JP2000133691A - 真空搬送装置 - Google Patents
真空搬送装置Info
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- JP2000133691A JP2000133691A JP30521398A JP30521398A JP2000133691A JP 2000133691 A JP2000133691 A JP 2000133691A JP 30521398 A JP30521398 A JP 30521398A JP 30521398 A JP30521398 A JP 30521398A JP 2000133691 A JP2000133691 A JP 2000133691A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 弁体駆動用の駆動源の駆動力の軽減を図る。
【解決手段】 ロードロック室１０および搬送室１２
は、互いに隣接しており、これらの境界部に形成された
第１開口１４により互いに連通している。第１開口を含
む上部隔壁１２ａの位置には、搬送室内側から弁体１８
が固定シール材としてのＯリング１９を介して当接して
いる。弁体は、シャフト２４により第２アクチュエータ
２６と結合され、搬送室内で上下方向に移動可能であ
る。搬送室内には、搬送室と第２アクチュエータとの間
を隔離するための可動シール材として、ベローズ３０が
設けられている。ベローズは、シャフトの周りに設けら
れていて、弁体と搬送室の内壁との間をシールし、シャ
フトが位置する側を大気圧状態に保持する。ベローズの
径を、弁体が着座したときのＯリングの外径より大きく
してある。ベローズの径は弁体の下面の径と合わせてあ
るため、弁体の下面に作用する正圧は、弁体の上面に作
用する逆圧に比べて大きくなる。
は、互いに隣接しており、これらの境界部に形成された
第１開口１４により互いに連通している。第１開口を含
む上部隔壁１２ａの位置には、搬送室内側から弁体１８
が固定シール材としてのＯリング１９を介して当接して
いる。弁体は、シャフト２４により第２アクチュエータ
２６と結合され、搬送室内で上下方向に移動可能であ
る。搬送室内には、搬送室と第２アクチュエータとの間
を隔離するための可動シール材として、ベローズ３０が
設けられている。ベローズは、シャフトの周りに設けら
れていて、弁体と搬送室の内壁との間をシールし、シャ
フトが位置する側を大気圧状態に保持する。ベローズの
径を、弁体が着座したときのＯリングの外径より大きく
してある。ベローズの径は弁体の下面の径と合わせてあ
るため、弁体の下面に作用する正圧は、弁体の上面に作
用する逆圧に比べて大きくなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、真空搬送装置、
特に、真空と大気とを隔離するためのシール機構に関す
る。
特に、真空と大気とを隔離するためのシール機構に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空搬送装置としては、例えばア
ネルバ社製のマルチチャンバドライエッチングシステム
ＩＬＤ−４１００（商品名）がある。この装置には、ウ
エハを装置内に導入するためのロードロック室および搬
送室が設けられている。被処理対象のウエハは最初にロ
ードロック室内に搬入される。続いて、ロードロック室
内が真空ポンプにより排気された後、ロードロック室お
よび搬送室間を隔離していた弁体が搬送室側へ移動し
て、ウエハを搬送室内に搬送する。ウエハは、伸縮自在
のアームにより搬送室内から所定の処理室へと移送され
た後、処理が施される。
ネルバ社製のマルチチャンバドライエッチングシステム
ＩＬＤ−４１００（商品名）がある。この装置には、ウ
エハを装置内に導入するためのロードロック室および搬
送室が設けられている。被処理対象のウエハは最初にロ
ードロック室内に搬入される。続いて、ロードロック室
内が真空ポンプにより排気された後、ロードロック室お
よび搬送室間を隔離していた弁体が搬送室側へ移動し
て、ウエハを搬送室内に搬送する。ウエハは、伸縮自在
のアームにより搬送室内から所定の処理室へと移送され
た後、処理が施される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
真空搬送装置には、弁体を駆動する駆動源と搬送室との
間を隔離するシール機構に問題があった。以下、図３を
参照して、この問題につき説明する。図３は、従来の真
空搬送装置の主要構成を示す断面図である。
真空搬送装置には、弁体を駆動する駆動源と搬送室との
間を隔離するシール機構に問題があった。以下、図３を
参照して、この問題につき説明する。図３は、従来の真
空搬送装置の主要構成を示す断面図である。
【０００４】図３に示すように、真空搬送装置は、ロー
ドロック室１０と、搬送室１２とを具えている。搬送室
１２の上部隔壁１２ａに第１開口１４を形成してあり、
第１開口１４を塞ぐようにして上蓋１６が上部隔壁１２
ａの上に載置されている。また、第１開口１４を含む上
部隔壁１２ａの位置には、搬送室１２内側から弁体１８
が固定シール材としてのＯリング１９を介して当接して
いる。これら上蓋１６、上部隔壁１２ａおよび弁体１８
によりロードロック室１０が画成されている。
ドロック室１０と、搬送室１２とを具えている。搬送室
１２の上部隔壁１２ａに第１開口１４を形成してあり、
第１開口１４を塞ぐようにして上蓋１６が上部隔壁１２
ａの上に載置されている。また、第１開口１４を含む上
