JPH10308427A - ドア開閉機構 - Google Patents
ドア開閉機構Info
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- JPH10308427A JPH10308427A JP13170197A JP13170197A JPH10308427A JP H10308427 A JPH10308427 A JP H10308427A JP 13170197 A JP13170197 A JP 13170197A JP 13170197 A JP13170197 A JP 13170197A JP H10308427 A JPH10308427 A JP H10308427A
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- closing mechanism
- lever
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Abstract
(57)【要約】
【課題】１つのアクチュエータで開閉が行える様にし、
構造を簡略化し、コストの低減を図る。 【解決手段】気密室３０の搬送口３１に設けられるドア
３３の開閉機構３４に於いて、昇降用アクチュエータ３
５に支持ブロック３７を回転可能に設け、前記支持ブロ
ック一端に前記気密室側に当接可能なストッパ４４を設
け、他端に少なくとも１つのレバー３８，３９，４０を
設け、該レバー上端をドアに取付け、昇降用アクチュエ
ータの伸縮によりドアの移動を行い、昇降用アクチュエ
ータのストロークエンドでの伸縮動はストッパにより支
持ブロックの回転に変換され、支持ブロックの回転はド
ア搬送口への密着、離反を惹起する。
構造を簡略化し、コストの低減を図る。 【解決手段】気密室３０の搬送口３１に設けられるドア
３３の開閉機構３４に於いて、昇降用アクチュエータ３
５に支持ブロック３７を回転可能に設け、前記支持ブロ
ック一端に前記気密室側に当接可能なストッパ４４を設
け、他端に少なくとも１つのレバー３８，３９，４０を
設け、該レバー上端をドアに取付け、昇降用アクチュエ
ータの伸縮によりドアの移動を行い、昇降用アクチュエ
ータのストロークエンドでの伸縮動はストッパにより支
持ブロックの回転に変換され、支持ブロックの回転はド
ア搬送口への密着、離反を惹起する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
於けるカセット室等気密室のドア開閉機構に関するもの
である。
於けるカセット室等気密室のドア開閉機構に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置は、反応室、カセット室
等気密室を複数有しており、該気密室内は用途に応じて
例えば減圧状態、真空状態に維持されなければならない
ので、該気密室に設けられるドア開閉機構には気密性が
要求される。
等気密室を複数有しており、該気密室内は用途に応じて
例えば減圧状態、真空状態に維持されなければならない
ので、該気密室に設けられるドア開閉機構には気密性が
要求される。
【０００３】図６、図７に於いて半導体製造装置１及び
該半導体製造装置１の気密室に設けられる従来のドア開
閉機構について説明する。
該半導体製造装置１の気密室に設けられる従来のドア開
閉機構について説明する。
【０００４】前記半導体製造装置１は搬送室２を中心と
して放射状に第１カセット室３、第２カセット室４、第
１冷却室５、第２冷却室６、第１反応室７、第２反応室
８を具備している。
して放射状に第１カセット室３、第２カセット室４、第
１冷却室５、第２冷却室６、第１反応室７、第２反応室
８を具備している。
【０００５】前記搬送室２内部にはウェーハ９等被処理
基板を搬送する基板搬送装置１０が設けられ、該基板搬
送装置１０は伸縮、回転可能なアーム１１を有し、該ア
ーム１１先端には基板載置プレート１２が設けられてい
る。
基板を搬送する基板搬送装置１０が設けられ、該基板搬
送装置１０は伸縮、回転可能なアーム１１を有し、該ア
ーム１１先端には基板載置プレート１２が設けられてい
る。
【０００６】前記第１カセット室３と前記搬送室２との
