의 상기 챔버 벽 내의 간극에 의해 상기 챔버 벽으로부터 격리되며 상기 개구에 인접한 밀폐면; 및
    상기 밀폐면과 상기 챔버 벽 사이의 밀폐부를 포함하고,
    상기 간극이 상기 챔버 벽의 가장 큰 예상 편향량을 수용하기에 충분한 크기로 형성되는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 시스템.
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 제 16 항에 있어서,
    상기 간극이 상기 개구의 폭(W) 치수를 따라 형성되는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 시스템.
  20. 제 16 항에 있어서,
    상기 밀폐면이 상기 개구 둘레로 연장하는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 시스템.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 개구 둘레의 상기 밀폐면이 상기 개구에 인접한 상기 챔버 벽 내의 두 개 이상의 간극에 의해 격리되는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 시스템.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 간극이 상기 개구 위에 배치되는 제 1 수평 간극 및 상기 개구 아래에 배치되는 제 2 수평 간극을 포함하며,
    상기 제 1 및 제 2 간극이 챔버 벽의 가장 큰 예상 편향량을 공동으로 수용하며 각각 상기 개구의 폭에 이르기에 충분한 크기로 형성되는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 시스템.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 밀폐부가 상기 제 1 수평 간극을 밀폐시키는 제 1 가요성 벨로우즈 및 상기 제 2 수평 간극을 밀폐시키는 제 2 가요성 벨로우즈를 포함하는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 시스템.
  24. 제 16 항에 있어서,
    상기 밀폐부가 상기 밀폐면과 상기 챔버 벽 사이에 상기 챔버를 밀폐시키도록 이루어진 벨로우즈를 포함하는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 시스템.
  25. 제 24 항에 있어서,
    상기 벨로우즈가 성형 화합물로 형성되는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 시스템.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 벨로우즈가 가요성 금속 벨로우즈를 포함하는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 시스템.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 가요성 금속이 상기 챔버 벽의 예상 편향 방향으로 가요적인,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 시스템.
  28. 제 1 플랜지 부분;
    제 2 플랜지 부분; 및
    제 1 및 제 2 플랜지 부분에 부착되는 가요성 부분을 포함하는 가요성 벨로우즈를 포함하고,
    상기 가요성 부분이 챔버 벽의 가장 큰 예상 편향량을 수용하도록 이루어진,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 교체 가능 부품.
  29. 제 28 항에 있어서.
    상기 가요성 벨로우즈가 성형 화합물로 형성되는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 교체 가능 부품.
  30. 제 28 항에 있어서,
    상기 제 1 플랜지 부분이 편향성 있는 챔버 벽에 부착되고 상기 제 2 플랜지 부분이 격리된 밀폐면에 부착되도록 이루어진,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 교체 가능 부품.
  31. 삭제
  32. 제 28 항에 있어서,
    상기 가요성 벨로우즈가 가요성 컨벌루션의 금속 시트로 형성되는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 교체 가능 부품.
  33. 제 32 항에 있어서,
    상기 가요성 벨로우즈가 상기 가요성 부분의 각각의 단부에 부착되는 코너 블록을 더 포함하는,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 교체 가능 부품.
  34. 제 32 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 플랜지 부분이 상기 가요성 부분의 일체형 부품인,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 교체 가능 부품.
  35. 제 34 항에 있어서,
    상기 제 1 플랜지 부분이 챔버 벽에 형성된 에지에 용접되고 상기 제 2 플랜지 부분이 격리된 밀폐면에 형성된 에지에 용접되도록 이루어진,
    챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 교체 가능 부품.
KR1020050070755A 2004-08-02 2005-08-02 챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법 및 장치 KR100886674B1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US59803904P 2004-08-02 2004-08-02
US60/598,039 2004-08-02
US11/145,018 US8206075B2 (en) 2004-06-02 2005-06-02 Methods and apparatus for sealing a chamber
US11/145,018 2005-06-02

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060092851A KR20060092851A (ko) 2006-08-23
KR100886674B1 true KR100886674B1 (ko) 2009-03-04

Family

ID=36240257

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050070755A KR100886674B1 (ko) 2004-08-02 2005-08-02 챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법 및 장치

Country Status (4)