部隔壁１２ａの位置には、搬送室１２内側から弁体１８
が固定シール材としてのＯリング１９を介して当接して
いる。これら上蓋１６、上部隔壁１２ａおよび弁体１８
によりロードロック室１０が画成されている。
【０００５】上述の上蓋１６は、連結部２０を介して第
１アクチュエータ２２に結合されている。この第１アク
チュエータ２２は、上蓋１６を開閉するための駆動源で
ある。
１アクチュエータ２２に結合されている。この第１アク
チュエータ２２は、上蓋１６を開閉するための駆動源で
ある。
【０００６】また、弁体１８は、シャフト２４を介して
第２アクチュエータ２６に結合されている。シャフト２
４は円筒形状の部材であり、弁体１８の下面側にその一
端が接続されている。一方、シャフト２４の他端は、弁
体１８の下方に設置された第２アクチュエータ２６の側
に向かって延在して、搬送室１２を画成する下部隔壁１
２ｂに形成された第２開口２８を通って第２アクチュエ
ータ２６に結合されている。シャフト２４は、第２アク
チュエータ２６によってその延在方向（長手方向。図
中、矢印ａで示す方向。）に沿って移動される。従っ
て、弁体１８もシャフト２４と共に図中の上下方向に移
動することができる。
第２アクチュエータ２６に結合されている。シャフト２
４は円筒形状の部材であり、弁体１８の下面側にその一
端が接続されている。一方、シャフト２４の他端は、弁
体１８の下方に設置された第２アクチュエータ２６の側
に向かって延在して、搬送室１２を画成する下部隔壁１
２ｂに形成された第２開口２８を通って第２アクチュエ
ータ２６に結合されている。シャフト２４は、第２アク
チュエータ２６によってその延在方向（長手方向。図
中、矢印ａで示す方向。）に沿って移動される。従っ
て、弁体１８もシャフト２４と共に図中の上下方向に移
動することができる。
【０００７】また、搬送室１２と第２アクチュエータ２
６との間は、可動シール材としてのベローズ３０により
隔離されている。ベローズ３０の内側（シャフト２４が
位置する側）とベローズ３０の外側とは、異なる気圧に
保持することが可能である。ベローズ３０の一端は下部
隔壁１２ｂに接続されており、ベローズ３０の他端はシ
ャフト２４の下端（第２アクチュエータ２６に結合する
側）に接続されている。ベローズ３０は、シャフト２４
の移動に伴い伸縮自在である。
６との間は、可動シール材としてのベローズ３０により
隔離されている。ベローズ３０の内側（シャフト２４が
位置する側）とベローズ３０の外側とは、異なる気圧に
保持することが可能である。ベローズ３０の一端は下部
隔壁１２ｂに接続されており、ベローズ３０の他端はシ
ャフト２４の下端（第２アクチュエータ２６に結合する
側）に接続されている。ベローズ３０は、シャフト２４
の移動に伴い伸縮自在である。
【０００８】次に、外部からウエハをロードロック室１
０に搬入し、そのウエハを搬送室１２側へ搬送する動作
につき説明する。
０に搬入し、そのウエハを搬送室１２側へ搬送する動作
につき説明する。
【０００９】初期状態では、弁体１８が上部隔壁１２ａ
に当接すなわち着座しており、ロードロック室１０と搬
送室１２とは隔離されている。また、ロードロック室１
０内は大気圧の状態とし、搬送室１２内は大気圧よりも
低い所定の圧力の状態（真空状態）になっている。
に当接すなわち着座しており、ロードロック室１０と搬
送室１２とは隔離されている。また、ロードロック室１
０内は大気圧の状態とし、搬送室１２内は大気圧よりも
低い所定の圧力の状態（真空状態）になっている。
【００１０】先ず、第１アクチュエータ２２を作動させ
て、上蓋１６を開く。そして、弁体１８の上面に設けら
れた基板保持部３２にウエハ３４を設置する。次に、上
蓋１６を閉じてから荒引用カットバルブ３６を開いて、
真空ポンプ３８によりロードロック室１０内の排気を行
なう。ロードロック室１０内が所定の圧力以下になった
ことを確認した後、第２アクチュエータ２６を作動させ
て、弁体１８をウエハ３４と共に搬送室１２内に引き込
ませる。弁体１８が所定の搬送位置まで下降すると、ロ
ボットやアクチュエータにより、処理室または他の搬送
室にウエハ３４が搬送される。
て、上蓋１６を開く。そして、弁体１８の上面に設けら
れた基板保持部３２にウエハ３４を設置する。次に、上
蓋１６を閉じてから荒引用カットバルブ３６を開いて、
真空ポンプ３８によりロードロック室１０内の排気を行
なう。ロードロック室１０内が所定の圧力以下になった
ことを確認した後、第２アクチュエータ２６を作動させ
て、弁体１８をウエハ３４と共に搬送室１２内に引き込
ませる。弁体１８が所定の搬送位置まで下降すると、ロ
ボットやアクチュエータにより、処理室または他の搬送
室にウエハ３４が搬送される。
【００１１】また、搬送室１２内のウエハ３４をロード
ロック室１０側に搬送する場合は、上述の手順と逆の手
順で行なえばよい。先ず、第２アクチュエータ２６によ
り、ウエハ３４を載せた弁体１８を上昇させ、上部隔壁
１２ａに対し着座させる。そして、ＶＥＮＴ用カットバ
ルブ４０を開けてロードロック室１０内にＶＥＮＴガス
を導入する。ロードロック室１０内が大気圧になったこ
とを確認した後、第１アクチュエータ２２により上蓋１
６が開けられる。ウエハ３４は、大気側に設置されたロ
ボットやアクチュエータやウエハピンセット等により所
定の場所へと搬送される。
ロック室１０側に搬送する場合は、上述の手順と逆の手
順で行なえばよい。先ず、第２アクチュエータ２６によ
り、ウエハ３４を載せた弁体１８を上昇させ、上部隔壁
１２ａに対し着座させる。そして、ＶＥＮＴ用カットバ