間、前記第２カセット室４と前記搬送室２との間、前記
第１反応室７と前記搬送室２との間、前記第２反応室８
と前記搬送室２との間にはゲートバルブ１３が設けら
れ、前記第１反応室７、前記第２反応室８にはヒータ
（図示せず）が設けられている。前記第１反応室７内
部、前記第２反応室８内部には基板ホルダ（図示せず）
が設けられている。
間、前記第２カセット室４と前記搬送室２との間、前記
第１反応室７と前記搬送室２との間、前記第２反応室８
と前記搬送室２との間にはゲートバルブ１３が設けら
れ、前記第１反応室７、前記第２反応室８にはヒータ
（図示せず）が設けられている。前記第１反応室７内
部、前記第２反応室８内部には基板ホルダ（図示せず）
が設けられている。
【０００７】前記第１カセット室３、前記第２カセット
室４にはそれぞれ搬送口１４が穿設され、該搬送口１４
周縁部にはＯリング等シール材１５が設けられ、前記搬
送口１４にはドア１６が設けられ、該ドア１６にはドア
開閉機構１７が設けられている。前記第１カセット室３
内部、前記第２カセット室４内部には図示しないカセッ
ト受載台が設けられ、該カセット受載台にはウェーハ９
の装填されたウェーハカセット２０が載置される様にな
っている。
室４にはそれぞれ搬送口１４が穿設され、該搬送口１４
周縁部にはＯリング等シール材１５が設けられ、前記搬
送口１４にはドア１６が設けられ、該ドア１６にはドア
開閉機構１７が設けられている。前記第１カセット室３
内部、前記第２カセット室４内部には図示しないカセッ
ト受載台が設けられ、該カセット受載台にはウェーハ９
の装填されたウェーハカセット２０が載置される様にな
っている。
【０００８】前記ドア開閉機構１７は直動型アクチュエ
ータである昇降用シリンダ１９、直動型アクチュエータ
である開閉用シリンダ１８の２のアクチュエータから構
成され、前記昇降用シリンダ１９が搬送口１４の下方に
枢着され、前記昇降用シリンダ１９のロッド２１上端に
前記開閉用シリンダ１８が取付けられる。該開閉用シリ
ンダ１８は前記ロッド２１に対し、直交する方向にロッ
ド２２を進退可能であり、該ロッド２２の一端に前記搬
送口１４を閉塞可能なドア１６が取付けられている。
ータである昇降用シリンダ１９、直動型アクチュエータ
である開閉用シリンダ１８の２のアクチュエータから構
成され、前記昇降用シリンダ１９が搬送口１４の下方に
枢着され、前記昇降用シリンダ１９のロッド２１上端に
前記開閉用シリンダ１８が取付けられる。該開閉用シリ
ンダ１８は前記ロッド２１に対し、直交する方向にロッ
ド２２を進退可能であり、該ロッド２２の一端に前記搬
送口１４を閉塞可能なドア１６が取付けられている。
【０００９】図示しない外部搬送装置により前記第１カ
セット室３内部へ前記ウェーハカセット２０を搬入し、
図示しないカセット受載台に乗載させ、前記外部搬送装
置を退去させる。該外部搬送装置が退去した後、開口し
た前記搬送口１４を閉塞する場合、前記昇降用シリンダ
１９により前記ロッド２１を上昇させ、前記ドア１６を
前記搬送口１４に対向する位置に上昇させ（図７（Ｂ）
参照）、次に前記開閉用シリンダ１８によりロッド２２
を突出させ、前記ドア１６により前記搬送口１４を閉塞
する。気密性は前記シール材１５の存在により得られ
る。
セット室３内部へ前記ウェーハカセット２０を搬入し、
図示しないカセット受載台に乗載させ、前記外部搬送装
置を退去させる。該外部搬送装置が退去した後、開口し
た前記搬送口１４を閉塞する場合、前記昇降用シリンダ
１９により前記ロッド２１を上昇させ、前記ドア１６を
前記搬送口１４に対向する位置に上昇させ（図７（Ｂ）
参照）、次に前記開閉用シリンダ１８によりロッド２２
を突出させ、前記ドア１６により前記搬送口１４を閉塞
する。気密性は前記シール材１５の存在により得られ
る。
【００１０】前記第１カセット室３内に搬入された前記
ウェーハカセット２０内のウェーハ９は前記搬送室２内
の前記基板搬送装置１０により前記第１反応室７或は前
記第２反応室８へ移載され所要の処理がなされる。
ウェーハカセット２０内のウェーハ９は前記搬送室２内
の前記基板搬送装置１０により前記第１反応室７或は前
記第２反応室８へ移載され所要の処理がなされる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】然し乍ら上記した従来
