KR102541314B1 - 게이트 밸브의 부착 구조 - Google Patents

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KR102541314B1
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에스엠시 가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 2개의 쳄버 간에 복수의 게이트 밸브를 부착함에 있어서, 보다 우수한 기밀성을 확보하는 것이 가능한 상기 게이트 밸브의 부착 구조를 제공한다.
(해결 수단) 인접하는 게이트 밸브(10)의 밸브 박스(11) 사이에 형성된 고정용 공간(24)에 있어서 밸브 박스의 각 돌출벽(25, 26)을 쳄버(5)에 고정하는 밸브 고정 기구(32)를 고정용 공간의 중앙에서 쳄버에 고정된 지지부재(33)와, 그 양측에 배치된 한쌍의 레버부재(37)로 구성하고, 한쌍의 레버부재는 각각 지점부(37a), 작용점부(37b), 및 역점부(37c)를 고정용 공간의 중앙으로부터 양단의 개구를 향해서 순차적으로 갖고, 지지부재에 지점부가 지지된 상태로 역점부가 고정용 조작 볼트(40)에 의해 힘이 가해짐으로써 작용점부와 역점부 쌍방에 있어서 밸브 박스의 돌출벽을 쳄버를 향해서 압압하고 있다.

Description

게이트 밸브의 부착 구조{GATE-VALVE ATTACHING STRUCTURE}
본 발명은 반도체 제조 장치 등에 있어서, 예를 들면 프로세스 쳄버와 트랜스퍼 쳄버 사이 등 2개의 쳄버 간을 선택적으로 연통시키거나 기밀하게 차단하거나 하기 위한 게이트 밸브를 양쪽 쳄버 간에 고정적으로 부착하기 위한 부착 구조에 관한 것이다.
예를 들면, 반도체 제조 장치의 기판 처리 장치에 있어서는 특허문헌 1 및 특허문헌 2에 개시되는 바와 같이 서로 인접하는 프로세스 쳄버와 트랜스퍼 쳄버 사이에 게이트 밸브를 장착함으로써 이들 쳄버 간을 선택적으로 연통시키거나 차단하거나 할 수 있도록 되어 있다.
이때, 상기 게이트 밸브는 서로 대향하는 측벽에 게이트 개구를 각각 갖는 중공의 밸브 박스 내에 플레이트상 밸브를 수용해서 이루어지는 것이며, 상기 밸브를 밸브 박스 내에서 상기 측벽을 따르는 방향 및 상기 측벽에 접리하는 방향으로 이동시켜 상기 게이트 개구를 개폐함으로써 이들 게이트 개구 간을 연통시키거나 차단하거나 할 수 있도록 되어 있다.
한편, 상기 2개의 쳄버는 로보트암 등에 의해 워크를 상기 쳄버 내에 넣거나 상기 쳄버 내로부터 나오게 하기 위한 쳄버 개구를 각각 갖고 있으며, 상기 게이트 밸브가 상기 2개의 쳄버에 대하여 상기 게이트 개구를 쳄버 개구에 접속시킨 상태로 볼트 등의 고정 부재에 의해 각각 기밀하게 고정되어 있다.
그런데 이와 같이 2개의 쳄버를 게이트 밸브를 개재시켜서 연결함에 있어서, 이들 쳄버 간에 복수의 게이트 밸브를 서로 인접시켜 부착하는 경우가 있다.
그러나 현재 쳄버의 소형화의 요망이 있고, 그 경우 상술한 바와 같이 2개의 소형화된 쳄버 간에 복수의 게이트 밸브를 배열하여 고정하고자 하면 인접하는 게이트 밸브의 밸브 박스 간의 간극이 매우 좁아진다. 그 때문에 게이트 밸브를 한쪽 쳄버에 대하여 고정한 후에 다른쪽 쳄버에 대하여 고정하고자 해도 인접하는 밸브 박스 간의 간극에 있어서의 특히 중앙 부분에 배치한 고정 부재를 조이는 것은 공구가 닿기 어렵고, 게다가 공구를 조작할 수 있는 영역도 좁은 범위로 제한되는 점에서 극히 곤란하며, 그 결과 상기 게이트 밸브와 상기 다른쪽 쳄버 사이에 있어서 기밀성을 충분하게 확보할 수 없게 될 우려가 있다.
일본 특허공개 2012-197476호 공보 일본 특허공개 2013-128117호 공보
그래서 본 발명의 기술적 과제는 2개의 쳄버 간에 복수의 게이트 밸브를 고정적으로 부착함에 있어서, 보다 우수한 기밀성을 확보하는 것이 가능한 상기 게이트 밸브의 부착 구조를 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명은 복수의 쳄버 개구가 각각 개설된 제 1 쳄버 및 제 2 쳄버 사이에 복수의 게이트 밸브를 서로 인접시켜 고정적으로 부착하기 위한 구조로서, 상기 게이트 밸브는 한쌍의 게이트 개구를 구비한 중공의 밸브 박스와, 상기 밸브 박스 내에서 동작함으로써 상기 한쌍의 게이트 개구 간의 연통을 개폐하는 밸브체와, 상기 밸브체를 동작시키는 밸브 구동부를 갖고 있으며, 상기 밸브 박스는, 상기 게이트 개구가 개설되어 서로 반대의 외방향을 향하는 한쌍의 측벽면과, 그들 측벽면의 양측단끼리를 서로 연결하여 서로 반대의 외방향을 향하는 한쌍의 측단면을 갖고, 상기 한쌍의 게이트 개구를 상기 제 1 및 제 2 쳄버의 쳄버 개구에 각각 접속하여 상기 한쌍의 측벽면을 상기 제 1 및 제 2 쳄버에 대하여 각각 기밀하게 압접시킨 상태로 상기 제 1 및 제 2 쳄버의 양방에 대하여 고정되어 있고, 서로 인접하는 게이트 밸브의 밸브 박스에 있어서의 서로 반대의 외방향을 향하는 상기 측단면 간에는 상기 측벽면의 측단을 따른 축을 갖고 상기 축 방향의 제 1 단 및 제 2 단이 개구하는 고정용 공간이 형성되어 있으며, 이들 반대의 외방향을 향하는 측단면으로부터는 상기 축을 따라 연장되는 한쌍의 돌출벽이 상기 고정용 공간을 향해서 각각 세워 설치되고, 상기 고정용 공간에는 상기 게이트 밸브를 제 1 쳄버에 대하여 고정하기 위한 밸브 고정 기구가 수용되어 있어 상기 밸브 고정 기구가 상기 고정용 공간의 축 방향 중앙부에 있어서 상기 제 2 쳄버에 고정된 지지부재와, 상기 지지부재에 있어서의 상기 제 2 쳄버측을 향하는 지지부에 압접되는 지점부, 상기 한쌍의 돌출벽에 접촉하여 상기 제 2 쳄버측을 향해서 압압력을 작용시키는 작용점부, 및 상기 제 2 쳄버측을 향한 힘이 가해지는 역점부를 구비한 한쌍의 레버부재와, 상기 역점부에 있어서, 각 레버부재에 힘을 가함과 아울러 상기 한쌍의 돌출벽을 제 2 쳄버측을 향해서 압압하는 한쌍의 고정용 조작 부재로 구성되어 있으며, 상기 한쌍의 레버부재가 상기 지지부재를 사이에 둔 상기 축 방향의 양측에 있어서, 상기 역점부를 상기 작용점보다 제 1 단 및 제 2 단의 개구측에 각각 배치하여 설치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
상기 게이트 밸브의 부착 구조에 있어서, 바람직하게는 상기 지지부재가 상기 제 2 쳄버로부터 세워서 설치된 지주부와, 상기 지주부로부터 상기 제 1 단 및 제 2 단의 개구측을 향해서 연장된 한쌍의 플랜지부로 구성되어 있으며, 이들 플랜지부에 있어서의 상기 제 2 쳄버측을 향하는 면에 상기 지지부가 각각 형성되어 있다.