ルブ４０を開けてロードロック室１０内にＶＥＮＴガス
を導入する。ロードロック室１０内が大気圧になったこ
とを確認した後、第１アクチュエータ２２により上蓋１
６が開けられる。ウエハ３４は、大気側に設置されたロ
ボットやアクチュエータやウエハピンセット等により所
定の場所へと搬送される。
【００１２】以上説明したように、従来の構成では、弁
体１８を駆動する駆動源（第２アクチュエータ２６）と
搬送室１２との間を隔離するシール機構として、ベロー
ズ３０が用いられている。そして、このベローズ３０の
径はシャフト２４の径に合わせて選定されている。一般
に、シャフト２４の径は弁体１８の径より小さいので、
ベローズ３０の径も弁体１８の径より小さい。さらに言
えば、通常、ベローズ３０の径は、弁体１８と上部隔壁
１２ａとの間をシールするＯリング１９の径に比べて小
さい。従って、この場合に問題なのは、弁体１８、シャ
フト２４およびベローズ３０に作用する圧力において、
正圧に比して逆圧が大きくなってしまうということであ
る。
体１８を駆動する駆動源（第２アクチュエータ２６）と
搬送室１２との間を隔離するシール機構として、ベロー
ズ３０が用いられている。そして、このベローズ３０の
径はシャフト２４の径に合わせて選定されている。一般
に、シャフト２４の径は弁体１８の径より小さいので、
ベローズ３０の径も弁体１８の径より小さい。さらに言
えば、通常、ベローズ３０の径は、弁体１８と上部隔壁
１２ａとの間をシールするＯリング１９の径に比べて小
さい。従って、この場合に問題なのは、弁体１８、シャ
フト２４およびベローズ３０に作用する圧力において、
正圧に比して逆圧が大きくなってしまうということであ
る。
【００１３】一般に、上述した初期状態のように、弁体
１８が上部隔壁１２ａに着座していてロードロック室１
０内が大気圧の場合（搬送室１２内は真空状態の場合）
には、弁体１８の着座状態を妨げる方向に逆圧が発生す
る。一方、ベローズ３０およびシャフト２４の下端側か
らは、弁体１８の着座状態を保持する方向に正圧が作用
している。そして、従来構成では、ベローズ３０の径が
弁体１８と上部隔壁１２ａとの間をシールするＯリング
１９の径に比べて小さいため、ロードロック室１０側か
ら作用する逆圧の方が第２アクチュエータ２６側から作
用する正圧に比べて大きくなる。このため、ロードロッ
ク室１０および搬送室１２間のシールが破れてしまうお
それがある。よって、弁体１８を駆動するための第２ア
クチュエータ２６には比較的大きな駆動力が求められ、
必然的に駆動部が大型化してしまうという問題があっ
た。近年のウエハの大口径化に伴い、このような問題が
顕著に現れるようになってきている。
１８が上部隔壁１２ａに着座していてロードロック室１
０内が大気圧の場合（搬送室１２内は真空状態の場合）
には、弁体１８の着座状態を妨げる方向に逆圧が発生す
る。一方、ベローズ３０およびシャフト２４の下端側か
らは、弁体１８の着座状態を保持する方向に正圧が作用
している。そして、従来構成では、ベローズ３０の径が
弁体１８と上部隔壁１２ａとの間をシールするＯリング
１９の径に比べて小さいため、ロードロック室１０側か
ら作用する逆圧の方が第２アクチュエータ２６側から作
用する正圧に比べて大きくなる。このため、ロードロッ
ク室１０および搬送室１２間のシールが破れてしまうお
それがある。よって、弁体１８を駆動するための第２ア
クチュエータ２６には比較的大きな駆動力が求められ、
必然的に駆動部が大型化してしまうという問題があっ
た。近年のウエハの大口径化に伴い、このような問題が
顕著に現れるようになってきている。
【００１４】従って、従来より、弁体駆動用の駆動源の
駆動力の軽減が図れる装置構成を実現することが望まれ
ていた。
駆動力の軽減が図れる装置構成を実現することが望まれ
ていた。
【００１５】
【課題を解決するための手段】そこで、この発明の真空
搬送装置によれば、互いに隣接しており、境界部に形成
された第１開口により連通している搬送室およびロード
ロック室と、搬送室内に移動可能に設けられていて、第
１開口に固定シール材を介して着座したときに搬送室お
よびロードロック室間を隔離する弁体と、弁体を駆動す
る駆動源と、搬送室を画成する隔壁に形成された第２開
口に挿通され、駆動源と弁体との間を結合し、駆動源で
発生した駆動力を弁体に伝達するためのシャフトと、シ
ャフトの周りに設けられていて、弁体と搬送室の内壁と
の間をシールし、シャフトが位置する側を大気圧状態に
保持する可動シール材とを具えており、可動シール材の
径を、弁体が着座したときの固定シール材の外径より大
きくしてあることを特徴とする。
搬送装置によれば、互いに隣接しており、境界部に形成
された第１開口により連通している搬送室およびロード
ロック室と、搬送室内に移動可能に設けられていて、第
１開口に固定シール材を介して着座したときに搬送室お
よびロードロック室間を隔離する弁体と、弁体を駆動す
る駆動源と、搬送室を画成する隔壁に形成された第２開
口に挿通され、駆動源と弁体との間を結合し、駆動源で
発生した駆動力を弁体に伝達するためのシャフトと、シ
ャフトの周りに設けられていて、弁体と搬送室の内壁と
の間をシールし、シャフトが位置する側を大気圧状態に
保持する可動シール材とを具えており、可動シール材の
径を、弁体が着座したときの固定シール材の外径より大
きくしてあることを特徴とする。
【００１６】このように、搬送室内に可動シール材を設
けてあり、この可動シール材のシャフトが位置する側を
大気圧状態にしてある。そして、この可動シール材の径
