KR102243741B1 - 풀푸쉬 장치 및 이를 이용한 게이트 밸브와 진공처리장치 - Google Patents

풀푸쉬 장치 및 이를 이용한 게이트 밸브와 진공처리장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 풀푸쉬 장치 및 이를 이용한 게이트 밸브와 진공처리장치는 지지축에 벤트홀이 형성되어 풀푸쉬 장치와 게이트 밸브에 형성할 벤트라인의 배치 및 형상을 단순하게 하여 구동 안정성을 향상할 수 있고, 지지축을 구동부에 일체로 형성하여 풀푸쉬 장치의 가공 및 조립성을 향상시킬 수 있도록 하고, 또한 이와 같은 풀푸쉬 장치를 구비하는 게이트 밸브와 진공처리장치의 동작 안정성과 내구성을 향상시킬 수 있도록 한다.

Description

풀푸쉬 장치 및 이를 이용한 게이트 밸브와 진공처리장치{PULL-PUSH DEVICE, GATE VALVE AND VACUUM PROCESSING APPARATUS USING IT}
본 발명은 풀푸쉬 장치 및 이를 이용한 게이트 밸브와 진공처리장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는 풀푸쉬 동작시 벤트 동작이 이루어지는 풀푸쉬 장치 및 이를 이용한 게이트 밸브와 진공처리장치에 관한 것이다.
진공처리장치는 반도체 또는 디스플레이 제조공정에서 박막 형성을 위하여 많이 사용되고, 그 외에 진공 상태에서 특별한 공정이나 작업을 수행하기 위한 다양한 장치에서 사용될 수 있다.
이러한 진공처리장치는 진공에서 공정이나 작업이 진행되는 공간(이하에서는 "챔버"라고 하기로 한다.)과 외부가 연결된 출입구를 구비하고, 이 출입구를 열거나 닫기 위한 게이트 밸브를 구비한다. 이 게이트 밸브는 챔버 내부가 진공상태를 유지할 수 있도록 출입구를 실링할 수 있는 실링 플레이트를 포함한다.
게이트 밸브는 출입구를 개폐하는 실링 플레이트를 전후진 동작시키는 풀푸쉬 장치를 포함한다. 풀푸쉬 장치는 공기압으로 실링 플레이트를 전진시키도록 구성된다. 이 전진 동작시 풀푸쉬 장치의 내부 공간에 채워져 있는 기체가 벤트되어야 전진 동작이 효과적으로 이루어지기 때문에 풀푸쉬 장치에는 벤트 구조가 형성된다.
대한민국공개특허 제 10-2011-0004047호 " 풀-푸쉬 어세이"에서는 벤트라인을 개시하고 있다. 상기 선행특허에서는 고정 브라켓의 측벽을 관통하는 벤트 통로가 형성된 것을 설명하고 있다.
선행특허에서는 이 벤트 통로를 통해서 이동홈 내부의 기체가 외부로 배출될 수 있도록 하고 있다고 설명하고 있다. 그런데 상기 선행특허에서 벤트 통로는 고정 브라켓의 측벽에 형성되어 있다. 따라서 이동홈 내부의 기체의 벤트가 위치에 따라 고르게 이루어지지 않는다.
즉, 선행특허에서는 이동홈 내부의 기체가 좌측부분에서는 신속하게 배출되지만 우측부분에서는 상대적으로 배출이 지체되며 이에 따라 좌측과 우측 사이에 압력차가 발생할 수 있고, 이에 따라 구동체가 균일하게 푸쉬 동작을 하지 못하게 되거나 또는 구동체가 회전하게 되어 내부 구성부품이 손상될 수 있는 문제가 있다.
대한민국공개특허 제 10-2011-0004047호 " 풀-푸쉬 어세이"
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로 본 발명은 풀푸쉬 장치와 게이트 밸브에 형성할 벤트라인의 배치 및 형상을 단순하게 하여 구동 안정성을 향상시키고, 지지축을 구동부에 일체로 형성하여 풀푸쉬 장치의 가공 및 조립성을 향상시키도록 한 풀푸쉬 장치 및 이를 이용한 게이트 밸브와 진공처리장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 풀푸쉬 장치는 하우징, 일단이 상기 하우징을 관통하고, 타단이 상기 하우징 내부 공간에 위치하여 외부에서 제공되는 압력으로 푸쉬 동작하는 구동부, 상기 구동부에 구비되어 상기 구동부와 함께 상기 하우징에 형성된 지지홀에 삽입되어 구동하며 상기 지지홀과 상기 하우징 내부를 서로 연통시키는 벤트홀이 형성된 적어도 하나 이상의 지지축, 상기 지지홀에 연통되며 상기 하우징의 내부가 상기 벤트홀과 상기 지지홀을 통하여 상기 하우징의 외부와 연통되도록 하는 벤트라인을 포함한다.