のドア開閉機構１７ではドア１６の開閉を昇降用シリン
ダ１９、開閉用シリンダ１８の２つのアクチェータによ
り行っており、開閉動作は２動作となり動作させる為の
制御が複雑になると共に構造及び配管系等が複雑とな
り、更にアクチュエータが複数存在する為その分スペー
スが必要でありコストが嵩む等の不具合があった。
のドア開閉機構１７ではドア１６の開閉を昇降用シリン
ダ１９、開閉用シリンダ１８の２つのアクチェータによ
り行っており、開閉動作は２動作となり動作させる為の
制御が複雑になると共に構造及び配管系等が複雑とな
り、更にアクチュエータが複数存在する為その分スペー
スが必要でありコストが嵩む等の不具合があった。
【００１２】本発明は上記実情に鑑み、１つのアクチュ
エータで開閉が行える様にし、構造を簡略化し、コスト
の低減を図るものである。
エータで開閉が行える様にし、構造を簡略化し、コスト
の低減を図るものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、気密室の搬送
口に設けられるドア開閉機構に於いて、昇降用アクチュ
エータに支持ブロックを回転可能に設け、前記支持ブロ
ック一端に前記気密室側に当接可能なストッパを設け、
他端に少なくとも１つのレバーを設け、該レバー上端を
ドアに取付けたドア開閉機構に係り、又前記レバーが板
バネであるドア開閉機構に係り、又前記レバーが３つで
あって、その内１つのレバー上端が前記ドアの上辺側、
下辺側のいずれか一方の中央に固着され、他の２つのレ
バー上端が前記ドアの図心より前記１つのレバー上端の
固着点の反対側に偏心した位置にあって、前記ドアの両
側辺側に固着されているドア開閉機構に係り、又前記レ
バーが１つであって、該レバー上端が前記ドアの中央部
に固着されているドア開閉機構に係り、又前記レバーが
２つであって、該レバー上端が前記ドアの両側辺の上下
中間位置に固着されているドア開閉機構に係るものであ
り、昇降用アクチュエータの伸縮によりドアの移動を行
い、昇降用アクチュエータのストロークエンドでの伸縮
動はストッパにより支持ブロックの回転に変換され、支
持ブロックの回転はドアの搬送口への密着、離反を惹起
する。従って、１つのアクチュエータでドアの密着、離
反及び昇降を行うことができ、アクチュエータに伴う制
御回路、配管系等が減少し、ドア開閉機構が複雑となる
ことはなく、ドア開閉機構を設けるスペースが小さくて
済みコストが低減する。
口に設けられるドア開閉機構に於いて、昇降用アクチュ
エータに支持ブロックを回転可能に設け、前記支持ブロ
ック一端に前記気密室側に当接可能なストッパを設け、
他端に少なくとも１つのレバーを設け、該レバー上端を
ドアに取付けたドア開閉機構に係り、又前記レバーが板
バネであるドア開閉機構に係り、又前記レバーが３つで
あって、その内１つのレバー上端が前記ドアの上辺側、
下辺側のいずれか一方の中央に固着され、他の２つのレ
バー上端が前記ドアの図心より前記１つのレバー上端の
固着点の反対側に偏心した位置にあって、前記ドアの両
側辺側に固着されているドア開閉機構に係り、又前記レ
バーが１つであって、該レバー上端が前記ドアの中央部
に固着されているドア開閉機構に係り、又前記レバーが
２つであって、該レバー上端が前記ドアの両側辺の上下
中間位置に固着されているドア開閉機構に係るものであ
り、昇降用アクチュエータの伸縮によりドアの移動を行
い、昇降用アクチュエータのストロークエンドでの伸縮
動はストッパにより支持ブロックの回転に変換され、支
持ブロックの回転はドアの搬送口への密着、離反を惹起
する。従って、１つのアクチュエータでドアの密着、離
反及び昇降を行うことができ、アクチュエータに伴う制
御回路、配管系等が減少し、ドア開閉機構が複雑となる
ことはなく、ドア開閉機構を設けるスペースが小さくて
済みコストが低減する。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００１５】本発明の実施の形態に係るドア開閉機構
は、前述した従来の半導体製造装置と略同様のものに設
けられるものであるので、半導体製造装置については説
明を省略する。