を、弁体が着座したときの固定シール材の外径より大き
くしてあるため、ロードロック室側から弁体に作用する
逆圧が、駆動源側から弁体に作用する正圧に比べて小さ
くなる。従って、駆動源の駆動力の軽減が図れるため、
駆動源の小型化が実現される。
けてあり、この可動シール材のシャフトが位置する側を
大気圧状態にしてある。そして、この可動シール材の径
を、弁体が着座したときの固定シール材の外径より大き
くしてあるため、ロードロック室側から弁体に作用する
逆圧が、駆動源側から弁体に作用する正圧に比べて小さ
くなる。従って、駆動源の駆動力の軽減が図れるため、
駆動源の小型化が実現される。
【００１７】この発明の真空搬送装置において、好まし
くは、可動シール材として、弁体と搬送室の内壁とを接
続するベローズを用いていると良い。
くは、可動シール材として、弁体と搬送室の内壁とを接
続するベローズを用いていると良い。
【００１８】また、この発明の真空搬送装置において、
好ましくは、可動シール材として、弁体に接続したプレ
ートを用いており、このプレートが、弁体の移動方向に
対して直交する方向に張り出した搬送室内壁の凸部に当
接した状態で弁体と共に移動可能に支持されていると良
い。
好ましくは、可動シール材として、弁体に接続したプレ
ートを用いており、このプレートが、弁体の移動方向に
対して直交する方向に張り出した搬送室内壁の凸部に当
接した状態で弁体と共に移動可能に支持されていると良
い。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図を参照して、この発明の
実施の形態につき説明する。尚、図は、この発明が理解
できる程度に大きさ、形状および配置関係が概略的に示
されているに過ぎない。また、以下に記載される数値条
件や材料等は単なる一例に過ぎない。従って、この発明
は、この実施の形態に何ら限定されることがない。
実施の形態につき説明する。尚、図は、この発明が理解
できる程度に大きさ、形状および配置関係が概略的に示
されているに過ぎない。また、以下に記載される数値条
件や材料等は単なる一例に過ぎない。従って、この発明
は、この実施の形態に何ら限定されることがない。
【００２０】〔第１の実施の形態〕真空搬送装置の第１
構成例につき、図１を参照して説明する。図１は、真空
搬送装置の第１構成を示す断面図である。
構成例につき、図１を参照して説明する。図１は、真空
搬送装置の第１構成を示す断面図である。
【００２１】図１に主要部が示されているように、この
実施の形態の真空搬送装置は、ロードロック室１０と、
搬送室１２とを具えている。これらロードロック室１０
および搬送室１２は、互いに隣接しており、これらの境
界部に形成された第１開口１４により互いに連通してい
る。すなわち、搬送室１２の上部隔壁１２ａに第１開口
１４を形成してあり、第１開口１４を塞ぐようにして上
蓋１６が上部隔壁１２ａの上に載置されている。また、
第１開口１４を含む上部隔壁１２ａの位置には、搬送室
１２内側から弁体１８が固定シール材としてのＯリング
１９を介して当接している。これら上蓋１６、上部隔壁
１２ａおよび弁体１８によりロードロック室１０が画成
されている。
実施の形態の真空搬送装置は、ロードロック室１０と、
搬送室１２とを具えている。これらロードロック室１０
および搬送室１２は、互いに隣接しており、これらの境
界部に形成された第１開口１４により互いに連通してい
る。すなわち、搬送室１２の上部隔壁１２ａに第１開口
１４を形成してあり、第１開口１４を塞ぐようにして上
蓋１６が上部隔壁１２ａの上に載置されている。また、
第１開口１４を含む上部隔壁１２ａの位置には、搬送室
１２内側から弁体１８が固定シール材としてのＯリング
１９を介して当接している。これら上蓋１６、上部隔壁
１２ａおよび弁体１８によりロードロック室１０が画成
されている。
【００２２】上述の上蓋１６は、連結部２０を介して第
１アクチュエータ２２に結合されている。この第１アク
チュエータ２２は、上蓋１６を開閉するための駆動源で
ある。
１アクチュエータ２２に結合されている。この第１アク
チュエータ２２は、上蓋１６を開閉するための駆動源で
ある。
【００２３】また、上述の弁体１８は、搬送室１２内に
移動可能に設けられていて、第１開口１４にＯリング１
９を介して着座したときに搬送室１２およびロードロッ
ク室１０間を隔離するものである。この例では、弁体１
８は略円盤形状の板体により構成されている。一般に
は、弁体１８はステンレスにより形成される。
移動可能に設けられていて、第１開口１４にＯリング１
９を介して着座したときに搬送室１２およびロードロッ
ク室１０間を隔離するものである。この例では、弁体１
８は略円盤形状の板体により構成されている。一般に
は、弁体１８はステンレスにより形成される。
【００２４】この弁体１８は、搬送室１２の下側（ロー
ドロック室１０とは反対の側）に設けられた第２アクチ
ュエータ２６を駆動源として、搬送室１２内で上下方向
（図１中の矢印ａで示す方向）に移動可能である。この
ように構成するため、弁体１８と第２アクチュエータ２
６とは、シャフト２４により結合されている。
ドロック室１０とは反対の側）に設けられた第２アクチ
ュエータ２６を駆動源として、搬送室１２内で上下方向
（図１中の矢印ａで示す方向）に移動可能である。この
ように構成するため、弁体１８と第２アクチュエータ２
６とは、シャフト２４により結合されている。
【００２５】このシャフト２４は、搬送室１２を画成す
る下部隔壁１２ｂに形成された第２開口２８に挿通され
る円筒形状の部材である。シャフト２４は、例えばアル