상기 구동부의 외주에는 일단이 상기 하우징 내부에 지지되고 타단이 상기 구동부에 지지된 스프링을 포함할 수 있다.
상기 벤트홀과 상기 지지축은 제 1벤트홀이 형성된 제 1지지축과 제 2벤트홀이 형성된 제 2지지축을 포함하고, 상기 지지홀은 상기 제 1지지축이 삽입되는 제 1지지홀과 상기 제 2지지축이 삽입되는 제 2지지홀을 포함할 수 있다.
상기 구동부는 외부 압력이 가해지는 구동부 몸체와 상기 구동부 몸체에서 연장되어 상기 하우징을 관통하는 구동축을 포함하고, 상기 구동부 몸체의 외주를 따라 연장된 테두리부에 상기 지지축이 형성될 수 있다.
상기 벤트홀은 상기 구동축의 길이 방향으로 관통 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 게이트 밸브는 기판 출입구가 형성된 케이스, 상기 케이스의 내부에 위치하는 하우징, 일단이 상기 하우징을 관통하고, 타단이 상기 하우징 내부 공간에 위치하여 외부에서 제공되는 압력으로 푸쉬 동작하는 구동부, 상기 구동부에 구비되어 상기 구동부와 함께 상기 하우징에 형성된 지지홀에 삽입되어 구동하며 상기 지지홀과 상기 하우징 내부를 서로 연통시키는 벤트홀이 형성된 적어도 하나 이상의 지지축, 상기 지지홀에 연통되며 상기 하우징의 내부가 상기 벤트홀과 상기 지지홀을 통하여 상기 하우징의 외부와 연통되도록 하는 벤트라인을 포함하는 풀푸쉬 장치, 상기 풀푸쉬 장치에 의하여 전후진 하는 실링 플레이트, 상기 풀푸쉬 장치를 상기 기판 출입구 측으로 이동시키는 구동 액츄에이터를 포함한다.
상기 구동부의 외주에는 일단이 상기 하우징 내부에 지지되고 타단이 상기 구동부에 지지된 스프링을 포함할 수 있다.
상기 벤트홀과 상기 지지축은 제 1벤트홀이 형성된 제 1지지축과 제 2벤트홀이 형성된 제 2지지축을 포함하고, 상기 지지홀은 상기 제 1지지축이 삽입되는 제 1지지홀과 상기 제 2지지축이 삽입되는 제 2지지홀을 포함할 수 있다.
상기 구동부는 외부 압력이 가해지는 구동부 몸체와 상기 구동부 몸체에서 연장되어 상기 하우징을 관통하는 구동축을 포함하고, 상기 구동부 몸체의 외주를 따라 연장된 테두리부에 상기 지지축이 형성될 수 있다.
상기 벤트홀은 상기 구동축의 길이 방향으로 관통 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 진공처리장치는 기판이 출입하는 기판 출입구가 형성된 챔버; 상기 챔버의 상기 기판 출입구의 외측에 설치되며 상기 기판 출입구와 연통하는 게이트가 형성된 케이스와, 상기 케이스의 내부에 위치하는 하우징과, 일단이 상기 하우징을 관통하고, 타단이 상기 하우징 내부 공간에 위치하여 외부에서 제공되는 압력으로 푸쉬 동작하는 구동부와, 상기 구동부에 구비되어 상기 구동부와 함께 상기 하우징에 형성된 지지홀에 삽입되어 구동하며 상기 지지홀과 상기 하우징 내부를 서로 연통시키는 벤트홀이 형성된 적어도 하나 이상의 지지축과, 상기 지지홀에 연통되며 상기 하우징의 내부가 상기 벤트홀과 상기 지지홀을 통하여 상기 하우징의 외부와 연통되도록 하는 벤트라인을 포함하는 풀푸쉬 장치와, 상기 풀푸쉬 장치에 의하여 전후진 하는 실링 플레이트, 상기 풀푸쉬 장치를 상기 기판 출입구 측으로 이동시키는 구동 액츄에이터를 포함하는 게이트 밸브를 구비한다.
