JP5269568B2 - 基板処理装置及び基板処理装置内部の工程空間を開閉する方法 - Google Patents
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Description
20 ロードラックチャンバー
30 トランスファーチャンバー
120,320 上部チャンバー
140,340 下部チャンバー
160,360 シーリング部材
180,380 プランジャー
220,342,440 支持軸
240,440 回転部材
280,480 水平移動部材
344 上部板
346 弾性部材
348:下部板
Claims (12)
- 一方向に沿って上部面が傾斜する下部チャンバーと;
工程時に前記下部チャンバーの上部に配置され且つ前記一方向に沿っての下部面が前記下部チャンバの上部面に平行に傾斜し、外部から密閉された工程空間を前記下部チャンバーと一緒に内部に形成する上部チャンバーと;
前記上部チャンバーと前記下部チャンバーとの間に間隙が提供されるように前記上部チャンバー、又は前記上部チャンバー及び前記下部チャンバーを支持し、、前記一方向に沿って前記上部チャンバーを前記下部チャンバーに対して水平移動させる水平移動部材と前記上部チャンバーの下部面が上部に向かうように前記上部チャンバーを回転させる回転部材とを含む支持ユニットと;
工程時に前記工程空間を真空状態に維持し、前記真空状態によって前記工程空間を密閉する真空ユニットと;
前記上部チャンバーと前記下部チャンバーとの間であり、前記間隙上に提供されるシーリング部材と;を含み、
前記支持ユニットは、前記工程空間が前記シーリング部材を介して真空状態となる場合には、前記工程空間内の真空によって前記上部チャンバーが下降または前記下部チャンバーが上昇するように前記上部チャンバーの下降または前記下部チャンバーの上昇を許し、前記工程空間の真空状態が解除される場合には、前記上部チャンバーまたは前記下部チャンバーが元の位置に復帰されるように前記上部チャンバーまたは前記下部チャンバーに弾性力を提供することを特徴とする基板処理装置。 - 前記支持ユニットは、
一端が前記上部チャンバーに連結されて前記上部チャンバーを支持し、弾性材質からなる支持軸と;
前記支持軸の他端に連結される上部板と;を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記支持ユニットは、
前記上部板の下部に配置される下部板と;
前記上部板と前記下部板とを連結し、前記上部板に対する相対的な移動が可能になるように前記上部板を拘束する締結部材と;をさらに含むことを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記上部板と前記下部板との間に提供される弾性部材を含むことを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記装置は、
前記下部チャンバーの上部面と隣接した前記上部チャンバーの下部面に挿入設置され、前記上部チャンバーの下部面から突出された状態で前記上部チャンバーを支持する支持体を有するプランジャーをさらに含むことを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記装置は、
前記下部チャンバーの上部面と隣接した前記上部チャンバーの下部面に挿入設置され、前記上部チャンバーの下部面から突出された状態で前記下部チャンバーに向かって移動する前記上部チャンバーの位置を整列する支持体を有するプランジャーをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 一方向に沿って上部面が傾斜する下部チャンバー、前記一方向に沿っての下部面が前記下部チャンバの上部面に平行に傾斜する上部チャンバー及び前記上部チャンバーと前記下部チャンバーとの間に間隙が提供されるように前記上部チャンバー、又は前記上部チャンバー及び前記下部チャンバーを支持し、、前記一方向に沿って前記上部チャンバーを前記下部チャンバーに対して水平移動させる水平移動部材と前記上部チャンバーの下部面が上部に向かうように前記上部チャンバーを回転させる回転部材とを含む支持ユニットを有する基板処理装置内部の工程空間を開閉する方法において、
前記上部チャンバーと前記下部チャンバーとの間に間隙が提供されるように前記上部チャンバーを前記下部チャンバーの上部に配置し、前記上部チャンバーと前記下部チャンバーとの間に提供された前記間隙上にシーリング部材を提供し、
前記上部チャンバーと前記下部チャンバーの内部に形成された前記工程空間が前記シーリング部材を介して真空状態となる場合には、前記工程空間内の真空によって前記上部チャンバーの下降又は前記下部チャンバーの上昇を許して前記工程空間を閉鎖し、
前記工程空間の真空状態が解除される場合には、前記上部チャンバー又は前記下部チャンバーに弾性力を提供し、前記上部チャンバー又は前記下部チャンバーを元の位置に復帰させ、前記工程空間を開放することを特徴とする基板処理装置内部の工程空間を開閉する方法。 - 前記真空状態時に前記シーリング部材を用いて前記工程空間を閉鎖することを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置内部の工程空間を開閉する方法。
- 前記真空状態を解除し、前記工程空間を開放することを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置内部の工程空間を開閉する方法。
- 前記支持ユニットは、
一端が前記下部チャンバーに連結されて前記下部チャンバーを支持し、弾性材質からなる支持軸を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記支持ユニットは、
前記支持軸の他端に連結される上部板と;
前記上部板の下部に配置される下部板と;
前記上部板と前記下部板との間に提供される弾性部材と;をさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の基板処理装置。 - 前記装置は、
前記下部チャンバーの上部面と隣接した前記上部チャンバーの下部面に挿入設置され、
前記上部チャンバーの下部面から突出された状態で前記上部チャンバーを支持する支持体を有するプランジャーをさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の基板処理装置。
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