또한, 보다 바람직하게는 상기 레버부재에 있어서의 상기 제 2 쳄버측을 향하는 면이 상기 레버부재의 두께를 상기 축을 따라 상기 지점부측의 단부로부터 상기 작용점부까지 서서히 확대시키는 경사면에 형성되어 있고, 상기 지점부에 있어서의 레버부재의 두께가 상기 지지부재의 지지부와 상기 한쌍의 돌출벽에 있어서의 상기 작용점부가 접촉하는 피압압면과의 수직 거리보다 작게 형성되어 있다.
그리고, 더 바람직하게는 상기 한쌍의 돌출벽의 피압압면이 축을 따른 평탄면으로 각각 이루어져 있으며, 상기 레버부재가 축을 따라 상기 작용점부로부터 상기 역점부측의 단부까지 연장되는 평탄한 압압면을 갖고 있고, 상기 압압면이 상기 피압압면에 접촉하여 상기 한쌍의 돌출벽을 제 2 쳄버측을 향해서 압압하고 있다.
여기에서, 상기 지지부재의 지지부가 상기 한쌍의 돌출벽의 피압압면과 평행을 이루는 평탄면에 형성되고, 상기 레버부재의 지점부가 상기 압압면과 평행을 이루는 평탄면에 형성되어 있어도 좋다.
또한, 상기 게이트 밸브의 부착 구조에 있어서, 바람직하게는 상기 고정용 조작 부재가 고정용 조작 볼트이며, 상기 고정용 조작 볼트가 상기 레버부재의 역점부에 개설된 관통 구멍에 삽입 통과되어 상기 제 2 쳄버에 형성된 나사 구멍에 나사 결합되어 있고, 그에 따라 역점부가 제 2 쳄버측을 향해서 힘이 가해짐과 아울러, 상기 레버부재가 상기 작용점부와 역점부에서 상기 한쌍의 돌출벽에 접촉하여 상기 돌출벽을 제 2 쳄버측을 향해서 압압하고 있다.
이때, 보다 바람직하게는 상기 고정용 조작 볼트가 수나사가 형성된 나사 본체부와, 상기 나사 본체부에 결합되어 상기 나사 본체부보다 큰 외경을 갖는 나사 헤드부로 이루어져 있고, 상기 레버부재의 관통 구멍이 축 방향으로 연장되는 장공(長孔)으로 형성되어 상기 나사 헤드부의 외경보다 작은 폭을 갖고 있고, 상기 레버부재의 역점부가 상기 나사 헤드부에 의해 제 2 쳄버측을 향해서 힘이 가해져 있다.
또한, 보다 바람직하게는 상기 한쌍의 돌출벽이 축을 따른 평탄면으로 이루어져 상기 작용점부를 접촉시키는 피압압면을 각각 갖고 있고, 상기 레버부재가 축을 따라 상기 작용점부로부터 상기 역점부측의 단부까지 연장되는 평탄한 압압면을 갖고 있고, 상기 압압면이 상기 피압압면에 접촉하여 상기 한쌍의 돌출벽을 제 2 쳄버측을 향해서 압압하고 있다.
여기에서, 상기 지지부재의 지지부가 상기 한쌍의 돌출벽의 피압압면과 평행을 이루는 평탄면에 형성되고, 상기 레버부재의 지점부가 상기 압압면과 평행을 이루는 평탄면에 형성되어 있어도 좋다.
이상과 같이, 본 발명에 의하면 2개의 쳄버 간에 복수의 게이트 밸브를 배열하여 고정적으로 부착함에 있어서, 인접하는 밸브 박스 간에 형성된 고정용 공간에 밸브 고정 기구가 설치되고, 상기 밸브 고정 기구가 상기 고정용 공간의 축 방향 중앙부에 배치되어 지지부재와, 지점부, 작용점부, 및 역점부를 갖고, 상기 지점부를 상기 지지부재에 지지시켜 작용점부보다 역점부를 상기 고정용 공간의 축 방향 양단부측에 배치하여 부착된 한쌍의 레버부재와, 상기 역점부에 있어서 각 레버부재에 힘을 가함과 아울러 각 밸브 박스의 돌출벽을 제 2 쳄버측을 향해서 압압하는 한쌍의 고정용 조작 부재로 구성되어 있다. 그 때문에 상기 축 방향 양단부측에 배치된 역점부에 있어서는 고정용 조작 부재에 의해 상기 각 돌출벽이 제 2 쳄버측을 향해서 압압되며, 또한 축 방향 중간부에 있어서도 지레의 원리에 의해 레버부재의 작용점부가 상기 한쌍의 돌출벽에 접촉하여 제 2 쳄버측을 향해서 압압력을 작용시키고 있다. 따라서, 고정용 공간의 축 방향 양단부뿐만 아니라 중간부에 있어서도 밸브 박스의 측벽면을 제 2 쳄버에 대하여 기밀하게 압접시킨 상태로 복수의 게이트 밸브를 제 2 쳄버에 대하여 고정할 수 있다. 그 결과, 2개의 쳄버와, 이들 쳄버 간에 서로 인접하게 배치된 복수의 게이트 밸브를 보다 우수한 기밀성을 확보한 상태로 연결하는 것이 가능하게 된다.
도 1은 본 발명에 의한 게이트 밸브의 부착 구조의 일실시형태를 나타내는 개략적인 요부 파단 측면도이다.
도 2는 도 1에 있어서의 A-A 단면도이다.
도 3은 도 2에 있어서의 저면도이다.
도 4는 도 1에 있어서, 제 2 쳄버에 대하여 게이트 밸브를 고정하기 위한 각종 부재를 생략한 개략적인 B-B 단면도이다.
도 5는 도 4에 있어서의 C-C 단면도이다.
도 6(a)는 도 2에 있어서의 W부의 확대도이며, 도 6(b)는 도 3에 있어서의 X부의 확대도이다.
도 7(a)는 도 2에 있어서의 Y부의 확대도이며, 도 7(b)는 도 3에 있어서의 Z부의 확대도이다.
도 8은 본 발명에 있어서의 게이트 밸브의 개략적인 부분 파단 정면도이다.
도 9는 본 발명에 있어서의 게이트 밸브의 개략적인 부분 파단 배면도이다.
도 10(a) 및 도 10(b)는 지지부재의 사시도이다.
도 11(a) 및 도 11(b)는 레버부재의 사시도이다.
도 12는 밸브 고정 기구에 의해 게이트 밸브를 제 2 쳄버에 고정하는 기서를 모식적으로 나타내는 개략적인 요부 단면도이며, 밸브 고정 기구에 의한 고정 전의 상태를 나타내고 있다.
도 13은 밸브 고정 기구에 의해 게이트 밸브를 제 2 쳄버에 고정하는 기서를 모식적으로 나타내는 개략적인 요부 단면도이며, 밸브 고정 기구에 의한 고정 후의 상태를 나타내고 있다.
이하에 도면을 사용하여 본 발명에 의한 게이트 밸브의 부착 구조의 일실시형태에 대해서 상세하게 설명한다. 도면에 있어서, 부호 1은 트랜스퍼 쳄버로서의 제 1 쳄버를 나타내고 있고, 부호 5는 프로세스 쳄버로서의 제 2 쳄버를 나타내고 있다. 그리고 도 1-도 5에 나타내는 바와 같이 이들 쳄버(1, 5)는 어느 것이나 중공으로 형성되어 있으며, 제 1 쳄버(1) 내에는 반도체 기판 등의 워크를 상기 제 2 쳄버(5) 내외로 반출입하기 위한 반송 공간(2)이 형성되고, 제 2 쳄버(5) 내에는 상기 워크를 진공 분위기하에서 프로세스 처리하기 위한 처리 공간(6)이 형성되어 있다.
