JP4270617B2 - 真空搬送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、真空搬送装置、特に、真空と大気とを隔離するためのシール機構に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の真空搬送装置としては、例えばアネルバ社製のマルチチャンバドライエッチングシステムILD−4100(商品名)がある。この装置には、ウエハを装置内に導入するためのロードロック室および搬送室が設けられている。被処理対象のウエハは最初にロードロック室内に搬入される。続いて、ロードロック室内が真空ポンプにより排気された後、ロードロック室および搬送室間を隔離していた弁体が搬送室側へ移動して、ウエハを搬送室内に搬送する。ウエハは、伸縮自在のアームにより搬送室内から所定の処理室へと移送された後、処理が施される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の真空搬送装置には、弁体を駆動する駆動源と搬送室との間を隔離するシール機構に問題があった。以下、図3を参照して、この問題につき説明する。図3は、従来の真空搬送装置の主要構成を示す断面図である。
【0004】
図3に示すように、真空搬送装置は、ロードロック室10と、搬送室12とを具えている。搬送室12の上部隔壁12aに第1開口14を形成してあり、第1開口14を塞ぐようにして上蓋16が上部隔壁12aの上に載置されている。また、第1開口14を含む上部隔壁12aの位置には、搬送室12内側から弁体18が固定シール材としてのOリング19を介して当接している。これら上蓋16、上部隔壁12aおよび弁体18によりロードロック室10が画成されている。
【0005】
上述の上蓋16は、連結部20を介して第1アクチュエータ22に結合されている。この第1アクチュエータ22は、上蓋16を開閉するための駆動源である。
【0006】
また、弁体18は、シャフト24を介して第2アクチュエータ26に結合されている。シャフト24は円筒形状の部材であり、弁体18の下面側にその一端が接続されている。一方、シャフト24の他端は、弁体18の下方に設置された第2アクチュエータ26の側に向かって延在して、搬送室12を画成する下部隔壁12bに形成された第2開口28を通って第2アクチュエータ26に結合されている。シャフト24は、第2アクチュエータ26によってその延在方向(長手方向。図中、矢印aで示す方向。)に沿って移動される。従って、弁体18もシャフト24と共に図中の上下方向に移動することができる。
【0007】
また、搬送室12と第2アクチュエータ26との間は、可動シール材としてのベローズ30により隔離されている。ベローズ30の内側(シャフト24が位置する側)とベローズ30の外側とは、異なる気圧に保持することが可能である。ベローズ30の一端は下部隔壁12bに接続されており、ベローズ30の他端はシャフト24の下端(第2アクチュエータ26に結合する側)に接続されている。ベローズ30は、シャフト24の移動に伴い伸縮自在である。
【0008】
次に、外部からウエハをロードロック室10に搬入し、そのウエハを搬送室12側へ搬送する動作につき説明する。
【0009】
初期状態では、弁体18が上部隔壁12aに当接すなわち着座しており、ロードロック室10と搬送室12とは隔離されている。また、ロードロック室10内は大気圧の状態とし、搬送室12内は大気圧よりも低い所定の圧力の状態(真空状態)になっている。
【0010】
先ず、第1アクチュエータ22を作動させて、上蓋16を開く。そして、弁体18の上面に設けられた基板保持部32にウエハ34を設置する。次に、上蓋16を閉じてから荒引用カットバルブ36を開いて、真空ポンプ38によりロードロック室10内の排気を行なう。ロードロック室10内が所定の圧力以下になったことを確認した後、第2アクチュエータ26を作動させて、弁体18をウエハ34と共に搬送室12内に引き込ませる。弁体18が所定の搬送位置まで下降すると、ロボットやアクチュエータにより、処理室または他の搬送室にウエハ34が搬送される。
【0011】
また、搬送室12内のウエハ34をロードロック室10側に搬送する場合は、上述の手順と逆の手順で行なえばよい。先ず、第2アクチュエータ26により、ウエハ34を載せた弁体18を上昇させ、上部隔壁12aに対し着座させる。そして、VENT用カットバルブ40を開けてロードロック室10内にVENTガスを導入する。ロードロック室10内が大気圧になったことを確認した後、第1アクチュエータ22により上蓋16が開けられる。ウエハ34は、大気側に設置されたロボットやアクチュエータやウエハピンセット等により所定の場所へと搬送される。
【0012】
