JP4689398B2 - チャンバ用ドアの為に浮動シールを与える方法および装置 - Google Patents
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- チャンバのチャンバドア開口部の密封面を隔離するための方法であって、
前記チャンバドア開口部に隣接するチャンバ壁内に、チャンバドア開口部の上方に第1水平間隙を形成する工程と、チャンバドア開口部の下方に第2水平間隙を形成する工程とを含み、第1水平間隙及び第2水平間隙は、チャンバ壁のたわみの最大予想量を収容し、チャンバドア開口部の幅に跨るのに十分な大きさで間隙を形成することによって、チャンバ壁のたわみからチャンバドア開口部を隔離するステップと;
前記チャンバ壁内の前記間隙を密封するステップと;
を備える、方法。 - 前記間隙を形成することは、チャンバ壁のたわみの最大予想量を収容するのに十分な大きさの間隙を形成することを含む、請求項1記載の方法。
- 前記間隙を形成することは、チャンバドア開口部の主要寸法に沿って跨るように間隙を形成することを含む、請求項2記載の方法。
- 前記チャンバドア開口部を隔離するステップは、チャンバドア開口部の周りで密封面を隔離する工程を含む、請求項1記載の方法。
- 前記チャンバドア開口部の周りで密封面を隔離する工程は、前記チャンバドア開口部に隣接した前記チャンバ壁内に複数の間隙を形成することを含む、請求項4記載の方法。
- 前記複数の間隙を形成することは、前記チャンバドア開口部の上方に第1水平間隙を形成する工程と、前記チャンバドア開口部の下方に第2水平間隙を形成する工程とを含み、
前記第1水平間隙及び第2水平間隙は、チャンバ壁のたわみの最大予想量を収容し、前記チャンバドア開口部の幅に跨るのに十分な大きさで形成される、請求項5記載の方法。 - 前記間隙を密封するステップは、前記密封面と前記チャンバ壁との間の前記複数の間隙を密封する為にフレキシブルなベローズを使用する工程を含む、請求項6記載の方法。
- 前記間隙を密封するステップは、前記密封面と前記チャンバ壁との間でチャンバを密封する為にベローズを使用する工程を含む、請求項1記載の方法。
- 前記ベローズを使用する工程は、成型された化合物から構成されたベローズを使用することを含む、請求項8記載の方法。
- 前記ベローズを使用する工程は、フレキシブルな金属製ベローズを使用することを含む、請求項9記載の方法。
- 前記フレキシブルな金属製ベローズを使用することは、前記チャンバ壁の予想たわみの方向でフレキシブルな金属製ベローズを使用することを含む、請求項10記載の方法。
- たわみを受けるチャンバ壁区域を含む真空処理チャンバと;
前記真空処理チャンバのチャンバドア開口部の密封面を与える固定区域と;
前記チャンバ壁区域と前記固定区域に取り付けられ、前記チャンバ壁区域および前記固定区域間の間隙を密封するフレキシブルなベローズと;
を備え、
前記間隙は、チャンバドア開口部に隣接するチャンバ壁内に、チャンバドア開口部の上方に配置された第1水平間隙と、チャンバドア開口部の下方に配置された第2水平間隙とを含み、第1水平間隙及び第2水平間隙は、チャンバ壁のたわみの最大予想量を収容し、チャンバドア開口部の幅に跨るのに十分な大きさで間隙が形成され、各々が開口部の幅を跨る固定区域間に配置された間隙である、装置。 - 前記フレキシブルなベローズは、成型された化合物である、請求項12記載の装置。
- 前記フレキシブルなベローズは、単体金属製コンボルーションである、請求項12記載の装置。
- 開口部を有するチャンバ壁を含む真空処理チャンバと;
前記開口部を密封する為に配置されたドアと;
前記開口部に隣接し、前記チャンバ壁から隔離された密封面と;
前記密封面と前記チャンバ壁との間のシールと;
を備え、
前記密封面は、前記密封面と前記チャンバ壁との間の前記チャンバ壁内の間隙により前記チャンバ壁から隔離されており、
前記間隙は、チャンバドア開口部に隣接するチャンバ壁内に、チャンバドア開口部の上方に配置された第1水平間隙と、チャンバドア開口部の下方に配置された第2水平間隙とを含み、第1水平間隙及び第2水平間隙は、チャンバ壁のたわみの最大予想量を収容し、チャンバドア開口部の幅に跨るのに十分な大きさで間隙が形成され、各々が開口部の幅を跨る間隙である、システム。 - 前記間隙は、チャンバ壁のたわみの最大予測量を収容するのに十分な大きさである、請求項15記載のシステム。
- 前記間隙は、前記開口部の主要寸法に沿って跨る、請求項16記載のシステム。
- 前記密封面は、前記開口部の周りに伸びている、請求項15記載のシステム。
- 前記開口部の周りの前記密封面は、前記開口部に隣接した前記チャンバ壁内の少なくとも2つの間隙により隔離されている、請求項18記載のシステム。
- 前記間隙は、前記開口部の上方に配置された第1水平間隙と、前記開口部の下方に配置された第2水平間隙とを含み、
前記第1水平間隙と第2水平間隙は、チャンバ壁のたわみの最大予想量を共同で収容するのに十分な大きさであり、各々が、前記開口部の幅を跨る、請求項19記載のシステム。 - 前記シールは、前記第1水平間隙を密封する第1フレキシブルベローズと、前記第2水平間隙を密封する第2フレキシブルベローズと、を含む、請求項20記載のシステム。
- 前記シールは、前記密封面と前記チャンバ壁との間でチャンバを密封するように適合されたフレキシブルベローズを含む、請求項15記載のシステム。
- 前記ベローズは、成型された化合物から構成されている、請求項22記載のシステム。
- 前記ベローズは、フレキシブルな金属製ベローズを含む、請求項23記載のシステム。
- 前記フレキシブルな金属製ベローズは、前記チャンバ壁の予想されたたわみ方向においてフレキシブルである、請求項24記載のシステム。
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