이들 제 1 및 제 2 쳄버(1, 5)는 외표면(3a, 7a)이 평탄면으로 이루어지는 제 1 및 제 2 쳄버벽(3, 7)을 각각 갖고 있으며, 제 1 쳄버벽(3)에는 상기 제 1 쳄버(1)의 반송 공간(2) 내로 관통하는 2개의 제 1 쳄버 개구(3b, 3b)가 배열하여 개설되고, 제 2 쳄버벽(7)에는 상기 제 2 쳄버(5)의 처리 공간(6) 내로 관통하는 2개(즉, 상기 제 1 쳄버 개구(3b, 3b)와 같은 수)의 제 2 쳄버 개구(7b, 7b)가 배열하여 개설되어 있다. 이때, 이들 제 1 쳄버 개구(3b, 3b) 및 이들 제 2 쳄버 개구(7b, 7b)는 함께 거의 같은 형상 같은 크기의 대략 직사각형으로 형성되어 있으며, 길이 방향으로 각각 병설되고 있고, 인접하는 제 1 쳄버 개구(3b, 3b) 간에 형성된 간극과, 인접하는 제 2 쳄버 개구(7b, 7b) 간에 형성된 간격은 서로 대략 동일하게 형성되어 있다.
본 실시형태에서는 이러한 구성을 갖는 제 1 및 제 2 쳄버(1, 5)가 상기 제 1 쳄버벽(3)의 외표면(3a)과 제 2 쳄버벽(7)의 외표면(7a)이 소정의 공극을 개재시켜 서로 평행을 이루어 대향하도록 배치되어 있다. 그 결과, 상기 2개의 제 1 쳄버 개구(3b, 3b)와 상기 2개의 제 2 쳄버 개구(7b, 7b)는 각각 서로 대향하여 쌍을 이루도록 배치되어 있다. 그리고 상기 제 1 쳄버(1)와 제 2 쳄버(5) 사이에 형성된 공극에는 상기 제 1 쳄버 개구(3b, 3b)와 제 2 쳄버 개구(7b, 7b)의 각 쌍을 각각 기밀하게 접속하기 위한 2개의 게이트 밸브(10, 10)가 서로 인접 배치되어 있으며, 이들 게이트 밸브(10, 10)가 상기 제 1 쳄버벽(3) 및 제 2 쳄버벽(7)에 대하여 각각 고정적으로 부착되어 있다.
상기 게이트 밸브(10)는 도 1, 도 8 및 도 9에 나타내는 바와 같이 제 1 및 제 2 게이트 개구(12a, 13a)가 개설되어서 내부에 밸브 공간(11a)이 형성된 중공의 밸브 박스(11)와, 상기 밸브 공간(11a) 내에서 동작함으로써 상기 한쌍의 게이트 개구(12a, 13a) 사이의 연통을 개폐하는(즉, 이들 게이트 개구(12a, 13a) 사이를 밸브 공간(11a)을 통해서 연통시키거나 기밀하게 차단하거나 하는) 밸브체(21)와, 상기 밸브체(21)를 동작시키기 위한 밸브 구동부(22)와, 축(L1) 방향으로 연장 설치되어 상기 밸브체(21) 및 밸브 구동부(22)를 서로 연결하는 밸브 샤프트(23)로 구성되어 있다.
보다 구체적으로 설명하면 상기 밸브 박스(11)는 상기 밸브 박스(11)의 표면(즉, 바깥쪽을 향하는 면)에 제 1 및 제 2 게이트 개구(12a, 13a)가 각각 개설되어 서로 반대의 외방향을 향하는 제 1 및 제 2 측벽면(12b, 13b)과, 이들 측벽면(12b, 13b)에 있어서의 상기 축(L1)과 직교하는 길이 방향(도면 중, 수평 방향) 양단에 위치하는 양측단끼리를 연결하고, 서로 반대의 외방향을 향하는 제 1 및 제 2 측단면(14a, 16a)과, 상기 한쌍의 측벽면(12b, 13b)에 있어서의 상기 축(L1) 방향(도면 중, 상하 방향) 양단에 위치하는 양쪽 둘레단끼리를 연결하여 서로 반대의 외방향을 향하는 제 1 및 제 2 둘레단면(18a, 20a)을 갖고 있다.
그리고 이들 한쌍의 측벽면(12b, 13b), 한쌍의 측단면(14a, 16a) 및 한쌍의 둘레단면(18a, 20a)은 상기 제 1 및 제 2 게이트 개구(12a, 13a)가 각각 관설(貫設)된 제 1 및 제 2 밸브측벽(12, 13)과, 이들 한쌍의 밸브측벽(12, 13)에 있어서의 상기 길이 방향 양단에 위치하는 양측단부끼리를 연결하는 제 1 및 제 2 측단벽(14, 16)과, 상기 한쌍의 밸브측벽(12, 13)에 있어서의 상기 축(L1) 방향 양단에 위치하는 양쪽 둘레단부끼리를 연결하는 제 1 및 제 2 둘레단벽(18, 20)에 의해 형성되어 있다. 이때, 이들 한쌍의 밸브측벽(12, 13), 한쌍의 측단벽(14, 16) 및 한쌍의 둘레단벽(18, 20)은 각각 상기 밸브 공간(11a)을 개재하여 서로 평행을 이루도록 대향 배치되어 있다.
상기 밸브체(21)는 상기 제 2 게이트 개구(13a)보다 큰 대략 직사각형의 플레이트상으로 형성되어 있고, 상기 제 2 밸브측벽(13)측을 향하는 실링면의 외주부에는 상기 밸브측벽(13)의 내면에 대하여 접리하는 환상의 실링부재(21a)가 설치되어 있다. 또한, 이 밸브체(21)의 길이 방향의 중앙에는 상기 밸브 샤프트(23)의 축(L1) 방향의 선단부가 고정 부재로서의 볼트(23a)에 의해 상기 밸브체(21)의 상기 실링면과는 반대의 배면측으로부터 고정되어 있다. 한편, 상기 밸브 샤프트(23)의 축(L1) 방향의 기단부측은 상기 제 2 둘레단벽(20)을 기밀하며 또한 슬라이딩 가능하게 관통해서 상기 밸브 구동부(22)에 연결되어 있다.
여기에서, 상기 밸브 구동부(22)는 축(L1)상에 설치되어 있고, 축(L1)과 직교하는 방향에 있어서, 상기 밸브 구동부(22)의 폭 치수는 밸브 박스(11)의 폭 치수보다 작게 형성되어 있다. 또한, 상기 밸브 구동부는 상기 밸브 샤프트를 구동 함으로써 상기 밸브체(21)를 제 2 게이트 개구(13a)를 기밀하게 폐쇄하여 제 1 및 제 2 쳄버(1, 5) 사이(즉, 반송 공간(2)과 처리 공간(6) 사이)의 연통을 기밀하게 차단하는 폐쇄 위치(도 1 및 도 9 중 실선으로 나타낸 위치)와, 상기 제 1 및 제 2 게이트 개구(12a, 13a) 사이를 연통시켜서 상기 제 1 및 제 2 쳄버(1, 5) 사이를 연통시키는 퇴피 위치(도 1 및 도 9 중 2점 쇄선으로 나타낸 위치)로 이동시키는 밸브 구동 기구(도시 생략)를 갖고 있다. 또한, 상기 밸브 구동 기구는 주지인 것인 점에서 여기에서는 상세한 설명은 생략한다.
