JP7017306B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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Description
前記第1真空処理室の上部に配置され接地された第1上部電極と、
前記第1真空処理室の下部に配置され昇降可能な第1下部電極と、
前記第1下部電極に、第1高周波を有する第1高周波電力を供給する第1高周波電源および前記第1高周波よりも高い周波数である第2高周波を有する第2高周波電力を供給する第2高周波電源と、
前記第1高周波電源に接続された第1整合器と、
前記第1整合器および前記第2高周波電源に接続された第2整合器と、
前記第1下部電極の第1電極軸および前記第2整合器の間を接続する第1銅板と、を備えた第1処理部と、
第2排気口を有する第2真空処理室と、
前記第2真空処理室の上部に配置され接地された第2上部電極と、
前記第2真空処理室の下部に配置され昇降可能な第2下部電極と、
前記第2下部電極に、前記第1高周波を有する第1高周波電力を供給する第3高周波電源および前記第1高周波よりも高い周波数である前記第2高周波を有する第2高周波電力を供給する第4高周波電源と、
前記第3高周波電源に接続された第3整合器と、
前記第3整合器および前記第4高周波電源に接続された第4整合器と、
前記第2下部電極の第2電極軸および前記第4整合器の間を接続する第2銅板と、を備え、前記第1処理部と同形状・同寸法の第2処理部と、
前記第1電極軸、前記第2電極軸、前記第2整合器および前記第4整合器が設置された駆動ベースと、
前記駆動ベースを昇降する駆動部と、
前記第1排気口および前記第2排気口からの距離が同一となるように配置された排気部と、
を有することを特徴とする真空処理装置とする。
Claims (12)
- 第1排気口を有する第1真空処理室と、
前記第1真空処理室の上部に配置され接地された第1上部電極と、
前記第1真空処理室の下部に配置され昇降可能な第1下部電極と、
前記第1下部電極に、第1高周波を有する第1高周波電力を供給する第1高周波電源およ
び前記第1高周波よりも高い周波数である第2高周波を有する第2高周波電力を供給する
第2高周波電源と、
前記第1高周波電源に接続された第1整合器と、
前記第1整合器および前記第2高周波電源に接続された第2整合器と、
前記第1下部電極の第1電極軸および前記第2整合器の間を接続する第1銅板と、を備え
た第1処理部と、
第2排気口を有する第2真空処理室と、
前記第2真空処理室の上部に配置され接地された第2上部電極と、
前記第2真空処理室の下部に配置され昇降可能な第2下部電極と、
前記第2下部電極に、前記第1高周波を有する第1高周波電力を供給する第3高周波電源
および前記第1高周波よりも高い周波数である前記第2高周波を有する第2高周波電力を
供給する第4高周波電源と、
前記第3高周波電源に接続された第3整合器と、
前記第3整合器および前記第4高周波電源に接続された第4整合器と、
前記第2下部電極の第2電極軸および前記第4整合器の間を接続する第2銅板と、を備え
、前記第1処理部と同形状・同寸法の第2処理部と、
前記第1電極軸、前記第2電極軸、前記第2整合器および前記第4整合器が設置された駆
動ベースと、
前記駆動ベースを昇降する駆動部と、
前記第1排気口および前記第2排気口からの距離が同一となるように配置された排気部と
、
を有することを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置において、
前記第1整合器は、前記第1上部電極の上部に配置され、
前記第3整合器は、前記第2上部電極の上部に配置されていることを特徴とする真空処理
装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置において、
前記駆動部の駆動軸は、前記駆動ベースの中央部に配置され、
前記第2整合器と前記第4整合器は、前記中央部から等距離となる前記駆動ベースの両端
にそれぞれ配置されていることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項3に記載の真空処理装置において、
前記第2整合器と前記第4整合器は、それぞれ前記駆動ベースに吊り下げられて配置され
ていることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項3に記載の真空処理装置において、
前記排気部は、前記第2整合器と前記第4整合器との間に配置されていることを特徴とす
る真空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置において、
前記第1真空処理室および前記第2真空処理室へ供給されるガス供給器を更に備え、
前記ガス供給器に接続されたガス配管は、前記第1真空処理室および前記第2真空処理室
までの距離が等しくなるような位置で分岐されていることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置において、
前記第2整合器および前記第4整合器は、前記第2および第4高周波電源への前記第1高
周波をカットするための第1高周波カット用フィルタと、前記第1および第3高周波電源
への前記第2高周波をカットするための第2高周波カット用フィルタとの両者をそれぞれ
備えていることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項7に記載の真空処理装置において、
前記第1整合器と前記第2整合器、および前記第3整合器と前記第4整合器とは、それぞ
れ同軸ケーブルで接続されていることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置において、
前記第1整合器および前記第3整合器は、それぞれ直流電源に接続されており、
前記第1整合器は前記第2整合器を介して前記第1下部電極に、前記第3整合器は前記第
4整合器を介して前記第2下部電極にそれぞれ直流電力が供給されることを特徴とする真
空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置において、
前記第1銅板および前記第2銅板は、高さ方向で幅が広いことを特徴とする真空処理装置
。 - 請求項1に記載の真空処理装置において、
前記第1銅板および前記第2銅板は、それぞれボックスに収納されており、
前記ボックスとの間の絶縁距離が20mm以上であることを特徴とする真空処理装置。 - 試料が格納されたカセットを載せるロードポートと、前記ロードポートに接続され大気
搬送用ロボットを備えた大気搬送室と、前記大気搬送室に接続されたロードロック室と、
前記ロードロック室に接続され真空搬送用ロボットを備えた真空搬送室と、前記真空搬送
室に接続された第1真空処理部を含む複数の真空処理部とを有する真空処理装置において
、
前記第1真空処理部は、
第1排気口を有する第1真空処理室と、
前記第1真空処理室の上部に配置され接地された第1上部電極と、
前記第1真空処理室の下部に配置され昇降可能な第1下部電極と、
前記第1下部電極に、第1高周波を有する第1高周波電力を供給する第1高周波電源およ
び前記第1高周波よりも高い周波数である第2高周波を有する第2高周波電力を供給する
第2高周波電源と、
前記第1高周波電源に接続された第1整合器と、
前記第1整合器および前記第2高周波電源に接続された第2整合器と、
前記第1下部電極の第1電極軸および前記第2整合器の間を接続する第1銅板と、を備え
た第1処理部と、
第2排気口を有する第2真空処理室と、
前記第2真空処理室の上部に配置され接地された第2上部電極と、
前記第2真空処理室の下部に配置され昇降可能な第2下部電極と、
前記第2下部電極に、前記第1高周波を有する第1高周波電力を供給する第3高周波電源
および前記第1高周波よりも高い周波数である前記第2高周波を有する第2高周波電力を
供給する第4高周波電源と、
前記第3高周波電源に接続された第3整合器と、
前記第3整合器および前記第4高周波電源に接続された第4整合器と、
前記第2下部電極の第2電極軸および前記第4整合器の間を接続する第2銅板と、を備え
、前記第1処理部と同形状・同寸法の第2処理部と、
前記第1電極軸、前記第2電極軸、前記第2整合器および前記第4整合器が設置された駆
動ベースと、
前記駆動ベースを昇降する駆動部と、
前記第1排気口および前記第2排気口からの距離が同一となるように配置された排気部と
、
を有することを特徴とする真空処理装置。
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