상기 구동부의 외주에는 일단이 상기 하우징 내부에 지지되고 타단이 상기 구동부에 지지된 스프링을 포함할 수 있다.
상기 벤트홀과 상기 지지축은 제 1벤트홀이 형성된 제 1지지축과 제 2벤트홀이 형성된 제 2지지축을 포함하고, 상기 지지홀은 상기 제 1지지축이 삽입되는 제 1지지홀과 상기 제 2지지축이 삽입되는 제 2지지홀을 포함할 수 있다.
상기 구동부는 외부 압력이 가해지는 구동부 몸체와 상기 구동부 몸체에서 연장되어 상기 하우징을 관통하는 구동축을 포함하고, 상기 구동부 몸체의 외주를 따라 연장된 테두리부에 상기 지지축이 형성될 수 있다.
상기 벤트홀은 상기 구동축의 길이 방향으로 관통 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 풀푸쉬 장치는 풀푸쉬 장치의 지지축에 벤트홀이 형성되어 풀푸쉬 장치와 게이트 밸브에 형성할 벤트라인의 배치 및 형상을 단순하게 하여 구동 안정성을 향상할 수 있고, 지지축을 구동부에 일체로 형성하여 풀푸쉬 장치의 가공 및 조립성을 향상시킬 수 있으며, 지지축을 복수개로 형성하여 구동부의 회전을 방지하 벨로우즈와 같은 내부 구성품의 파손을 방지하고, 각각의 지지축에 형성된 벤트홀을 통하여 벤트가 균형있게 이루어지도록 하여 균형있는 동작이 가능하게 하는 효과가 있으며, 이러한 풀푸쉬 장치를 구비하는 게이트 밸브와 진공처리장치의 동작 안정성과 내구성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 게이트 밸브가 설치된 진공처리장치를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 게이트 밸브의 단면도와 게이트 밸브의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 게이트 밸브에 구비된 풀푸쉬 장치를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 풀푸쉬 장치의 푸쉬 상태를 설명하기 위한 단면도이다.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 풀푸쉬 장치 및 이를 이용한 게이트 밸브와 진공처리장치에 대한 실시예를 상세하게 설명하기로 한다. 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 변형 실시될 수 있으며, 단지 이하에서 설명되는 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위하여 제공되는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 게이트 밸브가 설치된 진공처리장치를 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이 진공처리장치(10)는 진공상태에서 기판(S)(유리기판, 웨이퍼 또는 그 외의 진공 분위기에서 처리가 이루어지는 다양한 매체들)에 대한 처리를 수행하는 챔버(11)를 구비한다. 챔버(11)에는 챔버(11) 내부의 진공 분위기 조성을 위하여 진공펌프(미도시)가 연결될 수 있다.
챔버(11) 내부에는 기판(S)이 안착되는 기판척(13)과 기판척(13)의 상부에 위치하며 챔버(11) 내부에서 필요한 공정 진행을 위한 기능을 하는 공정 진행장치(14)가 설치된다. 이 공정 진행장치(14)는 플라즈마 발생을 위한 전극일 수도 있고, 공정 가스를 분사하는 샤워헤드일 수 있다.
챔버(11)의 일측에는 공정 처리를 위한 기판(S)이 진출입하는 기판 출입구(12)가 형성된다. 이 기판 출입구(12)를 통하여 챔버(11) 내부와 외부로 기판(S)이 입출한다. 기판 출입구(12)의 외측면에는 기판 출입구(12)를 개폐하기 위한 게이트 밸브(100)가 설치된다.
게이트 밸브(100)는 양측방향으로 기판 출입구(12)가 연통하는 게이트 밸브측 출입구(120)가 형성된 케이스(110)와 이 케이스(110)의 내부에 위치하며 기판 출입구(12)와 연통된 게이트 밸브측 출입구(120)을 개폐하는 실링 플레이트(1200)와 실링 플레이트(1200)를 풀푸쉬 동작시키는 풀푸쉬 장치(1000)를 구비한다. 이 게이트 밸브측 출입구(120)와 기판 출입구(12)는 기밀 상태로 결합되어야 한다. 그리고 풀푸쉬 장치(1000)를 상하(또는 좌우)로 구동시키는 축(130)과 구동 액츄에이터(140)를 구비한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 게이트 밸브의 단면도와 게이트 밸브의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
따라서 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이 챔버(11) 내부를 외부와 차단하기 위한 동작은 구동 액츄에이터(140)가 풀푸쉬 장치(1000)를 상승시키고, 풀푸쉬 장치(1000)가 실링 플레이트(1200)를 푸쉬 동작으로 전진시켜 게이트 밸브(100)의 케이스(110)에 형성된 게이트 밸브측 출입구(120)와 실링 플레이트(1200)가 기밀 상태로 접하게 함으로써 이루어진다.