그리고 이러한 구성을 갖는 2개의 동일한 게이트 밸브(10, 10)가 그들의 상기 제 1 및 제 2 게이트 개구(12a, 13a)를 상기 제 1 및 제 2 쳄버(1, 5)에 개설된 2쌍의 제 1 및 제 2 쳄버 개구(3b, 7b)에 각각 접속한 상태로 후술하는 구조에 의해 상기 제 1 및 제 2 쳄버(1, 5)의 쌍방에 대하여 고정되어 있다. 이때, 상기 제 1 쳄버벽(3)과 제 1 밸브측벽(12) 사이에는 상기 제 1 쳄버 개구(3b) 및 제 1 게이트 개구(12a)를 둘러싸도록 환상의 실링부재(3c)가 설치되고, 또한 제 2 쳄버벽(7)과 제 2 밸브측벽(13) 사이에는 상기 제 2 쳄버 개구(7b) 및 제 2 게이트 개구(13a)를 둘러싸도록 환상의 실링부재(13c)가 설치되어 있다. 그에 따라 상기 제 1 및 제 2 밸브측벽(12, 13)에 있어서의 전체가 평탄면으로 이루어지는 각 측벽면(12b, 13b)과, 상기 제 1 및 제 2 쳄버벽(3, 7)에 있어서의 동일하게 전체가 평탄면으로 이루어지는 각 외표면(3a, 7a)이 서로 기밀하게 압접된 상태로 되어 있다.
이어서, 상기 2개의 게이트 밸브(10, 10)의 상기 제 1 및 제 2 쳄버(1, 5)에 대한 부착 구조에 대해서 구체적으로 설명한다.
우선, 도 4, 도 5, 및 도 9에 나타내는 바와 같이 각 게이트 밸브(10)의 밸브 박스(11)에 있어서의 상기 제 1 및 제 2 측단벽(14, 16)에는 상기 제 2 측벽면(13b)과 제 1 측벽면(12b) 사이를 관통하여 제 1 고정 볼트(8)를 삽입 통과시키기 위한 3개의 고정 구멍(15), 및 상기 제 1 측벽면(12b)에 개구하여 위치 결정 핀(9)의 일단측을 끼워 맞추게 하기 위한 제 1 위치 결정 구멍(17)이 각각 형성되어 있다. 이때, 상기 3개의 고정 구멍(15)은 상기 측단벽(14, 16)의 길이 방향(도면 중 상하 방향)을 따라 그 일단부(도면 중 상단부), 타단부(도면 중 하단부), 및 그 중간부에 직선형상으로 배치되어 있다. 또한, 상기 제 1 위치 결정 구멍(17)은 상기 일단부 및 중간부에 배치된 2개의 고정 구멍(15, 15)의 중간에 형성되어 있다.
상기 고정 구멍(15)은 상기 제 2 측벽면(13b)에 개구한 대경부(15a)와 제 1 측벽면(12b)에 개구한 소경부(15b)로 형성되어 있고, 상기 제 1 고정 볼트(8)는 상기 소경부(15b)보다 대경이며, 또한 축방향 길이가 상기 대경부(15a)보다 작은 나사 헤드부(8a)와, 수나사가 형성되어 있고, 상기 소경부(15b)보다 소경이며, 또한 축방향 길이가 상기 소경부(15b)보다 큰 나사 본체부(8b)로 구성되어 있다.
한편, 상기 제 1 쳄버(1)의 쳄버벽(3)에 있어서의 상기 고정 구멍(15) 및 제 1 위치 결정 구멍(17)에 대응하는 위치에는 상기 제 1 고정 볼트(8)를 나사 결합시키기 위한 고정 나사 구멍(3d), 및 상기 위치 결정 핀(9)의 타단측을 끼워 맞추게 하기 위한 제 2 위치 결정 구멍(3e)이 개설되어 있다.
즉, 각 게이트 밸브(10)에 있어서의 상기 제 1 및 제 2 측단벽(14, 16)의 각제 1 위치 결정 구멍(17, 17)과, 상기 제 1 쳄버벽(3)의 제 2 위치 결정 구멍(3e, 3e)에 상기 위치 결정 핀(9)을 양 끝으로부터 각각 끼워 맞추게 하여 각 게이트 밸브(10)를 제 1 쳄버벽(3)에 대하여 위치 결정하고 있다. 이때, 상기 제 1 쳄버 개구(3b)와 상기 제 1 게이트 개구(12a)는 서로 겹쳐서 일치된 상태에 있다. 그리고 상기 제 1 고정용 볼트(8)가 각 게이트 밸브(10)에 있어서의 상기 제 1 및 제 2 측단벽(14, 16)의 각 고정 구멍(15)에 상기 제 2 쳄버벽(7)과 접하는 제 2 측벽면(13b)측으로부터 삽입 통과됨과 아울러, 제 1 쳄버벽(3)의 상기 고정 나사 구멍(3d)에 나사 결합되어 상기 각 게이트 밸브(10, 10)가 상기 제 1 쳄버벽(3)에 대하여 기밀하게 고정되어 있다.
그 반면에 서로 인접하는 2개의 게이트 밸브(10, 10)에 있어서의 서로 대향하는 상기 측단면(14a, 16a) 간에는 도 2 및 도 6에 나타내는 바와 같이 상기 밸브측벽(12, 13)의 측단을 따라 연장되는 상하 방향의 축(L2)을 가짐과 아울러, 상기 축(L2) 방향의 제 1 단(24a) 및 제 2 단(24b)이 각각 개구하는 단면 대략 직사각형의 고정용 공간(24)이 형성되어 있다. 상기 고정용 공간(24)은 도 3 및 도 6에 나타내는 바와 같이 서로 대향하는 상기 한쌍의 측단면(14a, 16a)과 서로 대향하는 상기 제 1 및 제 2 쳄버벽(3, 7)의 외표면(3a, 7a)의 4면에 의해 단면 대략 사각의 통형상으로 구획되어 있다. 그리고 상기 한쌍의 측단면(14a, 16a)으로부터는 상기 축(L2)을 따르도록 연장되는 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)이 상기 고정용 공간(24) 내를 향해서 각각 직각으로 세워서 설치되어 있다.
또한, 제 1 측단면(14a)에 상기 제 1 돌출벽(25)이 세워서 설치된 한쪽의 밸브 박스(11)의 제 2 측단면(16a)(도 2 중 좌측의 게이트 밸브의 제 2 측단면)으로부터는 마찬가지로 제 3 돌출벽(27)이 상기 제 1 돌출벽(25)과는 반대의 바깥쪽을 향해서 직각으로 세워서 설치되어 있다. 또한, 제 2 측단면(16a)에 상기 제 2 돌출벽(26)이 세워서 설치된 다른쪽의 밸브 박스(11)의 제 1 측단면(14a)(도 2 중 우측의 게이트 밸브의 제 1 측단면)으로부터는 제 4 돌출벽(28)이 상기 제 2 돌출벽(26)과는 반대의 바깥쪽을 향해서 직각으로 세워서 설치되어 있다. 또한, 각 게이트 밸브(10)의 상기 제 1 둘레단면(18a)으로부터도 그 길이 방향을 따르도록 연장되는 제 5 돌출벽(19)이 바깥쪽을 향해서 직각으로 세워서 설치되어 있다.
이들 돌출벽(19, 25~28)은 어느 것이나 후술하는 클램프 부재(29) 및 밸브 고정 기구(32)에 의해 게이트 밸브(10, 10)의 밸브 박스(11, 11)를 제 2 쳄버(5)에 대하여 고정하기 위한 것이며, 상기 제 2 측벽면(13b)과 동일 높이면을 이루어(즉, 제 2 측벽면(13b)의 일부를 이루어) 세워서 설치되어 있다. 그리고 이들 돌출벽(19, 25~28)에 상기 클램프 부재(29) 및 밸브 고정 기구(32)를 각각 결합시킴으로써 상기 돌출벽(19, 25~28)이 상기 제 2 쳄버벽(7)측을 향해서 압압됨과 아울러, 상기 쳄버벽(7)의 외표면(7a)에 대하여 압접되어 있다. 그 결과, 상기 밸브 박스(11, 11)가 상기 제 2 쳄버벽(7)에 대하여 기밀하게 고정되어 있다.