は、前述した従来の半導体製造装置と略同様のものに設
けられるものであるので、半導体製造装置については説
明を省略する。
【００１６】カセット室３０には搬送口３１が穿設さ
れ、該搬送口３１周縁にはＯリング等シール材３２が設
けられる。
れ、該搬送口３１周縁にはＯリング等シール材３２が設
けられる。
【００１７】前記搬送口３１の下方にドア開閉機構３４
が設けられており、該ドア開閉機構３４は直動型開閉ア
クチュエータである開閉シリンダ３５、ホルダ３６、支
持ブロック３７、レバー３８，３９，４０から構成され
る。
が設けられており、該ドア開閉機構３４は直動型開閉ア
クチュエータである開閉シリンダ３５、ホルダ３６、支
持ブロック３７、レバー３８，３９，４０から構成され
る。
【００１８】半導体製造装置のベース２８に前記開閉シ
リンダ３５が立設され、該開閉シリンダ３５のロッド２
９上端に凹字形状のホルダ３６が固着されている。該ホ
ルダ３６に水平な回転軸４１を介して支持ブロック３７
が回転可能に取付けられている。
リンダ３５が立設され、該開閉シリンダ３５のロッド２
９上端に凹字形状のホルダ３６が固着されている。該ホ
ルダ３６に水平な回転軸４１を介して支持ブロック３７
が回転可能に取付けられている。
【００１９】前記支持ブロック３７正面の両端部に対称
形をしたクランク形状のレバー３８，４０の下端が設け
られ、中央部に短冊形状のレバー３９の下端が設けられ
る。該レバー３８，４０の上端は固着部材４２によりド
ア３３の両側辺且該ドア３３の図心より上方に固着さ
れ、前記レバー３９の上端は固着部材４３により前記ド
ア３３の下辺中央に固着される。前記レバー３８，３
９，４０は板材であり、弾性変形が可能であり、板バネ
としての機能を有している。
形をしたクランク形状のレバー３８，４０の下端が設け
られ、中央部に短冊形状のレバー３９の下端が設けられ
る。該レバー３８，４０の上端は固着部材４２によりド
ア３３の両側辺且該ドア３３の図心より上方に固着さ
れ、前記レバー３９の上端は固着部材４３により前記ド
ア３３の下辺中央に固着される。前記レバー３８，３
９，４０は板材であり、弾性変形が可能であり、板バネ
としての機能を有している。
【００２０】前記支持ブロック３７背面側端部にはスト
ッパ４４が設けられ、該ストッパ４４は前記ロッド２９
が上昇した場合に前記カセット室３０底面４６に当接す
る様になっている。前記回転軸４１と前記ストッパ４４
との間且前記支持ブロック３７と前記ホルダ３６との間
にはバネ４５が設けられている。
ッパ４４が設けられ、該ストッパ４４は前記ロッド２９
が上昇した場合に前記カセット室３０底面４６に当接す
る様になっている。前記回転軸４１と前記ストッパ４４
との間且前記支持ブロック３７と前記ホルダ３６との間
にはバネ４５が設けられている。
【００２１】前記搬送口３１は開口状態では前記開閉シ
リンダ３５のロッド２９が降下しており、前記ドア３３
は該ドア３３の自重及び前記バネ４５の反発力により前
記カセット室３０離反方向に傾斜している（図３（Ａ）
参照）。
リンダ３５のロッド２９が降下しており、前記ドア３３
は該ドア３３の自重及び前記バネ４５の反発力により前
記カセット室３０離反方向に傾斜している（図３（Ａ）
参照）。
【００２２】前記搬送口３１を閉塞する場合には前記開
閉シリンダ３５のロッド２９を伸長し、上昇のストロー
クエンド近傍で前記カセット室３０の底面４６に前記ス
トッパ４４の上端が当接し（図３（Ｂ）参照）、更に前
記ロッド２９が上昇すると前記支持ブロック３７は前記
バネ４５の反発力に抗して前記ストッパ４４の上端を中
心に回転し、前記支持ブロック３７が水平位置よりも若
干傾いて、ストロークエンドでは更に前記ロッド２９が
上昇し、前記レバー３８，３９，４０が弾性変形して押
圧力を発生し、該レバー３８，３９，４０の固着点であ
る前記固着部材４２，４２，４３を介して前記ドア３３
が３箇所で押圧され、前記搬送口３１全周が前記ドア３
３により気密に閉塞される（図３（Ｃ）参照）。
閉シリンダ３５のロッド２９を伸長し、上昇のストロー
クエンド近傍で前記カセット室３０の底面４６に前記ス
トッパ４４の上端が当接し（図３（Ｂ）参照）、更に前
記ロッド２９が上昇すると前記支持ブロック３７は前記