ミニウムにより形成されている。シャフト２４は、その
長手方向が弁体１８の移動方向ａと一致した状態に設け
られる。シャフト２４の一端は弁体１８の下面（搬送室
１２内に面した面）に接続され、シャフト２４の他端は
第２開口２８を経て第２アクチュエータ２６に接続され
ている。このシャフト２４により、第２アクチュエータ
２６で発生した駆動力が弁体１８に伝達される。つま
り、第２アクチュエータ２６が作動するとシャフト２４
が上下方向ａに沿って動き、弁体１８を上下方向ａに移
動させる構成となっている。
る下部隔壁１２ｂに形成された第２開口２８に挿通され
る円筒形状の部材である。シャフト２４は、例えばアル
ミニウムにより形成されている。シャフト２４は、その
長手方向が弁体１８の移動方向ａと一致した状態に設け
られる。シャフト２４の一端は弁体１８の下面（搬送室
１２内に面した面）に接続され、シャフト２４の他端は
第２開口２８を経て第２アクチュエータ２６に接続され
ている。このシャフト２４により、第２アクチュエータ
２６で発生した駆動力が弁体１８に伝達される。つま
り、第２アクチュエータ２６が作動するとシャフト２４
が上下方向ａに沿って動き、弁体１８を上下方向ａに移
動させる構成となっている。
【００２６】次に、搬送室１２内には、搬送室１２と第
２アクチュエータ２６との間を隔離するための可動シー
ル材として、ベローズ３０が設けられている。
２アクチュエータ２６との間を隔離するための可動シー
ル材として、ベローズ３０が設けられている。
【００２７】このベローズ３０は、上述したシャフト２
４の周りに設けられていて、弁体１８と搬送室１２の内
壁との間をシールし、シャフト２４が位置する側を大気
圧状態に保持するものである。ベローズ３０は略円筒形
状の部材であり、その延在方向に伸縮自在なシール材で
ある。通常、ベローズ３０はステンレスにより形成され
ている。このベローズ３０の一端は、弁体１８の下面
に、Ｏリングを介して、あるいは、溶接によって、接続
されている。一方、ベローズ３０の他端は、下部隔壁１
２ｂの内面に接続されている。このように、ベローズ３
０によって弁体１８と搬送室１２の内壁との間がシール
される。ベローズ３０は、シャフト２４および弁体１８
の運動に伴い伸縮するため、この運動によりシールが破
れることはない。よって、シャフト２４が位置する側が
搬送室１２内から隔離されるので、シャフト２４が位置
する側を大気圧状態に保持し、かつ、他の搬送室１２内
部を真空状態に保持することができる。
４の周りに設けられていて、弁体１８と搬送室１２の内
壁との間をシールし、シャフト２４が位置する側を大気
圧状態に保持するものである。ベローズ３０は略円筒形
状の部材であり、その延在方向に伸縮自在なシール材で
ある。通常、ベローズ３０はステンレスにより形成され
ている。このベローズ３０の一端は、弁体１８の下面
に、Ｏリングを介して、あるいは、溶接によって、接続
されている。一方、ベローズ３０の他端は、下部隔壁１
２ｂの内面に接続されている。このように、ベローズ３
０によって弁体１８と搬送室１２の内壁との間がシール
される。ベローズ３０は、シャフト２４および弁体１８
の運動に伴い伸縮するため、この運動によりシールが破
れることはない。よって、シャフト２４が位置する側が
搬送室１２内から隔離されるので、シャフト２４が位置
する側を大気圧状態に保持し、かつ、他の搬送室１２内
部を真空状態に保持することができる。
【００２８】そして、このベローズ３０の径（図１中の
矢印ｂで示される径）を、弁体１８が着座したときのＯ
リング１９の外径（図１中の矢印ｃで示される径）より
大きくしてある。ベローズ３０の径は弁体１８の下面の
径と合わせてあるため、弁体１８の下面に作用する正圧
は、弁体１８の上面に作用する逆圧に比べて大きくな
る。従って、弁体１８が着座状態であり、かつロードロ
ック室１０内が大気圧状態のとき、従来は逆圧が正圧に
勝るためＯリング１９によるシール機能が破れるおそれ
があったが、このような心配がなくなる。つまり、弁体
１８を着座状態に保持する第２アクチュエータ２６の駆
動力が従来より小さくて済み、この結果、第２アクチュ
エータ２６の小型化が期待できる。
矢印ｂで示される径）を、弁体１８が着座したときのＯ
リング１９の外径（図１中の矢印ｃで示される径）より
大きくしてある。ベローズ３０の径は弁体１８の下面の
径と合わせてあるため、弁体１８の下面に作用する正圧
は、弁体１８の上面に作用する逆圧に比べて大きくな
る。従って、弁体１８が着座状態であり、かつロードロ
ック室１０内が大気圧状態のとき、従来は逆圧が正圧に
勝るためＯリング１９によるシール機能が破れるおそれ
があったが、このような心配がなくなる。つまり、弁体
１８を着座状態に保持する第２アクチュエータ２６の駆
動力が従来より小さくて済み、この結果、第２アクチュ
エータ２６の小型化が期待できる。
【００２９】一例では、Ｏリング１９の外径が２６０ｍ
ｍであるとき、ベローズ３０の内径を最小部で３００ｍ
ｍ程度とし、最大部で４００ｍｍ程度にすると良い。シ
ャフト２４の径は７０ｍｍ程度であるから、正圧が作用
する面の大きさが従来に比べてかなり大きくなる。
ｍであるとき、ベローズ３０の内径を最小部で３００ｍ
ｍ程度とし、最大部で４００ｍｍ程度にすると良い。シ
ャフト２４の径は７０ｍｍ程度であるから、正圧が作用
する面の大きさが従来に比べてかなり大きくなる。
【００３０】尚、この真空搬送装置の動作については、
従来と同じであるから説明を省略する。従来構成と同様
に、真空ポンプ３８が荒引用カットバルブ３６を介して