以上説明したように、従来の構成では、弁体18を駆動する駆動源(第2アクチュエータ26)と搬送室12との間を隔離するシール機構として、ベローズ30が用いられている。そして、このベローズ30の径はシャフト24の径に合わせて選定されている。一般に、シャフト24の径は弁体18の径より小さいので、ベローズ30の径も弁体18の径より小さい。さらに言えば、通常、ベローズ30の径は、弁体18と上部隔壁12aとの間をシールするOリング19の径に比べて小さい。従って、この場合に問題なのは、弁体18、シャフト24およびベローズ30に作用する圧力において、正圧に比して逆圧が大きくなってしまうということである。
【0013】
一般に、上述した初期状態のように、弁体18が上部隔壁12aに着座していてロードロック室10内が大気圧の場合(搬送室12内は真空状態の場合)には、弁体18の着座状態を妨げる方向に逆圧が発生する。一方、ベローズ30およびシャフト24の下端側からは、弁体18の着座状態を保持する方向に正圧が作用している。そして、従来構成では、ベローズ30の径が弁体18と上部隔壁12aとの間をシールするOリング19の径に比べて小さいため、ロードロック室10側から作用する逆圧の方が第2アクチュエータ26側から作用する正圧に比べて大きくなる。このため、ロードロック室10および搬送室12間のシールが破れてしまうおそれがある。よって、弁体18を駆動するための第2アクチュエータ26には比較的大きな駆動力が求められ、必然的に駆動部が大型化してしまうという問題があった。近年のウエハの大口径化に伴い、このような問題が顕著に現れるようになってきている。
【0014】
従って、従来より、弁体駆動用の駆動源の駆動力の軽減が図れる装置構成を実現することが望まれていた。
【0015】
【課題を解決するための手段】
そこで、この発明の真空搬送装置によれば、
互いに隣接しており、境界部に形成された第1開口により連通している搬送室およびロードロック室と、
搬送室内に移動可能に設けられていて、搬送室およびロードロック室間を隔離する弁体と、
第1開口が形成されている隔壁に、第1固定シール材を介して、弁体を当接させる、当該第1固定シール材と、
弁体を駆動する駆動源と、
搬送室を画成する隔壁に形成された第2開口に挿通され、駆動源と弁体との間を結合し、駆動源で発生した駆動力を弁体に伝達するためのシャフトと、
シャフトの周りに設けられていて、弁体と搬送室の内壁との間をシールし、シャフトが位置する側を大気圧状態に保持する可動シール材とを具えており、
可動シール材の径を、弁体が着座したときの第1固定シール材の外径より大きくしてあることを特徴とする。
【0016】
このように、搬送室内に可動シール材を設けてあり、この可動シール材のシャフトが位置する側を大気圧状態にしてある。そして、この可動シール材の径を、弁体が着座したときの第1固定シール材の外径より大きくしてあるため、ロードロック室側から弁体に作用する逆圧が、駆動源側から弁体に作用する正圧に比べて小さくなる。従って、駆動源の駆動力の軽減が図れるため、駆動源の小型化が実現される。
【0018】
この発明の真空搬送装置において、好ましくは、可動シール材として、弁体に接続した円筒状プレートを用いており、この円筒状プレートが、弁体の移動方向に対して直交する方向に突出した搬送室内壁の凸部に、第2固定シール材を介して当接した状態で弁体と共に移動可能に支持されていると良い。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、図を参照して、この発明の実施の形態及び参考例につき説明する。尚、図は、この発明が理解できる程度に大きさ、形状および配置関係が概略的に示されているに過ぎない。また、以下に記載される数値条件や材料等は単なる一例に過ぎない。従って、この発明は、この実施の形態及び参考例に何ら限定されることがない。
【0020】
〔参考例〕
真空搬送装置の第1構成例につき、図1を参照して説明する。図1は、真空搬送装置の第1構成(参考例)を示す断面図である。
【0021】
図1に主要部が示されているように、この参考例の真空搬送装置は、ロードロック室10と、搬送室12とを具えている。これらロードロック室10および搬送室12は、互いに隣接しており、これらの境界部に形成された第1開口14により互いに連通している。すなわち、搬送室12の上部隔壁12aに第1開口14を形成してあり、第1開口14を塞ぐようにして上蓋16が上部隔壁12aの上に載置されている。また、第1開口14を含む上部隔壁12aの位置には、搬送室12内側から弁体18が第1固定シール材としてのOリング19を介して当接している。これら上蓋16、上部隔壁12aおよび弁体18によりロードロック室10が画成されている。
【0022】
上述の上蓋16は、連結部20を介して第1アクチュエータ22に結合されている。この第1アクチュエータ22は、上蓋16を開閉するための駆動源である。
