JP2024006121A - 真空ウエーハ搬送システム - Google Patents
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Abstract
Description
12 プロセスチャンバ
12A プロセスチャンバ群
12B プロセスチャンバ群
14 バッファーチャンバ
16 トランスファーチャンバ
18 ウエーハ搬送装置
20 プロセス処理装置
22 ゲートバルブ
24 環境制御装置
26 ゲートバルブ
28 駆動モジュール
30 離間領域
32 駆動部
34 基板自動搬送装置
36 ロボットハンド
38 ロードポート
40 ロードロックチャンバ
42 ゲートバルブ
44 環境制御装置
Claims (5)
- 真空環境下においてウエーハに対して所定の物理的処理又は化学的処理を実行するプロセスチャンバと、真空環境下において前記ウエーハを収容可能なバッファーチャンバと、前記ウエーハを前記プロセスチャンバに送り出し又は前記プロセスチャンバから前記ウエーハを取り出すウエーハ搬送装置を有するトランスファーチャンバと、を含む真空ウエーハ搬送システムであって、
複数の前記プロセスチャンバが、前記第一の直線方向に沿って増設可能であり、
前記バッファーチャンバと前記トランスファーチャンバとが連通可能となるように一体的に配置された駆動モジュールを構成する、真空ウエーハ搬送システム。 - 前記駆動モジュールを前記第一の直線方向及び前記第一の直線方向に対して直交する第二の直線方向に沿って移動させるための駆動部を有する、請求項1に記載の真空ウエーハ搬送システム。
- 複数の前記プロセスチャンバが前記第一の直線方向に沿って配置されてなるプロセスチャンバ群を複数群設け、
前記各プロセスチャンバ群同士の間には、所定の離間領域が設けられ、
前記駆動モジュールが前記離間領域に配置される、請求項1又は2に記載の真空ウエーハ搬送システム。 - 前記駆動部は、リニアモータ駆動方式で駆動する、請求項2に記載の真空ウエーハ搬送システム。
- 請求項1乃至4の何れか一項に記載の真空ウエーハ搬送システムを採用する真空ウエーハ搬送システムであって、
真空環境下において前記ウエーハを前記トランスファーチャンバから前記プロセスチャンバに移管する第1搬送ステップと、
前記プロセスチャンバにおいて所定の処理が施された前記ウエーハを、前記トランスファーチャンバを介して前記バッファーチャンバに移管する第2搬送ステップと、を含み、
前記駆動モジュールを移動させて、それぞれの前記プロセスチャンバに対して、前記第1搬送ステップと前記第2搬送ステップとを繰り返して実行する、真空ウエーハ搬送方法。
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