JP2005039265A - 真空室に基板を装填するためのロードロック装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】操作ロボット30はボックス29から基板28を取り出して、閉塞部材9が開放時にロードロック室2の入口開口4に導入する。真空ドア6は閉塞され、バルブ8が開放する。それから、把持手段が真空室1からロードロック室2の内部空間に移動し、基板28を運び込む。フィルタ装置32を備えるブロワー31が入口開口4の前面に位置する大気領域23に、矢印33で概略的に示す空気流を導入する。閉塞部材9及び支持ロッド10は、少なくとも閉塞部材9と平面24との間に存在する部分は空気力学的形状を有する。
【選択図】 図3
Description
5 出口開口、6 真空ドア、7 内部空間、8 バルブ、
9 閉塞部材、10 支持ロッド、11 軸、12 接触面、
13 ピストンロッド、14 第1ピストン‐シリンダユニット、
15 駆動ユニット、16 第2ピストン‐シリンダユニット、
17 ピストンロッド、18 ハウジング、20 ピストン、
21 ピストンロッド、22 固定ボルト、23 外気領域、
24 平面、25 カバープレート、26 凹部、27 長孔、
28 基板、30 操作ロボット、31 ブロワー、
32 フィルター装置
Claims (12)
- 真空室に基板を導入するためのロードロック装置において、
当該入口開口の前面に位置する外気領域から前記ロードロック室の内方に位置する内部空間に基板を導入するための少なくとも一つの入口開口と、前記真空室の内部空間と前記ロードロック室の内部空間とをバルブを介して接続するための少なくとも一つの出口開口とを備えるロードロック室を有し、
入口開口のそれぞれと協働するとともに、少なくとも一つの支持ロッドを介して駆動装置と連結し、該駆動装置により前記入口開口を開放する位置と前記ロードロック室の接触面に接触して前記入口開口を閉塞する位置との間で位置制御されロードロック室の接触面に接触する閉塞部材を有する、少なくとも一つの真空ドアとを備え、
前記入口開口の前面に位置する外気領域を考慮して、前記駆動装置が前記ロードロック室の接触面を通って延出し、前記入口開口の軸に垂直な平面の後方に配置されていることを特徴とするロードロック装置。 - 前記駆動装置は、少なくとも一つのカバープレートにより前記入口開口の前面に位置する外気領域から見て少なくとも部分的に隠蔽されていることを特徴とする請求項1記載のロードロック装置。
- 前記駆動装置は、少なくとも一つの気体ピストン‐シリンダユニットを有することを特徴とする請求項1記載のロードロック措置。
- 前記少なくとも一つの支持ロッドは、前記閉塞部材から駆動装置に至る領域において、前記真空室の方向へ延出していることを特徴とする請求項1記載のロードロック装置。
- 2つの支持ロッドが、前記閉塞部材の両側端部領域に配置されていることを特徴とする請求項1記載のロードロック装置。
- 前記少なくとも一つのカバープレートは、前記真空室の方向へ延出する支持ロッドの一部が突出する孔を備えることを特徴とする請求項2記載のロードロック装置。
- 前記入口開口の前方に位置する外気領域に面する前記少なくとも一つのカバープレートの前面と、前記ロードロック室の接触面とは、少なくとも実質的に共通の面にあることを特徴とする請求項2記載のロードロック装置。
- 前記少なくとも一つのカバープレートとロードロック室とは、一体に形成されていることを特徴とする請求項2記載のロードロック装置。
- 前記駆動装置は、前記ロードロック室に配設され真空室の方向で前記ロードロック室のカバープレートに隣接し、且つ前記ロードロック室の底面又は上方に向って開口している、少なくとも一つの凹部に少なくとも部分的に配置され、該凹部は真空室側に配設されていることを特徴とする請求項8記載のロードロック装置。
- 前記駆動装置は、第1、第2のピストン‐シリンダユニットからなる駆動ユニットを有し、前記第1ピストン‐シリンダユニットのピストンロッドは支持ロッド又は支持ロッドの一つに連結し、前記閉塞部材は、前記入口開口が開放している位置と、前記閉塞部材が前記入口開口と対向しているが前記ロードロック室から離間している位置との間を前記第1ピストン‐シリンダユニットにより制御され、前記閉塞部材は、前記閉塞部材が前記入口開口と対向しているが前記ロードロック室から離間している位置と、前記閉塞部材が前記ロードロック室に接触する完全な閉塞位置との間を少なくとも一つの第2ピストン‐シリンダユニットによって制御されることを特徴とする請求項1記載のロードロック装置。
- 前記駆動装置が2つ設けられていることを特徴とする請求項10記載のロードロック装置。
- 前記入口開口の軸に垂直な空気流が、前記入口開口の前面に位置する外気領域に案内されることを特徴とする請求項1記載のロードロック装置。
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