バネ４５の反発力に抗して前記ストッパ４４の上端を中
心に回転し、前記支持ブロック３７が水平位置よりも若
干傾いて、ストロークエンドでは更に前記ロッド２９が
上昇し、前記レバー３８，３９，４０が弾性変形して押
圧力を発生し、該レバー３８，３９，４０の固着点であ
る前記固着部材４２，４２，４３を介して前記ドア３３
が３箇所で押圧され、前記搬送口３１全周が前記ドア３
３により気密に閉塞される（図３（Ｃ）参照）。
【００２３】尚、前記固着部材４２，４２，４３の固着
位置は上記した位置に限らず該固着部材４２，４２，４
３の固着位置で形成される３角形の重心が前記ドア３３
の図形中心と一致する様にしてもよい。
位置は上記した位置に限らず該固着部材４２，４２，４
３の固着位置で形成される３角形の重心が前記ドア３３
の図形中心と一致する様にしてもよい。
【００２４】図４は本発明の他の実施の形態を示してお
り、レバーが１つの場合を示している。
り、レバーが１つの場合を示している。
【００２５】ドア開閉機構３４の開閉シリンダ３５のロ
ッド２９上端には凹字状のホルダ３６が設けられ、該ホ
ルダ３６には支持ブロック３７が回転可能に設けられて
いる。該支持ブロック３７に短冊状のレバー４８の下端
が固着され、該レバー４８の上端は固着部材４９により
ドア３３の中央部に固着される。
ッド２９上端には凹字状のホルダ３６が設けられ、該ホ
ルダ３６には支持ブロック３７が回転可能に設けられて
いる。該支持ブロック３７に短冊状のレバー４８の下端
が固着され、該レバー４８の上端は固着部材４９により
ドア３３の中央部に固着される。
【００２６】前述した実施の形態同様、レバー４８が１
つのみの場合にも、前記ロッド２９が上昇し、支持ブロ
ック３７が前記バネ４５の反発力に抗して前記ストッパ
４４の上端を中心として回転し、前記支持ブロック３７
が水平位置よりも若干傾いて、ストロークエンドでは更
に前記ロッド２９が上昇し、前記レバー４８が弾性変形
して押圧力を発生し、該レバー４８の固着点である前記
固着部材４９を介して前記ドア３３が中央部で押圧さ
れ、前記搬送口３１は全周が前記ドア３３により気密に
閉塞される。
つのみの場合にも、前記ロッド２９が上昇し、支持ブロ
ック３７が前記バネ４５の反発力に抗して前記ストッパ
４４の上端を中心として回転し、前記支持ブロック３７
が水平位置よりも若干傾いて、ストロークエンドでは更
に前記ロッド２９が上昇し、前記レバー４８が弾性変形
して押圧力を発生し、該レバー４８の固着点である前記
固着部材４９を介して前記ドア３３が中央部で押圧さ
れ、前記搬送口３１は全周が前記ドア３３により気密に
閉塞される。
【００２７】図５は本発明の更に他の実施の形態を示し
ており、レバーが２つの場合を示している。
ており、レバーが２つの場合を示している。
【００２８】ドア開閉機構の開閉シリンダのロッド２９
上端に設けられるホルダ３６には支持ブロック３７が回
転可能に設けられ、該支持ブロック３７には対称形をし
たクランク形状のレバー５０，５１の下端が固着されて
いる。該レバー５０，５１の上端は固着部材５３を介し
てドア３３の両側辺上下中間位置に固着される。
上端に設けられるホルダ３６には支持ブロック３７が回
転可能に設けられ、該支持ブロック３７には対称形をし
たクランク形状のレバー５０，５１の下端が固着されて
いる。該レバー５０，５１の上端は固着部材５３を介し
てドア３３の両側辺上下中間位置に固着される。
【００２９】前述した実施の形態同様、レバー５０，５
１上端は前記ドア３３の上下中間位置且左右両側辺に設
けられる為前記搬送口３１全周が前記ドア３３により気
密に閉塞される。
１上端は前記ドア３３の上下中間位置且左右両側辺に設
けられる為前記搬送口３１全周が前記ドア３３により気
密に閉塞される。
【００３０】而して、前述した３つの実施の形態に於い
てドア開閉機構３４は開閉シリンダ３５のロッド２９の
伸縮によりドア３３の移動を行い、前記ロッド２９の上
昇のストロークエンドでの伸縮動は支持ブロック３７の
回転動に変換され、支持ブロック３７の回転はドア３３
の搬送口３１への密着、離反を惹起することができ、レ
バー３８，３９，４０，４８，５０，５１のバネ性によ
り搬送口３１をドア３３により押圧して気密に閉塞する
ことができ、従って１つのアクチュエータでドアの密