ロードロック室１０に接続されており、ロードロック室
１０内の排気が行われる。また、ロードロック室１０に
接続されたＶＥＮＴ用カットバルブ４０を開けてロード
ロック室１０内にＶＥＮＴガスを導入することができ
る。弁体１８の上面には、ウエハ３４を支持するための
基板保持部３２が設置されている。これらの構成によ
り、外部からウエハ３４をロードロック室１０内に搬入
し、そのウエハ３４を搬送室１２側へ搬送することがで
きる。あるいは、搬送室１２内のウエハ３４をロードロ
ック室１０側に搬送することができる。
従来と同じであるから説明を省略する。従来構成と同様
に、真空ポンプ３８が荒引用カットバルブ３６を介して
ロードロック室１０に接続されており、ロードロック室
１０内の排気が行われる。また、ロードロック室１０に
接続されたＶＥＮＴ用カットバルブ４０を開けてロード
ロック室１０内にＶＥＮＴガスを導入することができ
る。弁体１８の上面には、ウエハ３４を支持するための
基板保持部３２が設置されている。これらの構成によ
り、外部からウエハ３４をロードロック室１０内に搬入
し、そのウエハ３４を搬送室１２側へ搬送することがで
きる。あるいは、搬送室１２内のウエハ３４をロードロ
ック室１０側に搬送することができる。
【００３１】〔第２の実施の形態〕次に、真空搬送装置
の第２構成につき、図２を参照して説明する。図２は、
真空搬送装置の第２構成を示す断面図である。尚、第２
構成は可動シール材としてベローズ以外のものを採用し
た例であり、他の主要構成については第１構成と変わり
がない。従って、主として、可動シール材近傍の構成に
ついて説明を行い、他の重複する構成については説明を
省略する。
の第２構成につき、図２を参照して説明する。図２は、
真空搬送装置の第２構成を示す断面図である。尚、第２
構成は可動シール材としてベローズ以外のものを採用し
た例であり、他の主要構成については第１構成と変わり
がない。従って、主として、可動シール材近傍の構成に
ついて説明を行い、他の重複する構成については説明を
省略する。
【００３２】この構成例では、可動シール材として、プ
レート４２を用いている。このプレート４２は、円筒形
状の部材で構成され、その延在方向（図２中の矢印ａで
示す方向）がシャフト２４の長手方向と一致した状態で
搬送室１２内に設けられる。プレート４２の一端は弁体
１８の下面側に接続されており、プレート４２は弁体１
８と共に移動が可能である。一方、プレート４２の他端
はフリーにしてある。プレート４２の長さは、弁体１８
が搬送位置まで下降したときにフリー状態の端部が下部
隔壁１２ｂに接触するか、あるいは接触しないように設
計し、弁体１８の上下運動の妨げとならないように構成
する。
レート４２を用いている。このプレート４２は、円筒形
状の部材で構成され、その延在方向（図２中の矢印ａで
示す方向）がシャフト２４の長手方向と一致した状態で
搬送室１２内に設けられる。プレート４２の一端は弁体
１８の下面側に接続されており、プレート４２は弁体１
８と共に移動が可能である。一方、プレート４２の他端
はフリーにしてある。プレート４２の長さは、弁体１８
が搬送位置まで下降したときにフリー状態の端部が下部
隔壁１２ｂに接触するか、あるいは接触しないように設
計し、弁体１８の上下運動の妨げとならないように構成
する。
【００３３】また、プレート４２は、弁体１８の移動方
向ａに対して直交する方向に突出した搬送室１２内壁の
凸部４４に当接した状態で弁体１８と共に移動可能に支
持されている。この凸部４４は、搬送室１２を画成する
側壁１２ｃの内壁に形成されている。この凸部４４の先
端が、プレート４２にＯリングを介して常に接触するよ
うにしてある。よって、プレート４２により囲まれる搬
送室１２部分が他の搬送室１２部分から隔離されるの
で、プレート４２がシールとして機能するようになる。
また、凸部４４は、弁体１８が上下運動する際に、プレ
ート４２の横ずれを防止するためのガイドとしても機能
する。
向ａに対して直交する方向に突出した搬送室１２内壁の
凸部４４に当接した状態で弁体１８と共に移動可能に支
持されている。この凸部４４は、搬送室１２を画成する
側壁１２ｃの内壁に形成されている。この凸部４４の先
端が、プレート４２にＯリングを介して常に接触するよ
うにしてある。よって、プレート４２により囲まれる搬
送室１２部分が他の搬送室１２部分から隔離されるの
で、プレート４２がシールとして機能するようになる。
また、凸部４４は、弁体１８が上下運動する際に、プレ
ート４２の横ずれを防止するためのガイドとしても機能
する。
【００３４】そして、このプレート４２の径（図２中の
矢印ｂで示される径）を、弁体１８が着座したときのＯ
リング１９の外径（図２中の矢印ｃで示される径）より
大きくしてある。プレート４２の径は弁体１８の下面の
径と合わせてあるため、弁体１８の下面に作用する正圧
は、弁体１８の上面に作用する逆圧に比べて大きくな
る。従って、弁体１８が着座状態であり、かつロードロ
ック室１０内が大気圧状態のとき、従来は逆圧が正圧に
勝るためＯリング１９によるシール機能が破れるおそれ
があったが、このような心配がなくなる。つまり、弁体
１８を着座状態に保持する第２アクチュエータ２６の駆
動力が従来より小さくて済み、この結果、第２アクチュ
エータ２６の小型化が期待できる。
矢印ｂで示される径）を、弁体１８が着座したときのＯ
リング１９の外径（図２中の矢印ｃで示される径）より
大きくしてある。プレート４２の径は弁体１８の下面の
径と合わせてあるため、弁体１８の下面に作用する正圧