여기에서, 상기 돌출벽(19, 25~28)은 그 선단에 있어서 제 1 쳄버벽(3)측을 향해서 직각으로 절곡된 동일한 대략 L자의 단면형상을 갖고 있다. 즉, 상기 돌출벽(19, 25~28)의 선단부에는 상기 제 1 쳄버벽(3)측을 향해서 돌출되어 설치된 돌조(P)가 형성되어 있다. 그리고 상기 돌조(P)와 밸브 박스(11)의 각 단면(14a, 16a, 18a) 사이에는 제 1 쳄버벽(3)측을 향해서 개구하는 피결합홈(G)이 형성되어 있고, 그 저면이 상기 제 2 측벽면(13b)과 평행을 이루고 있으며, 상기 클램프 부재(29) 및 밸브 고정 기구(32)에 의해 압압되는 피압압면(G1)을 형성하고 있다.
상기 클램프 부재(29)는 도 7에 나타내는 바와 같이 클램프 본체(30)와 상기 클램프 본체(30)를 제 2 쳄버벽(7)에 대하여 고정하기 위한 제 2 고정 볼트(31)로 구성되어 있다. 상기 클램프 본체(30)는 상기 제 2 고정 볼트(31)를 삽입 통과시키기 위한 관통 구멍(30a) 및 상기 관통 구멍(30a)과 직교하는 측방으로 돌출하여 설치됨과 아울러, 선단이 상기 관통 구멍(30a)과 평행을 이루도록 제 2 쳄버벽(7)측을 향해서 절곡된 대략 L자형상의 클로부(30b)를 갖고 있다. 상기 클로부(30b)의 선단에는 상기 제 2 쳄버벽(7)측을 향해서 상기 피결합홈(G)의 피압압면(G1)에 접촉한 압압면(30c)이 형성되어 있다. 또한, 상기 제 2 고정 볼트(31)는 상기 관통 구멍(30a)보다 대경의 나사 헤드부(31a)와, 상기 관통 구멍(30a)보다 소경으로 수나사가 형성된 나사 본체부(31b)로 구성되어 있다. 또한, 상기 제 2 쳄버벽(7)에는 상기 제 2 고정 볼트(31)를 나사 결합시키기 위한 복수의 고정 나사 구멍(7c)이 상기 클램프 부재(29)를 부착하는 위치에 각각 개설되어 있다.
그리고 상기 클램프 본체(30)의 클로부(30b)를 상기 한쌍의 밸브 박스(11, 11)의 바깥 둘레로 배치된 돌출벽, 즉 제 3 돌출벽(27), 제 4 돌출벽(28), 및 제 5 돌출벽(19)의 상기 돌조(P) 및 피결합홈(G)에 결합시킨 상태로 상기 제 2 고정 볼트(31)가 관통 구멍(30a)에 삽입 통과되어서 상기 고정 나사 구멍(7c)에 나사 결합되어 있다. 그 결과, 상기 클로부(30b) 선단의 압압면(30c)이 상기 피결합홈(G)의 피압압면(G1)에 접촉하여 제 3 돌출벽(27), 제 4 돌출벽(28), 및 제 5 돌출벽(19)을 제 2 쳄버벽(7)을 향해서 압압함으로써 상기 제 2 밸브측벽(13)의 측벽면(13b)이 제 2 쳄버벽(7)의 외표면(7a)에 대하여 압접되어 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서 상기 클램프 부재(29)는 도 2에 나타내는 바와 같이 제 3 돌출벽(27), 제 4 돌출벽(28), 및 제 5 돌출벽(19)에 있어서 길이 방향의 양단부 및 중앙부의 계 3개소에 각각 부착되어 있지만, 그것에 한정되는 것은 아니고, 각 돌출벽에 있어서 계 4개소 이상에 부착되어 있어도 좋다.
그런데 도 6에 나타내는 바와 같이 상기 밸브 고정 기구(32)는 상기 고정용 공간(24) 내에 수용되어 있음과 아울러, 마찬가지로 상기 고정용 공간(24) 내에 배치된 상기 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)을 제 2 쳄버벽(7)측을 향해서 압압하는 것이다. 구체적으로는 이 밸브 고정 기구(32)는 도 6, 도 10, 도 12, 및 도 13에 나타내는 바와 같이 상기 고정용 공간(24)에 있어서의 축(L2) 방향의 중앙부에 있어서 상기 제 2 쳄버벽(7)에 고정된 지지부재(33)와, 상기 지지부재(33)의 축(L2) 방향 양측에 배치되어 있고, 상기 지지부재(33)에 지점부(37a)를 지지시킨 지레의 원리에 의해 상기 돌출벽(25, 26)의 쌍방을 제 2 쳄버벽(7)측을 향해서 각각 압압하는 한쌍의 레버부재(37, 37)를 갖고 있다.
상기 지지부재(33)는 상기 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)의 선단 간에 있어서, 상기 제 2 쳄버벽(7)에 대하여 제 3 고정 볼트(36)로 직접 고정되어 제 1 쳄버벽(3)측을 향해서 세워서 설치된 지주부(34)와, 상기 지주부(34)의 선단부로부터 상기 고정용 공간(24)의 제 1 단(24a)측 및 제 2 단(24b)측을 향해서 서로 역방향으로 각각 연장된 한쌍의 플랜지부(35, 35)로 구성되어 있다. 그리고, 이들 한쌍의 플랜지부(35, 35)에 있어서의 상기 제 2 쳄버벽(7)의 외표면(7a)과 대향하는 면이 상기 한쌍의 레버부재(37, 37)의 후술하는 각 지점부(37a)를 접촉시켜서 지지하기 위한 지지부(지지면)(35a)를 각각 형성하고 있다.
여기에서, 상기 지지부재(33)의 지주부(34)의 중앙에는 상기 축(L2)과 직교하는 방향으로 관통 구멍(34a)이 관설되어 있다. 또한, 상기 제 3 고정 볼트(36)는 상기 관통 구멍(34a)보다 대경의 나사 헤드부(36a)와, 상기 관통 구멍(34a)보다 소경으로 수나사가 형성된 나사 본체부(36b)로 구성되어 있다. 또한, 상기 제 2 쳄버벽(7)에는 상기 제 3 고정 볼트(36)를 나사 결합시키기 위한 고정 나사 구멍(7d)이 상기 지지부재(33)를 부착하는 위치에 개설되어 있다. 그리고 상기 지주부(34)를 상기 제 2 쳄버벽(7)의 외표면(7a)에 접촉시킨 상태로 상기 제 3 고정 볼트(36)가 관통 구멍(34a)에 삽입 통과되어서 상기 고정 나사 구멍(7d)에 나사 결합되고, 그에 따라 상기 지지부재(33)가 제 2 쳄버벽(7)에 대하여 고정되어 있다.
한편, 상기 한쌍의 레버부재(37, 37)는 상기 지지부재(33)에 있어서의 한쌍의 플랜지부(35, 35)의 각 지지부(35a)에 대하여 제 2 쳄버벽(7)측으로부터 제 1 쳄버벽(3)측을 향해서 압접되는 지점부(37a)와, 상기 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)의 피압압면(G1)에 대하여 접촉에 의해 제 1 쳄버벽(3)측으로부터 제 2 쳄버벽(7)측을 향해서 압압력을 각각 작용시키는 한쌍의 작용점부(37b)와, 제 1 쳄버벽(3)측으로부터 제 2 쳄버벽(7)측을 향해서 후술하는 고정용 조작 부재(40)에 의해 힘이 가해지는 역점부(37c)를 구비하고 있다. 그리고, 이들 레버부재(37, 37)는 상기 지지부재(33)를 사이에 둔 상기 축(L2) 방향 양측에 있어서, 상기 역점부(37c)를 상기 작용점부(37b)보다 상기 제 1 단(24a) 및 제 2 단(24b)의 개구측에 각각 배치되어 상기 고정용 공간(24) 내에 장착되어 있다. 또한, 상기 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)의 피압압면(G1)은 축(L2)을 따른 평탄면에 형성되어 있고, 마찬가지로 평탄면으로 이루어지는 상기 지지부재(33)의 지지면(35a)과 평행을 이루고 있다.