着、離反及び昇降を行うことができ、アクチュエータに
伴う制御回路、配管系等が減少しドア開閉機構が複雑と
なることはなく、ドア開閉機構を設けるスペースが小さ
くて済みコストが低減する。尚、レバー３８，３９，４
０，４８，５０，５１は剛性を有するものとし、これら
レバー先端をドア３３に枢着してもよい。
てドア開閉機構３４は開閉シリンダ３５のロッド２９の
伸縮によりドア３３の移動を行い、前記ロッド２９の上
昇のストロークエンドでの伸縮動は支持ブロック３７の
回転動に変換され、支持ブロック３７の回転はドア３３
の搬送口３１への密着、離反を惹起することができ、レ
バー３８，３９，４０，４８，５０，５１のバネ性によ
り搬送口３１をドア３３により押圧して気密に閉塞する
ことができ、従って１つのアクチュエータでドアの密
着、離反及び昇降を行うことができ、アクチュエータに
伴う制御回路、配管系等が減少しドア開閉機構が複雑と
なることはなく、ドア開閉機構を設けるスペースが小さ
くて済みコストが低減する。尚、レバー３８，３９，４
０，４８，５０，５１は剛性を有するものとし、これら
レバー先端をドア３３に枢着してもよい。
【００３１】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、ドア開
閉機構は昇降用アクチュエータの伸縮によりドアの移動
を行い、昇降用アクチュエータのストロークエンドでの
伸縮動は支持ブロックの回転動に変換され、支持ブロッ
クの回転はドアの搬送口への密着、離反を惹起すること
ができ、レバーのバネ性により搬送口をドアにより押圧
して気密に閉塞することができる。従って１つのアクチ
ュエータでドアの密着、離反及び昇降を行うことができ
るので、アクチュエータに伴う制御回路、配管系等が減
少しドア開閉機構が複雑となることはなく、ドア開閉機
構を設けるスペースが小さくて済みコストが低減する等
の優れた効果を発揮する。
閉機構は昇降用アクチュエータの伸縮によりドアの移動
を行い、昇降用アクチュエータのストロークエンドでの
伸縮動は支持ブロックの回転動に変換され、支持ブロッ
クの回転はドアの搬送口への密着、離反を惹起すること
ができ、レバーのバネ性により搬送口をドアにより押圧
して気密に閉塞することができる。従って１つのアクチ
ュエータでドアの密着、離反及び昇降を行うことができ
るので、アクチュエータに伴う制御回路、配管系等が減
少しドア開閉機構が複雑となることはなく、ドア開閉機
構を設けるスペースが小さくて済みコストが低減する等
の優れた効果を発揮する。
【図１】（Ａ）（Ｂ）は本発明の実施の形態を示す斜視
図である。
図である。
【図２】同前の実施の形態を示す正面図である。
【図３】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は同前実施の形態を示す作
動説明図である。
動説明図である。
【図４】（Ａ）（Ｂ）は本発明の他の実施の形態を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図５】（Ａ）（Ｂ）は本発明の更に他の実施の形態を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図６】半導体製造装置の概略説明図である。
【図７】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は従来例を示す作動説明図
である。
である。
３０ カセット室 ３１ 搬送口 ３３ ドア ３４ ドア開閉機構 ３５ 開閉シリンダ ３６ ホルダ ３７ 支持ブロック ３８ レバー ３９ レバー ４０ レバー ４１ 回転軸 ４２ 固着部材 ４３ 固着部材 ４４ ストッパ ４５ バネ
フロントページの続き (72)発明者 遠山 克二 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 気密室の搬送口に設けられるドア開閉機
構に於いて、昇降用アクチュエータに支持ブロックを回
転可能に設け、前記支持ブロック一端に前記気密室側に
当接可能なストッパを設け、他端に少なくとも１つのレ
バーを設け、該レバー上端をドアに取付けたことを特徴