【0023】
また、上述の弁体18は、搬送室12内に移動可能に設けられていて、第1開口14にOリング19を介して着座したときに搬送室12およびロードロック室10間を隔離するものである。この例では、弁体18は略円盤形状の板体により構成されている。一般には、弁体18はステンレスにより形成される。
【0024】
この弁体18は、搬送室12の下側(ロードロック室10とは反対の側)に設けられた第2アクチュエータ26を駆動源として、搬送室12内で上下方向(図1中の矢印aで示す方向)に移動可能である。このように構成するため、弁体18と第2アクチュエータ26とは、シャフト24により結合されている。
【0025】
このシャフト24は、搬送室12を画成する下部隔壁12bに形成された第2開口28に挿通される円筒形状の部材である。シャフト24は、例えばアルミニウムにより形成されている。シャフト24は、その長手方向が弁体18の移動方向aと一致した状態に設けられる。シャフト24の一端は弁体18の下面(搬送室12内に面した面)に接続され、シャフト24の他端は第2開口28を経て第2アクチュエータ26に接続されている。このシャフト24により、第2アクチュエータ26で発生した駆動力が弁体18に伝達される。つまり、第2アクチュエータ26が作動するとシャフト24が上下方向aに沿って動き、弁体18を上下方向aに移動させる構成となっている。
【0026】
次に、搬送室12内には、搬送室12と第2アクチュエータ26との間を隔離するための可動シール材として、ベローズ30が設けられている。
【0027】
このベローズ30は、上述したシャフト24の周りに設けられていて、弁体18と搬送室12の内壁との間をシールし、シャフト24が位置する側を大気圧状態に保持するものである。ベローズ30は略円筒形状の部材であり、その延在方向に伸縮自在なシール材である。通常、ベローズ30はステンレスにより形成されている。このベローズ30の一端は、弁体18の下面に、Oリングを介して、あるいは、溶接によって、接続されている。一方、ベローズ30の他端は、下部隔壁12bの内面に接続されている。このように、ベローズ30によって弁体18と搬送室12の内壁との間がシールされる。ベローズ30は、シャフト24および弁体18の運動に伴い伸縮するため、この運動によりシールが破れることはない。よって、シャフト24が位置する側が搬送室12内から隔離されるので、シャフト24が位置する側を大気圧状態に保持し、かつ、他の搬送室12内部を真空状態に保持することができる。
【0028】
そして、このベローズ30の径(図1中の矢印bで示される径)を、弁体18が着座したときのOリング19の外径(図1中の矢印cで示される径)より大きくしてある。ベローズ30の径は弁体18の下面の径と合わせてあるため、弁体18の下面に作用する正圧は、弁体18の上面に作用する逆圧に比べて大きくなる。従って、弁体18が着座状態であり、かつロードロック室10内が大気圧状態のとき、従来は逆圧が正圧に勝るためOリング19によるシール機能が破れるおそれがあったが、このような心配がなくなる。つまり、弁体18を着座状態に保持する第2アクチュエータ26の駆動力が従来より小さくて済み、この結果、第2アクチュエータ26の小型化が期待できる。
【0029】
一例では、Oリング19の外径が260mmであるとき、ベローズ30の内径を最小部で300mm程度とし、最大部で400mm程度にすると良い。シャフト24の径は70mm程度であるから、正圧が作用する面の大きさが従来に比べてかなり大きくなる。
【0030】
尚、この真空搬送装置の動作については、従来と同じであるから説明を省略する。従来構成と同様に、真空ポンプ38が荒引用カットバルブ36を介してロードロック室10に接続されており、ロードロック室10内の排気が行われる。また、ロードロック室10に接続されたVENT用カットバルブ40を開けてロードロック室10内にVENTガスを導入することができる。弁体18の上面には、ウエハ34を支持するための基板保持部32が設置されている。これらの構成により、外部からウエハ34をロードロック室10内に搬入し、そのウエハ34を搬送室12側へ搬送することができる。あるいは、搬送室12内のウエハ34をロードロック室10側に搬送することができる。
【0031】
〔実施の形態〕
次に、真空搬送装置の第2構成につき、図2を参照して説明する。図2は、真空搬送装置の実施の形態を示す断面図である。尚、第2構成は可動シール材としてベローズ以外のものを採用した例であり、他の主要構成については第1構成(参考例)と変わりがない。従って、主として、可動シール材近傍の構成について説明を行い、他の重複する構成については説明を省略する。
【0032】