그리고 게이트 밸브측 출입구(120)를 개방하는 동작은 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이 풀푸쉬 장치(1000)가 풀 동작으로 실링 플레이트(1200)를 후진시켜 실링 플레이트(1200)와 게이트 밸브측 출입구(120)가 이격되어 게이트 밸브측 출입구(120)가 외부와 연통된 상태가 되도록 함으로써 이루어진다.
또한, 기판(S)의 입출을 위하여 풀푸쉬 장치(1000)가 축(130)과 구동 액츄에이터(140)에 의하여 도 2의 (c)에서와 같이 하강하게 되면 게이트 밸브측 출입구(120)이 완전히 개방되어 외부의 기판반송장치의 블레이드(미도시)가 챔버(11) 내부로 진입 및 진출할 수 있게 된다.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 풀푸쉬 장치에 대하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 게이트 밸브에 구비된 풀푸쉬 장치를 도시한 단면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 풀푸쉬 장치(1000)는 대략 원통 형상으로 형성될 수 있는 하우징(1100)을 구비한다. 하우징(1100)은 외관을 형성하며 내부에 구동을 위한 구성요소들이 위치하는 하우징 몸체(1101)와 하우징 몸체(1101)에 결합되어 하우징 몸체(1101) 내부를 외부와 차단시키는 하우징 커버(1102)를 포함한다.
하우징 커버(1102) 바닥에는 제 1지지홀(1110)과 제 2지지홀(1120)이 서로 대칭하는 위치에 형성된다. 그리고 제 1지지홀(1110)과 제 2지지홀(1120)의 바닥에는 각각의 지지홀(1110)(1120) 내부로 공기의 입출이 가능하도록 하는 벤트라인(1130)이 연결된다. 이 벤트라인(1130)은 도면에 도시되지 않은 외부의 공기 유통 배관에 연결된다. 그리고 하우징 커버(1102)의 바닥 중앙부분에는 하우징 커버(1102)의 바닥 표면에서 단차지게 형성되어 대략 원형의 홈 형상으로 형성된 가압공간(1140)이 형성된다. 그리고 이 가압공간(1140)에 연통되어 하우징(1100)의 외부로 연장된 가압라인(1150)이 구비된다.
하우징(1100)의 일측에는 전술한 실링 플레이트(1200)가 설치된다. 하우징의 몸체(1101) 내부에는 전술한 실링 플레이트(1200)를 풀푸쉬 구동시키기 위한 구동부(1300)가 구비된다. 구동부(1300)는 구동부 몸체(1310)와 구동축(1320)을 포함한다. 구동축(1320)은 하우징 몸체(1101)를 관통하여 끝단이 실링 플레이트(1200)와 결합된다. 구동부 몸체(1310)는 바닥이 가압공간(1140)을 완전히 덮는 크기로 형성되며, 외주 끝단에는 복수개의 지지축(1330)(1340)이 일체로 형성된다.
본 발명의 실시예에서는 지지축(1330)(1340)은 제 1지지축(1330)과 제 2지지축(1340) 두 개로 형성된다. 이 제 1지지축(1330)과 제 2지지축(1340)은 서로 대칭된 위치에 각각 형성된다. 다른 실시예로 지지축은 2개 이상 형성될 수 있다. 그리고 각각의 지지축의 간격은 동일한 간격으로 형성될 수 있다.
제 1지지축(1330)에는 제 1지지축(1330)을 길이 방향으로 관통하는 제 1벤트홀(1331)이 형성되고, 제 2지지축(1340)에는 제 2지지축(1340)을 길이 방향으로 관통하는 제 2벤트홀(1341)이 형성된다. 제 1벤트홀(1331)의 상단은 하우징(1100)의 내부 공간과 연통되고, 하단은 제 1지지홀(1110) 내부와 연통된다. 그리고 제 2벤트홀(1341)의 상단은 하우징(1100)의 내부 공간과 연통되고 하단은 제 2지지홀(1120) 내부와 연통된다.