とするドア開閉機構。 - 【請求項２】 前記レバーが板バネである請求項１のド
ア開閉機構。 - 【請求項３】 前記レバーが３つであって、その内１つ
のレバー上端が前記ドアの上辺側、下辺側のいずれか一
方の中央に固着され、他の２つのレバー上端が前記ドア
の図心より前記１つのレバー上端の固着点の反対側に偏
心した位置にあって、前記ドアの両側辺側に固着されて
いる請求項２のドア開閉機構。 - 【請求項４】 前記レバーが１つであって、該レバー上
端が前記ドアの中央部に固着されている請求項２のドア
開閉機構。 - 【請求項５】 前記レバーが２つであって、該レバー上
端が前記ドアの両側辺の上下中間位置に固着されている
請求項２のドア開閉機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13170197A JPH10308427A (ja) | 1997-05-06 | 1997-05-06 | ドア開閉機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13170197A JPH10308427A (ja) | 1997-05-06 | 1997-05-06 | ドア開閉機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10308427A true JPH10308427A (ja) | 1998-11-17 |
Family
ID=15064191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13170197A Pending JPH10308427A (ja) | 1997-05-06 | 1997-05-06 | ドア開閉機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10308427A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005039265A (ja) * | 2003-07-14 | 2005-02-10 | Vat Holding Ag | 真空室に基板を装填するためのロードロック装置 |
| KR101101224B1 (ko) * | 2011-04-22 | 2012-01-18 | 주식회사 레인테크 | 개폐 장치 및 개폐 방법 |
| JP2012153492A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Daikin Industries Ltd | 搬送装置 |
| AT13194U1 (de) * | 2012-03-21 | 2013-08-15 | Vat Holding Ag | Ventil |
| KR20170079736A (ko) * | 2015-12-31 | 2017-07-10 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 세정 장치 및 이를 구비한 화학 기계적 연마시스템 |
-
1997
- 1997-05-06 JP JP13170197A patent/JPH10308427A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005039265A (ja) * | 2003-07-14 | 2005-02-10 | Vat Holding Ag | 真空室に基板を装填するためのロードロック装置 |
| KR101114807B1 (ko) | 2003-07-14 | 2012-02-17 | 배트 홀딩 아게 | 기재를 진공실내로 유입하는 로드-락 장치 |
| JP2012153492A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Daikin Industries Ltd | 搬送装置 |
| KR101101224B1 (ko) * | 2011-04-22 | 2012-01-18 | 주식회사 레인테크 | 개폐 장치 및 개폐 방법 |
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