この構成例では、可動シール材として、プレート42を用いている。このプレート42は、円筒形状の部材で構成され、その延在方向(図2中の矢印aで示す方向)がシャフト24の長手方向と一致した状態で搬送室12内に設けられる。プレート42の一端は弁体18の下面側に接続されており、プレート42は弁体18と共に移動が可能である。一方、プレート42の他端はフリーにしてある。プレート42の長さは、弁体18が搬送位置まで下降したときにフリー状態の端部が下部隔壁12bに接触するか、あるいは接触しないように設計し、弁体18の上下運動の妨げとならないように構成する。
【0033】
また、プレート42は、弁体18の移動方向aに対して直交する方向に突出した搬送室12内壁の凸部44に当接した状態で弁体18と共に移動可能に支持されている。この凸部44は、搬送室12を画成する側壁12cの内壁に形成されている。この凸部44の先端が、プレート42に第2固定シール材としてのOリング46を介して常に接触するようにしてある。よって、プレート42により囲まれる搬送室12部分が他の搬送室12部分から隔離されるので、プレート42がシールとして機能するようになる。また、凸部44は、弁体18が上下運動する際に、プレート42の横ずれを防止するためのガイドとしても機能する。
【0034】
そして、このプレート42の径(図2中の矢印bで示される径)を、弁体18が着座したときのOリング19の外径(図2中の矢印cで示される径)より大きくしてある。プレート42の径は弁体18の下面の径と合わせてあるため、弁体18の下面に作用する正圧は、弁体18の上面に作用する逆圧に比べて大きくなる。従って、弁体18が着座状態であり、かつロードロック室10内が大気圧状態のとき、従来は逆圧が正圧に勝るためOリング19によるシール機能が破れるおそれがあったが、このような心配がなくなる。つまり、弁体18を着座状態に保持する第2アクチュエータ26の駆動力が従来より小さくて済み、この結果、第2アクチュエータ26の小型化が期待できる。
【0035】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の真空搬送装置によれば、搬送室内に可動シール材を設けてあり、この可動シール材のシャフトが位置する側を大気圧状態にしてある。そして、この可動シール材の径を、弁体が着座したときの第1固定シール材の外径より大きくしてあるため、ロードロック室側から弁体に作用する逆圧が、駆動源側から弁体に作用する正圧に比べて小さくなる。従って、駆動源の駆動力の軽減が図れるため、駆動源の小型化が実現される。よって、コストの低減や装置のメンテナンス効率の向上が可能になる。また、今後ますます進んでいく基板(ウエハ)の大口径化に対して有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 真空搬送装置の第1構成(参考例)を示す図である。
【図2】 真空搬送装置の第2構成(実施の形態)を示す図である。
【図3】 従来の真空搬送装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
10:ロードロック室
12:搬送室 12a:上部隔壁
12b:下部隔壁 12c:側壁
14:第1開口 16:上蓋
18:弁体 19、46:Oリング
20:連結部 22:第1アクチュエータ
24:シャフト 26:第2アクチュエータ
28:第2開口 30:ベローズ
32:基板保持部 34:ウエハ
36:荒引用カットバルブ
38:真空ポンプ
40:VENT用カットバルブ
42:プレート 44:凸部
Claims (1)
- 互いに隣接しており、境界部に形成された第1開口により連通している搬送室およびロードロック室と、
前記搬送室内に移動可能に設けられていて、前記搬送室およびロードロック室間を隔離する弁体と、
前記第1開口が形成されている隔壁に、第1固定シール材を介して、前記弁体を当接させる、当該第1固定シール材と、
前記弁体を駆動する駆動源と、
前記搬送室を画成する隔壁に形成された第2開口に挿通され、前記駆動源と前記弁体との間を結合し、前記駆動源で発生した駆動力を前記弁体に伝達するためのシャフトと、
前記シャフトの周りに設けられていて、前記弁体と前記搬送室の内壁との間をシールし、前記シャフトが位置する側を大気圧状態に保持する可動シール材とを具えており、
前記可動シール材の径を、前記弁体が着座したときの前記第1固定シール材の外径より大きくしてあり、
前記可動シール材は、前記弁体に接続した円筒状プレートであり、
該円筒状プレートが、前記弁体の移動方向に対して直交する方向に突出した前記搬送室内壁の凸部に、第2固定シール材を介して当接した状態で前記弁体と共に移動可能に支持されていることを特徴とする真空搬送装置。
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