は、弁体１８の上面に作用する逆圧に比べて大きくな
る。従って、弁体１８が着座状態であり、かつロードロ
ック室１０内が大気圧状態のとき、従来は逆圧が正圧に
勝るためＯリング１９によるシール機能が破れるおそれ
があったが、このような心配がなくなる。つまり、弁体
１８を着座状態に保持する第２アクチュエータ２６の駆
動力が従来より小さくて済み、この結果、第２アクチュ
エータ２６の小型化が期待できる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の真空搬
送装置によれば、搬送室内に可動シール材を設けてあ
り、この可動シール材のシャフトが位置する側を大気圧
状態にしてある。そして、この可動シール材の径を、弁
体が着座したときの固定シール材の外径より大きくして
あるため、ロードロック室側から弁体に作用する逆圧
が、駆動源側から弁体に作用する正圧に比べて小さくな
る。従って、駆動源の駆動力の軽減が図れるため、駆動
源の小型化が実現される。よって、コストの低減や装置
のメンテナンス効率の向上が可能になる。また、今後ま
すます進んでいく基板（ウエハ）の大口径化に対して有
効である。
送装置によれば、搬送室内に可動シール材を設けてあ
り、この可動シール材のシャフトが位置する側を大気圧
状態にしてある。そして、この可動シール材の径を、弁
体が着座したときの固定シール材の外径より大きくして
あるため、ロードロック室側から弁体に作用する逆圧
が、駆動源側から弁体に作用する正圧に比べて小さくな
る。従って、駆動源の駆動力の軽減が図れるため、駆動
源の小型化が実現される。よって、コストの低減や装置
のメンテナンス効率の向上が可能になる。また、今後ま
すます進んでいく基板（ウエハ）の大口径化に対して有
効である。
【図１】真空搬送装置の第１構成を示す図である。
【図２】真空搬送装置の第２構成を示す図である。
【図３】従来の真空搬送装置の構成を示す図である。
１０：ロードロック室 １２：搬送室 １２ａ：上部隔壁 １２ｂ：下部隔壁 １２ｃ：側壁 １４：第１開口 １６：上蓋 １８：弁体 １９：Ｏリング ２０：連結部 ２２：第１アクチュエータ ２４：シャフト ２６：第２アクチュエータ ２８：第２開口 ３０：ベローズ ３２：基板保持部 ３４：ウエハ ３６：荒引用カットバルブ ３８：真空ポンプ ４０：ＶＥＮＴ用カットバルブ ４２：プレート ４４：凸部
フロントページの続き (72)発明者 勝俣 好弘 東京都府中市四谷５丁目８番１号 アネル バ株式会社内 (72)発明者 高橋 信行 東京都府中市四谷５丁目８番１号 アネル バ株式会社内 Ｆターム(参考） 3H066 AA01 BA17 BA23 DA00 DA11 DA12 3J043 AA04 DA20 FA03 FB11 FB20 5F004 BC01 BC05 BC06 5F031 CA02 FA01 FA11 FA12 FA14 GA62 NA04 NA05 NA09 PA16 5F045 EB08 EB09 EB10 EN01 EN04
Claims (3)
- 【請求項１】 互いに隣接しており、境界部に形成され
た第１開口により連通している搬送室およびロードロッ
ク室と、 前記搬送室内に移動可能に設けられていて、前記第１開
口に固定シール材を介して着座したときに前記搬送室お
よびロードロック室間を隔離する弁体と、 前記弁体を駆動する駆動源と、 前記搬送室を画成する隔壁に形成された第２開口に挿通
され、前記駆動源と前記弁体との間を結合し、前記駆動
源で発生した駆動力を前記弁体に伝達するためのシャフ
トと、 前記シャフトの周りに設けられていて、前記弁体と前記
搬送室の内壁との間をシールし、前記シャフトが位置す
る側を大気圧状態に保持する可動シール材とを具えてお
り、 前記可動シール材の径を、前記弁体が着座したときの前
記固定シール材の外径より大きくしてあることを特徴と
する真空搬送装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の真空搬送装置におい
て、 前記可動シール材として、前記弁体と前記搬送室の内壁
とを接続するベローズを用いていることを特徴とする真
空搬送装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載の真空搬送装置におい
て、 前記可動シール材として、前記弁体に接続したプレート
を用いており、 該プレートが、前記弁体の移動方向に対して直交する方
向に突出した前記搬送室内壁の凸部に当接した状態で前
記弁体と共に移動可能に支持されていることを特徴とす
る真空搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30521398A JP4270617B2 (ja) | 1998-10-27 | 1998-10-27 | 真空搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30521398A JP4270617B2 (ja) | 1998-10-27 | 1998-10-27 | 真空搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000133691A true JP2000133691A (ja) | 2000-05-12 |
| JP4270617B2 JP4270617B2 (ja) | 2009-06-03 |
Family
