JP5798403B2 - 連通部開閉装置 - Google Patents
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Description
上記バルブシートは、上記第1側壁部に設けられた連通部に対応する案内用開口部が形成されたシート部と、このシート部と直交する方向で設けられて上記バルブ装置を取り付けるためのベース部とを具備し、かつ、上記シート部とベース部は分離して構成され、
上記シート部は取付用ボルトにより第1側壁部に取り付けられ、
上記ベース部側には、第2側壁部に形成された取付用開口部内に挿入し得る突出ガイド部が設けられ、当該突出ガイド部を、第2側壁部の外面に取り付けられる固定部材に連結用ボルトを介して連結することにより、当該ベース部を第2側壁部側に固定するようにしたものである。
2 蒸着室
3 側壁部
3a 連絡口
4 底壁部
4a 取付用開口部
5 連通部開閉装置
6 バルブ装置
7 バルブシート
11 バルブ本体
12 シリンダ装置
21 シート部
22 本体部
22a 案内用開口部
23 案内部
24 取付用ボルト
31 ベース部
32 本体部
33 ガイド部
41 固定部材
41a 挿入用穴部
42 取付用ボルト
43 連結用ボルト
44 取付用ボルト
Claims (3)
- 第1側壁部と当該第1側壁部に直交する第2側壁部とを有して断面がL字形状にされ且つ上記第1側壁部に連通部が設けられるとともに上記第2側壁部に取付用開口部が設けられてなる側壁部材の上記連通部を開閉し得るバルブ装置と、断面がL字形状にされて上記バルブ装置を側壁部材側に取り付けるためのバルブシートとを具備する連通部開閉装置であって、
上記バルブシートは、上記第1側壁部に設けられた連通部に対応する案内用開口部が形成されたシート部と、このシート部と直交する方向で設けられて上記バルブ装置を取り付けるためのベース部とを具備し、かつ、上記シート部とベース部は分離して構成され、
上記シート部は取付用ボルトにより第1側壁部に取り付けられ、
上記ベース部側には、第2側壁部に形成された取付用開口部内に挿入し得る突出ガイド部が設けられ、当該突出ガイド部を、第2側壁部の外面に取り付けられる固定部材に連結用ボルトを介して連結することにより、当該ベース部を第2側壁部側に固定するようにしたことを特徴とする連通部開閉装置。 - 上記バルブ装置は、上記第1側壁部と平行に移動して上記連通部を開閉するバルブ本体と、当該バルブ本体を上記第1側壁部と平行に移動させる駆動部とを含んでいる、請求項1に記載の連通部開閉装置。
- 前記側壁部材は、真空容器の側壁部材である、請求項1又は2に記載の連通部開閉装置。
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JP2011171669A JP5798403B2 (ja) | 2011-08-05 | 2011-08-05 | 連通部開閉装置 |
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