그래서 도 13에 나타내는 바와 같이 밸브 고정 기구(32)로 게이트 밸브(10, 10)가 제 2 쳄버(5)에 대하여 기밀하게 고정된 상태에 의거하여 보다 구체적으로 설명하면, 상기 각 레버부재(37)는 블록형상의 레버 본체부(38)와, 상기 레버 본체부(38)의 양측단으로부터 축(L2)을 따르도록 서로 반대의 외방향을 향하여 세워서 설치된 한쌍의 레버 결합부(39, 39)로 일체로 형성되어 있고, 축(L2) 방향 양단에 선단부(37d) 및 후단부(37e)를 각각 갖고 있다.
상기 레버 본체부(38)는 축(L2)과 평행을 이루어 서로 반대의 외방향을 향하는 제 1 면(38a) 및 제 2 면(38b)을 갖고 있고, 상기 레버 본체부(38)에 있어서의 상기 제 1 면(38a)과 제 2 면(38b) 사이에는 상기 고정용 조작 부재(40)로서의 고정용 조작 볼트를 삽입 통과시키기 위한 관통 구멍(38c)이 관설되어 있다. 여기에서, 상기 제 1 면(38a)은 제 1 쳄버벽(3)의 외표면(3a)과 대략 평행을 이루어 대향하고 있고, 상기 제 2 면(38b)은 제 2 쳄버벽(7)의 외표면(7a)과 대략 평행을 이루어 대향하고 있다. 또한, 이들 한쌍의 레버부재(37, 37)는 그들의 선단부(37d, 37d)를 상기 지지부재(33)측에 각각 배치하여 부착되어 있고, 각 선단부(37d)의 제 1 면(38a)을 평탄면으로 이루어지는 상기 지점부(37a)로서 상기 지지부재(33)의 각 지지면(35a)에 각각 접촉시키고 있다. 또한, 상기 관통 구멍(38c)은 축(L2) 방향으로 긴 장공으로 형성되어 있다. 상기 관통 구멍(38c) 둘레가 상기 고정용 조작 볼트(40)에 의해 힘이 가해지는 상기 역점부(37c)를 형성하고 있다. 또한, 상기 제 1 면의 축(L2) 방향에 있어서의 상기 지점부(37a)와 상기 역점부(37c) 사이(관통 구멍(38c)과의 사이)에는 축(L2)과 직교하는 폭방향으로 상기 레버부재(37)를 횡단하는 오목홈(37g)이 형성되어 있다.
상기 한쌍의 레버 결합부(39, 39)는 상기 레버 본체부(38)의 양측단에 있어서의 상기 제 1 면(38a) 근처의 위치로부터 상기 제 1 면(38a)과 동일 높이면을 이루어 상기 관통 구멍(38c)과 직교하는 방향으로 각각 돌출하여 설치된 것이며, 그들의 선단부에는 상기 관통 구멍(38c)과 평행을 이루도록 상기 제 2 면(38b)측(즉, 제 2 쳄버벽(7)측)을 향해서 절곡된 결합 돌출부(39a)가 각각 형성되어 있다. 그리고, 상기 결합 돌출부(39a)의 선단에는 상기 제 2 쳄버벽(7)측을 향해서 상기 지점부(37a)와 평행을 이루는 압압면(39b)이 형성되어 있고, 상기 압압면(39b)이 상기 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)의 피압압면(G1)에 접촉하고 있다. 이때, 상기 한쌍의 레버 결합부(39, 39)의 결합 돌출부(39a, 39a)와 상기 레버 본체부(38)의 양측단 사이에는 제 2 쳄버벽(7)측을 향해서 개구한 결합홈(39c, 39c)이 각각 형성되어 있다. 그리고, 상기 결합홈(39c, 39c) 내에 상기 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)의 돌조(P)가 수용됨으로써 이들 한쌍의 돌출벽(25, 26)과 상기 한쌍의 레버 결합부(39, 39)가 서로 결합되어 있다.
또한, 상기 레버부재(37)의 선단부(37d)측에 있어서는 상기 제 2 쳄버(5)측을 향하는 면이 상기 선단부(37d)로부터 후단부(37e)측을 향해서(축(L2)을 따라) 두께를 서서히 확대하는 경사면(37f)에 형성되어 있다. 즉, 축(L2) 방향에 있어서, 상기 레버부재(37)의 제 2 면(38b)은 제 1 면(38a)보다 짧게 형성되어 있으며, 상기 제 2 면(38b)보다 선단부(37d)측이 상기 경사면(37f)에 의해 쐐기형상으로 형성되어 있다.
이와 같이, 상기 지점부(37a)에 있어서의 레버부재(37)의 두께를 상기 지지부재(33)의 지지면(35a)과 상기 한쌍의 돌출벽(25, 26)의 각 피압압면(G1)의 수직 거리보다 작게 형성함으로써 상기 레버부재(37)의 지점부(37a)를 상기 지지면(35a)과 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)의 피압압면(G1) 사이에 삽입할 수 있도록 되어 있다. 그리고 이 경사면(37f)과 상기 한쌍의 레버 결합부(39, 39)에 있어서의 압압면(39b, 39b)의 경계가 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)에 각각 대응한 상기 작용점부(37b, 37b)가 되어 있다. 즉, 상기 레버부재(37)에 있어서, 상기 압압면(39b, 39b)은 상기 작용점부(37b, 37b)로부터 상기 후단부(37e)(역점부측의 단부)까지 연장되는 평탄면에 의해 형성되어 있다.
또한, 상기 고정용 조작 볼트(40)는 장공인 상기 관통 구멍(38c)의 폭보다 대경의 나사 헤드부(40a)와, 상기 관통 구멍(38c)의 폭보다 소경으로 수나사가 형성된 나사 본체부(40b)로 구성되어 있다. 그리고 상기 제 2 쳄버벽(7)에는 상기 고정용 조작 볼트(40)를 나사 결합시키기 위한 2개의 고정 나사 구멍(7e)이 상기 관통 구멍(38c)에 대응하는 위치, 즉 상기 고정용 공간(24)에 있어서의 상기 제 1 단(24a) 및 제 2 단(24b)의 개구 근방에 각각 개설되어 있다. 또한, 적어도 상기 고정용 조작 볼트(40)와 레버부재(37)에 대하여 힘을 가하기 전의 상태에 있어서, 상기 지점부(37a), 즉 제 1 면(38a)과 상기 한쌍의 레버 결합부(39, 39)에 있어서의 각 압압면(39b)의 수직 거리가 상기 지지부재(33)의 지지면(35a)과 상기 한쌍의 돌출벽(25, 26)의 각 피압압면(G1)의 수직 거리보다 약간 크게 형성되어 있다.
이하에 상기 제 1 쳄버(1)와 제 2 쳄버(5) 사이에 상기 2개의 게이트 밸브(10, 10)를 서로 인접시킨 상태로 고정적으로 부착하는 방법에 대하여 설명한다. 우선, 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이 상기 위치 결정 핀(9)의 양단부를 각 밸브 박스(11)의 제 1 및 제 2 측단벽(14, 16)에 개설된 각 제 1 위치 결정 구멍(17)과, 제 1 쳄버벽(3)에 개설된 각 제 2 위치 결정 구멍(3e)에 각각 끼워 맞추게 한다. 그렇게 함으로써 제 1 쳄버(1)의 2개의 쳄버 개구(3b, 3b)와, 2개의 게이트 밸브(10, 10)의 각 제 1 게이트 개구(12a)를 일치시킨 상태로 이들 게이트 밸브(10, 10)를 제 1 쳄버벽(3)에 대하여 위치 결정한다. 그리고 마찬가지로 제 1 및 제 2 측단벽(14, 16)에 3개씩 관설된 상기 고정 구멍(15)에 제 1 고정 볼트(8)를 제 2 쳄버벽(7)의 외표면(7a)측으로부터 각각 삽입 통과하여 상기 제 1 쳄버벽(3)에 개설된 대응하는 고정 나사 구멍(3d)에 각각 나사 결합시킨다. 그에 따라 이들 2개의 게이트 밸브(10, 10)가 서로 인접한 상태로 상기 제 1 쳄버벽(3)에 대하여 기밀하게 고정된다.