그리고 지지축(1330)(1340)의 외주면 또는 구동부(1300)의 외주면에는 하우징 커버(1102) 내부와 접하는 부분에 실링 및 원활한 마찰 동작을 위한 적어도 하나 이상의 오링(1600)이 설치된다.
하우징(1100) 내부에는 하우징(1100)내부의 기밀 유지를 위하여 구동부 몸체(1310)에 제 1결합단(1410)이 결합되고, 타단인 제 2결합단(1420)이 하우징(1100)의 구동축(1320)이 관통하는 개구부의 내주에 결합된 벨로우즈(1400)가 설치된다. 따라서 구동축(1320)이 전진하여 외부로 노출되는 동작 중에도 하우징(1100) 내부의 기밀은 유지된다.
그리고 벨로우즈(1400)의 외측에는 일단이 구동부 몸체(1310)에 지지되고, 타단이 하우징(1100)의 내부에 지지되어 구동부 몸체(1310)가 푸쉬 동작을 수행한 후 가압공간(1140)에 공기압이 제거되면 구동부 몸체(1310)를 원래의 위치로 복원시키기 위한 스프링(1500)이 설치된다.
이하에서는 전술한 바와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 풀푸쉬 장치 및 이를 이용한 게이트 밸브와 진공처리장치의 동작에 대하여 설명하기로 한다.
도 1을 참조하여 설명하면 본 발명의 실시예에 따른 진공처리장치(10)는 외부에서 기판(S)이 제공되면 기판(S)을 기판척(13)에 척킹하고, 챔버(11) 내부를 진공상태로 만든 후 공정을 진행한다.
기판(S)이 챔버(11) 내부로 반입되거나 반출될 때 도 2의 "c"에 도시된 바와 같이 게이트 밸브(100)은 구동액츄에이터(140)에 의하여 풀푸쉬 장치(1000)가 하강한 상태가 된다. 이에 따라 케이스(110)의 게이트 밸브측 출입구(120)와 기판 출입구(12)는 개방된 상태가 되고, 이 게이트 밸브측 출입구(120)와 기판 출입구(12)를 통하여 기판이 반입되거나 또는 반출된다.
기판(S)이 챔버(11) 내부로 반입되면 챔버(11) 내부를 진공상태로 만들기 위하여 챔버(11) 내부를 외기와 차단시켜야 한다. 이를 위하여 도 2의 "b" 상태로 구동액츄에이터(140)가 풀푸쉬 장치(1000)를 상승시킨다.
그리고 풀푸쉬 장치(1000)가 설정된 위치에 놓이게 되면 풀푸쉬 장치(1000)는 도 2의 "a"에 도시된 바와 같이 실링 플레이트(1200)를 전진시킨다. 이때의 풀푸쉬 장치(1000)의 푸쉬 동작은 도 4를 참조하여 설명한다.
도 4에 도시된 바와 같이 외부의 가압 공기가 가압라인(1150)을 통하여 가압공간(1140)으로 공급되어 소정의 압력이 가압공간(1140)에 제공되고, 이때의 압력이 스프링(1500)의 탄성력을 극복하게 되면, 구동부(1300)은 이때의 압력에 의하여 전진하고, 스프링(1500)은 압축되고, 벨로우즈(1400)는 팽창한다. 그리고 구동축(1320)은 전진하여 실링 플레이트(1200)를 게이트 밸브측 출입구(120) 측으로 밀착시킨다.
이때 구동부(1300)에 일체로 결합된 제 1지지축(1330)과 제 2지지축(1340)은 함께 전진하고, 동시에 하우징 커버(1102)내부의 공기는 제 1지지축(1330)과 제 2지지축(1340)의 제 1벤트홀(1331)과 제 2벤트홀(1341)을 통하여 벤트라인(1130)으로 배기된다.
이때 제 1벤트홀(1331)과 제 2벤트홀(1341)은 하우징(1102) 내부에 대칭한 위치에 형성되어 있으므로 배기시에 배기 압력차가 구동부(1300)에 일부라도 작용하는 것을 최소화한다. 또한 제 1지지축(1330)과 제 2지지축(1340)은 제 1지지홀(1110)과 제 2지지홀(1120)에 각각 삽입된 상태로 상하 승강하기 때문에 구동부(1300)가 푸쉬 또는 풀동작할 때 그 위치가 변화하는 것을 방지하여 안정적으로 풀푸쉬 동작이 이루어지도록 한다.