ID=17942417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30521398A Expired - Fee Related JP4270617B2 (ja) | 1998-10-27 | 1998-10-27 | 真空搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4270617B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100422452B1 (ko) * | 2002-06-18 | 2004-03-11 | 삼성전자주식회사 | 로드락 챔버용 스토리지 엘리베이터 샤프트의 실링장치 |
| JP2010261591A (ja) * | 2009-05-06 | 2010-11-18 | Robert Bosch Gmbh | ガス弁 |
| EP3632560A1 (en) * | 2018-10-05 | 2020-04-08 | kiutra GmbH | System and method for inserting a sample into a chamber |
| WO2021008679A1 (en) * | 2019-07-12 | 2021-01-21 | Kiutra Gmbh | Sample transfer apparatus and method for transferring a sample holder into and out of a vacuum chamber |
-
1998
- 1998-10-27 JP JP30521398A patent/JP4270617B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100422452B1 (ko) * | 2002-06-18 | 2004-03-11 | 삼성전자주식회사 | 로드락 챔버용 스토리지 엘리베이터 샤프트의 실링장치 |
| JP2010261591A (ja) * | 2009-05-06 | 2010-11-18 | Robert Bosch Gmbh | ガス弁 |
| JP2022504221A (ja) * | 2018-10-05 | 2022-01-13 | キウトラ、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング | 試料をチャンバに挿入するためのシステムおよび方法 |
| WO2020070128A1 (en) * | 2018-10-05 | 2020-04-09 | Kiutra Gmbh | System and method for inserting a sample into a chamber |
| CN112770839A (zh) * | 2018-10-05 | 2021-05-07 | 具特拉有限公司 | 将样品插置于腔室中的系统和方法 |
| EP3632560A1 (en) * | 2018-10-05 | 2020-04-08 | kiutra GmbH | System and method for inserting a sample into a chamber |
| CN112770839B (zh) * | 2018-10-05 | 2023-04-04 | 具特拉有限公司 | 将样品插置于腔室中的系统和方法 |
| JP7305759B2 (ja) | 2018-10-05 | 2023-07-10 | キウトラ、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング | 試料をチャンバに挿入するためのシステムおよび方法 |
| WO2021008679A1 (en) * | 2019-07-12 | 2021-01-21 | Kiutra Gmbh | Sample transfer apparatus and method for transferring a sample holder into and out of a vacuum chamber |
| KR20220028135A (ko) * | 2019-07-12 | 2022-03-08 | 키우트라 게엠베하 | 샘플 홀더를 진공 챔버 내외로 이송하기 위한 샘플 이송 장치 및 방법 |
| CN114270166A (zh) * | 2019-07-12 | 2022-04-01 | 具特拉有限公司 | 用于将样品支架移入和移出真空室的样品转移装置和方法 |
| KR102435642B1 (ko) | 2019-07-12 | 2022-08-23 | 키우트라 게엠베하 | 샘플 홀더를 진공 챔버 내외로 이송하기 위한 샘플 이송 장치 및 방법 |
| US11474009B2 (en) | 2019-07-12 | 2022-10-18 | Kiutra Gmbh | Sample transfer apparatus and method for transferring a sample holder into and out of a vacuum chamber |
| CN114270166B (zh) * | 2019-07-12 | 2022-11-22 | 具特拉有限公司 | 用于将样品支架移入和移出真空室的样品转移装置和方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4270617B2 (ja) | 2009-06-03 |
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