이어서, 상기 제 2 쳄버(5)에 개설된 2개의 쳄버 개구(7b, 7b) 사이에 있어서, 제 2 쳄버벽(7)에 상기 밸브 고정 기구(32)의 지지부재(33)를 제 3 고정 볼트(36)로 고정한다. 그리고 그 제 2 쳄버(5)의 2개의 쳄버 개구(7b, 7b)와, 2개의 게이트 밸브(10, 10)의 각 제 2 게이트 개구를 일치시킨 상태로 한다. 그 상태로 도 2 및 도 7에 나타내는 바와 같이 복수의 클램프 부재(29)를 이들 쌍을 이룬 게이트 밸브(10, 10)의 주위를 둘러싸도록 배치된 제 3 돌출벽(27), 제 4 돌출벽(28), 및 제 5 돌출벽(19, 19) 각각에 대하여 적어도 길이 방향의 양단부 및 그 중간부의 합계 3개소에서 결합시키고, 상기 제 2 고정 볼트(31)로 제 2 쳄버벽(7)에 대하여 고정한다. 그 결과, 상기 클램프 부재(29)에 의해 상기 제 3 돌출벽(27), 제 4 돌출벽(28), 및 제 5 돌출벽(19, 19)이 제 2 쳄버벽(7)측을 향해서 압압된 상태가 되고, 한쌍의 게이트 밸브(10, 10)가 상기 제 2 쳄버벽(7)에 대하여 임시 고정된다. 이때, 상기 밸브 박스(11, 11) 사이에는 소정 폭의 상기 고정용 공간(24)이 형성되어 있다. 또한, 이 클램프 부재(29)에 의한 게이트 밸브(10)의 고정 작업은 제 1 쳄버벽(3)과 제 2 쳄버벽(7) 사이에 형성된 게이트 밸브(10)의 두께만큼의 간극을 통해 행해지게 된다.
계속해서, 상기 고정용 공간(24)에 있어서, 상기 밸브 고정 기구(32)에 의해 상기 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)에 대하여 제 2 쳄버벽(7)측을 향한 압압력을 작용시킴과 아울러, 상기 한쌍의 게이트 밸브(10, 10)를 상기 제 2 쳄버벽(7)에 대하여 본고정한다. 이 작업은 상기 고정용 공간(24)의 제 1 단(24a) 및 제 2 단(24b)의 개구를 통해서 행해진다.
구체적으로는 우선, 도 12에 나타내는 바와 같이 상기 한쌍의 레버부재(37, 37)의 지점부(37a)를 포함하는 선단부(37d)를 지지부재(33)의 지지면(35a)과 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)의 피압압면(G1) 사이에 삽입한다. 그때, 상술한 바와 같이 상기 레버부재에 있어서의 지점부(37a)와 각 압압면(39b)의 수직 거리가 상기 지지부재(33)의 지지면(35a)과 상기 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)의 피압압면(G1)의 수직 거리보다 약간 크게 형성되어 있기 때문에 상기 레버부재(37)는 그 선단부(37d)가 후단부(37e)보다 제 2 쳄버벽(7)측에 배치된 전방 경사 상태가 된다. 이 전방 경사 상태에 있어서, 상기 경사면(37f)과 상기 한쌍의 압압면(39b, 39b)의 경계가 각각 상기 작용점부(37b)로서 상기 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)의 각 피압압면(G1)에 접촉하고 있다.
그리고, 상기 고정용 조작 볼트(40)를 이들 레버부재(37, 37)의 각 관통 구멍(38c)에 각각 삽입 통과시켜 상기 제 1 단(24a) 및 제 2 단(24b)의 개구로부터 삽입한 공구로 조여 가면, 그 나사 헤드부(40a)에 의해 상기 레버부재(37)의 역점부(37c)가 제 2 쳄버측을 향해서 힘이 가해진다(압압된다). 그때, 상기 고정용 조작 볼트(40)는 상기 고정용 공간(24) 내에 있어서의 제 1 단(24a) 및 제 2 단(24b)의 개구 근방에 각각 배치되어 있기 때문에 고정용 조작 볼트를 공구로 조작하는 데에 필용한 영역이 확보되어 있다.
이렇게 하여 상기 역점부(37c)가 힘이 가해지면 지레의 원리에 의해 레버부재(37)의 각 작용점부(37b, 37b)가 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)을 제 2 쳄버벽(7)측을 향해서 압압한다. 그리고 도 13에 나타내는 바와 같이 상기 고정용 조작 볼트(40)를 충분히 체결하면 상기 작용점부(37b) 및 상기 역점부(37c) 쌍방에 있어서, 상기 한쌍의 압압면(39b, 39b)이 상기 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)의 각 피압압면(G1)에 각각 접촉하고, 이들 돌출벽(25, 26)이 제 2 쳄버벽(7)측을 향해서 압압된다. 그 결과, 상기 게이트 밸브(10, 10)가 제 2 쳄버(5)에 대해서도 기밀하게 고정된다.
이상과 같이, 본 실시형태에 있어서는 서로 인접하는 게이트 밸브(10, 10)의 밸브 박스(11, 11) 사이에 형성된 고정용 공간(24)에 있어서, 밸브 고정 기구(32)의 고정용 조작 볼트(40)가 축(L2) 방향 양단부, 즉 상기 제 1 단(24a) 및 제 2 단(24b)의 개구 근방에 배치되어 있다. 그리고, 상기 고정용 조작 볼트(40)가 상기 역점부(37c)에 있어서 상기 레버부재(37)를 제 2 쳄버벽(7)측을 향해서 힘을 가함과 아울러, 상기 레버부재(37)를 통해 상기 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)을 제 2 쳄버벽(7)측을 향해서 압압하고 있다.
즉, 상기 고정용 공간(24)의 축(L2) 방향 양단부에 추가하여 그 중간부에 있어서도 지레의 원리에 의해 레버부재(37)를 통해 상기 제 1 및 제 2 돌출벽(25, 26)의 각 피압압면(G1)에 제 2 쳄버벽(7)측을 향한 압압력이 작용하고 있다. 따라서, 고정용 공간(24)의 축(L2) 방향 양단부뿐만 아니라 중간부에 있어서도 제 2 밸브측벽(13)의 측벽면(13b)을 제 2 쳄버벽(7)의 외표면(7a)에 대하여 기밀하게 압접시킨 상태로 상기 게이트 밸브(10, 10)를 제 2 쳄버(5)에 대하여 고정할 수 있다.
그 결과, 제 1 및 제 2 쳄버(1, 5)와, 이들 쳄버(1, 5) 사이에 서로 인접하여 배치된 2개의 게이트 밸브(10, 10)를 보다 우수한 기밀성을 확보한 상태로 연결하는 것이 가능하게 된다.
이상, 본 발명에 의한 게이트 밸브의 부착 구조의 일실시형태에 대해서 상세하게 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서, 여러 가지 설계 변경이 가능한 것은 말할 필요도 없다.
예를 들면, 상기 실시형태에 있어서는 제 1 및 제 2 쳄버(1, 5)에 있어서의 쳄버 개구(3b, 7b)의 수나 게이트 밸브(10)의 수가 각각 2개인 경우에 대하여 설명했지만, 그것에 한정되는 것은 아니며, 3개 이상이어도 좋다. 또한, 상기 밸브 고정 기구(32)에 있어서의 지지부재(33)나 레버부재(37)의 형태에 대해서도 상기 지점부(37a), 작용점부(37b) 및 역점부(37c)가 상술한 바와 같은 순서로 배치되는 범위에 있어서, 여러 가지 상이한 형태를 채용하는 것이 가능하다.