한편, 진공처리장치(10)에서 공정이 완료되면 기판을 외부로 반출하여야 한다. 이를 위하여 게이트 밸브(100)는 게이트 밸브측 출입구(120)을 오픈시켜 도 2의 "c" 상태가 되도록 한다. 즉, 풀푸쉬 장치(1000)에 가해지던 공기압을 차단하면 구동부 몸체(1310)는 스프링(1500)의 복원력에 의하여 후진하고, 벨로우즈(1400)는 원래의 상태로 복원한다. 동시에 제 1지지축(1330)과 제 2지지축(1340)은 제 1지지홀(1110)과 제 2지지홀(1120)의 바닥을 향하여 삽입된다. 그리고 벤트라인(1130)과 제 1벤트홀(1331) 및 제 2벤트홀(1341)을 통하여 외부 공기가 하우징의 내부로 유입된다.
이상과 같이 풀푸쉬 장치(1000)가 실링 플레이트(1200)를 후진시키면 구동액츄에이터(140)가 풀푸쉬 장치(1000)를 하강시킨다. 그리고 외부의 기판반입장치가 게이트 밸브측 출입구(120)과 기판 출입구(12)로 삽입되어 기판(S)을 외부로 반출한다.
이상과 같은 본 발명의 실시예에 따른 풀푸쉬 장치(1000)는 풀푸쉬 장치(1000)의 제 1지지축(1330)과 제 2지지축(1340)에 각각 제 1벤트홀(1331)과 제 2벤트홀(1341)이 형성되어 풀푸쉬 장치(1000)에 형성되는 벤트라인(1130)의 배치 및 형상을 단순하게 하여 구동 안정성을 향상할 수 있고, 지지축(1330)(1340)을 구동부(1300)에 일체로 형성하여 풀푸쉬 장치(1000)의 가공 및 조립성을 향상시킬 수 있게 된다.
또한 지지축(1330)(1340)을 복수개로 형성하여 구동부(1300)의 회전을 방지할 수 있으므로 벨로우즈(1400), 오링(1600) 등과 같은 내부 구성품의 파손을 방지할 수 있으며, 각각의 지지축(1330)(1340)에 형성된 벤트홀(1331)(1341)을 통하여 벤트가 균형있게 이루어지도록 하여 구동부(1300)의 균형있는 동작이 가능하게 한다.
이상의 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 본 발명의 실시예를 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
10...진공처리장치
100...게이트 밸브
1000...풀푸쉬 장치
1200...실링 플레이트
1300...구동부
1400...벨로우즈
1500...스프링

Claims (15)

  1. 하우징;
    일단이 상기 하우징을 관통하고, 타단이 상기 하우징 내부 공간에 위치하여 외부에서 제공되는 압력으로 푸쉬 동작하는 구동부;
    상기 구동부에 구비되어 상기 구동부와 함께 상기 하우징에 형성된 지지홀에 삽입되어 구동하며 상기 지지홀과 상기 하우징 내부를 서로 연통시키는 벤트홀이 형성된 적어도 하나 이상의 지지축;
    상기 지지홀에 연통되며 상기 하우징의 내부가 상기 벤트홀과 상기 지지홀을 통하여 상기 하우징의 외부와 연통되도록 하는 벤트라인을 포함하는 풀푸쉬 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 구동부의 외주에는 일단이 상기 하우징 내부에 지지되고 타단이 상기 구동부에 지지된 스프링을 포함하는 풀푸쉬 장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 벤트홀과 상기 지지축은 제 1벤트홀이 형성된 제 1지지축과 제 2벤트홀이 형성된 제 2지지축을 포함하고, 상기 지지홀은 상기 제 1지지축이 삽입되는 제 1지지홀과 상기 제 2지지축이 삽입되는 제 2지지홀을 포함하는 풀푸쉬 장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 구동부는 외부 압력이 가해지는 구동부 몸체와 상기 구동부 몸체에서 연장되어 상기 하우징을 관통하는 구동축을 포함하고, 상기 구동부 몸체의 외주를 따라 연장된 테두리부에 상기 지지축이 형성된 풀푸쉬 장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 벤트홀은 상기 지지축의 길이 방향으로 관통 형성된 풀푸쉬 장치.