Country Link
JP (2) JP4689398B2 (ko)
KR (1) KR100886674B1 (ko)
CN (1) CN1789485B (ko)
TW (1) TWI283315B (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8124907B2 (en) 2006-08-04 2012-02-28 Applied Materials, Inc. Load lock chamber with decoupled slit valve door seal compartment
KR100958675B1 (ko) * 2008-05-15 2010-05-20 한국원자력연구원 벨로우즈 시일을 이용한 압력용기 밀폐구조
WO2019027863A1 (en) 2017-07-31 2019-02-07 Applied Materials, Inc. GAS SUPPLY ELEMENT WITH DEFLECTOR
CN111850516A (zh) * 2020-07-28 2020-10-30 光驰科技(上海)有限公司 一种原子层沉积镀膜设备的上下片系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010021748A (ko) * 1997-07-11 2001-03-15 조셉 제이. 스위니 진공 처리 장치용 몰드식 부분 밀폐부재를 갖는 두 부품의슬릿 밸브 도어
KR20040013294A (ko) * 2002-08-05 2004-02-14 삼성전자주식회사 반도체 제조용 건식식각장비의 도어 구동축 밀폐장치

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4813692A (en) * 1987-01-22 1989-03-21 Eg&G Pressure Science, Inc. Pressure balanced S-seal
DE3715038A1 (de) * 1987-05-06 1988-11-17 Schaeffler Waelzlager Kg Hydraulische spannvorrichtung
JPH04257244A (ja) * 1991-02-12 1992-09-11 Fujitsu Ltd ウェーハキャリア
JP3632782B2 (ja) * 1995-03-24 2005-03-23 株式会社アイ・エイチ・アイ マリンユナイテッド 低温タンクのドーム構造体
JPH09207668A (ja) * 1996-02-07 1997-08-12 Ichikoh Ind Ltd 電動格納式兼手動鏡面調整式ミラー装置におけるブーツの固定構造
JP3556185B2 (ja) * 2000-06-13 2004-08-18 信越ポリマー株式会社 シール部材、密封容器及びそのシール方法
JP4119658B2 (ja) * 2002-03-18 2008-07-16 三菱レイヨン株式会社 易重合性物質取扱設備における易重合性物質の重合抑制方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010021748A (ko) * 1997-07-11 2001-03-15 조셉 제이. 스위니 진공 처리 장치용 몰드식 부분 밀폐부재를 갖는 두 부품의슬릿 밸브 도어
KR20040013294A (ko) * 2002-08-05 2004-02-14 삼성전자주식회사 반도체 제조용 건식식각장비의 도어 구동축 밀폐장치

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006100792A (ja) 2006-04-13
TWI283315B (en) 2007-07-01
KR20060092851A (ko) 2006-08-23
CN1789485B (zh) 2011-12-07
JP2010043745A (ja) 2010-02-25
JP4689398B2 (ja) 2011-05-25
JP5300690B2 (ja) 2013-09-25
CN1789485A (zh) 2006-06-21
TW200609587A (en) 2006-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9580956B2 (en) Methods and apparatus for providing a floating seal for chamber doors
JP4298680B2 (ja) 湾曲したスリットバルブドア
KR100633616B1 (ko) 플라즈마 처리용 이중 슬릿 밸브 도어
KR100716041B1 (ko) 챔버를 밀봉하기 위한 방법 및 장치
US7282097B2 (en) Slit valve door seal
KR101313088B1 (ko) 게이트 밸브 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치
TWI440787B (zh) 具有薄的非金屬薄膜間隙控制緩衝器之接合狹縫閥密封件
US20080315141A1 (en) Slit Valve Door
KR100886674B1 (ko) 챔버 도어용 플로팅 밀폐부를 제공하기 위한 방법 및 장치
US8074967B2 (en) Gate valve for vacuum and seal member used therefor
KR102164625B1 (ko) 진공 챔버를 위한 도어 시일
KR100749154B1 (ko) 역압방지용 게이트 밸브
KR20040040996A (ko) 게이트 밸브 조립체
WO2009107495A1 (ja) シール材およびシール材が装着されたゲートバルブ
KR20180075389A (ko) 압력 용기 및 시일 부재
JP2015230064A5 (ko)
JP2010165920A (ja) 真空装置及び基板処理装置
JP2001004039A (ja) バルブ用シール
JP2007170437A (ja) 真空用ゲート弁
JP2004036759A (ja) 真空用ゲート弁
EP1120813B1 (en) Reactor for manufacturing of a semiconductor device
KR101041148B1 (ko) 반도체 제조장치의 공정챔버 클로징 조립체의 슬릿밸브
KR20050022914A (ko) 밀봉재의 손상을 방지하는 구조의 챔버
WO2019001680A1 (en) CONFIGURED DOOR FOR SEALING AN OPENING IN A VACUUM PROCESSING SYSTEM, VACUUM PROCESSING SYSTEM, AND METHOD FOR OPERATING A DOOR
JP2004205005A (ja) 軸シールおよびそれを用いたゲート弁

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130130

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140129

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150129

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151230

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161229

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180212

Year of fee payment: 10