1 : 제 1 쳄버(트랜스퍼 쳄버) 3 : 제 1 쳄버벽
3b : 제 1 쳄버 개구 5 : 제 2 쳄버(프로세스 쳄버)
7 : 제 2 쳄버벽 7b : 제 2 쳄버 개구
10 : 게이트 밸브 11 : 밸브 박스
12a : 제 1 게이트 개구 12b : 제 1 측벽면
13a : 제 2 게이트 개구 13b : 제 2 측벽면
14a : 제 1 측단면 16a : 제 2 측단면
21 : 밸브체 22 : 밸브 구동부
23 : 밸브 샤프트 24 : 고정용 공간
24a : 제 1 단 24b : 제 2 단
25 : 제 1 돌출벽 26 : 제 2 돌출벽
32 : 밸브 고정 기구 33 : 지지부재
34 : 지주부 35 : 플랜지부
35a : 지지부(지지면) 37 : 레버부재
37a : 지점부 37b : 작용점부
37c : 역점부 37d : 선단부
37e : 후단부 37f : 경사면
38 : 레버 본체부 38a : 제 1 면
38b : 제 2 면 38c : 관통 구멍
39 : 레버 결합부 39a : 결합 돌출부
39b : 압압면 39c : 결합홈
40 : 고정용 조작 부재(고정용 조작 볼트) 40a : 나사 헤드부
40b : 나사 본체부 L1 : 축(샤프트 축)
L2 : 축(고정용 공간의 축) P : 돌조
G : 피결합홈 G1 : 피압압면

Claims (9)

  1. 복수의 쳄버 개구가 각각 개설된 제 1 쳄버 및 제 2 쳄버 사이에 복수의 게이트 밸브를 서로 인접시켜서 고정적으로 부착하기 위한 구조로서,
    상기 게이트 밸브는 한쌍의 게이트 개구를 구비한 중공의 밸브 박스와, 상기 밸브 박스 내에서 동작함으로써 상기 한쌍의 게이트 개구 간의 연통을 개폐하는 밸브체와, 상기 밸브체를 동작시키는 밸브 구동부를 갖고 있고,
    상기 밸브 박스는, 상기 게이트 개구가 개설되어서 서로 반대의 외방향을 향하는 한쌍의 측벽면과, 그들 측벽면의 양측단끼리를 서로 연결해서 서로 반대의 외방향을 향하는 한쌍의 측단면을 갖고, 상기 한쌍의 게이트 개구를 상기 제 1 및 제 2 쳄버의 쳄버 개구에 각각 접속하여 상기 한쌍의 측벽면을 상기 제 1 및 제 2 쳄버에 대하여 각각 기밀하게 압접시킨 상태로 상기 제 1 및 제 2 쳄버의 쌍방에 대하여 고정되고 있고,
    서로 인접하는 게이트 밸브의 밸브 박스에 있어서의 서로 반대의 외방향을 향하는 상기 측단면 간에는 상기 측벽면의 측단을 따른 축을 갖고 상기 축 방향의 제 1 단 및 제 2 단이 개구하는 고정용 공간이 형성되어 있으며, 이들 대향하는 측단면으로부터는 상기 축을 따라 연장되는 한쌍의 돌출벽이 상기 고정용 공간을 향해서 각각 세워서 설치되고, 상기 고정용 공간 내에는 상기 게이트 밸브를 제 2 쳄버에 대하여 고정하기 위한 밸브 고정 기구가 수용되어 있고,
    상기 밸브 고정 기구가 상기 고정용 공간의 축 방향 중앙부에 있어서 상기 제 2 쳄버에 고정된 지지부재와, 상기 지지부재에 있어서의 상기 제 2 쳄버측을 향하는 지지부에 압접되는 지점부, 상기 한쌍의 돌출벽에 접촉하여 상기 제 2 쳄버측을 향해서 압압력을 작용시키는 작용점부, 및 상기 제 2 쳄버측을 향해서 힘이 가해지는 역점부를 구비한 한쌍의 레버부재와, 상기 역점부에 있어서, 각 레버부재에 힘을 가함과 아울러 상기 한쌍의 돌출벽을 제 2 쳄버측을 향해서 압압하는 한쌍의 고정용 조작 부재로 구성되어 있으며, 상기 한쌍의 레버부재가 상기 지지부재를 사이에 둔 상기 축 방향의 양측에 있어서, 상기 역점부를 상기 작용점부보다 상기 제 1 단 및 제 2 단의 개구측에 각각 배치하여 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 부착 구조.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지부재가 상기 제 2 쳄버로부터 세워서 설치된 지주부와, 상기 지주부로부터 상기 제 1 단 및 제 2 단의 개구측을 향해서 연장된 한쌍의 플랜지부로 구성되어 있으며, 이들 플랜지부에 있어서의 상기 제 2 쳄버측을 향하는 면에 상기 지지부가 각각 형성되어 있는 게이트 밸브의 부착 구조.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 레버부재에 있어서의 상기 제 2 쳄버측을 향하는 면이 상기 레버부재의 두께를 축을 따라 상기 지점부측의 단부로부터 상기 작용점부까지 서서히 확대시키는 경사면에 형성되어 있고, 상기 지점부에 있어서의 레버부재의 두께가 상기 지지부재의 지지부와 상기 한쌍의 돌출벽에 있어서의 상기 작용점부가 접촉하는 피압압면의 수직 거리보다 작게 형성되어 있는 게이트 밸브의 부착 구조.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 한쌍의 돌출벽의 피압압면이 축을 따른 평탄면으로 각각 이루어져 있으며, 상기 레버부재가 축을 따라 상기 작용점부로부터 상기 역점부측의 단부까지 연장되는 평탄한 압압면을 갖고 있고, 상기 압압면이 상기 피압압면에 접촉하여 상기 한쌍의 돌출벽을 제 2 쳄버측을 향해서 압압하고 있는 게이트 밸브의 부착 구조.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 지지부재의 지지부가 상기 한쌍의 돌출벽의 피압압면과 평행을 이루는 평탄면에 형성되고, 상기 레버부재의 지점부가 상기 압압면과 평행을 이루는 평탄면에 형성되어 있는 게이트 밸브의 부착 구조.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정용 조작 부재가 고정용 조작 볼트이며, 상기 고정용 조작 볼트가 상기 레버부재의 역점부에 개설된 관통 구멍에 삽입 통과되어서 상기 제 2 쳄버에 형성된 나사 구멍에 나사 결합되고 있고, 그에 따라 역점부가 제 2 쳄버측을 향해서 힘이 가해짐과 아울러, 상기 레버부재가 상기 작용점부와 역점부에서 상기 한쌍의 돌출벽에 접촉해서 상기 돌출벽을 제 2 쳄버측을 향해서 압압하고 있는 게이트 밸브의 부착 구조.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 고정용 조작 볼트가 수나사가 형성된 나사 본체부와, 상기 나사 본체부에 결합되어서 상기 나사 본체부보다 큰 외경을 갖는 나사 헤드부로 이루어져 있고, 상기 레버부재의 관통 구멍이 축 방향으로 연장되는 장공으로 형성되고, 상기 나사 헤드부의 외경보다 작은 폭을 갖고 있으며, 상기 레버부재의 역점부가 상기 나사 헤드부에 의해 제 2 쳄버측을 향해서 힘이 가해져 있는 게이트 밸브의 부착 구조.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 한쌍의 돌출벽이 축을 따른 평탄면으로 이루어져 상기 작용점부를 접촉시키는 피압압면을 각각 갖고 있고, 상기 레버부재가 축을 따라 상기 작용점부로부터 상기 역점부측의 단부까지 연장되는 평탄한 압압면을 갖고 있고, 상기 압압면이 상기 피압압면에 접촉하고, 상기 한쌍의 돌출벽을 제 2 쳄버측을 향해서 압압하고 있는 게이트 밸브의 부착 구조.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 지지부재의 지지부가 상기 한쌍의 돌출벽의 피압압면과 평행을 이루는 평탄면에 형성되고, 상기 레버부재의 지점부가 상기 압압면과 평행을 이루는 평탄면에 형성되어 있는 게이트 밸브의 부착 구조.
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