  6. 기판 출입구가 형성된 케이스;
    상기 케이스의 내부에 위치하는 하우징, 일단이 상기 하우징을 관통하고, 타단이 상기 하우징 내부 공간에 위치하여 외부에서 제공되는 압력으로 푸쉬 동작하는 구동부, 상기 구동부에 구비되어 상기 구동부와 함께 상기 하우징에 형성된 지지홀에 삽입되어 구동하며 상기 지지홀과 상기 하우징 내부를 서로 연통시키는 벤트홀이 형성된 적어도 하나 이상의 지지축, 상기 지지홀에 연통되며 상기 하우징의 내부가 상기 벤트홀과 상기 지지홀을 통하여 상기 하우징의 외부와 연통되도록 하는 벤트라인을 포함하는 풀푸쉬 장치;
    상기 풀푸쉬 장치에 의하여 전후진 하는 실링 플레이트;
    상기 풀푸쉬 장치를 상기 기판 출입구 측으로 이동시키는 구동 액츄에이터를 포함하는 게이트 밸브.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 구동부의 외주에는 일단이 상기 하우징 내부에 지지되고 타단이 상기 구동부에 지지된 스프링을 포함하는 게이트 밸브.
  8. 제 6항에 있어서, 상기 벤트홀과 상기 지지축은 제 1벤트홀이 형성된 제 1지지축과 제 2벤트홀이 형성된 제 2지지축을 포함하고, 상기 지지홀은 상기 제 1지지축이 삽입되는 제 1지지홀과 상기 제 2지지축이 삽입되는 제 2지지홀을 포함하는 게이트 밸브.
  9. 제 6항에 있어서, 상기 구동부는 외부 압력이 가해지는 구동부 몸체와 상기 구동부 몸체에서 연장되어 상기 하우징을 관통하는 구동축을 포함하고, 상기 구동부 몸체의 외주를 따라 연장된 테두리부에 상기 지지축이 형성된 게이트 밸브.
  10. 제 6항에 있어서, 상기 벤트홀은 상기 지지축의 길이 방향으로 관통 형성된 게이트 밸브.
  11. 기판이 출입하는 기판 출입구가 형성된 챔버;
    상기 챔버의 상기 기판 출입구의 외측에 설치되며 상기 기판 출입구와 연통하는 게이트가 형성된 케이스와, 상기 케이스의 내부에 위치하는 하우징과, 일단이 상기 하우징을 관통하고, 타단이 상기 하우징 내부 공간에 위치하여 외부에서 제공되는 압력으로 푸쉬 동작하는 구동부와, 상기 구동부에 구비되어 상기 구동부와 함께 상기 하우징에 형성된 지지홀에 삽입되어 구동하며 상기 지지홀과 상기 하우징 내부를 서로 연통시키는 벤트홀이 형성된 적어도 하나 이상의 지지축과, 상기 지지홀에 연통되며 상기 하우징의 내부가 상기 벤트홀과 상기 지지홀을 통하여 상기 하우징의 외부와 연통되도록 하는 벤트라인을 포함하는 풀푸쉬 장치와 상기 풀푸쉬 장치에 의하여 전후진 하는 실링 플레이트, 상기 풀푸쉬 장치를 상기 기판 출입구 측으로 이동시키는 구동 액츄에이터를 포함하는 게이트 밸브를 구비하는 진공처리장치.
  12. 제 11항에 있어서, 상기 구동부의 외주에는 일단이 상기 하우징 내부에 지지되고 타단이 상기 구동부에 지지된 스프링을 포함하는 진공처리장치.
  13. 제 11항에 있어서, 상기 벤트홀과 상기 지지축은 제 1벤트홀이 형성된 제 1지지축과 제 2벤트홀이 형성된 제 2지지축을 포함하고, 상기 지지홀은 상기 제 1지지축이 삽입되는 제 1지지홀과 상기 제 2지지축이 삽입되는 제 2지지홀을 포함하는 진공처리장치.
  14. 제 11항에 있어서, 상기 구동부는 외부 압력이 가해지는 구동부 몸체와 상기 구동부 몸체에서 연장되어 상기 하우징을 관통하는 구동축을 포함하고, 상기 구동부 몸체의 외주를 따라 연장된 테두리부에 상기 지지축이 형성된 진공처리장치.
  15. 제 11항에 있어서, 상기 벤트홀은 상기 지지축의 길이 방향으로 관통 형성된 진공처리장치.
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